JPS6222936A - フアンフイルタ−ユニツト - Google Patents
フアンフイルタ−ユニツトInfo
- Publication number
- JPS6222936A JPS6222936A JP60160632A JP16063285A JPS6222936A JP S6222936 A JPS6222936 A JP S6222936A JP 60160632 A JP60160632 A JP 60160632A JP 16063285 A JP16063285 A JP 16063285A JP S6222936 A JPS6222936 A JP S6222936A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- blower
- filter unit
- plenum chamber
- air
- distribution
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F8/00—Treatment, e.g. purification, of air supplied to human living or working spaces otherwise than by heating, cooling, humidifying or drying
- F24F8/10—Treatment, e.g. purification, of air supplied to human living or working spaces otherwise than by heating, cooling, humidifying or drying by separation, e.g. by filtering
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、半導体工場や食品工場などで清浄空間を必要
とする場所で使用されるファンフィルターユニットに関
するものである。
とする場所で使用されるファンフィルターユニットに関
するものである。
従来の技術
従来のファンフィルターユニットは、第3図に示されて
いるような構成になっていた。
いるような構成になっていた。
すなわチ、ファンフィルターユニットのケーシング1内
には空気を送るための送風機2と、送風機2の風下側に
空気をろ過するだめのフィルター3が設けられており、
送風機2とフィルター3との間には風速を均一にするプ
レナムチャンバー4が設けられていた。このプレナムチ
ャンバー4には一定の開口率を持つパンチングメタル5
が設置されていた。
には空気を送るための送風機2と、送風機2の風下側に
空気をろ過するだめのフィルター3が設けられており、
送風機2とフィルター3との間には風速を均一にするプ
レナムチャンバー4が設けられていた。このプレナムチ
ャンバー4には一定の開口率を持つパンチングメタル5
が設置されていた。
以下、その動作を説明すると、送風機2により、外部空
気がプレナムチャンバー4および一定の開口率を持つパ
ンチングメタル5に送られ、プレナムチャンバー4と一
定の開口率を持つパンチングメタル5の作用により、均
圧化され、フィルター3に送られ、ろ過された後、均一
な風速分布を持つ清浄空気が供給される。
気がプレナムチャンバー4および一定の開口率を持つパ
ンチングメタル5に送られ、プレナムチャンバー4と一
定の開口率を持つパンチングメタル5の作用により、均
圧化され、フィルター3に送られ、ろ過された後、均一
な風速分布を持つ清浄空気が供給される。
発明が解決しようとする問題点
このような従来の構成では、フィルター3に送られる空
気を均圧化させるだめには、一定の開口率を持つパンチ
ングメタルの働きだけでは、送風機2の吹き出し口の風
速分布が速いとき、均圧化させることができずプレナム
チャンバー4を太きくとる必要があり、その結果、均一
な風速分布を持つ清浄空気を得ようとする場合には、フ
ァンフィルターユニットの全体の高さ寸法が350〜5
00嘲以上大きくなりコンパクト化が図れないという問
題があった。
気を均圧化させるだめには、一定の開口率を持つパンチ
ングメタルの働きだけでは、送風機2の吹き出し口の風
速分布が速いとき、均圧化させることができずプレナム
チャンバー4を太きくとる必要があり、その結果、均一
な風速分布を持つ清浄空気を得ようとする場合には、フ
ァンフィルターユニットの全体の高さ寸法が350〜5
00嘲以上大きくなりコンパクト化が図れないという問
題があった。
本発明はこのような問題点を解決するもので、プレナム
チャンバーを小さクシ、ファンフィルターユニットの全
体の寸法が小さい場合でも、フィルター下流側の風速分
布を均一化させることができるコンパクトなファンフィ
ルターユニットヲ提供することを目的とするものである
。
チャンバーを小さクシ、ファンフィルターユニットの全
体の寸法が小さい場合でも、フィルター下流側の風速分
布を均一化させることができるコンパクトなファンフィ
ルターユニットヲ提供することを目的とするものである
。
問題点を解決するための手段
この問題点を解決するために本発明のファンフィルター
ユニットは、送風機とフィルターとの間のプレナムチャ
ンバー内に、前記送風機の吹き出し風速分布に応じて、
開口率を変化させる抵抗体を設けたものである。
ユニットは、送風機とフィルターとの間のプレナムチャ
ンバー内に、前記送風機の吹き出し風速分布に応じて、
開口率を変化させる抵抗体を設けたものである。
作 用
この構成により、プレナムチャンバー内の抵抗体の開口
率を変化させることで、風速分布が均一化することがで
き、大きいプレナムチャンバーを用いなくとも風速が均
一化できる。
率を変化させることで、風速分布が均一化することがで
き、大きいプレナムチャンバーを用いなくとも風速が均
一化できる。
実施例
以下、本発明の一実施例について、第1図、第2図を参
照して説明する。
照して説明する。
第1図、第2図において、ファンフィルターユニットの
ケーシング1内には空気を送るための送風機2が設けら
れている。送風機2の風下側には空気をろ過するための
フィルター3が設けられている。そして送風機2とフィ
ルター3の間にはプレナムチャンバー4が設けられ、こ
のプレナムチャンバー4内には第2図に示すようにその
開口率を送風機の吹出し口の風速分布に応じて変化させ
る抵抗体が設けられている。そして抵抗体7は開口率が
16o% 、抵抗体8は20% 、抵抗体9は1o%
、抵抗体10は0%と、段階的に変化させたパンチング
メタルである。
ケーシング1内には空気を送るための送風機2が設けら
れている。送風機2の風下側には空気をろ過するための
フィルター3が設けられている。そして送風機2とフィ
ルター3の間にはプレナムチャンバー4が設けられ、こ
のプレナムチャンバー4内には第2図に示すようにその
開口率を送風機の吹出し口の風速分布に応じて変化させ
る抵抗体が設けられている。そして抵抗体7は開口率が
16o% 、抵抗体8は20% 、抵抗体9は1o%
、抵抗体10は0%と、段階的に変化させたパンチング
メタルである。
以下、その動作を説明すると、送風機2によシ空気がプ
レナムチャンバー4に供給される。ここで送風機2の吹
き出し風速分布に応じて、風速分布が速い場所では開口
率を小さくしてあり、逆に風速分布が遅い場所では、開
口率を大きくしであるパンチングメタル6の働きにより
、プレナムチャンバー4が小さい場合でも、風速分布の
均一化が図れ、フィルター3によシろ過された後、均一
な風速分布を持つ清浄空気が供給される。
レナムチャンバー4に供給される。ここで送風機2の吹
き出し風速分布に応じて、風速分布が速い場所では開口
率を小さくしてあり、逆に風速分布が遅い場所では、開
口率を大きくしであるパンチングメタル6の働きにより
、プレナムチャンバー4が小さい場合でも、風速分布の
均一化が図れ、フィルター3によシろ過された後、均一
な風速分布を持つ清浄空気が供給される。
以上のように本実施例によれば、送風機2とフィルター
3の間のプレナムチャンバー4内に、開口率を段階的に
変化させたパンチングメタル6の働きにより、プレナム
チャンバー4の厚みを20藺程度に薄くしても風速の均
一化が図れ、ファンフィルターユニットをコンパクト化
することができる。
3の間のプレナムチャンバー4内に、開口率を段階的に
変化させたパンチングメタル6の働きにより、プレナム
チャンバー4の厚みを20藺程度に薄くしても風速の均
一化が図れ、ファンフィルターユニットをコンパクト化
することができる。
発明の効果
以上のように本発明によれば、プレナムチャンバー内に
、送風機の吹き出し風速分布に応じて、開口率を変化さ
せた抵抗体とにより、プレナムチャンバーを薄くしても
風速の均一化が図れ、ファンフィルターユニットをコン
パクト化することができる。
、送風機の吹き出し風速分布に応じて、開口率を変化さ
せた抵抗体とにより、プレナムチャンバーを薄くしても
風速の均一化が図れ、ファンフィルターユニットをコン
パクト化することができる。
第1図は本発明の一実施例のファンフィルターユニット
を示す縦断面図、第2図は同ファンフィルターユニット
に設けた抵抗体を示す正面図、第3図は従来のファンフ
ィルターユニットを示す縦断面図である。 1・・・・・・ケーシング、2・・・・・・送風機、3
・・・・・・フィルター、4・・・・・・プレナムチャ
ンバー、6・・・・・・パンチングメタル(抵抗体)。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名2−
4)L数 3−74ルター 4−一−フル1ム+TンノC− 6=−1人J、!Lイ4ミ 第2図 第3図
を示す縦断面図、第2図は同ファンフィルターユニット
に設けた抵抗体を示す正面図、第3図は従来のファンフ
ィルターユニットを示す縦断面図である。 1・・・・・・ケーシング、2・・・・・・送風機、3
・・・・・・フィルター、4・・・・・・プレナムチャ
ンバー、6・・・・・・パンチングメタル(抵抗体)。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名2−
4)L数 3−74ルター 4−一−フル1ム+TンノC− 6=−1人J、!Lイ4ミ 第2図 第3図
Claims (1)
- 空気を清浄化するフィルターと、このフィルターに空気
を送風する送風機と、この送風機の風下側と前記フィル
ターの間に設けられたプレナムチャンバーを備え、前記
プレナムチャンバー内には、前記送風機の吹き出し風速
分布に応じて、開口率を変化させる抵抗体を設けたファ
ンフィルターユニット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60160632A JPS6222936A (ja) | 1985-07-19 | 1985-07-19 | フアンフイルタ−ユニツト |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60160632A JPS6222936A (ja) | 1985-07-19 | 1985-07-19 | フアンフイルタ−ユニツト |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6222936A true JPS6222936A (ja) | 1987-01-31 |
Family
ID=15719125
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60160632A Pending JPS6222936A (ja) | 1985-07-19 | 1985-07-19 | フアンフイルタ−ユニツト |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6222936A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006068676A (ja) * | 2004-09-03 | 2006-03-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ファンフィルターユニット |
JP2008256266A (ja) * | 2007-04-05 | 2008-10-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ファンフィルターユニット |
JP2009192139A (ja) * | 2008-02-14 | 2009-08-27 | Panasonic Corp | ファンフィルターユニットの吹出し面温度分布改善 |
JP2009257645A (ja) * | 2008-04-15 | 2009-11-05 | Panasonic Corp | ファンフィルタユニット |
JP2010007972A (ja) * | 2008-06-27 | 2010-01-14 | Kamimura Kogyo:Kk | クリーンエアー吹出し供給用の箱形ユニット装置 |
JP2018033704A (ja) * | 2016-08-31 | 2018-03-08 | テラル株式会社 | 脱臭装置 |
-
1985
- 1985-07-19 JP JP60160632A patent/JPS6222936A/ja active Pending
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006068676A (ja) * | 2004-09-03 | 2006-03-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ファンフィルターユニット |
JP4670286B2 (ja) * | 2004-09-03 | 2011-04-13 | パナソニック株式会社 | ファンフィルターユニット |
JP2008256266A (ja) * | 2007-04-05 | 2008-10-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ファンフィルターユニット |
JP2009192139A (ja) * | 2008-02-14 | 2009-08-27 | Panasonic Corp | ファンフィルターユニットの吹出し面温度分布改善 |
JP2009257645A (ja) * | 2008-04-15 | 2009-11-05 | Panasonic Corp | ファンフィルタユニット |
JP2010007972A (ja) * | 2008-06-27 | 2010-01-14 | Kamimura Kogyo:Kk | クリーンエアー吹出し供給用の箱形ユニット装置 |
JP2018033704A (ja) * | 2016-08-31 | 2018-03-08 | テラル株式会社 | 脱臭装置 |
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