JP4827893B2 - クリーンエアー吹出し供給用の箱形ユニット装置 - Google Patents

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Description

本発明は精密機器などを据付けするクリーンルーム内に天井面からクリーンエアーを吹出し供給する箱形ユニット装置に関するものである。
従来クリーンルーム内に天井面からクリーンエアーを吹出し供給する箱形ユニットは、クリーンルーム内に据付けする半導体製造装置などの機器の大小と配列および天井裏の構造に対応して大小各種の箱形ユニットを天井裏の全面に配備して、クリーンエアーをルーム内に吹出し供給するようにしている。各箱形ユニットの代表的な外形寸法は６１０ｍｍ×１２２０ｍｍ，７５０ｍｍ×１５００ｍｍ，９００ｍｍ×１５００ｍｍ、７５０ｍｍ×１８００ｍｍ，１２００ｍｍ×１２００ｍｍの縦横比であって重量のあるものとなっている。
なし
しかしながら、クリーンエアーを吹出し供給する多数の箱形ユニットは、ルーム内に据付けする大小の生産機器または半製品一時保管場所の直上に配列することが多いが、天井裏の箱形ユニットの支え枠構造に合わせて配備する必要もあるために、ユニットを構成する外箱は上記の代表的な大小大きさのほか、それぞれの大きさから数ミリ乃至数センチ大小する外箱も作製せねばならず、しかも各外箱の大きさに応じて吹出し出力を大小したエアー吹出し機器を個別に取付けることで著しく手間がかかり、従って多数の箱形ユニットを形成するのに多くの時日を要し、しかも作り置きすることもできないために、天井裏に配備する納期に遅れるということがしばしば生じているという課題があった。
また大小する多数の外箱の内部には大きさによって出力容量が大小する交流モータ，制御器，大きさの異なるファンを取付けるので、取付け部材も多岐となることもあって取付け作業員の負担も大きいという課題があった。
また大小各種の箱形ユニットの出荷前の性能試験もこれに見合った大型の試験装置を要すこととなるために取扱いに難儀するという課題があった。
本発明は天井裏の全面にモータにより水平ファンを回転させてクリーンエアーを吹出しするクリーンエアー吹出し機器を大小の外箱内に取付けて形成する大小多数の箱形ユニットを配備して該天井下のクリーンルーム内にクリーンエアーを吹出し供給する装置において、該クリーンエアー吹出し機器のモータを外箱の大小によってクリーンエアーの吹出し効率が減じないように回転可変機能付の直流モータにして大小各種の外箱内に取付け可能なクリーンエアー吹出し機器の共用形モジュウルを形成し、該共用形モジュウルを大小各種の外箱内に取付けて大小各種の箱形ユニットを形成するようにして、かかる課題を解決するようにしたのである。
本発明は、クリーンエアー吹出し機器を吹出し効率を減ずることなしに大小すべての外箱内に取付けることができる共用形のモジュウルを形成したので、大小する各種の外箱内に吹出し機器を簡単且つ素早く取付けすることができて、納期に遅れるということが解消するという効果を生ずる。
モジュウルは共用形としたことで、作業員の労力負担も少なくなり、外箱内に能率よく取付けすることになるという効果を生ずる。
クリーンエアーの吹出し供給用の箱形ユニットは内部取付け前のモジュウル状態にて出荷前の性能試験をすることができるので、試験設備を小型にして取扱いやすいものにすることができるという効果を生ずる。また大小する多数の箱形ユニットをモジュウル単位にて保管することができるという効果を生ずる。
クリーンエアー吹出し供給用の箱形ユニットは内部の吹出し機器を共用形のモジュウルとしたので、外箱とともにロスのない在庫生産を可能にして、コストを大幅に低減することができるという効果を生ずる。
モジュウル内のモータを回転可変機能付の制御機器を備えた直流モータにすることによって共用形にかかわらずクリーンエアーの吹出し効率を減ずることが生じないという効果を生ずる。
本発明は、天井裏の全面にクリーンエアーを吹出しする大小多数の箱形ユニットを配備して該天井下のクリーンルーム内にクリーンエアーを吹出し供給する装置において、該箱形ユニットを構成する大小各種の外箱内に取付け可能とするクリーンエアー吹出し機器の共用形モジュウルを形成し、該モジュウルを大小各種の外箱内に取付部材にて取付けて大小各種の箱形ユニットを形成して、天井裏配備の大小のクリーンエアー吹出し供給用の箱形ユニットとするようにしたのである。
大小各種の外箱１ａ内に取付けするエアー吹出し機器は内部取付けがしやすい側面視凸形形状にした共用形のモジュウル２にて形成する。３はモジュウル内の回転可変機能付の制御機器を備えた直流モータ、４は該モータ３の回転軸に取付けた水平回転ファン、５はモータの制御器である。
内部に回転可変機能付の制御機器を備えた直流モータ３などを組立て入れしてなるモジュウル２は、外箱１内に取付けする前のモジュウル２の状態にて出荷前の動作確認，風力値の検査等の性能試験を小型の試験機にて受けさせることができて、合格したモジュウル２を省スペース保管することができる。
このようにして共用形のモジュウル２は取付けやすい凸形且つ小型によって大小すべての外箱１ａ内に大小した単一の取付金具６をもってカシメ止めなどの簡易作業により簡単且つ能率良く取付けて大小各種のクリーンエアー吹出し供給用の箱形ユニット１とすることができる。７は箱形ユニット１の吹出し口１ｂに交換自在において取付けるエアーフィルターである。完成した箱形ユニット１はモジュウル２の段階で性能試験を済ませているのでそのまま梱包して迅速に出荷することができて箱形ユニット１を保管するスペースを要しないこととなる。
モジュウル２内のモータを回転可変機能付の制御機器を備えた直流モータ３とすることで水平回転ファン４を高効率にて作動することになって共用のモジュウル２を取付けた大型の外箱ユニット１もクリーンエアー吹出し効率を減ずることが全く生じないものとなる。直流モータ３の特徴である低負荷時に効率が上昇する特性を利用してそのまま小容量のモジュウル２としても使用することができることとなる。
クリーンルーム８に搬送された多数の大小した箱形ユニット１は天井９裏の形状に合わせて大小を組合わせて全面に配備することとなる。クリーンルーム８内には配備した全ユニット１からクリーンエアーが吹出し供給されることとなる。
本発明は、クリーンルーム内にクリーンエアーを吹出し供給するための大小する箱形ユニットの製造に広く利用することができるものである。
モジュウルの１実施例を示す斜視図、および同、モジュウルと大小する外箱の例を示す断面図 モジュウルを外箱内に取付けした箱形ユニットを示す断面図 （ａ）は箱形ユニットをクリーンルームの天井裏に並べて配備した１例を示す平面図、（ｂ）は同、クリーンルームの断面図
符号の説明
１は箱形ユニット
１ａは外箱
１ｂは吹出し口
２はモジュウル
３は回転可変機能付の制御機器を備えた直流モータ
４は水平回転ファン
５は制御器
６は取付金具
７はエアーフィルター
８はクリーンルーム
９は天井
１０は通気床
１１は循環通風路
１２は機器

Claims (1)

  1. 天井裏の全面にモータにより水平ファンを回転させてクリーンエアーを吹出しするクリーンエアー吹出し機器を大小の外箱内に取付けて形成する大小多数の箱形ユニットを配備して該天井下のクリーンルーム内にクリーンエアーを吹出し供給する装置において、該クリーンエアー吹出し機器のモータを外箱の大小によってクリーンエアーの吹出し効率が減じないように回転可変機能付の直流モータにして大小各種の外箱内に取付け可能なクリーンエアー吹出し機器の共用形モジュウルを形成し、該共用形モジュウルを大小各種の外箱内に取付けて大小各種の箱形ユニットを形成するようにしたことを特徴とするクリーンエアー吹出し供給用の箱形ユニット装置。
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