JP4824024B2 - 耐熱性金属材料の放射率を増大させる方法、増大された放射率を有する放射加熱要素、ウエハキャリア用の耐熱性金属材料を作製する方法、及び熱吸収面用の材料を作製する方法 - Google Patents
耐熱性金属材料の放射率を増大させる方法、増大された放射率を有する放射加熱要素、ウエハキャリア用の耐熱性金属材料を作製する方法、及び熱吸収面用の材料を作製する方法 Download PDFInfo
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- 耐熱性金属材料の放射率を増大させる方法において、
前記耐熱性金属材料の少なくとも一の表面を機械加工し、前記金属材料を局部的に変形させ、微視的レベルの欠陥を生成するステップと、
前記耐熱性金属材料の前記加工された面をエッチングすることによって、付加的な化学元素を前記材料内に導入することなく、前記欠陥において選択的に前記材料を侵食し、その放射率を増加させ、前記欠陥における選択的侵食によって、微視的なレベルでの溝の網目構造を前記表面に形成するステップと
を含み、
ここで、前記エッチングステップで形成された前記溝の網目構造が前記表面で露出されており、該表面にある溝の網目構造によって前記耐熱性金属材料の放射率が増大し、前記耐熱性金属材料は、放射加熱要素、又は半導体反応装置の構成要素である方法。 - 前記機械加工ステップは、前記表面を機械的に粗面化するステップを含む請求項1に記載の方法。
- 前記機械加工ステップは、前記表面を工具と噛み合わせるステップを含む請求項1に記載の方法。
- 前記機械加工ステップは、前記表面を粒状媒体と接触させるステップを含む請求項1に記載の方法。
- 前記接触ステップは、前記表面をショットピーニングするステップを含む請求項4に記載の方法。
- 前記機械加工ステップは、前記表面を1つ又は多数の液体噴流と接触させるステップを含む請求項1に記載の方法。
- 前記エッチングステップは、前記加工された表面をプラズマと接触させることによってなされる請求項1に記載の方法。
- 前記耐熱性金属は、レニウムを含む請求項1に記載の方法。
- 前記耐熱性金属は、モリブデンを含む請求項1に記載の方法。
- 前記耐熱性金属は、タングステンを含む請求項1に記載の方法。
- 前記耐熱性金属は、レニウム、モリブデン、タングステン、及びニオビウムの少なくとも1つを含む合金を含む請求項1に記載の方法。
- 請求項1に記載のプロセスによって作製された材料を備える放射加熱器。
- 請求項2に記載のプロセスによって作製された材料を備える放射加熱器。
- 請求項3に記載のプロセスによって作製された材料を備える放射加熱器。
- 前記材料は、電気抵抗加熱フィラメントである請求項12に記載の加熱器。
- 請求項12の前記加熱器と、被加工品を前記加熱器の近傍に保持するように配置された構造体とを備える被加工品を加熱するシステム。
- 反応室と、前記反応室に配置された請求項15に記載の加熱器と、前記加熱器に近接して前記反応室に配置される半導体ウエハホルダーとを備える半導体処理反応装置。
- 増大された放射率を有する放射加熱要素において、前記要素は、第1の表面を有する耐熱性金属材料を含み、 前記第1の表面は、前記耐熱性金属材料の微視的なレベルでの溝の網目構造を含み、前記溝の網目構造は、前記耐熱性金属材料の前記第1の表面を機械加工して、前記金属材料を局部的に変形させ、微視的レベルの欠陥を生成し、及び前記耐熱性金属材料の前記第1の表面をエッチングすることによって、付加的な化学元素を前記材料内に導入することなく、前記欠陥において選択的に前記材料を侵食し、その放射率を増加させ、前記欠陥における選択的侵食によって、微視的なレベルでの溝の網目構造を前記表面に形成することにより生成され、ここで、前記エッチングステップで形成された前記溝の網目構造が前記表面で露出されており、該表面にある溝の網目構造によって前記耐熱性金属材料の放射率が増大している要素。
- 前記放射加熱要素の前記材料は、耐熱性金属を含み、前記耐熱性金属は、単独又は合金の形態にある請求項18に記載の要素。
- 前記放射加熱要素の前記材料は、レニウム、モリブデン、タングステン、及びニオビウムの少なくとも1つを含む請求項19に記載の要素。
- ウエハキャリア用の耐熱性金属材料を作製する方法において、
耐熱性金属材料の少なくとも一の表面を機械的に粗面化し、前記金属材料を局部的に変形させ、微視的レベルの欠陥を生成するステップと、
前記粗面化された前記耐熱性金属材料の表面を化学的にエッチングすることによって、付加的な化学元素を前記材料内に導入することなく、前記欠陥において選択的に前記材料を侵食し、その放射率を増加させ、前記欠陥における選択的侵食によって、微視的なレベルでの溝の網目構造を前記表面に形成するステップとを含み、
ここで、前記エッチングステップで形成された前記溝の網目構造が前記表面で露出されており、該表面にある溝の網目構造によって前記耐熱性金属材料の放射率が増大するようにしてなる方法。 - 請求項21のプロセスによって作製された前記材料を備えるウエハキャリア。
- 前記材料は、レニウム、モリブデン、タングステン、及びニオビウムの少なくとも1つを含む請求項22に記載のウエハキャリア。
- 熱吸収面用の材料を作製する方法において、
耐熱性金属材料の少なくとも一の表面を機械的に粗面化し、前記金属材料を局部的に変形させ、微視的レベルの欠陥を生成するステップと、
前記粗面化された表面を化学的にエッチングすることによって、付加的な化学元素を前記材料内に導入することなく、前記欠陥において選択的に前記材料を侵食し、その放射率を増加させ、前記欠陥における選択的侵食によって、微視的なレベルでの溝の網目構造を前記表面に形成するステップとを含み、
ここで、前記エッチングステップで形成された前記溝の網目構造が前記表面で露出されており、該表面にある溝の網目構造によって前記耐熱性金属材料の放射率が増大するようにしてなる方法。 - 請求項24のプロセスによって作製された前記材料を備える熱吸収面。
- 前記材料は、レニウム、モリブデン、タングステン、及びニオビウムの少なくとも1つを含む請求項25に記載の熱吸収面。
- 前記加工された面を液体と接触させることによってエッチングを行う請求項1の方法。
- 前記液体が酸である請求項27の方法。
- 前記酸が硝酸である請求項28の方法。
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