KR200424306Y1

KR200424306Y1 - 크린룸용 팬필터 유닛

Info

Publication number: KR200424306Y1
Application number: KR2020060015401U
Authority: KR
Inventors: 강명철
Original assignee: (주)이에스
Priority date: 2006-06-08
Filing date: 2006-06-08
Publication date: 2006-08-17

Abstract

본 고안은 크린룸용 팬필터 유닛에 관한 것으로, 내부의 수용공간이 구비되어 일측으로 결합부를 돌출형성시켜 이중구조로 형성된 이중프레임을 각 모서리부를 결합하여 틀형태로 형성하고, 결합된 이중프레임의 중앙을 구획하도록 형성한 지지프레임의 일측으로 공급필터를 형성하며, 결합된 이중프레임의 하부에 램프를 구비한 하부고정프레임을 형성하고, 하부고정프레임의 상부에 유입되는 공기를 필터링하는 유입필터를 형성한 케이싱부와, 상기 케이싱부의 지지프레임에 타측으로 중앙에 통공형태의 송풍구를 구비한 송풍커버를 형성하고, 송풍커버의 하측으로 송풍팬을 구비한 송풍모터를 송풍구의 위치에 고정하도록 형성한 송풍부와, 상기 케이싱부의 전면 일측으로 전원을 제어하는 전원부를 형성하고, 전원부의 일측으로 송풍팬의 전원을 공급하는 송풍팬조작부와 송풍팬의 속도를 조절하는 송풍팬속도조절부를 형성하여 전원을 공급하고 송풍팬의 조작과 속도를 조절하는 제어부를 포함하여 구성하는 것을 특징으로 한다.

이중프레임, 수용공간, 송풍팬, 고정구, 모터표시부

Description

크린룸용 팬필터 유닛 {Fan Filter Unit for Clean Room}

도 1은 종래기술에 따른 반도체 장비용 팬 필터 유니트를 나타내는 사시도.

도 2는 본 고안에 따른 크린룸용 팬필터 유닛을 나타내는 사시도.

도 3은 본 고안에 따른 크린룸용 팬필터 유닛을 나타내는 분해 사시도.

도 4는 본 고안에 따른 크린룸용 팬필터 유닛을 나타내는 단면도.

도 5는 본 고안에 따른 크린룸용 팬필터 유닛에 주요부분인 케이싱의 측단면도.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*

100 : 팬필터유닛 110 : 케이싱부

111 : 이중프레임 112 : 수용공간

113 : 결합부 114 : 지지프레임

115 : 공급필터 116 : 하부고정프레임

117 : 유압필터 118 : 램프

119 : 공급전선 120 : 송풍부

121 : 송풍커버 122 : 송풍구

123 : 송풍팬 124 : 송풍모터

125 : 고정구 126 : 모터센서

130 : 제어부 131 : 전원부

132 : 송풍팬조작부 133 : 송풍팬속도조절부

134 : 압력센서 135 : 압력표시부

136 : 모터표시부

본 고안은 크린룸용 팬필터 유닛에 관한 것이다.

일반적으로, 클린 룸(Clean Room)은 높은 청정도를 요구하는 전자기기조립실, 반도체조립실, 병원의 수술실, 무균실, 세균배양실등 항상 청정을 유지하도록 청정한 공기를 지속적으로 송풍시킨다.

상기와 같은, 클린룸은 먼지가 전혀 없으며 외부와 차단 또는 격리된 공간으로서, 초고밀도집적회로나 유전자 조작 등과 같이 세포 속의 미소한 유전자를 다루는 곳에서와 같이 환경 조건이 품질에 큰 영향을 끼치는 분야에 광범위하게 적용된다.

전술된 크린룸의 청정도는 공조 시스템에 의해 크게 좌우된다. 현재, 크린룸의 공조 시스템은 팬 필터 유닛 방식(Fan Filter Unit, 이하 "FFU"라 한다)과 브로우 팬 필터(Blower Filter Unit, 이하 "BFU"라 한다) 방식으로 크게 구별된다.

이러한, 팬 필터 유닛은 송풍팬을 통해 외부로부터 유입된 공기가 팬 필터에서 먼지가 걸러진 후 클린룸 내부로 공급되는 방식이며, 고청정도를 요구하는 장소에 주로 사용된다.

상기와 같은, 팬 필터 유닛의 필터는 다수의 필터편들이 촘촘하게 배치되어 있어 외부의 오염된 공기를 여과하여 크린룸에 청정 공기를 공급한다. 상술한 바와 같이 다수의 필터편들이 촘촘하게 배치되어 있으므로 외부로부터 유입된 공기가 필터편들을 통과하기 위해서는 팬 필터 유닛의 내부를 상당히 높은 압력으로 유지할 필요성이 있다.

따라서, 팬 필터 유닛은 송풍 팬을 통해 유입된 공기가 누출되지 않도록 완벽하게 실링을 하는 것이 굉장히 중요하며, 실링(Sealing)의 밀폐도가 팬 필터 유닛의 성능을 좌우하는 척도가 된다.

팬 필터 유닛의 실링 성능에 따라 클린룸 내부의 공기 청정도가 달라지며 그에 따라 반도체 수율에 매우 큰 영향을 미치게 된다.

이러한 팬 필터 유닛의 실링 중에서도 특히 필터편들이 설치되는 필터와 상부의 케이스와의 실링이 가장 중요하다.

종래, 필터와 상부 케이스와의 실링은 일반적인 고무 등의 패킹 부재를 필터와 상부 케이스 상이에 삽입하는 방식을 취하고 있다.

그러나, 이러한 패킹 부재를 이용한 실링 방식은 완벽한 실링이 되지 못하고 어느 정도의 공기 누출이 발생되어 팬 필터 유닛의 작동 효율을 저하시키고 그에 따라서 반도체 수율 저하라는 심각한 문제점으로 제기되고 있는 실정이다.

따라서, 종래 이러한 팬 필터 유닛의 실링 방법의 불합리한 점을 해결하고 보다 완벽한 실링을 제공할 수 있는 방법에 대한 요구가 높아지고 있는 실정이다.

이에, 최근에는 충진재로 실링을 향상시킨 반도체 장비용 팬 필터 유니트가 등록실용신안번호 제 20-0397522호에서 개시된 바, 이를 도 1을 참조하면서 살펴보면 다음과 같다.

반도체 장비용 팬 필터 유니트에 있어서, 상면이 개방되고 내부에 수용 공간을 갖는 하부 커버(10); 상기 하부 커버(10)에 수용되고 상면 가장자리부를 따라 반고체성 접착재(60)가 충진되는 충진홈이 형성된 충진대(21)가 일체로 형성된 필터(20); 양측 하단부가 상기 충진홈 내에 삽입되어 상기 반고체 접착재(60)에 의해 밀폐 고정되는 케이스(30); 및 상기 케이스(30)의 상면에 취부되고 일측에 송풍팬(80)이 구비된 상면 커버(40)를 포함하여 구성한다.

또한, 상기 하부 커버(10)는 양측벽의 상단부가 절곡되고, 상기 케이스(30)는 상기 양측 하단부가 2단 절곡되어 상기 케이스(30) 양측 하단부의 수직 절곡면(30a)이 상기 충진대(21)에 형성된 충진홈 내에 삽입되고, 상기 케이스(30)의 양측 하단부의 수평 절곡면(30b)이 상기 하부 커버(10) 양측벽의 수평 절곡면(30b)에 취부되어 상기 케이스(30)의 요동을 방지하도록 구성한다.

아울러, 하부 커버(10)의 일측면에 램프 케이스(50)가 취부되는 것으로, 내부에 램프 및 제어회로부가 구비되어 있으며, 측면 일측에는 스위치부(70)가 설치되어 있다.

상기와 같이, 구성된 종래기술의 반도체 장비용 팬 필터 유니트는 필터의 상 면부에 형성한 반고체성 접착재를 충진하고, 상부 케이스의 수직절곡면을 충진대에 삽입하여 반고체성 접착제에 의해 고정하여 밀폐성을 향상시키도록 하였으나, 팬필터의 외부을 형성하는 필터 상면부에 충진재를 형성하고 케이스에 수직절곡면을 형성함에 따라 가공비용이 증대하고 밀폐성을 향상시키는 반고체성 접착재가 케이스와의 지속적인 접촉에 의해 고형화 되면 밀폐성이 크게 저하되어 내부에 오염된 공기가 공급시켜 크린룸의 내부를 오염시키는 문제점이 있었다.

그리고, 종래기술의 반도체 장비용 팬 필터 유니트는 케이스는 이중절곡구조로 형성하여 밀폐력을 향상시키는 것으로, 케이스를 이중으로 절곡하여 외력에 의한 하중을 절곡부분에 집중되어 파손이 발생되는 문제점이 있었다.

또한, 종래기술의 반도체 장비용 팬 필터 유니트는 송풍팬의 회전에 의해 필터를 통하여 내부에 청정한 공기를 지속적으로 공급하는 것으로 내부에 공기압력이 증대되면 필터로 공급되는 압력의 증가로 인하여 공기 내부에 불순물을 제거하지 못한 상태로 크린룸 내부로 공급함으로써, 내부 크린룸을 오염시키는 문제점이 있었다.

아울러, 종래기술의 반도체 장비용 팬 필터 유니트는 커버에 결합되는 송풍팬과 램프케이스에 전원을 공급시키는 전선을 하부커버의 수용공간에 지지하도록 형성함에 따라, 전원이 공급되는 전선이 외부로 노출되어 전선의 외피에 이물질이 쌓여서 오염의 원인이 되고 노후화나 결선의 오류로 인하여 방전이나 합선으로 화재의 원인이 되는 문제점이 있었다.

이와 같은, 문제점을 해결하고자 안출된 본 고안의 주목적은 크린룸의 송풍팬과 필터를 지지하는 지지부를 내부에 수용공간을 형성한 이중구조로 형성하고, 송풍팬을 하부에서 지지하도록 지지부를 형성하며, 내부압력과 송풍팬의 회전수를 외부에서 표시 점검하여 이중구조로 기밀성과 조립성을 향상시키고 원활한 송풍에 의한 송풍효율을 증대시키는데 있다.

이와 같은, 목적을 달성하고자 안출된 본 고안의 크린룸용 팬필터 유닛은 내부의 수용공간이 구비되어 일측으로 결합부를 돌출형성시켜 이중구조로 형성된 이중프레임을 각 모서리부를 결합하여 틀형태로 형성하고, 결합된 이중프레임의 중앙을 구획하도록 형성한 지지프레임의 일측으로 공급필터를 형성하며, 결합된 이중프레임의 하부에 램프를 구비한 하부고정프레임을 형성하고, 하부고정프레임의 상부에 유입되는 공기를 필터링하는 유입필터를 형성한 케이싱부와, 상기 케이싱부의 지지프레임에 타측으로 중앙에 통공형태의 송풍구를 구비한 송풍커버를 형성하고, 송풍커버의 하측으로 송풍팬을 구비한 송풍모터를 송풍구의 위치에 고정하도록 형성한 송풍부와, 상기 케이싱부의 전면 일측으로 전원을 제어하는 전원부를 형성하고, 전원부의 일측으로 송풍팬의 전원을 공급하는 송풍팬조작부와 송풍팬의 속도를 조절하는 송풍팬속도조절부를 형성하여 전원을 공급하고 송풍팬의 조작과 속도를 조절하는 제어부를 포함하여 구성하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 케이싱부의 이중프레임은 내측으로 형성된 수용공간에 제어부의 전원부에서 공급되는 전원을 램프와 송풍모터에 공급하는 공급전선을 수납하도록 구성하는 것을 특징으로 한다.

그리고, 상기 송풍부는 송풍구가 구비된 송풍커버의 하측으로 송풍팬과 송풍모터를 하부에서 고정하도록 고정구를 형성하여 송풍팬을 상부측으로 정확한 위치에 고정하도록 구성하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 송풍부의 송풍팬을 구동하는 송풍모터의 일측으로 송풍팬의 회전속도를 센싱하는 모터센서를 형성하고, 모터센서의 신호를 수신하여 외부로 표시하도록 제어부의 일측으로 모터표시부를 형성하여 모터센서의 감지되는 송풍팬의 회전속도를 모터표시부로 외부에 표시하도록 구성하는 것을 특징으로 한다.

아울러, 상기 케이싱부의 내측으로 송풍팬으로 유입되는 공기의 압력을 센싱하는 압력센서를 형성하고, 압력센서에서 센싱된 압력신호를 수신하여 외부에 표시하는 압력표시부를 제어부의 일측에 형성하여 케이싱부의 내부 압력을 제어부의 압력표시부로 표시하도록 구성하는 것을 특징으로 한다.

이와 같이, 구성된 본 고안의 크린룸용 팬필터 유닛에 바람직한 실시예를 도면을 참조하면서 살펴보면 다음과 같다.

우선, 도면들 중, 동일한 구성요소 또는 부품들은 가능한 동일한 참조부호로 나타내고 있음에 유의하여야 한다. 본 고안을 설명함에 있어, 관련된 공지기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명은 본 고안의 요지를 모호하지 않기 위하여 생략한다.

도 2는 본 고안에 따른 크린룸용 팬필터 유닛을 나타내는 사시도이고, 도 3은 본 고안에 따른 크린룸용 팬필터 유닛을 나타내는 분해 사시도이며, 도 4는 본 고안에 따른 크린룸용 팬필터 유닛을 나타내는 단면도이고, 도 5는 본 고안에 따른 크린룸용 팬필터 유닛에 주요부분인 케이싱의 측단면도이다.

도 2 내지 도 6에서 도시한 바와 같이, 내부에 수용공간(112)을 형성한 이중구조의 이중프레임(111)을 각 모서리부분을 결합하여 틀형태로 형성한 케이싱부(110)와, 상기 케이싱부(110)의 상부 타측으로 내부에 공기를 송풍시키는 송풍부(120)와, 상기 케이싱부(110)의 전면 일측으로 송풍부(120)와 케이싱부(110)에 전원을 공급하면서 동작을 제어하는 제어부(130)를 포함하여 구성한다.

상기 케이싱부(110)는 내부의 수용공간(112)이 구비되어 일측으로 결합부(113)를 돌출형성시켜 이중구조로 형성된 이중프레임(111)을 각 모서리부를 결합하여 틀형태로 형성하고, 결합된 이중프레임(111)의 중앙을 구획하도록 형성한 지지프레임(114)의 일측으로 공급필터(115)를 형성하며, 결합된 이중프레임(111)의 하부에 램프를 구비한 하부고정프레임(116)을 형성하고, 하부고정프레임(116)의 상부에 유입되는 공기를 필터링하는 유입필터(117)를 형성하도록 구성한다.

상기 송풍부(120)는 케이싱부(110)의 지지프레임(114)에 타측으로 중앙에 통공형태의 송풍구(122)를 구비한 송풍커버(121)를 형성하고, 송풍커버(121)의 하측으로 송풍팬(123)을 구비한 송풍모터(124)를 송풍구(122)의 위치에 고정하도록 구성한다.

상기 제어부(130)는 케이싱부(110)의 전면 일측으로 전원을 제어하는 전원 부(131)를 형성하고, 전원부(131)의 일측으로 송풍팬(123)의 전원을 공급하는 송풍팬조작부(132)와 송풍팬(123)의 속도를 조절하는 송풍팬속도조절부(133)를 형성하여 전원을 공급하고 송풍팬(123)의 조작과 속도를 조절하도록 구성한다.

여기서, 상기 케이싱부(110)의 이중프레임(111)은 내측으로 형성된 수용공간(112)에 제어부(130)의 전원부(131)에서 공급되는 전원을 램프(118)와 송풍모터(124)에 공급하는 공급전선(119)을 수납하도록 구성하는 것이 바람직하다.

또한, 상기 송풍부(120)는 송풍구(122)가 구비된 송풍커버(121)의 하측으로 송풍팬(123)과 송풍모터(124)를 하부에서 고정하도록 고정구(125)를 형성하여 송풍팬(123)을 상부측으로 정확한 위치에 고정하도록 구성하는 것이 바람직하다.

그리고, 상기 송풍부(120)의 송풍팬(123)을 구동하는 송풍모터(124)의 일측으로 송풍팬(123)의 회전속도를 센싱하는 모터센서(126)를 형성하고, 모터센서(126)의 신호를 수신하여 외부로 표시하도록 제어부(130)의 일측으로 모터표시부(136)를 형성하여 모터센서(126)의 감지되는 송풍팬(123)의 회전속도를 모터표시부(136)로 외부에 표시하도록 구성하는 것이 바람직하다.

아울러, 상기 케이싱부(110)의 내측으로 송풍팬(123)으로 유입되는 공기의 압력을 센싱하는 압력센서(134)를 형성하고, 압력센서(134)에서 센싱된 압력신호를 수신하여 외부에 표시하는 압력표시부(135)를 제어부(130)의 일측에 형성하여 케이싱부(110)의 내부 압력을 제어부(130)의 압력표시부(135)로 표시하도록 구성하는 것이 바람직하다.

이와 같이, 구성된 본 고안의 크린룸용 팬필터 유닛에 작용을 살펴보면 다음 과 같다.

먼저, 내부에 수용공간(112)이 구비하면서 일측으로 돌출되는 결합부(113)가 형성되도록 이중구조의 이중프레임(111)을 각 모서리부분을 결합하여 틀형태의 케이싱부(110)를 형성한다.

이때, 이중프레임(111)의 각 모서리를 결합부(113)가 형성된 이중프레임(111)을 조립하면 직각형태로 바로 결합됨에 따라 조립성을 향상시키고 이중구조로 형성되어 밀폐성과 외력에 의한 강성을 증대하도록 한다.

이렇게, 이중프레임(111)을 결합하여 케이싱부(110)를 형성한 상태에서 케이싱부(110)의 상부를 구획하는 지지프레임(114)을 형성하고, 지지프레임(114)의 일측으로 외기의 공기를 공급시키는 공급필터(115)를 설치하며, 지지프레임(114)의 타측으로 중앙에 통공형태의 송풍구(122)를 구비한 송풍커버(121)에 송풍팬(123)과 송풍모터(124)를 고정하여 설치한다.

이때, 상기 송풍부(120)는 송풍구(122)가 구비된 송풍커버(121)의 하측으로 송풍팬(123)과 송풍모터(124)를 하부에서 고정하도록 고정구(125)를 형성하여 송풍팬(123)을 상부측으로 정확한 위치에 고정한다.

또한, 송풍모터(124)의 일측으로 송풍팬(123)의 회전속도를 감지하는 모터센서(126)를 형성하여 제어부(130)의 모터표시부(136)에 송부하도록 설치한다.

상기와 같이, 케이싱부(110)의 이중프레임(111)의 중앙에 형성된 지지프레임(114)에 일측으로 공기를 공급하는 공급필터(115)를 형성하고, 타측으로 송풍부(120)를 형성한 상태로 케이싱부(110)의 하부에 램프(118)를 고정하도록 하부고 정프레임(116)을 형성하며, 하부고정프레임(116)의 상부에는 송풍부(120)에서 유입되는 공기를 정화시키는 유입필터(117)를 형성시킨다.

이렇게, 하부고정프레임(116)을 케이싱부(110)에 형성한 상태에서 케이싱부(110)의 전면 일측으로 전원을 공급하는 전원부(131)와 송풍팬(123)을 조작하는 송풍팬조작부(132)와 송풍팬속도조절부(133)를 형성하며, 송풍팬(123)의 회전속도를 모터센서(126)의 감지된 신호로 회전수를 감지하는 모터표시부(136)를 형성한 제어부(130)를 설치하고 송풍부(120)와 램프(118)에 전원을 공급하도록 연결되는 공급전선(119)을 이중프레임(111)의 내부에 형성된 수용공간(112)으로 수납되도록 설치한다.

이때, 케이싱부(110)의 내측으로 송풍팬(123)으로 유입되는 공기의 압력을 센싱하는 압력센서(134)를 형성하고, 압력센서(134)에서 센싱된 압력신호를 수신하여 외부에 표시하는 압력표시부(135)를 제어부(130)의 일측에 형성하여 케이싱부(110)의 내부 압력을 제어부(130)의 압력표시부(135)로 표시하도록 설치한다.

상기와 같이, 전자기기조립실, 반도체조립실, 병원의 수술실, 무균실, 세균배양실 등의 청정을 유지하는 크린룸에 팬필터유닛(100)을 제작한 상태에서 제어부에 전원부(131)를 조작하여 전원을 인가하면 송풍부(120)와 램프(118) 측으로 전원이 공급되어 램프(118)가 점등되고, 송풍팬조작부(132)를 조작하여 송풍모터(124)를 작동하며, 송풍팬속도조절부(133)에서 설정된 속도로 송풍팬(123)이 회전하면서 공급필터(115)에서 공급되는 공기를 청정한 상태로 정화하여 하부에 형성된 유입필터(117) 측으로 공급하여 크린룸으로 정화된 공기를 공급시킨다.

이렇게, 송풍팬(123)을 회전하면 송풍모터(124)의 일측에 형성된 모터센서(126)로 회전수를 감지하고 제어부(130) 일측에 형성된 모터표시부(136)로 송풍모터(124)의 회전상태를 표시하여 송풍모터(124)의 상태를 점검하면서 송풍팬(123)을 구동하여 크린룸의 내부로 정화된 공기를 송풍시켜 송풍팬(123)의 고장이나 작동오류를 실시간으로 점검하여 크린룸의 청정도를 지속적으로 유지한다.

또한, 케이싱부(110)의 내측으로 압력센서(134)를 형성하여 송풍팬(123)에서 송풍되는 청정공기의 내부 압력을 제어부(130)의 압력표시부(135)로 외부에 표시함에 따라 압력변화에 따른 공기의 공급을 원활하게 하여 청정도를 유지시킨다.

이와 같이, 구성된 본 고안의 크린룸용 팬필터 유닛은 송풍팬과 필터를 고정하는 케이싱부를 내부에 수용공간을 가지면서 일측을 돌출한 결합부를 형성한 이중구조의 이중프레임을 결합시키는 결합체로 형성함에 따라 이중구조로 외부에서 유입되는 오염원을 차단시키는 밀폐성을 향상하고, 큰 외력에 의한 충격에도 이중구조로 내부에 수용공간을 확보한 이중프레임에서 충격량을 밀폐성을 유지하면서 충격량을 흡수하여 강성을 증대시키는 효과를 제공한다.

또한, 본 고안의 크린룸용 팬필터 유닛은 이중프레임을 박스 형태로 결합하고 상부에 중앙으로 구획을 분리하도록 지지프레임을 형성하고, 지지프레임의 일측으로 외부의 공기를 필터링하면서 공급하는 공급필터를 형성하며, 지지프레임의 타측으로 외부의 공기를 내부로 송풍하는 송풍팬을 형성하고, 케이싱의 하부에는 빛 을 발산시키는 램프를 구비한 하부고정프레임을 중앙으로 형성하여 송풍팬과 공급필터에서 유입되는 공기를 한번 더 유입필터로 필터링하면서 공급함으로써, 이중의 필터 구조로 내부로 유입되는 공기를 이중 정화하여 공급시켜 청정도를 향상시키는 효과를 제공한다.

그리고, 본 고안의 크린룸용 팬필터 유닛은 케이싱부를 형성하는 이중프레임을 내부에 수용공간이 형성하고 일측으로 돌출시킨 결합부를 형성하여 결합부가 구비된 이중프레임을 각 모서리부분에 결합하여 결합부와 이중프레임의 외곽부가 결합되면서 정확한 직각형태를 결합됨에 따라 조립성을 향상시키고, 수용공간의 내측으로 송충팬과, 제어부 및 램프에 공급되는 전원에 공급전선을 수납하여 공간 활용을 극대화 하면서 공급전선에 의한 오염을 최소화 시키는 효과를 제공한다.

또한, 본 고안의 크린룸용 팬필터 유닛은 케이싱부의 지지프레임의 상부 타측으로 통공형태의 송풍구가 구비된 송풍커버의 하측으로 하부에 송풍모터가 형성되고 상부측으로 송풍팬을 구비하여 외측의 고정구에 송풍모터와 송풍팬을 하부에서 송풍커버에 고정되는 고정구를 형성하여 모터를 상부를 향하도록 고정구로 형성하여 내부에 장착이 용이하고 설치 편의성을 향상시키는 효과를 제공한다.

그리고, 본 고안의 크린룸용 팬필터 유닛은 케이싱부의 일측으로 전원을 공급하는 전원부를 형성하고, 전원부의 일측으로 송풍팬을 구동하는 송풍모터의 작동을 조작하는 송풍팬조작부와 송풍팬의 속도를 조절하는 송풍팬속도조절부를 형성한 제어부를 형서아혀 제어부의 조작으로 송풍팬의 속도와 전원을 공급하도록 구비하여 제어부의 조작으로 용이하게 팬필터 유닛을 작동시켜 작동 편의성을 향상시키는 효과를 제공한다.

또한, 본 고안의 크린룸용 팬필터 유닛은 팬필터유닛의 내부에 공기를 송풍시키는 송풍팬을 구동시키는 송풍모터의 일측으로 송풍팬의 회전수를 센싱하는 모터센서를 형성하여 모터센서의 신호를 제어부에 모터표시부를 통하여 외부에 송풍팬의 상태를 표시함에 따라 송풍팬의 작동상태를 외부에서 감지하여 고장이나 송풍의 불량을 외부에서 바로 점검함으로써, 크린룸의 청정도를 일정하게 유지시키는 효과를 제공한다.

아울러, 본 고안의 크린룸용 팬필터 유닛은 케이싱부의 내측으로 압력을 센싱하는 압력센서를 형성하여 팬필터 유닛의 내부압력을 센싱하여 제어부에 형성된 압력표시부에 송부시켜 내부의 압력을 외부에 표시함으로써, 압력센서의 센싱에 의해 압력이 과다하면 공기압의 증대로 인해 필터를 통하여 내부에 공급하는 공기의 청정도가 떨어지는 오염의 원인이되고 압력이 적으면 크린룸의 내부 공기가 역류하여 내부 공기가 오염됨에 따라 압력을 수시로 점검하여 크린룸의 내부 청정도를 유지시키는 효과를 제공한다.

본 고안은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 하여 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 실시예의 변형이 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 고안의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 실용신안등록청구범위의 기술적 사상에 의해서 정해져야 할 것이다.

Claims

내부의 수용공간이 구비되어 일측으로 결합부를 돌출형성시켜 이중구조로 형성된 이중프레임을 각 모서리부를 결합하여 틀형태로 형성하고, 결합된 이중프레임의 중앙을 구획하도록 형성한 지지프레임의 일측으로 공급필터를 형성하며, 결합된 이중프레임의 하부에 램프를 구비한 하부고정프레임을 형성하고, 하부고정프레임의 상부에 유입되는 공기를 필터링하는 유입필터를 형성한 케이싱부와,

상기 케이싱부의 지지프레임에 타측으로 중앙에 통공형태의 송풍구를 구비한 송풍커버를 형성하고, 송풍커버의 하측으로 송풍팬을 구비한 송풍모터를 송풍구의 위치에 고정하도록 형성한 송풍부와,

상기 케이싱부의 전면 일측으로 전원을 제어하는 전원부를 형성하고, 전원부의 일측으로 송풍팬의 전원을 공급하는 송풍팬조작부와 송풍팬의 속도를 조절하는 송풍팬속도조절부를 형성하여 전원을 공급하고 송풍팬의 조작과 속도를 조절하는 제어부를 포함하여 구성하는 것을 특징으로 하는 크린룸용 팬필터 유닛.
제 1항에 있어서,

상기 케이싱부의 이중프레임은 내측으로 형성된 수용공간에 제어부의 전원부에서 공급되는 전원을 램프와 송풍모터에 공급하는 공급전선을 수납하도록 구성하는 것을 특징으로 하는 크린룸용 팬필터 유닛.
제 1항에 있어서,

상기 송풍부는 송풍구가 구비된 송풍커버의 하측으로 송풍팬과 송풍모터를 하부에서 고정하도록 고정구를 형성하여 송풍팬을 상부측으로 정확한 위치에 고정하도록 구성하는 것을 특징으로 하는 크린룸용 팬필터 유닛.
제 1항에 있어서,

상기 송풍부의 송풍팬을 구동하는 송풍모터의 일측으로 송풍팬의 회전속도를 센싱하는 모터센서를 형성하고, 모터센서의 신호를 수신하여 외부로 표시하도록 제어부의 일측으로 모터표시부를 형성하여 모터센서의 감지되는 송풍팬의 회전속도를 모터표시부로 외부에 표시하도록 구성하는 것을 특징으로 하는 크린룸용 팬필터 유닛.
제 1항에 있어서,

상기 케이싱부의 내측으로 송풍팬으로 유입되는 공기의 압력을 센싱하는 압력센서를 형성하고, 압력센서에서 센싱된 압력신호를 수신하여 외부에 표시하는 압력표시부를 제어부의 일측에 형성하여 케이싱부의 내부 압력을 제어부의 압력표시 부로 표시하도록 구성하는 것을 특징으로 하는 크린룸용 팬필터 유닛.