JP2006339198A - 超音波接合ホーン及びこれを用いた超音波接合装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】チップ部品の電極をワークの電極に押圧しながら、両電極に超音波振動及び熱を付与してこれら両電極を接合する超音波接合装置に用いる超音波接合ホーン17において、超音波発生手段に接続されこの超音波発生手段から発生した超音波振動を伝達するホーン本体171と、ホーン本体171における超音波振動の最大振幅部に超音波振動を伝達可能に設けられると共にチップ部品を吸着保持してワークに押圧可能な面を備える吸着部材19と、吸着部材19を所定温度に加熱するためのヒータ22とを有し、前記ヒータ22は、ホーン本体171と吸着部材19との間にホーン本体171への熱伝達を遮蔽する熱遮蔽部材21を介して取り付けられている。
【選択図】図3
Description
さらに、超音波接合ヘッド8の消耗部品である吸着部材19が簡素な構成により交換が可能であるので、メンテナンス効率の向上を図ることもできる。
2 基板ホルダ(ワーク保持手段)
7 チップ部品
9 圧着機構(押圧手段)
11 主制御部(電源供給手段)
17 ホーン(超音波接合ホーン)
18 超音波発生器(超音波発生手段)
19 吸着部材
21 断熱部材(熱遮蔽部材)
21A 熱遮蔽部材
21R 流路(冷却流体循環流路)
22 ヒータ
223 温度センサ
24 操作部(加熱温度変更手段)
30 電極
31 電極
171 ホーン本体
Claims (6)
- チップ部品の電極をワークの電極に押圧しながら、両電極に超音波振動及び熱を付与してこれら両電極を接合する超音波接合装置に用いる超音波接合ホーンにおいて、超音波発生手段に接続されこの超音波発生手段から発生した超音波振動を伝達するホーン本体と、ホーン本体における超音波振動の最大振幅部に超音波振動を伝達可能に設けられると共にチップ部品を吸着保持してワークに押圧可能な面を備える吸着部材と、吸着部材を所定温度に加熱するためのヒータとを有し、前記ヒータは、ホーン本体と吸着部材との間にホーン本体への熱伝達を遮蔽する熱遮蔽部材を介して取り付けられていることを特徴とする超音波接合ホーン。
- 前記ヒータがシート状体である請求項1に記載の超音波接合ホーン。
- 前記ヒータと吸着部材の温度を検出する温度センサとが一体化している請求項1または請求項2に記載の超音波接合ホーン。
- 前記熱遮蔽部材は、冷却用の流体が循環する冷却流体循環流路を内部に備えている請求項1から請求項3のいずれかに記載の超音波接合ホーン。
- チップ部品の電極をワークの電極に押圧しながら、両電極に超音波振動及び熱を付与してこれら両電極を接合する超音波接合装置において、超音波振動を発生させる超音波発生手段と、請求項1から請求項4のいずれかに記載の超音波接合ホーンと、ワークを保持するワーク保持手段と、吸着部材に吸着保持されたチップ部品の電極とワーク保持手段に保持されたワークの電極とを押圧する押圧手段と、ヒータを加熱するための電源供給手段とを備えたことを特徴とする超音波接合装置。
- 前記ヒータの加熱温度を複数段階に設定可能とする加熱温度変更手段を有する請求項5に記載の超音波接合装置。
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