JP5533049B2 - 蒸着材料およびその製造方法 - Google Patents
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Description
主として、平均粒径が7μmの一酸化ケイ素粉末を重量%で30%以上使用し、さらに、平均粒径が10μmの金属ケイ素粉末、平均粒径が6μmの二酸化ケイ素粉末を、O/Si比が1.12となるように混合し(実施例1)、またはO/Si比が1.14となるように混合し(実施例2)、水を用いてスラリーを調製し、シリカゾルと塩酸を加えた。
焼成温度が120℃であること以外は実施例1と同様にスラリーを調製し、比較例1の材料を得た。得られた蒸着材料の嵩密度をアルキメデス法にて測定した。また、JIS Z 2246に準拠してショアー硬さを測定した。また、エスアイアイ・ナノテクノロジー(株)製TG/DTA6200示差熱熱重量同時測定装置を用いて重量変化率を測定した。示差熱熱重量同時測定とは、熱重量測定と示差熱分析とを組み合わせて、単一の装置で同時に測定する方法である。具体的には、105±5℃で2時間乾燥し、材料吸着水を取り除いた後、600±25℃で2時間、窒素雰囲気下で行い、強熱減量(物質を強熱(600±25℃2時間)したときの質量の減少量)での重量変化率を求めた。その結果を表1に示す。
また、焼成温度が800℃であること以外は実施例2と同様にスラリーを調製し、比較例2の材料を得た。また、焼成温度が1000℃であること以外は実施例2と同様にスラリーを調製し、比較例3の材料を得た。また、焼成温度が1500℃であること以外は実施例2と同様にスラリーを調製し、比較例4の材料を得た。得られた蒸着材料の嵩密度をアルキメデス法にて測定した。また、JIS Z 2246に準拠してショアー硬さを測定した。また、エスアイアイ・ナノテクノロジー(株)製TG/DTA6200示差熱熱重量同時測定装置を用いて重量変化率を測定した。示差熱熱重量同時測定とは、熱重量測定と示差熱分析とを組み合わせて、単一の装置で同時に測定する方法である。具体的には、105±5℃で2時間乾燥し、材料吸着水を取り除いた後、600±25℃で2時間、窒素雰囲気下で行い、強熱減量(物質を強熱(600±25℃2時間)したときの質量の減少量)での重量変化率を求めた。その結果を表1に示す。
電子ビーム加熱方式のバッチ式蒸着装置を用いて、実施例1・2及び比較例1〜4の蒸着材料を真空蒸着した。これらの蒸着材料を蒸着した際のスプラッシュ現象の有無を、目視にて観察し、表1に示した評価基準に従って評価した。その結果を表1に示す。
Claims (4)
- 水を用いて成型した一酸化ケイ素粉末を含有する蒸着材料において、前記蒸着材料は、金属ケイ素粉末と二酸化ケイ素粉末を含有し、前記蒸着材料のO/Si比が1.00以上1.20以下であり、前記蒸着材料を得るための焼成温度が200℃以上700℃以下であり、強熱減量(物質を強熱(600±25℃2時間)したときの質量の減少量)での重量変化率が1%以下であることを特徴とする電子ビーム加熱蒸着用の蒸着材料。
- 請求項1に記載の蒸着材料について、さらに平均粒径5μm以上15μm以下の金属ケイ素粉末、平均粒径3μm以上10μm以下の二酸化ケイ素粉末のいずれかまたは両方を含有する蒸着材料。
- 一酸化ケイ素粉末と金属ケイ素粉末と二酸化ケイ素粉末を含有する蒸着材料を製造する際に、水を用いて成型する工程と、成型体を乾燥する工程と、成型体を焼成する工程とを含み、成型体を焼成する工程での焼成条件が大気雰囲気であり、かつ焼成温度が200℃以上700℃以下であることを特徴とする蒸着材料の製造方法。
- 請求項3に記載の蒸着材料の製造方法について、成型体を焼成する工程において、材料の酸化による膨張率が1%以上3%以下であることを特徴とする蒸着材料の製造方法。
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