JP4833140B2 - 昇華物除去装置 - Google Patents
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Description
本発明はこの例に限らず種々の態様を採りうるものである。本発明は、基板がウェハ以外のFPD(フラットパネルディスプレイ)、フォトマスク用のマスクレチクルなどの他の基板である場合にも適用できる。
71 プリベーキング装置
200 昇華物除去装置
210 容器
211 排ガス流入部
212 排ガス流入管
213 洗浄液供給部
214 洗浄液供給管
215 洗浄液排出部
216 洗浄液排出管
217 排ガス流出部
218 排ガス流出管
219 ミストトラップ
220 フィルター
223 ストッパー
Claims (8)
- 基板の処理装置から排出される排ガス中の昇華物を除去する昇華物除去装置であって、
洗浄液を貯留する密閉容器と、
前記容器内に配置された球形状のフィルターと、
前記容器の上部から前記フィルターに向けて排ガスを流入させる排ガス流入部と、
前記容器の上部から前記フィルターに向けて洗浄液を供給する洗浄液供給部と、
前記容器における排ガス流入部から流入した排ガスが前記フィルターと衝突する箇所よりも下方に設けられて、容器内の排ガスを流出させる排ガス流出部と、
前記容器における排ガス流出部よりも下方に設けられた洗浄液排出部と、を有し、
前記フィルターの材質は、気体を通過させるが固体及び液体を通過させない材料からなり、
前記フィルターは容器内で回転自在であり、かつこのフィルターの下部は、容器内に貯留された洗浄液中に浸漬していることを特徴とする、昇華物除去装置。 - 前記容器における前記排ガス流出部よりも上方では、
前記フィルターが前記容器の側面内周部に環状に接触していることを特徴とする、請求項1に記載の昇華物除去装置。 - 前記容器内における排ガス流出部の上方には、
フィルターの浮き上がりを防止するストッパーが設けられていることを特徴とする、請求項1又は2に記載の昇華物除去装置。 - 前記ストッパーは、前記容器の側面内周部から内側に向けて環状に突出した形状を有することを特徴とする、請求項3に記載の昇華物除去装置。
- 前記洗浄液供給部から供給される洗浄液は、前記フィルターの鉛直中心軸からずれて当該フィルターの表面に衝突することを特徴とする、請求項1〜4のいずれかに記載の昇華物除去装置。
- 前記排ガス流出部から続く流出経路には、流出させた排ガス中の水分を捕捉するミストトラップが設けられていることを特徴とする、請求項1〜5のいずれかに記載の昇華物除去装置。
- 前記排ガス流出部に続く排出経路は、排ガス流出部から上方に向けて設けられていることを特徴とする、請求項1〜6のいずれかに記載の昇華物除去装置。
- 前記洗浄液排出部から排出された洗浄液は、前記洗浄液供給部に循環されることを特徴とする、請求項1〜7のいずれかに記載の昇華物除去装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007099216A JP4833140B2 (ja) | 2007-04-05 | 2007-04-05 | 昇華物除去装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2007099216A JP4833140B2 (ja) | 2007-04-05 | 2007-04-05 | 昇華物除去装置 |
Publications (2)
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JP2008258409A JP2008258409A (ja) | 2008-10-23 |
JP4833140B2 true JP4833140B2 (ja) | 2011-12-07 |
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ID=39981683
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2007099216A Expired - Fee Related JP4833140B2 (ja) | 2007-04-05 | 2007-04-05 | 昇華物除去装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4833140B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6811059B2 (ja) * | 2016-09-05 | 2021-01-13 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置 |
TW202324499A (zh) * | 2021-11-05 | 2023-06-16 | 日商東京威力科創股份有限公司 | 加熱處理裝置、加熱處理方法及電腦記憶媒體 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001198437A (ja) * | 2000-01-18 | 2001-07-24 | Tooteku Japan:Kk | 排気浄化装置 |
JP3347120B2 (ja) * | 2000-03-03 | 2002-11-20 | 株式会社ノリタケカンパニーリミテド | 排煙処理装置 |
JP3853256B2 (ja) * | 2002-05-28 | 2006-12-06 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板ベーク装置、基板ベーク方法及び塗布膜形成装置 |
JP4180304B2 (ja) * | 2002-05-28 | 2008-11-12 | 東京エレクトロン株式会社 | 処理装置 |
JP4121122B2 (ja) * | 2003-04-01 | 2008-07-23 | 東京エレクトロン株式会社 | 熱処理装置および熱処理装置内温度制御方法 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008258409A (ja) | 2008-10-23 |
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A621 | Written request for application examination |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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