JP4836009B2 - はんだ合金、はんだボールおよびそれを用いたはんだ接合部 - Google Patents
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Description
本発明は、電子部品等のはんだ付けに使用されるはんだ合金、はんだボールおよびはんだ接合部に関するものである。
近年、携帯電話などのモバイル機器における実装面積の減少に伴って、半導体パッケージも小型化の傾向にあり、半導体パッケージをマザーボードに接続する実装形態も、従来のリードを用いた周辺端子型から格子状に電極端子を形成したタイプへと変遷している。代表的なものがBGA(Ball Grid Array)であるが、その電極は、球状に成形されたはんだ(つまり、はんだボール)を用いてマザーボードに接続される。
半導体パッケージには種々の外力が加えられるが、モバイル機器特有の外力として、落下衝撃が挙げられる。これはモバイル機器を使用したり持ち運んだりする際に、不注意で落としてしまうことがある。従来の周辺端子型パッケージでは、このような外力をリードが変形することで緩和することができた。一方、BGAの場合、リードを介さずはんだボールにより直接マザーボートに接合されるため、半導体パッケージやマザーボードを破損させないためにははんだ接合部が外力を吸収する必要がある。結果として、落下衝撃が負荷されたときのはんだ接合信頼性が、モバイル機器の寿命を高める上で極めて重要となっている。
一方、EUのRoHS(The restriction of the use of certain hazardous substances)指令に代表される近年の環境問題への取り組みの一つとして、はんだのPbフリー化が世界的に進められており、従来用いられてきたSn−Pb共晶はんだの使用が禁止になりつつある。代替はんだの主たるものとして、Sn−3Ag−0.5Cu(mass%)やSn−3.5Ag−0.75Cu(mass%)といった、Sn基合金が挙げられる。
Snの融点が232℃であるのに対し、AgおよびCuを添加することで、その融点を220℃付近まで下げることが可能であり、これによってはんだ付け温度を低くして半導体パッケージの熱的損傷を抑えることができる。ただし、Sn中のAgやCuは、Snと金属間化合物を形成することではんだを硬化させることから、従来のSn−Pb共晶はんだと比較して延性に乏しい。結果として、モバイル機器を落とした際に、はんだ接合界面で容易に破断することが深刻な問題となっており、耐落下衝撃性に優れたPbフリーはんだに対するニーズが急速に高まっている。
Snの融点が232℃であるのに対し、AgおよびCuを添加することで、その融点を220℃付近まで下げることが可能であり、これによってはんだ付け温度を低くして半導体パッケージの熱的損傷を抑えることができる。ただし、Sn中のAgやCuは、Snと金属間化合物を形成することではんだを硬化させることから、従来のSn−Pb共晶はんだと比較して延性に乏しい。結果として、モバイル機器を落とした際に、はんだ接合界面で容易に破断することが深刻な問題となっており、耐落下衝撃性に優れたPbフリーはんだに対するニーズが急速に高まっている。
はんだ接合部の耐衝撃性を改善する方法として、次の二つが考えられる。一つは、はんだの延性を改善して変形能を高めることであり、はんだ中のAgやCuの含有量を低減することで行われている。合金元素の添加量としては、Sn中に、Agを3.5mass%、Cuを0.75mass%添加することで融点が最も低い共晶組成となる。しかし、AgはCuよりも融点を下げるために多量に添加する必要があり、はんだを硬化させるという問題があった。そこで、特許文献1や特許文献2では、Agを含まないあるいは微量のAgを含むSn−Cu合金を使用することで、はんだの機械的特性の改善を行っている。
もう一つの方法として、はんだ接合界面の強度を改善することが考えられる。例えば、特許文献1では、Cuが0.7mass%以上のSn−Cu合金をNi上にはんだ付けした際に、接合界面に形成されるCu−Ni−Sn化合物がNiから剥離せず、安定した接合が得られることを報告している。さらに、特許文献1では、Cu電極上にCuを多く含むはんだを接合した場合、Cu電極の食われを抑制することができ、接合強度が改善されることを明らかにしている。
また、接合強度を改善する別の方法としては、特許文献3で開示されるように、Sn−Ag−Cu−Ni系はんだでは、Ag:0.5〜5.0mass%、Cu:0.3〜1.5mass%、Ni:0.05〜1.0mass%を含み、残部Sn及び不可避的不純物からなるはんだ合金が提案されており、このはんだはNi電極に接合することで不規則な層の界面化合物を形成し、この層がアンカー効果を奏することで界面における破断発生確率を抑え、接合強度を改善している。特許文献3では、Ag:1.0mass%、Cu:0.5mass%、Ni:0.1mass%を含み、残部Sn及び不可避的不純物からなるはんだ合金で具体的にその効果が確認されている。
特開平11−221695号公報
特開2000−190090号公報
特開2003−230980号公報
もう一つの方法として、はんだ接合界面の強度を改善することが考えられる。例えば、特許文献1では、Cuが0.7mass%以上のSn−Cu合金をNi上にはんだ付けした際に、接合界面に形成されるCu−Ni−Sn化合物がNiから剥離せず、安定した接合が得られることを報告している。さらに、特許文献1では、Cu電極上にCuを多く含むはんだを接合した場合、Cu電極の食われを抑制することができ、接合強度が改善されることを明らかにしている。
また、接合強度を改善する別の方法としては、特許文献3で開示されるように、Sn−Ag−Cu−Ni系はんだでは、Ag:0.5〜5.0mass%、Cu:0.3〜1.5mass%、Ni:0.05〜1.0mass%を含み、残部Sn及び不可避的不純物からなるはんだ合金が提案されており、このはんだはNi電極に接合することで不規則な層の界面化合物を形成し、この層がアンカー効果を奏することで界面における破断発生確率を抑え、接合強度を改善している。特許文献3では、Ag:1.0mass%、Cu:0.5mass%、Ni:0.1mass%を含み、残部Sn及び不可避的不純物からなるはんだ合金で具体的にその効果が確認されている。
このように、Sn−Cu合金はSnよりも融点が低く、はんだ付け時の半導体パッケージの熱的損傷を抑えることができる上、Ni電極やCu電極に接合された場合に安定した接合強度を示すといった利点がある。
しかしながら、特許文献1および2のSn−Cu系合金は、Cu含有量が高いSn−Cu合金がNi電極に接合された場合、半導体パッケージの発熱等により長時間高い温度に曝されると、Cu−Ni−Sn化合物が厚く成長し、かえって接合強度が損なわれることがわかった。
また、Sn−Cu合金に耐衝撃性を損なわない程度の微量のAgを添加したはんだ合金では、高温環境下においてCu−Ni−Sn化合物の成長を抑制できるものの、安定した接合強度を得るところまでには至っていない。
しかしながら、特許文献1および2のSn−Cu系合金は、Cu含有量が高いSn−Cu合金がNi電極に接合された場合、半導体パッケージの発熱等により長時間高い温度に曝されると、Cu−Ni−Sn化合物が厚く成長し、かえって接合強度が損なわれることがわかった。
また、Sn−Cu合金に耐衝撃性を損なわない程度の微量のAgを添加したはんだ合金では、高温環境下においてCu−Ni−Sn化合物の成長を抑制できるものの、安定した接合強度を得るところまでには至っていない。
さらには、特許文献3に具体的に開示されている、Sn−1.0Ag−0.5Cu−0.1Ni、Sn−1.5Ag−0.5Cu−0.1Ni、Sn−2.5Ag−0.5Cu−0.1Ni、Sn−3.0Ag−0.5Cu−0.1Ni、Sn−4.0Ag−0.5Cu−0.1Ni、Sn−2.5Ag−1.0Cu−0.1Ni(mass%)はんだ合金がNi電極に接合された場合、100時間程度の短時間に高温環境下へ曝された環境でのはんだ接合部は、Cu−Ni−Sn化合物の成長が生じないことで接合強度を維持できる。しかし、500時間以上の長時間に高温環境下へ曝されたはんだ接合部は、Cu−Ni−Sn化合物の著しい成長が生じ、この成長した化合物はアンカー効果を奏することができないため、接合強度を損なってしまう。
本発明の目的は、耐落下衝撃性に優れ、長時間の高温環境下における接合強度の低下を抑制したPbフリーはんだ合金、はんだボール、およびはんだ接合部を提供することにある。
本発明者らは、Sn−Cu合金に厳密に制御した量のAgおよびNiを添加することにより、高温環境下に長時間放置された場合にも十分な接合強度を維持できることを見出し、本発明に到達した。
かくして、本発明によれば、以下のはんだ合金が提供される。
mass%で0.1〜1.5%のAgと、mass%で0.5〜0.75%のCuと、mass%で12.5≦Cu/Ni≦100の関係を満たすNiと、残部Sn及び不可避的不純物からなるはんだ合金。
好ましくは、前記はんだ合金は、mass%で0.3〜1.2%のAgを含む。
また、好ましくは、前記はんだ合金は、mass%で0.01〜0.04%のNiを含む。
本発明のはんだ合金は、球状化されて、はんだボールとして使用できる。
また本発明のはんだ接合部は、はんだ合金はNi電極に接合されてなるはんだ接合部として好適である。
mass%で0.1〜1.5%のAgと、mass%で0.5〜0.75%のCuと、mass%で12.5≦Cu/Ni≦100の関係を満たすNiと、残部Sn及び不可避的不純物からなるはんだ合金。
好ましくは、前記はんだ合金は、mass%で0.3〜1.2%のAgを含む。
また、好ましくは、前記はんだ合金は、mass%で0.01〜0.04%のNiを含む。
本発明のはんだ合金は、球状化されて、はんだボールとして使用できる。
また本発明のはんだ接合部は、はんだ合金はNi電極に接合されてなるはんだ接合部として好適である。
本発明により、高温環境下において(Cu,Ni)6Sn5化合物の1種類以外の形成をできるだけ防ぐことで接合強度を維持できるため、モバイル機器の使用中の温度上昇に対しても高い接続信頼性を維持できる。
前記のとおり、本発明のはんだ合金の重要な特徴は、Sn−Cu合金の耐衝撃性を阻害しないように、AgおよびNiの添加量を最適化して、Cu電極はもちろんNi電極に適用した場合でも、接合界面に形成される(Cu,Ni)とSn化合物の成長を抑え、可能な限り、(Cu,Ni)6Sn5化合物のみを形成することにより十分な接合強度を維持できることを見出したことにある。
本発明者の検討によれば、Sn−Cu−Ag−Ni合金において、Niの添加量が多すぎると、高温環境下において接合界面に(Cu,Ni)6Sn5と(Ni,Cu)3Sn4の二層の化合物を形成することがある。このはんだ接合部について接合強度試験を実施すると、(Cu,Ni)6Sn5と(Ni,Cu)3Sn4の界面で剥離し、かえって接合強度が損なわれることがわかった。そのため、各添加元素を厳密に制御したものである。以下に各添加元素の規定理由を説明する。
Cu:0.5〜0.75mass%
CuをSnに添加することで融点が下がるが、0.5mass%未満の場合はその効果が小さい。例えば、Cu電極の場合、はんだ付け時に0.8mass%程度までCu電極がSn中に溶け込むが、0.5mass%以上であれば、Cu電極の食われも小さく、接合強度の低下を抑制するには十分な量である。
また、Cuの添加は、0.75mass%を超えると融点の上昇を招き、はんだ付け温度を高める必要があるため、半導体パッケージの熱的損傷を与えてしまう。
例えば、0.75mass%を超えると、Cuが過剰になり、接合界面だけでなくはんだ内にも粗大なCu−Ni−Sn化合物が形成され、はんだの延性が損なわれる。
CuをSnに添加することで融点が下がるが、0.5mass%未満の場合はその効果が小さい。例えば、Cu電極の場合、はんだ付け時に0.8mass%程度までCu電極がSn中に溶け込むが、0.5mass%以上であれば、Cu電極の食われも小さく、接合強度の低下を抑制するには十分な量である。
また、Cuの添加は、0.75mass%を超えると融点の上昇を招き、はんだ付け温度を高める必要があるため、半導体パッケージの熱的損傷を与えてしまう。
例えば、0.75mass%を超えると、Cuが過剰になり、接合界面だけでなくはんだ内にも粗大なCu−Ni−Sn化合物が形成され、はんだの延性が損なわれる。
Cuの添加量に対して12.5≦Cu/Ni≦100の関係式を満たすNi
Cuが12.5Niより少ない場合、高温環境下において(Cu,Ni)6Sn5化合物が単独で存在することが困難となり、(Ni,Cu)3Sn4化合物も析出する。そのため、接合強度試験を実施すると、(Cu,Ni)6Sn5と(Ni,Cu)3Sn4の界面で剥離し、接合強度が損なわれることになる。一方、Cuが100Niを超える場合、Cu−Ni−Sn化合物中のNiの占める割合が少ないため、Cu−Ni−Sn化合物の成長を抑えることができなくなり、接合強度を維持することは困難である。
また、本発明のはんだ合金における厳密に制御されたNiはSnと化合物を形成するため、Cu−Ni−Sn化合物へとり込まれ、(Cu,Ni)6Sn5化合物以外の形成を防ぐことによって、強度低下を抑えることが可能である。
また、好ましくは、Niは、0.01〜0.04mass%添加すると良い。
Cuが12.5Niより少ない場合、高温環境下において(Cu,Ni)6Sn5化合物が単独で存在することが困難となり、(Ni,Cu)3Sn4化合物も析出する。そのため、接合強度試験を実施すると、(Cu,Ni)6Sn5と(Ni,Cu)3Sn4の界面で剥離し、接合強度が損なわれることになる。一方、Cuが100Niを超える場合、Cu−Ni−Sn化合物中のNiの占める割合が少ないため、Cu−Ni−Sn化合物の成長を抑えることができなくなり、接合強度を維持することは困難である。
また、本発明のはんだ合金における厳密に制御されたNiはSnと化合物を形成するため、Cu−Ni−Sn化合物へとり込まれ、(Cu,Ni)6Sn5化合物以外の形成を防ぐことによって、強度低下を抑えることが可能である。
また、好ましくは、Niは、0.01〜0.04mass%添加すると良い。
Ag:0.1〜1.5mass%
Agの添加により融点が低下するとともに、固−液共存域を広げることが可能であるが、0.1mass%未満の場合、それらの効果はほとんど期待できない。0.1mass%以上になると、それらの効果が得られるが、1.5mass%を超えて添加すると、はんだ中にSnと金属間化合物を形成することで硬化し、耐落下衝撃性が損なわれる上、Sn−Ag−Cu三元共晶組成に近くなり、固−液共存域が縮小する。
好ましいAgの量は0.3〜1.2mass%であり、はんだの延性を損ねることなく固−液共存域を十分に拡大することが可能であり、表面肌の改善に有効である。また、例えば、Ni電極に接合した場合において、Ni電極上のCu−Ni−Sn化合物の成長を阻害するピンニング効果が有効に発揮され、高温環境下での強度低下を抑える。
また、AgはSnとの金属間化合物、具体的にはAg3Snを形成し、はんだ中に分散して存在するため、Cu−Ni−Sn化合物が成長する際にピンニング効果を発揮し成長を遅延させる。
Agの添加により融点が低下するとともに、固−液共存域を広げることが可能であるが、0.1mass%未満の場合、それらの効果はほとんど期待できない。0.1mass%以上になると、それらの効果が得られるが、1.5mass%を超えて添加すると、はんだ中にSnと金属間化合物を形成することで硬化し、耐落下衝撃性が損なわれる上、Sn−Ag−Cu三元共晶組成に近くなり、固−液共存域が縮小する。
好ましいAgの量は0.3〜1.2mass%であり、はんだの延性を損ねることなく固−液共存域を十分に拡大することが可能であり、表面肌の改善に有効である。また、例えば、Ni電極に接合した場合において、Ni電極上のCu−Ni−Sn化合物の成長を阻害するピンニング効果が有効に発揮され、高温環境下での強度低下を抑える。
また、AgはSnとの金属間化合物、具体的にはAg3Snを形成し、はんだ中に分散して存在するため、Cu−Ni−Sn化合物が成長する際にピンニング効果を発揮し成長を遅延させる。
本願発明のはんだ合金は、種々の合金電極に接合することが可能である。これは、種々の合金電極に接合された場合、Cu−Ni−Sn化合物が高温環境に曝された場合も、AgがSnと化合物を形成することでピンニング効果を発揮するとともに、高温環境下での接合強度の低下を縮小できるためである。
また、Cu電極に接合された場合のはんだは、はんだ中のCuが0.5mass%以上含まれるので、Cu電極の食われも小さく、接合強度を維持できる。
Ni電極に接合された場合においては、Ni電極上に形成されるNi電極の表面に、Niの酸化を抑制し、はんだ濡れ性を改善する目的でAuやPdなどの金属層が形成される場合があるが、この場合にも同様の効果が得られる。
また、Cu電極に接合された場合のはんだは、はんだ中のCuが0.5mass%以上含まれるので、Cu電極の食われも小さく、接合強度を維持できる。
Ni電極に接合された場合においては、Ni電極上に形成されるNi電極の表面に、Niの酸化を抑制し、はんだ濡れ性を改善する目的でAuやPdなどの金属層が形成される場合があるが、この場合にも同様の効果が得られる。
Sn−Cu合金へAgおよびNiを添加した合金を作製した後、直径0.3mmのはんだボールを成形した。評価したはんだ組成を表1に示す。成形には均一液滴噴霧法を用いた。均一液滴噴霧法とは、るつぼ内ではんだ合金を溶解し、溶融はんだをるつぼから排出することにより微小球を製造する方法であり、排出する際に溶融はんだに振動を付与することで、排出された溶融金属を体積の均一な微小球とする方法である。尚、該成形方法における冷却速度は約100℃/sであった。比較例1のSn−Ag−Cu系はんだは、Niの添加有無による特性比較を行なうために用意した。比較例2には特許文献3に開示されるはんだ合金を用意した。
電解Ni/Auめっきした電極(以降、Ni電極と称す)に、表1に示す直径0.3mmのはんだボールを用いてはんだバンプを形成し、はんだ接合信頼性を評価した。ここで、電極の直径は0.25mmとした。はんだ付けは、温度240℃まで加熱することで行ない、高温環境下での劣化挙動を評価するため、はんだ付け後に150℃で500時間(h)放置した試料も併せて作製した。このようにして作製した試料において、化合物厚さ測定を行うため断面組織観察を行なった。尚、断面組織観察は走査型電子顕微鏡(日立製作所製、S−3500N型)を用いて行なった。Cu−Ni−Sn化合物の厚さは、断面組織写真における界面化合物の面積を画像処理により求め、単位接合界面長当たりの厚さとして求めた。これらの結果を表2に示す。本発明例1、3、4、5、6、7そして比較例2の断面組織をそれぞれ図1〜5、11、12に示す。
次に、化合物の組成を線分析で調査した。線分析は、特性X線元素分析装置(堀場製作所製、EMAX−7000型)を用いて行なった。代表例として、本発明例1、3、4、5と比較例2の線分析結果を図6A,6B,7A,7B,8A,8B,9A,9B,10A,10B、13A,13B,14A,14Bに示す。
本発明例1、3は、図6A,6B、7A,7Bのように、Ni電極直上でSn濃度の高い箇所が存在しないため、試験後の破壊破面におけるCu−Ni−Sn化合物の濃度比を観察した結果から、界面化合物は(Cu,Ni)6Sn5であると推定される。
一方、比較例2は、図10A,10Bのように、Ni電極直上でSn濃度の高い箇所が存在することがわかる。同様に破壊破面のCu−Ni−Sn化合物の濃度比を観察すると、界面化合物が(Cu,Ni)6Sn5と(Ni,Cu)3Sn4の二層構造を呈し、(Ni,Cu)3Sn4化合物の厚さは1.2μmと推定される。
次に、化合物の組成を線分析で調査した。線分析は、特性X線元素分析装置(堀場製作所製、EMAX−7000型)を用いて行なった。代表例として、本発明例1、3、4、5と比較例2の線分析結果を図6A,6B,7A,7B,8A,8B,9A,9B,10A,10B、13A,13B,14A,14Bに示す。
本発明例1、3は、図6A,6B、7A,7Bのように、Ni電極直上でSn濃度の高い箇所が存在しないため、試験後の破壊破面におけるCu−Ni−Sn化合物の濃度比を観察した結果から、界面化合物は(Cu,Ni)6Sn5であると推定される。
一方、比較例2は、図10A,10Bのように、Ni電極直上でSn濃度の高い箇所が存在することがわかる。同様に破壊破面のCu−Ni−Sn化合物の濃度比を観察すると、界面化合物が(Cu,Ni)6Sn5と(Ni,Cu)3Sn4の二層構造を呈し、(Ni,Cu)3Sn4化合物の厚さは1.2μmと推定される。
表2および図1、2、6、7より、本発明例1および3はAgおよびNiにより化合物の成長が抑制されており、(Cu,Ni)6Sn5化合物が形成されていることがわかる。一方、表2および図5、10より、比較例2は(Cu,Ni)6Sn5と(Ni,Cu)3Sn4化合物が形成されており、本発明例1および3と比較して化合物の厚さが厚いことがわかる。
接合信頼性を評価する方法として小型シャルピー衝撃試験機を用い、はんだバンプに重さ20gの振り子を1m/sの速度で衝突させるマイクロショット試験を行い、はんだ接合界面で破壊する確率を求めた。測定は25個のはんだバンプに対して行った。
また、接合信頼性を評価するもう一つの方法としてプル試験機を用い、はんだバンプを掴んだ後、300μm/sの速度で引張るプル試験を行い、はんだ接合界面で破壊する確率を求めた。測定は50個のはんだバンプに対して行った。衝撃試験と引張試験における界面破壊確率の測定結果を表3に示す。
また、接合信頼性を評価するもう一つの方法としてプル試験機を用い、はんだバンプを掴んだ後、300μm/sの速度で引張るプル試験を行い、はんだ接合界面で破壊する確率を求めた。測定は50個のはんだバンプに対して行った。衝撃試験と引張試験における界面破壊確率の測定結果を表3に示す。
表3より、本発明例1〜7は、マイクロショット試験およびプル試験ともに相対的に低い界面破壊確率を示した。プル試験において本発明例1〜7は、150℃の高温で500時間放置後も界面破壊確率が50%を下回る程に低減できた。特に、本発明例1、3はプル試験後の界面破壊確率が10%程度といった高い信頼性を得ることを確認した。これは、AgおよびNiの適切な添加により、Cu−Ni−Sn化合物の成長を抑制したことによると考えられる。
一方、比較例2は、プル試験後の界面破壊確率は高く、接合強度が損なわれている。
また、比較例2における破壊破面の濃度分析の結果、比較例2では(Ni,Cu)3Sn4相当の濃度であることが確認できた。
また、表3より、Cu/Ni比が20という低い値側では、特にNi含有量が低い側で、プル試験後の界面破壊確率が低くなっており、高い信頼性を得ることが確認できた。
一方、比較例2は、プル試験後の界面破壊確率は高く、接合強度が損なわれている。
また、比較例2における破壊破面の濃度分析の結果、比較例2では(Ni,Cu)3Sn4相当の濃度であることが確認できた。
また、表3より、Cu/Ni比が20という低い値側では、特にNi含有量が低い側で、プル試験後の界面破壊確率が低くなっており、高い信頼性を得ることが確認できた。
本発明のはんだ合金は、電子部品等のはんだ付けに好適に使用される。
Claims (5)
- mass%で、0.1〜1.5%のAgと、0.5〜0.75%のCuと、12.5≦Cu/Ni≦100の関係を満たすNiと、残部Sn及び不可避的不純物から成るはんだ合金。
- mass%で、0.3〜1.2%のAgを含む請求項1に記載のはんだ合金。
- mass%で、0.01〜0.04%のNiを含む請求項1または請求項2に記載のはんだ合金。
- 請求項1または請求項3の何れかに記載のはんだ合金が球状化されてなるはんだボール。
- 請求項1または請求項3の何れかに記載のはんだ合金がNi電極に接合されてなるはんだ接合部。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007553969A JP4836009B2 (ja) | 2006-01-16 | 2007-01-15 | はんだ合金、はんだボールおよびそれを用いたはんだ接合部 |
Applications Claiming Priority (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006007425 | 2006-01-16 | ||
JP2006007425 | 2006-01-16 | ||
JP2006272589 | 2006-10-04 | ||
JP2006272589 | 2006-10-04 | ||
JP2007553969A JP4836009B2 (ja) | 2006-01-16 | 2007-01-15 | はんだ合金、はんだボールおよびそれを用いたはんだ接合部 |
PCT/JP2007/050421 WO2007081006A1 (ja) | 2006-01-16 | 2007-01-15 | はんだ合金、はんだボールおよびそれを用いたはんだ接合部 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2007081006A1 JPWO2007081006A1 (ja) | 2009-06-11 |
JP4836009B2 true JP4836009B2 (ja) | 2011-12-14 |
Family
ID=38256407
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007553969A Expired - Fee Related JP4836009B2 (ja) | 2006-01-16 | 2007-01-15 | はんだ合金、はんだボールおよびそれを用いたはんだ接合部 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20100189594A1 (ja) |
EP (1) | EP1974850B1 (ja) |
JP (1) | JP4836009B2 (ja) |
KR (1) | KR101011735B1 (ja) |
CN (1) | CN101374630B (ja) |
TW (1) | TWI311087B (ja) |
WO (1) | WO2007081006A1 (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012131861A1 (ja) * | 2011-03-28 | 2012-10-04 | 千住金属工業株式会社 | 鉛フリーはんだボール |
CN103476541B (zh) | 2011-04-15 | 2016-12-28 | 日本斯倍利亚社股份有限公司 | 无铅软钎料合金 |
EP2727898B1 (en) * | 2011-06-30 | 2017-02-01 | Hitachi Metals, Ltd. | Brazing filler metal, brazing filler metal paste, ceramic circuit substrate, and ceramic master circuit substrate |
AU2012363597B2 (en) * | 2012-05-10 | 2016-07-21 | Senju Metal Industry Co., Ltd | Audio solder alloy |
KR101455967B1 (ko) | 2012-06-30 | 2014-10-31 | 센주긴조쿠고교 가부시키가이샤 | 납프리 땜납 볼 |
CN103624415A (zh) * | 2012-08-22 | 2014-03-12 | 北京有色金属研究总院 | 一种含硼锡基无铅焊料及其制备方法 |
JP6241477B2 (ja) * | 2013-04-16 | 2017-12-06 | 千住金属工業株式会社 | 鉛フリーはんだボール及び鉛フリーはんだボールの検査方法 |
CN107671451A (zh) * | 2017-08-21 | 2018-02-09 | 番禺得意精密电子工业有限公司 | 电连接器及其焊料 |
DE102019120872A1 (de) * | 2019-08-01 | 2021-02-04 | Infineon Technologies Ag | Löten eines Leiters an eine Aluminiumschicht |
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JP2003230980A (ja) * | 2002-02-14 | 2003-08-19 | Nippon Steel Corp | 無鉛ハンダ合金、ハンダボール及びハンダバンプを有する電子部材 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4445046B2 (ja) | 1998-02-06 | 2010-04-07 | 株式会社日本スペリア社 | 無鉛はんだ合金 |
JP3363393B2 (ja) | 1998-12-21 | 2003-01-08 | 千住金属工業株式会社 | 鉛フリーはんだ合金 |
JP3891346B2 (ja) * | 2002-01-07 | 2007-03-14 | 千住金属工業株式会社 | 微小銅ボールおよび微小銅ボールの製造方法 |
JP4093188B2 (ja) * | 2003-05-27 | 2008-06-04 | 株式会社村田製作所 | 積層セラミック電子部品とその実装構造および実装方法 |
KR20050051762A (ko) * | 2003-11-28 | 2005-06-02 | 박흥열 | 금속볼 제조 방법 및 장치 |
CN1259172C (zh) * | 2004-05-28 | 2006-06-14 | 四川省有色冶金研究院 | 高性能锡铜无铅电子钎料 |
KR20050030237A (ko) * | 2004-11-13 | 2005-03-29 | 삼성전자주식회사 | 무연 솔더 합금 |
CN1803381A (zh) * | 2006-01-11 | 2006-07-19 | 黄守友 | 无铅焊料及其制备方法 |
-
2007
- 2007-01-15 TW TW096101370A patent/TWI311087B/zh active
- 2007-01-15 US US12/160,936 patent/US20100189594A1/en not_active Abandoned
- 2007-01-15 WO PCT/JP2007/050421 patent/WO2007081006A1/ja active Application Filing
- 2007-01-15 KR KR1020087016697A patent/KR101011735B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2007-01-15 EP EP07706755.1A patent/EP1974850B1/en not_active Expired - Fee Related
- 2007-01-15 CN CN2007800031154A patent/CN101374630B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2007-01-15 JP JP2007553969A patent/JP4836009B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20100189594A1 (en) | 2010-07-29 |
TWI311087B (en) | 2009-06-21 |
KR101011735B1 (ko) | 2011-02-07 |
EP1974850B1 (en) | 2016-04-06 |
JPWO2007081006A1 (ja) | 2009-06-11 |
EP1974850A1 (en) | 2008-10-01 |
KR20080077399A (ko) | 2008-08-22 |
TW200734108A (en) | 2007-09-16 |
EP1974850A4 (en) | 2009-11-11 |
CN101374630B (zh) | 2012-01-04 |
CN101374630A (zh) | 2009-02-25 |
WO2007081006A1 (ja) | 2007-07-19 |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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