JP4858723B2 - フィルム蒸着用ペレット体の製造方法 - Google Patents
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Description
〔請求項1〕
SiO x (1≦x<1.2)で表わされる酸化珪素粉末と二酸化珪素(SiO 2 )粉末とのみからなり、両者の質量混合比SiO 2 /SiO x が0.07≦SiO 2 /SiO x ≦1.0である混合物を最大寸法が2〜50mmの範囲であるペレット状に押出し成形後、非酸化性ガス雰囲気で700〜1,400℃の温度で焼結することを特徴とする主にSiとOとからなり、O含有量が37〜45質量%、BET比表面積0.1〜20m2/g、嵩密度が0.5〜1.5g/cm3、最大寸法が2〜50mmの範囲であるフィルム蒸着用ペレット体の製造方法。
〔請求項2〕
SiOx(1≦x<1.2)で表わされる酸化珪素粉末の平均粒子径が0.3〜100μmであることを特徴とする請求項1記載の製造方法。
〔請求項3〕
二酸化珪素(SiO2)のBET比表面積が30m2/g以上であることを特徴とする請求項1又は2記載の製造方法。
本発明のペレット体は、珪素及び酸素と珪素とからなる酸化珪素、二酸化珪素等の原料粉末を混合した混合物をペレット状に成形後、焼結して得られる主にSiとOとからなる組成物である。
所定の寸法、形状のペレット状とすることで、これらペレット体を容器に入れて蒸発させる際に、各ペレット間の空隙より酸化珪素蒸気が通過し易く、著しく酸化珪素蒸気の蒸発速度が高まる。
平均粒子径5μmの金属珪素粉末と、BET比表面積200m2/gのヒュームドシリカとの等モル混合品5kgを真空炉内に仕込み、真空中1,400℃で5時間反応させ、発生したSiOガスをSUS製基体上に析出させ、SiOx(x=1.03)塊状物を得た。次に、このSiOx(x=1.03)塊状物をボールミルにて粉砕し、平均粒子径8μmのSiOx(x=1.03)粉末を製造した。
表1に示す条件にてペレット体を製造した。得られたペレット体の物性を実施例1と同様にして測定した。結果を表2に示す。次にこのペレット体を用い、実施例1と同様な方法で蒸発テストを行った。結果を表2に併記する。
Claims (3)
- SiO x (1≦x<1.2)で表わされる酸化珪素粉末と二酸化珪素(SiO 2 )粉末とのみからなり、両者の質量混合比SiO 2 /SiO x が0.07≦SiO 2 /SiO x ≦1.0である混合物を最大寸法が2〜50mmの範囲であるペレット状に押出し成形後、非酸化性ガス雰囲気で700〜1,400℃の温度で焼結することを特徴とする主にSiとOとからなり、O含有量が37〜45質量%、BET比表面積0.1〜20m2/g、嵩密度が0.5〜1.5g/cm3、最大寸法が2〜50mmの範囲であるフィルム蒸着用ペレット体の製造方法。
- SiOx(1≦x<1.2)で表わされる酸化珪素粉末の平均粒子径が0.3〜100μmであることを特徴とする請求項1記載の製造方法。
- 二酸化珪素(SiO2)のBET比表面積が30m2/g以上であることを特徴とする請求項1又は2記載の製造方法。
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