JP4852786B2 - Iii族窒化物半導体の製造方法及びiii族窒化物半導体素子 - Google Patents
Iii族窒化物半導体の製造方法及びiii族窒化物半導体素子 Download PDFInfo
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【発明の属する技術分野】
本発明はIII族窒化物半導体の製造方法に関する。より詳しくは、不純物イオンの打ち込みによる、ドープ又は組成の変化を生じた領域を有するIII族窒化物半導体の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
シリコン基板の集積回路作製と同様に、III族窒化物半導体に不純物をイオン注入(イオン打ち込み)してp及びn型領域を形成する研究は既に報告がある。例えばJ. C. Zolper, et al., Appl. Phys. Lett.70(20), 19 May 1997, pp.2729-2731及び参考文献に記載がある。これらはいずれもn型領域を形成するためにドナー元素(例えばSi)のみ、p型領域を形成するためにアクセプタ元素(例えばMg)のみ、をイオン注入するものである。イオン注入の後、熱アニールによりイオン注入により新たに生じた結晶欠陥を回復して結晶性を高め、注入原子をGa等III族原子サイトに配置させることで注入原子のドナー或いはアクセプタとしての活性化を図っている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、熱アニールのみではイオン注入により新たに生じた結晶欠陥のすべては回復しない。その結果、イオン注入前よりも結晶欠陥の増大したIII族窒化物半導体となってしまう。また、熱アニールのみでは、注入した原子のドナー或いはアクセプタとしての活性化は十分でない。即ち、注入した原子の活性化率が余り向上しないという問題があった。
【0004】
本発明者らは検討を重ね次のような原因が上記問題に寄与しているものと考えた。第1に、イオン注入に際し、III族窒化物半導体の窒素原子が注入イオンの衝撃で結晶から脱離しやすいこと。また、熱アニールの際にも窒素原子が結晶から脱離しやすいこと。これらにより結晶内の窒素が不足し、窒素空孔による欠陥が多量に発生していること。
【0005】
第2に、イオン注入によって注入した原子は主にIII族窒化物半導体の結晶格子間に入るが、このままではドナー或いはアクセプタとして活性化しないので、Ga等III族原子サイトに配置させる必要がある。しかし、単に熱アニールしたのみでは、注入原子がGa等III族原子サイトではなく窒素サイトに組み込まれる可能性が有り、その場合は所望のキャリア供給源とは成り得ないこと。
【0006】
本発明は上記の課題を解決するために成されたものであり、その目的とするところは、イオン注入による窒素空孔の抑制と、注入した原子のGa等III族原子サイトへの配置の向上したIII族窒化物半導体の製造方法を提供することである。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するため、請求項1に記載の手段は、主たる構成元素以外の元素をイオン注入したIII族窒化物半導体の製造方法において、主たる構成元素以外の、III 族窒化物半導体に対してドナー原子、又は、アクセプタ原子となる不純物元素と、窒素とを、不純物元素の深さ方向の密度分布と、窒素以外の主たる構成元素に比し注入により過剰となった窒素の深さ方向の密度分布が、一致するように、イオン注入することを特徴とするIII族窒化物半導体の製造方法である。
【0008】
「主たる構成元素以外の元素」とは、イオン注入されるIII族窒化物半導体が例えばGaNならば、Ga、N以外の元素をいい、Si、Ge、Mg、Zn、Al、Inほかいずれの元素でも良い。
【0009】
またこの場合、主たる構成元素Ga、N以外の元素を複数打ち込む場合も当然本願請求項1に包含される。本願請求項1の発明は、任意の構成のIII族窒化物半導体(AlxGayIn1-x-yN、x≧0、y≧0、x+y≦1)に適用される。
【0010】
「窒素以外の主たる構成元素に比し過剰となった窒素の深さ方向の密度分布」とは、イオン注入されるIII族窒化物半導体が例えばGaNならば、もともとあるべきGaとNは密度分布は略同一であったものが、窒素をイオン注入することによりGaよりもNの密度分布は大きくなる、その差をいう。
【0011】
また、請求項2に記載の手段は、請求項1に記載のIII族窒化物半導体の製造方法において、不純物元素と窒素のイオン注入ののち、保護膜を形成して1000℃以上の温度でアニールすることを特徴とする。
【0012】
また、請求項3の発明は、主たる構成元素以外の元素と窒素とをイオン注入したIII族窒化物半導体において、主たる構成元素以外の、III 族窒化物半導体に対してドナー原子、又は、アクセプタ原子となる不純物元素の深さ方向の密度分布と、窒素以外の主たる構成元素に比し注入により過剰となった窒素の深さ方向の密度分布が一致することを特徴とするIII族窒化物半導体である。
【0013】
【0014】
【0015】
【作用及び発明の効果】
所望の元素とともに窒素をイオン注入するので、イオン注入により窒素原子が抜けるなどして窒素原子が不足となるのを補償することができる。これにより、イオン注入した領域において、窒素原子数と、イオン注入した所望の元素の原子数とIII族の原子数の差が大きく異なることがなくなり、窒素空孔の発生が抑えられ、イオン注入した所望の元素がIII族元素サイトに配置する。主たる構成元素以外の元素と窒素のイオン注入ののち、保護膜を形成して1000℃以上の温度でアニールすれば、窒素空孔の発生が抑えられ、イオン注入した所望の元素がIII族元素サイトに配置することが確実となる。このとき、所望の元素の深さ方向の密度分布と、注入により窒素以外の主たる構成元素に比し過剰となった窒素の深さ方向の密度分布が、略一致するようにすれば、窒素原子数と、イオン注入した所望の原子数とIII族の原子数の和が略等しくなり、更に効果が増す。
【0016】
イオン注入する元素がドナー又はアクセプタであれば、高い活性化率を有するn型領域、p型領域を形成することができる。
【0017】
上記のようなイオン注入により、高性能のIII族窒化物半導体素子を得ることができる。この場合、注入イオンの役割は伝導型に限らず、発光素子、受光素子その他の半導体素子としての様々なドーパントに応用できる。特にn型領域、p型領域を所望の位置に形成することができるので、III族窒化物半導体基板又は任意基板上のIII族窒化物半導体厚膜上に、エピタキシャル成長をともなわずに各種所望の高性能のIII族窒化物半導体素子を得ることができる。それらはダイオード、トランジスタその他の回路素子又はそれらを集積した素子とすることができる。勿論、本願発明の工程により所望の元素がイオン注入された領域上にIII族窒化物半導体層をエピタキシャル成長させても、或いは、エピタキシャル成長により多数の半導体層を重ねて形成したその上に、本願発明の工程により所望の元素がイオン注入された領域を形成しても良い。
【0018】
【発明の実施の形態】
〔第1実施例−本願の効果の証拠〕
本発明の具体的な第1の実施例として、ノンドープの高抵抗GaN表面に、次のように条件を変えてGeをイオン注入し、熱アニールを施した。
【0019】
サファイア基板上に有機金属成長法(MOCVD)を用いた周知の方法によりGaNを2μmの厚さに形成した。このGaN膜は不純物のドープを行わず、高抵抗を示した。このGaN表面に、図1の試料番号1〜8の条件でGe+及びN+をイオン注入した。Ge+及びN+は、イオン注入する場合はドーズ量を1×1015cm-2とし、加速電圧をそれぞれ図1の条件とした。次にイオン注入した面をSiO2で被膜し、水素雰囲気中、1300℃で熱アニールを行った。この時の熱アニール時間は、図1に示すとおり、5分又は2分で行った。この後、1cm2のチップに裁断し、ホール効果によるキャリア密度測定を行った。いずれもn伝導型を示し、図1の「シートキャリア密度(単位cm-2)」の欄の通りとなった。ここからGe原子の活性化率(注入したGe原子数に対する発生したキャリア数)を図1の通り求めた。
【0020】
また、熱アニール前に試料番号1乃至4について、チップの一部を裁断して、深さ(単位nm)に対する注入Ge原子及びN原子の分布を測定した。この結果を図2に濃度(単位cm-2)として示した。
【0021】
尚、図1及び図2で、試料番号2、3、4及び8が本発明の実施(Ge+及びN+をイオン注入)にかかり、他の試料番号1(Ge+のみイオン注入)、5(Ge+もN+もイオン注入しない)、6(N+のみイオン注入)及び7(Ge+のみイオン注入)は比較例である。
【0022】
図1から、次のことが言える。まず、本発明の実施例(Ge+及びN+をイオン注入)に係る試料番号2、3、4の順に、不純物Ge原子の高い活性化率92%、64%、60%を得た。試料番号1(Ge+のみイオン注入)のシートキャリア密度は3.3×1014cm-2と高く、見かけの活性化率は82%と計算できるが、それは試料番号5(Ge+もN+もイオン注入しない)の高いシートキャリア密度1.0×1014cm-2(窒素空孔によるドナー発生)との差がGe原子によるキャリア発生と見るべきであり、これにより活性化率は57%とすべきである。尚、試料番号6(N+のみイオン注入)から、窒素注入の場合の窒素空孔によるドナー発生は、試料番号2、3、4におけるGe原子によるキャリア発生よりも1けた小さいと言える。試料番号2、3、4の活性化率の算出においても試料番号6の結果による補正を行った。また、熱アニール時間の短い試料番号7、8においては、試料番号1、4との比較において、1けた小さいキャリア密度となっている。これは、そもそもアニール不十分により結晶内原子の再配置が完結せず、伝導度が下がったものと言うことができる。
【0023】
試料番号2、3、4(本発明の実施例)及び試料番号1(比較例)の活性化率の差については図2から、次のとおり説明できる。熱アニール前において、試料番号2、3、4(本発明の実施例)及び試料番号1(比較例)は、Ge+イオンのドーズ量と加速電圧が同じであり、Ge原子の深さ方向の分布にほとんど差がないことがわかる。一方、試料番号2、3、4(本発明の実施例)において、N+イオンのドーズ量を一定として、加速電圧を変化させたので、N原子の深さ方向の分布には大きな差が生じたことがわかる。。
【0024】
試料番号2(本発明の実施例)においては注入したGe原子の深さ方向の分布と、N原子の深さ方向の分布とがほぼ一致していることがわかる。これに比して、試料番号3(本発明の実施例)、試料番号4(本発明の実施例)の順に、Ge原子の深さ方向の分布とN原子の深さ方向の分布がずれ、注入されたGe原子とN原子の数(又は密度)がどの深さにおいても大きく乖離していく様子がわかる。実質的に、Ge原子の存在する深さにおいて、試料番号3、4(本発明の実施例)は、試料番号2(本発明の実施例)よりも試料番号1(比較例)に近いものとなっている。ここから図1に示した活性化率の差は、深さに対して注入されたGe原子とN原子の数(密度)の一致の度合いが大きいほど活性率が高く、一致の度合いが小さいほど活性率が低いものとして説明できる。即ち、深さに対して注入された原子(III族窒化物半導体構成元素以外の原子)とN原子の数(密度)の一致の度合いが大きいほど、熱アニール等により注入された原子のGaサイトへの配置が確実となり、且つ熱アニール等により窒素空孔を生じることが少なくなる。
【0025】
このように、図1及び図2示す結果から、本願発明の効果が証明された。即ち、III族窒化物半導体に主たる構成元素以外の元素をイオン注入する際、窒素をイオン注入することで、注入された構成元素以外の原子のGaサイトへの配置が確実とすることができ、また、窒素空孔を生じることも抑制できる。熱アニール等は十分に行うことがよく、窒素脱離を防ぐためマスクを形成して1000℃以上の温度で熱アニールすることが望ましい。また、注入された構成元素以外の原子と窒素とは、深さ方向の密度分布が略一致することが望ましい。
【0026】
〔第2実施例〕
III族窒化物半導体に対しアクセプタ(p型不純物)として働く元素としてMgを用い、耐圧を向上させる為のガードリングを形成したショットキーダイオード200を次のように作製し、本願発明効果を調べた。尚、図3にショットキーダイオード200の断面図を示す。
【0027】
サファイア基板21上に厚さ4μmのアンドープGaN22を形成した。このGaN22はn型を示し、キャリア濃度は2×1016cm-3であった。このn-GaN22上に300nm厚のアルミニウム(Al)膜を真空蒸着により形成したのち、フォトリソグラフィにより内径250μm、外径350μmのドーナツ状の窓を開け、n-GaN膜22面を露出させた。このドーナツ状のn-GaN膜22面に、Mg+イオンをドーズ量1×1014cm-2、注入エネルギー20〜400keVにてイオン注入し、加えて、N+イオンをドーズ量1×1014cm-2、注入エネルギー20〜200keVにてイオン注入した。尚、これによりMgとNは深さ約0.5μmまで略同一の密度分布で注入された。
【0028】
次にAl膜を酸で除去し、CVD法によりSiO2膜を500nmの厚さでn-GaN膜22全面に形成した。次に水素雰囲気中1300℃で5分アニールし、MgのGaサイトへの配置とアクセプタとしての活性化を行った。こうして、n-GaN膜22表層にドーナツ状のp-GaN:Mg領域23が形成された。
【0029】
次に、p-GaN:Mg領域23を含めn-GaN膜22全面にAlを500nmの厚さに蒸着し、p-GaN:Mg領域23と同心円状に直径500μmの窓を開けてp-GaN:Mg領域23を含めたn-GaN膜22面を露出させた。これを窒素雰囲気中300℃でアニールし、直径500μmの窓を有するAl膜24をn-GaN膜22のオーミック電極とした。次に、p-GaN:Mg領域23の一部を覆い且つ同心円状に直径300μm、膜厚100nmのPt膜251を形成し、Pt膜上に膜厚500nmのAl膜252を形成してショットキー電極25とした。こうして作製したショットキーダイオード200の構成を図3に示す。比較例として、N+イオンを注入しないで、p-GaN:Mg領域239を形成する他は同様としたショットキーダイオード209と、p-GaN:Mg領域239を形成せず、n-GaN22に直径500μmの窓を有するAl膜24(オーミック電極)と同心円状に直径300μm、膜厚100nmのPt膜251、膜厚500nmのAl膜252からなるショットキー電極25のみ形成したショットキーダイオード299についても作製した。
【0030】
これらショットキーダイオード200(本実施例)並びに209及び299(比較例)のIV特性を図4に示す。図4から、p-GaN:Mg領域23形成に際し、N+イオンをMgとNを略同一の密度分布となるよう注入したのち熱アニールした本実施例に係るショットキーダイオード200は、逆方向電位に対し、200V以上の耐圧を有することがわかる。一方、比較例に係るショットキーダイオード209(p-GaN:Mg領域239あり、N+イオン注入せず)は150V、ショットキーダイオード299(p-GaN:Mg領域無し)は100Vの逆方向電位耐圧しか有さない。この結果は、ショットキーダイオード200において、低抵抗p型層が形成されることによりショットキー電極25エッジ部での電界集中が緩和されたことを示しており、本願発明により、p-GaN:Mg領域のMgの活性化率が向上したことを意味する。
【0031】
本願発明の効果は、窒素をイオン注入しないものに比し、窒素のドーズ量がGeに対し1/10から1/100程度の場合でも一定の効果が見られた。このように、窒素のイオン注入は、単にn型又はp型の伝導度を向上させるのではなく、III族窒化物半導体結晶格子のIII族原子サイトへの注入原子の配置を促進させ、窒素空孔発生の抑制をもたらすものである。よって、n型不純物(例えばSi、Ge)、p型元素(例えばBe、Mg、Ca、Zn)の他、例えば発光中心として働く元素(例えばEr、Euなどの希土類元素、Mnなどのその他の遷移元素)、絶縁性を高めるための元素(例えばCr、Fe、V、Niなどの深いアクセプタ準位を形成する元素)の導入など、あらゆる目的について、III族窒化物半導体へのイオン注入に適用できる。
【0032】
上記第2実施例ではショットキーダイオードにより本願発明の効果を説明したが、本願発明に係るIII族窒化物半導体の製造方法は、任意の不純物がイオン注入された領域を有するIII族窒化物半導体に適用できるのであり、これを用いることのできる半導体素子は、およそIII族窒化物半導体を用いる全ての半導体素子である。即ち、III族窒化物半導体を用いた、ダイオード、バイポーラトランジスタ、MOSFET他ユニポーラトランジスタ、任意のpn接合素子、発光素子、受光素子及びそれらを集積した集積回路が、本願発明に係るIII族窒化物半導体素子に包含される。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の第1実施例におけるイオン注入条件等とGe原子の活性化率の関係を示す表図。
【図2】 本発明の第1実施例における、異なる4つのイオン注入条件による注入されたGe原子及びN原子の密度分布。
【図3】 本発明の第2実施例における、ショットキーダイオードの構成を示す断面図。
【図4】 本発明の第2実施例におけるショットキーダイオードのIV特性を、比較例と共に示したグラフ図。
【符号の説明】
2、3、4、8 本発明の第1の実施例に係るイオン注入によりn型領域を形成したIII族窒化物半導体試料
1、5、6、7 本発明の第1の実施例と比較するためのIII族窒化物半導体試料
200 本発明の第2の実施例に係るIII族窒化物半導体素子
209 比較のためのIII族窒化物半導体素子
299 比較のための別のIII族窒化物半導体素子
21 基板
22 ノンドープのn-GaN膜
23 p-GaN:Mg領域(N+注入有り)
239 p-GaN:Mg領域(N+注入無し)
24 Al電極(オーミック接触)
251 Pt膜
252 Al膜
25 ショットキー電極
Claims (3)
- 主たる構成元素以外の元素をイオン注入したIII族窒化物半導体の製造方法において、
前記主たる構成元素以外の、前記III 族窒化物半導体に対してドナー原子、又は、アクセプタ原子となる不純物元素と、窒素とを、前記不純物元素の深さ方向の密度分布と、窒素以外の主たる構成元素に比し注入により過剰となった窒素の深さ方向の密度分布が、一致するように、イオン注入することを特徴とするIII族窒化物半導体の製造方法。 - 前記不純物元素と窒素のイオン注入ののち、保護膜を形成して1000℃以上の温度でアニールすることを特徴とする請求項1に記載のIII族窒化物半導体の製造方法。
- 主たる構成元素以外の元素と窒素とをイオン注入したIII族窒化物半導体において、
前記主たる構成元素以外の、前記III 族窒化物半導体に対してドナー原子、又は、アクセプタ原子となる不純物元素の深さ方向の密度分布と、窒素以外の主たる構成元素に比し注入により過剰となった窒素の深さ方向の密度分布が一致することを特徴とするIII族窒化物半導体。
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