JP4867961B2 - 容量素子 - Google Patents
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Description
図1は、本実施形態に係る容量素子の単位容量の構成を説明する模式図である。本実施形態に係る容量素子は、基板の一例である半導体基板上に形成される配線を電極として利用したもので、配線が形成される層単位で構成される。
図6は、第1実施形態に係る容量素子の斜視図、図7は、第1実施形態に係る容量素子の各層の平面図で、(a)は1層目、(b)は2層目、(c)は3層目である。1層目の第1の電極10は細長い棒状であり、第2の電極20は第1の電極10を取り囲むような構造となっている。この構造は、図1に示す単位容量を半導体基板(図示せず)の表面に沿って複数接続した単位容量層となっている。
図8は、第2実施形態に係る容量素子の斜視図、図9は、第2実施形態に係る容量素子の各層の平面図で、(a)は1層目、(b)は2層目、(c)は3層目である。1層目の第1の電極10は細長い棒状であり、第2の電極20は第1の電極10を取り囲むような構造となっている。この構造は、図1に示す単位容量を半導体基板(図示せず)の表面に沿って複数接続した単位容量層となっている。
図10は、第3実施形態に係る容量素子の斜視図、図11は、第3実施形態に係る容量素子の各層の平面図で、(a)は1層目、(b)は2層目、(c)は3層目である。1層目の第1の電極10は細長い棒状であり、第2の電極20は第1の電極10を取り囲むような構造となっている。この構造は、図1に示す単位容量を半導体基板(図示せず)の表面に沿って複数接続した単位容量層となっている。
図12は、第4実施形態に係る容量素子の斜視図、図13は、第4実施形態に係る容量素子の各層の平面図で、(a)は1層目、(b)は2層目、(c)は3層目である。1層目の第1の電極10は細長い棒状であり、第2の電極20は第1の電極10を取り囲むような構造となっている。この構造は、図1に示す単位容量を半導体基板(図示せず)の表面に沿って複数接続した単位容量層となっている。
図14は、第5実施形態に係る容量素子の斜視図、図15は、第5実施形態に係る容量素子の各層の平面図で、(a)は1層目、(b)は2層目、(c)は3層目である。1層目の第1の電極10は細長い棒状であり、第2の電極20は第1の電極10を取り囲むような構造となっている。この構造は、図1に示す単位容量を半導体基板(図示せず)の表面に沿って複数接続した単位容量層となっている。
図16は、第6実施形態に係る容量素子の斜視図、図17は、第6実施形態に係る容量素子の各層の平面図で、(a)は1層目、(b)は2層目、(c)は3層目、(d)は4層目、(e)は5層目ある。第6実施形態に係る容量素子では、図6、7で示した第1実施形態に係る容量素子に対してさらにシールド機能を高めた容量素子となっている。
本実施形態に係る容量素子をアナログ集積回路に適用することで、信号線と容量の片側のノードに容量結合が付きにくくなり、アナログ回路の特性を改善できるようになる。また、隣り合う容量のカップリング容量の低減が可能となる。
Claims (10)
- 基板の表面に沿って配置される複数の単位容量を含む単位容量層が、前記基板と垂直な方向に複数積層されて複数の単位容量層を形成しており、
前記複数の単位容量のそれぞれが、
第1の電極と、
前記第1の電極との間に誘電体を介して設けられ、前記第1の電極における前記基板の表面に沿った四方の全周を閉環状に囲む第2の電極と
を有する容量素子。 - 前記複数の単位容量層の各々において、該単位容量層における内側となる前記第1の電極および前記第2の電極の一部が、最も外側となる前記第2の電極の他部によって前記基板の表面に沿った四方の全周を閉環状に囲まれている
請求項1に記載の容量素子。 - 前記第1の電極が前記基板の表面に沿った第1方向に長い矩形状に形成された第1の単位容量層と、
前記第1の単位容量層の上に、前記第1方向と直交する第2方向に長い矩形状を有し、下層の前記第1の単位容量層内の前記第1の電極とビアホールにより導通している第1の電極の取り出し電極を含む第2の単位容量層が積層されている
請求項2に記載の容量素子。 - 前記第1の単位容量層と同じ構造の第3の単位容量層が、前記第2の単位容量層の上に積層され、
前記取り出し電極は、前記第3の単位容量層の第1の電極とビアホールにより導通している
請求項3に記載の容量素子。 - 前記取り出し電極の周囲の前記第2の電極の一部が途切れて該取り出し電極の取り出し口が設けられ、該取り出し口を介して前記第1の電極と導通する取り出し電極への接続端子が設けられている
請求項4に記載の容量素子。 - 前記単位容量層が前記基板の表面と垂直な方向に複数積層されるにあたり、前記第1の電極の方向が層毎に交互に直交する
請求項1に記載の容量素子。 - 前記複数の単位容量層の各々において、該単位容量層における内側となる前記第1の電極および前記第2の電極の一部が、最も外側となる前記第2の電極の他部によって前記基板の表面に沿った四方の全周を閉環状に囲まれており、
前記複数の単位容量層は、
前記第1の電極が前記基板の表面に沿った第1方向に長い矩形状に形成された第1の単位容量層と、
前記第1の単位容量層の上に形成され、前記第1方向と直交する第2方向に長い矩形状を有する第1の電極と、該第2方向の第1の電極との間に誘電体を介して設けられ、前記第2方向の第1の電極における前記基板の表面に沿った四方の全周を閉環状に囲む第2の電極とを有する第2の単位容量層と、
前記第2の容量層の上に形成された他の前記第1の単位容量層と、
を含む請求項6に記載の容量素子。 - 前記第2の単位容量層の前記第2方向の第1の電極は、上層および下層の2つの前記第1の単位容量層内の前記第1方向の第1の電極とビアホールにより電気的に接続されている
請求項7に記載の容量素子。 - 前記第2の単位容量層は、前記第2方向に長い矩形状を有し、下層および上層の2つの前記第1の単位容量層内の前記第1の電極とビアホールにより導通している第1の電極の取り出し電極を含み、
前記取り出し電極の周囲の前記第2の電極の一部が途切れて該取り出し電極の取り出し口が設けられ、該取り出し口を介して前記第1の電極と導通する取り出し電極への接続端子が設けられている
請求項8に記載の容量素子。 - 前記複数の単位容量層の最上層と最下層の少なくとも一方の側に前記第2の電極と導通するシールド電極が形成されている
請求項1〜9の何れか一項に記載の容量素子。
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