JP2010235966A - SiOx成形体、およびガスバリア性フィルム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ケイ素粉末、一酸化ケイ素粉末、二酸化ケイ素粉末のうち、1又は2以上の粉末からなるSiOx成形体のショアー硬さを10HS以上100HS以下、酸素原子とケイ素原子の元素比(O/Si比)を1.03以上1.30以下にする。特に、SiOx成形体を電子ビーム方式による真空蒸着用材料として用いる場合、少なくとも平面を有することが好ましい。
【選択図】なし
Description
SiO粉末(平均粒径8μm)、水を用いて、ショアー硬さ及びO/Si比が表1に示す数値となるように、スラリーを調整し、このスラリーを型に流し込み、発泡成形した。この成形物を乾燥した後、大気環境800℃で1時間焼成することにより成形体を作製した。
バインダーとしてシリカゾルを添加したこと以外は実施例1と同じ方法で成形体を作製した。
バインダーとしてシリカゾルを添加したこと、アルゴン雰囲気にて1200℃で焼成したこと以外は実施例1と同じ方法で成形体を作製した。
SiO粉末を、水を用いるスラリーとせずにプレス成形したこと以外は、実施例3と同じ方法で成形体を作製した。
SiO粉末にSiO2粉末を混ぜたこと、プレス成形したこと、焼成温度が600℃だったこと以外は、実施例1と同じ方法で成形体の作製を行った。
Si粉末とSiO2粉末を混ぜたこと以外は、実施例3と同じ方法で成形体の作製を行った。
焼成を行わなかったこと以外は、実施例1と同じ方法で成形体の作製を行った。
プレス成形したこと以外は、実施例1と同じ方法で成形体の作製を行った。
焼成温度を800℃としたこと以外は、実施例5と同じ方法で成形体の作製を行った。
SiO粉末にSiO2粉末を混ぜた比率以外は、実施例6と同じ方法で成形体の作製を行った。
SiO粉末にバインダーとしてシリカゾルを添加し、熱間等方加圧法により、アルゴンガスを用いてプレスを実施し、同時に1200℃で焼成することにより成形体の作製を行った。
実施例1〜6、比較例1〜5で作製した成形体について、JIS Z 2246に準拠してショアー硬さ試験を行った。5回測定した結果を表1に示す。また、成形体のO/Si比を、エネルギー分散型X線分光分析装置(JDE−2300 JEOL社製)を用いて求めた。測定した結果を表1に示す。
次に、得られたガスバリア性フィルムの水蒸気透過度(g/m2・day)を水蒸気透過度測定装置(PERMATRAN 3/30、mocon社製)にて40℃90%RHの雰囲気下で測定した。得られた結果を表1に示す。
Claims (5)
- 蒸着用材料のSiOx成形体であって、
ショアー硬さが10HS以上100HS以下であり、酸素原子とケイ素原子の元素比(O/Si比)が1.03以上1.30以下である
ことを特徴とする、SiOx成形体。 - 前記SiOx成形体が、ケイ素粉末、一酸化ケイ素粉末、二酸化ケイ素粉末のうち、1又は2以上の粉末からなることを特徴とする、請求項1に記載のSiOx成形体。
- 前記SiOx成形体が、電子ビーム方式による真空蒸着用材料であることを特徴とする、請求項1又は2に記載のSiOx成形体。
- 前記SiOx成形体が、少なくとも平面を有することを特徴とする、請求項1から3に記載のSiOx成形体。
- 請求項1から4に記載のSiOx成形体を用いてプラスチックフィルム上に蒸着層を形成したことを特徴とする、ガスバリア性フィルム。
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