JP4867589B2 - 部品接合装置及び超音波ホーン - Google Patents
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Description
請求項5に記載の超音波ホーンは、前記溝状部は、超音波ホーンを上下方向に貫通する溝状の貫通穴若しくは超音波ホーンの上面及び下面の少なくとも一方に開口する溝状の凹部である。
請求項6に記載の超音波ホーンは、超音波ホーンは、前記溝状部を挟んで幅方向に並設された2つのヒータを備えている。
路7cの一端側は超音波ホーン7の上面7dの開口部(上面開口部7e)に繋がっており、他端側は超音波ホーン7の凸状部7b内を上下方向に延びて接合作用部材8の接合作用面8aに開口した吸着口8bに繋がっている。更に、超音波ホーン7の上面開口部7eは超音波ホーン7の外部を延びた外部管路13を介して真空吸引源14に繋がっているので、真空吸引源14を作動させて吸着口8bから空気を吸引することにより、接合作用面8aに当接させた半導体チップ12を接合作用面8aに吸着保持することができる。
接合面11aに接合される。すなわち本部品接合装置1では、超音波ホーン7が部品接合装置1から与えられる指令を受けて振動することにより、部品である半導体チップ12を被接合面11aに接合する。
6 昇降部材
7 超音波ホーン
7a 下面
7d 上面
7f 側面
7g 固定部
7k 溝状部
8 接合作用部材(接合作用部)
11a 被接合面
12 半導体チップ(部品)
15 ヒータ
Claims (6)
- 昇降自在な昇降部材と、昇降部材に固定された超音波ホーンとを有し、超音波ホーンの下面に設けられた接合作用部で部品を被接合面に押し付けながら超音波ホーンに振動を与えて部品を被接合面に接合する部品接合装置であって、
超音波ホーンの幅方向の両側面に設けられて昇降部材に固定される複数の固定部が、前記幅方向に対向し、かつ接合作用部を超音波ホーンの長手方向に挟む位置に配設されており、前記超音波ホーンの前記幅方向に対向する固定部同士の間に前記長手方向に延びて弾性変形を許容する空間を形成することにより超音波ホーンの幅方向に発生する振動の振幅を小さくする溝状部が設けられていることを特徴とする部品接合装置。 - 前記溝状部は、超音波ホーンを上下方向に貫通する溝状の貫通穴若しくは超音波ホーンの上面及び下面の少なくとも一方に開口する溝状の凹部であることを特徴とする請求項1に記載の部品接合装置。
- 超音波ホーンは、前記溝状部を挟んで幅方向に並設された2つのヒータを備えていることを特徴とする請求項1又は2に記載の部品接合装置。
- 部品接合装置において昇降自在な昇降部材に固定され、下面に設けられた接合作用部で部品を被接合面に押し付けながら部品接合装置から与えられる指令を受けて振動することにより部品を被接合面に接合する超音波ホーンであって、
超音波ホーンの幅方向の両側面に設けられて昇降部材に固定される複数の固定部が、前記幅方向に対向し、かつ接合作用部を超音波ホーンの長手方向に挟む位置に配設されており、前記超音波ホーンの前記幅方向に対向する固定部同士の間に前記長手方向に延びて弾性変形を許容する空間を形成することにより超音波ホーンの幅方向に発生する振動の振幅を小さくする溝状部が設けられていることを特徴とする超音波ホーン。 - 前記溝状部は、超音波ホーンを上下方向に貫通する溝状の貫通穴若しくは超音波ホーンの上面及び下面の少なくとも一方に開口する溝状の凹部であることを特徴とする請求項4に記載の超音波ホーン。
- 超音波ホーンは、前記溝状部を挟んで幅方向に並設された2つのヒータを備えていることを特徴とする請求項4又は5に記載の超音波ホーン。
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