JP2008147457A - 超音波実装ツール及び電子部品の実装装置 - Google Patents
超音波実装ツール及び電子部品の実装装置 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】中途部に長手方向と交差する幅方向に沿って保持孔31が穿設されたホーン22と、ホーンを超音波振動させる振動子と、ホーンの下面の振動が最大となる部分に設けられた半導体チップを保持するツール部25と、ホーンの上面のツール部に対応する位置に設けられた荷重受け部26と、下面を荷重受け部に当接させるとともに両端部がホーンの振動が最小となる部分に連結固定されていて、上下駆動される可動部に取り付けられて可動部に加わる荷重をツール部に伝達するブラケット27と、ホーンの保持孔に挿通されたヒータ32と、一端がブラケットに固定され他端をヒータの一方の端面と他方の端面にそれぞれ対向させて設けられた一対の取り付け部材33と、取り付け部材の他端に設けられヒータの端面を弾性的に保持する弾性保持部材35を具備する。
【選択図】 図4
Description
長手方向の中途部にこの長手方向と交差する幅方向に沿って保持孔が穿設されたホーンと、
このホーンの長手方向の一端に接続されホーンを超音波振動させる振動子と、
上記ホーンの下面の振動が最大となる上記長手方向の中途部に設けられた上記電子部品を保持するためのツール部と、
上記ホーンの上面の上記ツール部に対応する位置に設けられた荷重受け部と、
下面の長手方向中途部を上記荷重受け部に当接させるとともに長手方向の両端部が上記ホーンの振動が最小となる部分に連結固定されていて、上記可動部に取り付けられてこの可動部に加わる荷重を上記荷重受け部を介して上記ツール部に伝達するブラケットと、
上記ホーンの上記保持孔に挿通されたヒータと、
一端が上記ブラケットに固定され他端を上記ヒータの一方の端面と他方の端面にそれぞれ対向させて設けられた一対の取り付け部材と、
この取り付け部材の他端に設けられ上記ヒータの一方の端面と他方の端面を弾性的に保持する弾性保持部材と
を具備したことを特徴とする超音波実装ツールにある。
上下方向に駆動される可動部と、
この可動部に対向して設けられ上面に上記被実装部材が保持されるステージと、
上記可動部に取り付けられこの可動部を下降させて上記電子部品を上記被実装部材に押圧して振動と熱によって圧着する超音波実装ツールとを具備し、
上記超音波実装ツールは請求項1に記載された構成であることを特徴とする電子部品の実装装置にある。
図1乃至図4はこの発明の第1の実施の形態を示し、図1はこの発明の実装装置の側面図で、図2は正面図である。図1に示すように、この実装装置は装置本体1を備えている。この装置本体1にはYガイド体2が同図に矢印で示すY方向に沿って設けられ、このYガイド体2にはY可動体3がY方向に駆動可能に設けられている。
Claims (6)
- 上下駆動される可動部に取り付けられ電子部品を被実装部材に押圧して振動と熱によって圧着する超音波実装ツールであって、
長手方向の中途部にこの長手方向と交差する幅方向に沿って保持孔が穿設されたホーンと、
このホーンの長手方向の一端に接続されホーンを超音波振動させる振動子と、
上記ホーンの下面の振動が最大となる上記長手方向の中途部に設けられた上記電子部品を保持するためのツール部と、
上記ホーンの上面の上記ツール部に対応する位置に設けられた荷重受け部と、
下面の長手方向中途部を上記荷重受け部に当接させるとともに長手方向の両端部が上記ホーンの振動が最小となる部分に連結固定されていて、上記可動部に取り付けられてこの可動部に加わる荷重を上記荷重受け部を介して上記ツール部に伝達するブラケットと、
上記ホーンの上記保持孔に挿通されたヒータと、
一端が上記ブラケットに固定され他端を上記ヒータの一方の端面と他方の端面にそれぞれ対向させて設けられた一対の取り付け部材と、
この取り付け部材の他端に設けられ上記ヒータの一方の端面と他方の端面を弾性的に保持する弾性保持部材と
を具備したことを特徴とする超音波実装ツール。 - 上記弾性保持部材は低発塵性の材料によって形成されていることを特徴とする請求項1記載の超音波実装ツール。
- 上記弾性保持部材はばねであって、このばねと上記ヒータの端面との間には低発塵性の材料によって形成された緩衝部材が設けられていることを特徴とする請求項1記載の超音波実装ツール。
- 上記ヒータは、低発塵性の材料によって表面の全体若しくは少なくとも一対の端面がコーティングされていることを特徴とする請求項1記載の超音波実装ツール。
- 上記弾性保持部材は山形状であって、その頂部によって上記ヒータの一方の端面と他方の端面が弾性的に保持されることを特徴とする請求項1記載の超音波実装ツール。
- 電子部品を被実装部材に押圧して振動と熱によって圧着する電子部品の実装装置であって、
上下方向に駆動される可動部と、
この可動部に対向して設けられ上面に上記被実装部材が保持されるステージと、
上記可動部に取り付けられこの可動部を下降させて上記電子部品を上記被実装部材に押圧して振動と熱によって圧着する超音波実装ツールとを具備し、
上記超音波実装ツールは請求項1に記載された構成であることを特徴とする電子部品の実装装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006333526A JP2008147457A (ja) | 2006-12-11 | 2006-12-11 | 超音波実装ツール及び電子部品の実装装置 |
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Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004095810A (ja) * | 2002-08-30 | 2004-03-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品のボンディング装置およびボンディングツール |
JP2006324579A (ja) * | 2005-05-20 | 2006-11-30 | Athlete Fa Kk | 電子部品の接合装置 |
JP2006332080A (ja) * | 2005-05-23 | 2006-12-07 | Nippon Avionics Co Ltd | 超音波フリップチップ実装装置 |
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2006
- 2006-12-11 JP JP2006333526A patent/JP2008147457A/ja active Pending
Patent Citations (3)
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A621 | Written request for application examination |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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