JP4210269B2 - 超音波フリップチップ実装装置 - Google Patents
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Description
装置に関するものである。
あり、中でも電子部品のアクティブ面(接続端子の存在する面)を基板に対向させた状態
で実装するフェイスダウン方式の実装が近年広く行われている。この方式によると、小面
積で多ピン接続が可能になることや伝送経路を短縮できること等から、高密度、高周波、
低電圧の回路に有利なことが知られている。
、このバンプが基板に設けた電極と対応するように位置合わせし、これらを所定の温度に
加熱した状態で、接触面に押圧力を加える方法が一般に行われており、さらにこの接触面
に超音波振動を加える方法がある。
)を起こしつつ前記接触面に介在する酸化膜等の不純物層を破壊するので、同時に加える
熱と合わせて作用することで良好な接合が可能となる。したがって、このように超音波振
動を併用した熱圧着接合法が近年注目されている。以下この実装を超音波フリップチップ
実装と記載する。
脂からなるアンダーフィルを注入する固定方法が従来からあり、このアンダーフィルによ
って空気中の酸素やその他接続に有害となるガス、あるいは水分から接続部を保護し、実
装後に接続部に作用する応力を分散させることができるので広く用いられている。
プに形成したバンプが前記アンダーフィルを貫通するように押圧してフリップチップ実装
を行う方法が採用されるようになってきた。この場合バンプが容易にアンダーフィルを押
し退けて対向する電極と確実に接触するためのアンダーフィルの軟化温度、加えて実装後
のアンダーフィルの硬化温度を制御することが極めて重要であることは言うまでもない。
(以下これをプリコートアンダーフィルと称し、実装後注入するアンダーフィルをポスト
コートアンダーフィルと称す)
ジにヒータを設け、基板の実装面の裏側から熱を加える方法が考えられるが、一般的には
この方法のみでは不十分な場合が多く、これに加えてチップを吸着保持する接合ツール側
からも加熱することで十分な温度制御が可能となることが知られている。
法が超音波ホーンにヒータを埋設する方法である。例えば特許文献1には超音波ホーンの
ノーダルポイント(振動の節)に電熱ヒータを設ける技術が記載されている(図6)。こ
のようにすれば前記ノーダルポイントが超音波振動の最小振幅点なので、ヒータやヒータ
に接続された給電部材による超音波振動への影響を少なくできる。
腹にヒータを設ける技術(図7)や、特許文献3記載のように、超音波ホーンの側面にヒ
ータを貼り付ける技術(図8)、さらには特許文献4記載のように、超音波ホーンに対し
て非接触で加熱を行う技術(図9)が考えられている。
ることで超音波ホーンに具設された接合ツールを介してチップに熱を伝導させるものであ
る。したがってこのような技術を採用する限り、超音波ホーンの温度変化に起因する共振
周波数の変化(シフト)が避けられない。
温でない状態で使用されるのを想定して設計するのは極めて難易度が高く手間のかかる作
業となる。またこのような設計がクリアされたとしても、超音波ホーンに穴あけ等の局所
的な加工を施してヒータを具設した場合は、超音波振動の伝達あるいは増幅の経路に局所
的な乱れが生じ、これを予測するのは極めて困難である。
形成する金属の素材(例えば金バンプや錫めっき電極等)、温度に依存するアンダーフィ
ルの物性、あるいはチップと基板との熱膨張率の差等を考慮して加熱温度を設定すべきで
あるのに対し、前述の理由から、ある超音波ホーンを採用するとした場合そのホーンを最
適の状態で使用する温度は予め定まってしまっている。
使用すると共に、この超音波ホーンに具設された接合ツールによって接合されるチップの
接合時の温度を最適の温度に加熱可能とする超音波フリップチップ実装装置を提供するも
のである。
超音波振動は、接合ツールとヒータ間およびヒータと電子部品間の押圧力によって発生す
る摩擦力によって、電子部品と基板との接合部に伝達される。
御を可能とするパルスヒート方式を用いることにより、コンスタントヒート方式のヒータ
と比較して熱容量の小さいヒータにすることが可能となる。
の共振周波数のシフト量も小さく抑えることができ、効率の良い振動伝達性能を得ること
ができる。また、常温使用を前提として超音波ホーンの設計製造が行えるので、超音波ホ
ーンの設計や試作評価あるいは製品検査の手間が減少する。
物に応じた、つまり電子部品や基板の耐熱温度、接合面を形成する金属の素材、温度に依
存するアンダーフィルの物性、あるいはチップと基板との熱膨張率の差等を考慮した最適
の温度設定が可能となり、高い接続信頼性を得ることができる。
大掛りなものにしなくて済み、異なる温度設定を要求する被接合物に応じた複数の超音波
ホーンを用意する必要がないので、設備がシンプルになり、コストも低くなる。
場合は、電子部品との摩擦によりヒータ下面が磨耗したり接合ツールとの摩擦によりヒー
タ上面が磨耗するのが通常であり、また容易にこのようにすることが可能である。したが
って従来は電子部品と接合ツールとの摩擦によって接合ツールが磨耗し、接合ツールの研
磨又は交換が必要とされていたのに対し、ヒータをメンテナンスするだけでよくなり、取
付取り外しの手間や部品交換のコストが削減できる。またヒータが直接接触した電子部品
を加熱できることから、接合条件として接合部に200℃以上の高温が求められる場合に
も対応可能となる。
に説明する。
2はステージ1上に載置され図示しない吸着手段により保持された基板、符号3は基板2
に実装する電子部品である。この電子部品3は下面に外部と接続するための図示しない電
極を有しており、この電極上にバンプ3Aが形成されている。そして基盤2上に予め形成
された電極2Aと互いに位置合わせされ接合される状態が図示してある。
保持の具体的構造に関しては後述する)。このようにヒータ4は上下方向に弾性的に保持
され、図示しない可撓性の高いワイヤが給電手段として接続されている。また、符号5は
接合ツールであり、図示しない超音波ホーンに作用面である下面が突出するように固定さ
れるか、あるいは超音波ホーンと一体構造でホーンの下方に突出するように加工されて構
成される。
ール5と離隔しているが、接合動作に入って接合ツール5が下降すると接合ツール5の下
面はヒータ4に接触し、さらに矢印ア、ア方向の弾性力に抗して下降を続ける。やがてバ
ンプ3Aが電極2Aに当接し、接合ツール5の押圧力により潰れ始める。このとき図示し
ない超音波振動子が振動を開始し、その超音波振動は図示しない超音波ホーンにより伝達
され接合ツール5を基板2の上面と略平行方向(矢印イの方向)に振動させる。
より基板2の上面と略平行方向に振動する。また、ヒータ4は電子部品3と接触している
ので、これも基板2の上面と略平行方向に振動する。その結果バンプ3Aが接合ツール5
からの押圧力を受けて潰れるのと同時に、接合面に接合面と略平行方向の超音波振動が加
わり、接合が進行する。
の実装領域に塗布してあった絶縁性樹脂からなるアンダーフィルをバンプ3Aが貫通し、
さらに接合ツール5からの押圧力により、バンプ3Aと電極2Aとの間のアンダーフィル
を押し退けつつ接触面積を増大させることになる。図1の符号6としてバンプ3Aに押し
退けられた後のプリコートアンダーフィルを示す。
でも効率良く接合部を加熱できる。したがって電子部品3と比較して著しく熱容量の大き
な超音波ホーンの温度変化は極めて小さなものとなり、それが超音波振動に対して与える
影響も無視できる程度に小さなものとなる。
接合ツール5とヒータ4が接触していればよく、実際の接合工程では部品供給や位置決め
等を含めた工程全体のほとんどの時間において接合ツール5とヒータ4を離隔させておけ
るので、いっそう超音波ホーンへの熱的影響を少なくできる。
ート方式にすることで、ヒータ4の発熱体を瞬間的に温度上昇させることができるので、
必要最低限の時間に必要なだけ熱エネルギーを発生させることができると共に、ヒータ4
が接合ツール5や電子部品に接触すること等による熱的外乱(温度変化)をフィードバッ
クし、即時対応することが可能となる。
を示す側面図であり、図を見て左側が装置の前面側となるように描いてある。また符号1
乃至5は図1で示した構成と同等の要素なので同一の符号で示してある。ここで、符号7
は接合ツール5を備える超音波ホーンであり、支持点7A、7Bにノーダルポイントを持
ち最大振幅領域(振動の腹)に接合ツール5を具設したホーンである。
振動エネルギーを付与する発振器、符号10は発振器9の動作を制御する制御部である。
ここで制御部10は、発振器9以外に操作及び表示部11や、接続線は図示していないが
他のあらゆる駆動部や発熱部の全ての動作を制御する。
動部12にはロッド13を上下動させるためにモータが内蔵されており、ロッド13の下
端には超音波ホーン7を支持するアングル部材14が固定されている。またこの昇降駆動
部12は図示しない圧力センサからの圧力信号に基づき、接合ツール5による下方への押
圧力をコントロールしている。
持し、下部では制御部等の電子回路部を収納している。またステージ1は、ロッド13の
軸方向である上下方向をZ軸とすると、X軸およびY軸方向に移動可能であり、さらにロ
ッド13の軸回りに微量回転可能としてあるので、図示しない上下2視野カメラを基板2
と電子部品3との間隙に一時的に挿入して得た両者の画像から得られる位置情報に基づい
てステージ1を所定の補正量移動あるいは回転させることにより、バンプ3Aと電極2A
との位置合わせが行える。
い吸着手段により保持される。またステージ1は図示しない加熱手段を内蔵しており、基
板2を下方から加熱する。この基板2に対する加熱は上方のヒータ4から電子部品3を介
して接合部に作用する熱と合わさって作用するものであるが、基板2と電子部品3との温
度差制御を考慮して温度設定することができる。
位置合わせされる。符号16はヒータ4を保持する保持機構であるが、ヒータ4の吸着構
造と共に詳細は後述する。このとき、ヒータ4がコンスタントヒート方式であれば接合に
先立って加熱を開始し電子部品3を所定の温度に昇温させるが、パルスヒート方式であれ
ばこの段階では本加熱は行わない。
のとき制御部10は操作および表示パネル11に入力された設定値に基づいて、動作、押
圧力、温度等の制御を行う。これにより接合ツール5の作用面がヒータ4の上面に当接し
、さらにヒータ4を下方に押圧することにより、電子部品3のバンプ3Aが基板2の電極
2Aに押圧される。次にこの押圧を維持しながら制御部10の指令により発振器9が動作
し、振動子8が振動する。ここでヒータ4がパルスヒート方式である場合は、バンプ3A
が所定の温度で電極2Aに接触するようなタイミングで加熱開始すればよい。
方向に振動する。接合ツール5の振動は摩擦によりヒータ4に伝達され、ヒータ4は電子
部品3を同じく摩擦伝達により振動させる。本実施形態ではバンプ3Aと電極2Aとのあ
いだに振幅1μm前後の超音波振動を付与するために、接合ツール5の振動振幅を5μm
前後に制御している。これは、接合ツール5とヒータ4間、ヒータ4と電子部品3間の滑
りによる振幅減衰率が夫々30〜40%トータルで60〜80%見込まれるからである。
した側面図である。ここでヒータ4には水平方向に広い板状のものを用いる。図3(a)
は接合ツール5がヒータ4に対して上方に隔離している状態。図3(b)は接合ツール5
が下降してヒータ4に接触し、さらにヒータ4を下方に押圧している状態を示す。
16に繋がれている。保持機構16、16は図では両側に分離して描かれているが、両者
が相対的に位置移動することはないので、ヒータ4以外の領域で一体となっている。また
、符号19はヒータ3の発熱体への給電線であり、符号17はヒータ3本体に形成された
吸着孔である。この吸着孔17は、片端をエア流路20により真空発生源に接続し、他端
に発生する吸着作用で電子部品3を真空吸着する。
18、18が伸長し、矢印エの方向の弾性的な応力をヒータ3に与える。この斜め方向の
応力の水平成分は対称構造であるために互いに打ち消し合い、ヒータ4にとっては上方へ
の応力のみとなる。したがってヒータ4は上下方向に弾性的に保持されることとなる。
おいて、符号4’はヒータ、符号16’は保持機構である。この実施形態のヒータ4’は
水平方向に広い板状であるが、中央部が厚く周辺部が薄い2段形状となっており、上面に
段差が設けられている。また、この2段の水平面は傾斜面21で連結されている。
成する端面は下方側の開口面積が広がる方向の傾斜面22で構成されている。また、保持
機構16’に上端を係止されたコイルバネ18’の下端がヒータ4’を吊り下げる状態に
なっており、ヒータ4’に他の外力が加わらない状態ではコイルバネ18’の収縮力によ
り、ヒータ4’の傾斜面21と保持機構16’の傾斜面22とが係合した状態で維持され
るようになっている。
保持機構16’とヒータ4’とが弾性部材を介さずに係合するので、接合動作に入る前に
行うバンプ3Aと電極2Aとの位置合わせの際には、ヒータ4’に吸着保持された電子部
品3の水平方向の遥動が発生せず、精度のよい位置合わせが可能となる。
保持機構16’とヒータ4’との傾斜面21、22での係合が外れ、ヒータ4’はコイル
バネ18’、18’によって上下方向に弾性的に保持された状態となる。
ヒータ4、4’の振動を減衰させにくいものであればこれに限らない。また、ヒータ4、
4’は熱容量の大きな超音波ホーンを加熱する必要がないので、セラミックヒータや抵抗
線巻きつけプレート等の複数の種類から比較的小型軽量のヒータを選択すればよい。
は、図5に示すようにヒータの上方にノズル23を設け、所定のタイミングで接合ツール
5や超音波ホーンに向けて冷却空気を吹き付けるようにするとよい。
2 基板
2A 電極
3 電子部品
3A バンプ
4 ヒータ
5 接合ツール
6 アンダーフィル
7 超音波ホーン
7A、7B ノーダルポイント
8 振動子
9 発振器
10 制御部
11 操作および表示部
12 昇降駆動部
13 ロッド
14 アングル部材
15 筐体
Claims (2)
- 電子部品を基板にフェイスダウン状態で押圧し、前記電子部品の電極と前記基板の電極とをバンプを介して接続する超音波フリップチップ実装の実装装置において、
前記基板を載置するステージと、
超音波振動を発生する超音波振動子と、
超音波振動を伝達する超音波ホーンと、
前記超音波ホーンに具設された接合ツールと、
上下方向に弾性的に、且つ前記接合ツールと離隔可能に保持され、少なくとも接合時には前記接合ツールと前記電子部品とのあいだに介在するヒータとを備え、
前記ヒータは、発熱すると同時に前記接合ツールからの押圧力と超音波振動とを前記電子部品に伝達することを特徴とする超音波フリップチップ実装装置。 - 前記ヒータに取り付けた温度センサとパルスヒート電源とを備え、このパルスヒート電源に前記ヒータの温度情報がフィードバックされることで、前記ヒータが、パルスヒート方式により加熱制御されることを特徴とする請求項1に記載の超音波フリップチップ実装装置。
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JP2005148854A JP4210269B2 (ja) | 2005-05-23 | 2005-05-23 | 超音波フリップチップ実装装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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Country Status (1)
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