JP4213713B2 - ホーンの使用方法及びホーンユニットの使用方法並びにボンディング装置 - Google Patents
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(ボンディング装置)
(1)まず、上下動ブロック10に一体的に取り付けられているロック用ソレノイド16を駆動してボンディングヘッド12の上下動を規制した状態で、Yテーブル4でZ軸サーボモータ6及びボンディングユニット8を一体的に移動させて、基板ステージ26上の基板24に対する電子部品22の水平方向の位置合わせをおこなう。
(2)次に、Z軸サーボモータ6を駆動してボンディングユニット8を下降させて、ボンディングヘッド12が保持する電子部品22を接触検出開始位置まで下降させる。そして、電子部品22が基板24に接触したときの荷重が設定値となるように、ボイスコイルモータ14へ供給する電流を設定し、ロック用ソレノイド16を開放する。
より詳細には、ボンディングヘッド12が保持する電子部品22に作用する荷重が、基板24との接触時において設定値(例えば、10〜100g程度)となるように、ボイスコイルモータ14へ供給する電流値(すなわち、ボイスコイルモータ14の発生トルク)を設定する。つまり、
「設定値」=「ボンディングヘッド重量」+「ボイスコイルモータトルク」
なお、ボンディングヘッド12が設定値以上の場合には、ボイスコイルモータ14は、図1において上方に向かうトルク(引き上げ方向のトルク)を発生させることになる。つまり、例えば、以下のように設定されることになる。
「設定値(すなわち、電子部品と基板との接触時に許容される荷重)」=50g
「ボンディングヘッド重量」=1000g
とすると、
「ボイスコイルモータトルク」=−950g(図1において上方へ作用する引き上げ方向トルク)
に設定されることになる。すなわち、ボイスコイルモータ(加圧手段)14によって、後述するホーン50の圧着方向(Z方向)への加圧制御がおこなわれる。
(3)さらにZ軸サーボモータ6を駆動して、ボンディングヘッド12によって保持される電子部品22が基板24に接触するまで上下動ブロック10を下降させる。そして、電子部品22が基板24の被圧着面24aに接触すると、上下動ブロック10の下降動作に連動していたボンディングヘッド12はその位置で停止して、上下動ブロック10のみが下降を続ける。それにより、ボンディングヘッド12が、それまで連動していた上下動ブロック10から離れてフローティングすることとなり、リニアスケール18がその変化(すなわち、電子部品と基板との接触開始)を検出する。
このように、リニアスケール18を用いてボンディングヘッド12が保持する電子部品22と基板ステージ26上の基板24との接触の開始を検出することで、モータの駆動電流の検出値やロードセルの検出値に基づいて電子部品22と基板24との接触開始を検出する場合に比べて、高い検出安定性を保持しつつ接触開始を高精度に検出することができる。
(4)電子部品22と基板24とが接触した後に上下動ブロック10を下降させると、上下動ブロック10のみが下降動作を継続するが、上下動ブロック10の下降動作を、所定押し込み量(例えば、300μm程度)分だけ継続する。
(5)振動子42を駆動させることにより電子部品22を振動させて、電子部品22を基板24に超音波圧接する。なお、超音波圧接をおこなっている間、リニアスケール18の出力値をモニタしつつ、ボイスコイルモータ14の駆動力を調整することで、電子部品22と基板24との間の接触圧を所定の目標値に制御することなどができる。
(6)超音波圧接が完了した後は、Z軸サーボモータ6を駆動して、ボンディングヘッド12を接触検出開始位置まで上昇させる。
(7)ロック用ソレノイドを駆動して、ボンディングヘッド12の遊動を規制する。
(8)さらにZ軸サーボモータ6を駆動して、上下動ブロック10を所定の待機位置まで上昇させて、実装処理を終了する。
(ボンディングヘッド)
(ホーン)
L=λ
となっているが、適宜
L=λ+mλ/2(m:自然数)
の一般式で与えられるLに変更してもよい。
(ホーンホルダ)
(振動子)
(ノズル)
(調整ネジ)
(ホーンの振動モード)
(1)ホーン50に励起される振動の定在波の腹に相当する位置P3において、第1の領域A1の面積S1が最大となり、且つ、第2の領域A2の面積S2が最小となる。
(2)ホーン50に励起される振動の定在波の腹に相当する位置P3から節に相当する位置P2、P4に向かうに従って、第1の領域A1の面積S1が減少し、第2の領域A2の面積S2が増加する。
このホーンにおける圧着面56bも、定常波の腹に相当する位置P3からオフセットした位置Qに圧着面56bの中心位置が配置されているため、このホーンが採用された態様であっても上述した効果と同様の効果を得ることができる。
Claims (4)
- 電子部品の超音波圧接に利用するためのホーンに対し、振動子によって主として長手方向に振動を付与して、所定の波長を有する定常波を前記長手方向において発生させるホーンの使用方法であって、
前記ホーンは、断面形状変化部と、前記断面形状変化部の前記長手方向における両端に配置された一対の断面形状不変部と、前記断面形状変化部の下端面に配置された突起部とを備え、
前記断面形状不変部は、前記長手方向に垂直な面での断面形状が前記長手方向において変化がなく、且つ、前記長手方向に垂直な面での断面積が前記長手方向において同一であり、
前記断面形状変化部は、前記長手方向に垂直な断面が、前記長手方向に直交する第1の方向に沿って延びる第1の領域と、前記長手方向に直交すると共に前記第1の方向に直交する第2の方向から前記第1の領域を挟む一対の第2の領域とを有し、
前記一対の第2の領域は、前記長手方向に垂直な断面が、前記第1の領域に関して対称であり、
前記定在波の腹に相当する位置において、前記第1の領域の面積が最大となり、且つ、前記第2の領域の面積が最小となり、
前記第1の領域及び前記第2の領域が、前記第2の方向において変化せず且つ前記第1の方向において変化することで、前記定在波の腹に相当する位置から節に相当する位置に向かうに従って、前記第1の領域の面積が減少し、前記第2の領域の面積が増加する部分を含み、
前記突起部の下面に圧着面が形成され、
前記突起部の前記圧着面は、前記定在波の腹に相当する位置からオフセットした位置に配置されており、
前記オフセットした位置は、前記振動子によって付与される振動のうち前記第1の方向の振動成分が前記長手方向における一端から他端までの間で最小となる位置であるか、前記振動子によって付与される振動のうち前記第2の方向の振動成分が前記長手方向における一端から他端までの間で最小となる位置であるか、又は、前記振動子によって付与される振動のうち前記第1の方向の振動成分が前記長手方向における一端から他端までの間で最小となる位置で且つ前記振動子によって付与される振動のうち前記第2の方向の振動成分が前記長手方向における一端から他端までの間で最小となる位置である、ホーンの使用方法。 - 電子部品の超音波圧接に利用するためのホーンに対し、振動子によって主として長手方向に振動を付与して、所定の波長を有する定常波を前記長手方向において発生させるホーンユニットの使用方法であって、
前記ホーンユニットは、
断面形状変化部と、前記断面形状変化部の前記長手方向における両端に配置された一対の断面形状不変部とを備え、前記断面形状不変部は、前記長手方向に垂直な面での断面形状が前記長手方向において変化がなく、且つ、前記長手方向に垂直な面での断面積が前記長手方向において同一であり、前記断面形状変化部は、前記長手方向に垂直な断面が、前記長手方向に直交する第1の方向に沿って延びる第1の領域と、前記長手方向に直交すると共に前記第1の方向に直交する第2の方向から前記第1の領域を挟む一対の第2の領域とを有し、前記一対の第2の領域は、前記長手方向に垂直な断面が、前記第1の領域に関して対称であり、前記定在波の腹に相当する位置において、前記第1の領域の面積が最大となり、且つ、前記第2の領域の面積が最小となり、前記第1の領域及び前記第2の領域が、前記第2の方向において変化せず且つ前記第1の方向において変化することで、前記定在波の腹に相当する位置から節に相当する位置に向かうに従って、前記第1の領域の面積が減少し、前記第2の領域の面積が増加する部分を含むホーンと、
圧着面を有する圧着ノズルとを備え、
前記第1の方向に沿って延びるノズル収容穴が、前記ホーンの前記断面形状変化部のうち前記第1の領域に形成され、
前記圧着ノズルが前記ノズル収容穴に収容されて前記ホーンに取り付けられた状態で、前記圧着ノズルの前記圧着面が前記定在波の腹に相当する位置からオフセットした位置に配置され、
前記オフセットした位置は、前記振動子によって付与される振動のうち前記第1の方向の振動成分が前記長手方向における一端から他端までの間で最小となる位置であるか、前記振動子によって付与される振動のうち前記第2の方向の振動成分が前記長手方向における一端から他端までの間で最小となる位置であるか、又は、前記振動子によって付与される振動のうち前記第1の方向の振動成分が前記長手方向における一端から他端までの間で最小となる位置で且つ前記振動子によって付与される振動のうち前記第2の方向の振動成分が前記長手方向における一端から他端までの間で最小となる位置である、ホーンユニットの使用方法。 - 振動子と、
前記振動子によって振動が主として長手方向に付与されることで所定の波長を有する定常波が前記長手方向において発生する、電子部品の超音波圧接に利用するためのホーンであって、断面形状変化部と、前記断面形状変化部の前記長手方向における両端に配置された一対の断面形状不変部と、前記断面形状変化部の下端面に配置された突起部とを備え、前記断面形状不変部は、前記長手方向に垂直な面での断面形状が前記長手方向において変化がなく、且つ、前記長手方向に垂直な面での断面積が前記長手方向において同一であり、前記断面形状変化部は、前記長手方向に垂直な断面が、前記長手方向に直交する第1の方向に沿って延びる第1の領域と、前記長手方向に直交すると共に前記第1の方向に直交する第2の方向から前記第1の領域を挟む一対の第2の領域とを有し、前記一対の第2の領域は、前記長手方向に垂直な断面が、前記第1の領域に関して対称であり、前記定在波の腹に相当する位置において、前記第1の領域の面積が最大となり、且つ、前記第2の領域の面積が最小となり、前記第1の領域及び前記第2の領域が、前記第2の方向において変化せず且つ前記第1の方向において変化することで、前記定在波の腹に相当する位置から節に相当する位置に向かうに従って、前記第1の領域の面積が減少し、前記第2の領域の面積が増加する部分を含み、前記突起部の下面に圧着面が形成され、前記突起部の前記圧着面は、前記定在波の腹に相当する位置からオフセットした位置に配置されており、前記オフセットした位置は、前記振動子によって付与される振動のうち前記第1の方向の振動成分が前記長手方向における一端から他端までの間で最小となる位置であるか、前記振動子によって付与される振動のうち前記第2の方向の振動成分が前記長手方向における一端から他端までの間で最小となる位置であるか、又は、前記振動子によって付与される振動のうち前記第1の方向の振動成分が前記長手方向における一端から他端までの間で最小となる位置で且つ前記振動子によって付与される振動のうち前記第2の方向の振動成分が前記長手方向における一端から他端までの間で最小となる位置であるホーンと、
前記ホーンの圧着方向への加圧制御をおこなう加圧手段と
を備える、電子部品を被接合面に圧着してボンディングするためのボンディング装置。 - 振動子と、
前記振動子によって振動が主として長手方向に付与されることで所定の波長を有する定常波が前記長手方向において発生し、断面形状変化部と、前記断面形状変化部の前記長手方向における両端に配置された一対の断面形状不変部とを備え、前記断面形状不変部は、前記長手方向に垂直な面での断面形状が前記長手方向において変化がなく、且つ、前記長手方向に垂直な面での断面積が前記長手方向において同一であり、前記断面形状変化部は、前記長手方向に垂直な断面が、前記長手方向に直交する第1の方向に沿って延びる第1の領域と、前記長手方向に直交すると共に前記第1の方向に直交する第2の方向から前記第1の領域を挟む一対の第2の領域とを有し、前記一対の第2の領域は、前記長手方向に垂直な断面が、前記第1の領域に関して対称であり、前記定在波の腹に相当する位置において、前記第1の領域の面積が最大となり、且つ、前記第2の領域の面積が最小となり、前記第1の領域及び前記第2の領域が、前記第2の方向において変化せず且つ前記第1の方向において変化することで、前記定在波の腹に相当する位置から節に相当する位置に向かうに従って、前記第1の領域の面積が減少し、前記第2の領域の面積が増加する部分を含む、電子部品の超音波圧接に利用するためのホーンと、圧着面を有する圧着ノズルとを含み、前記第1の方向に沿って延びるノズル収容穴が、前記ホーンの前記断面形状変化部のうち前記第1の領域に形成され、前記圧着ノズルが前記ノズル収容穴に収容されて前記ホーンに取り付けられた状態で、前記圧着ノズルの前記圧着面が前記定在波の腹に相当する位置からオフセットした位置に配置され、前記オフセットした位置は、前記振動子によって付与される振動のうち前記第1の方向の振動成分が前記長手方向における一端から他端までの間で最小となる位置であるか、前記振動子によって付与される振動のうち前記第2の方向の振動成分が前記長手方向における一端から他端までの間で最小となる位置であるか、又は、前記振動子によって付与される振動のうち前記第1の方向の振動成分が前記長手方向における一端から他端までの間で最小となる位置で且つ前記振動子によって付与される振動のうち前記第2の方向の振動成分が前記長手方向における一端から他端までの間で最小となる位置であるホーンユニットと、
前記ホーンユニットの前記圧着ノズルの圧着方向への加圧制御をおこなう加圧手段と
を備える、電子部品を被接合面に圧着してボンディングするためのボンディング装置。
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