JP4838531B2 - 板状体切断方法並びにレーザ加工装置 - Google Patents
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- パルス圧縮器によりパルスエネルギーを時間的に圧縮され、400nm〜1.1μmの範囲の吸収領域に属する1つの波長を有するレーザビームと、パルス圧縮器によりパルスエネルギーを時間的に圧縮され、1.3μm〜1.7μmの範囲の透過領域に属する少なくとも1つの波長を有する少なくとも1種類のレーザビームとを同時に集光して板状体に照射し、
該板状体の表面部に吸収領域に属する波長を有するレーザビームの集光点を形成するとともに、該板状体の内部に透過領域に属する波長を有する少なくとも1種類のレーザビームの少なくとも1つの集光点を形成し、
切断方向に沿ってレーザビームを走査することで板状体を切断する板状体の切断方法。 - パルス圧縮器によりパルスエネルギーを時間的に圧縮され、400nm〜1.1μmの範囲の吸収領域に属する1つの波長を有するレーザビームと、パルス圧縮器によりパルスエネルギーを時間的に圧縮され、1.3μm〜1.7μmの範囲の透過領域に属する少なくとも1つの波長を有する少なくとも1種類のレーザビームとを同時に集光して板状体に照射し、
該板状体の表面部に吸収領域に属する波長を有するレーザビームの集光点を形成するとともに、該板状体の内部に透過領域に属する波長を有する少なくとも1種類のレーザビームの少なくとも1つの集光点を形成し、
切断方向に沿ってレーザビームを走査し、
その後に機械的外力を加えてレーザビームによる加工軌跡に沿って板状体を切断する板状体の切断方法。 - 吸収領域に属する波長を有するレーザビームの波長が780nmであることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の板状体の切断方法。
- 吸収領域に属する波長を有するレーザビームのエネルギーと、透過領域に属する波長を有する少なくとも1種類のレーザビームのそれぞれのエネルギーとの比率を任意に変更できることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の板状体の切断方法。
- 吸収領域に属する波長を有するレーザビームのパルスを、透過領域に属する波長を有する少なくとも1種類のレーザビームのパルスよりも所定の時間だけ遅延させて板状体に照射することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の板状体の切断方法。
- パルスレーザビームを出力するレーザ発振器と、
入力されるパルスレーザビームのパルスエネルギーを時間的に圧縮して、短パルスのレーザビームを出力するパルス圧縮器と、
短パルスのレーザビームが入射される非線形光学結晶を有し、非線形光学結晶を光励起して波長変換を行うことにより、400nm〜1.1μmの範囲の吸収領域に属する1つの波長を有する短パルスのレーザビームと、1.3μm〜1.7μmの範囲の透過領域に属する少なくとも1つの波長を有する少なくとも1種類の短パルスのレーザビームとを同一の光軸を有するように同時に出力する光パラメトリック増幅器と、
光パラメトリック増幅器から照射されて吸収領域に属する波長を有する短パルスのレーザビームと、光パラメトリック増幅器から照射されて透過領域に属する波長を有する少なくとも1種類の短パルスのレーザビームとを同時に集光する集光光学系とを有して構成されることを特徴とするレーザビーム発生装置。 - 吸収領域に属する波長を有するレーザビームの波長が780nmであることを特徴とする請求項6に記載のレーザビーム発生装置。
- 集光光学系をレーザビームの光軸方向に移動可能としたことを特徴とする請求項6に記載のレーザビーム発生装置。
- 吸収領域に属する波長を有するレーザビームのエネルギーと、透過領域に属する波長を有する少なくとも1種類のレーザビームのそれぞれのエネルギーとの比率を任意に変更できることを特徴とする請求項6に記載のレーザビーム発生装置。
- 吸収領域に属する波長を有するレーザビームのパルスを、透過領域に属する波長を有する少なくとも1種類のレーザビームのパルスよりも所定の時間だけ遅延させて出力することを特徴とする請求項6に記載のレーザビーム発生装置。
- 吸収領域に属する波長としてTi(チタン)添加のサファイヤレーザの基本波発振波長を用いることを特徴とする請求項6に記載のレーザビーム発生装置。
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