JP4823581B2 - 描画装置および描画方法 - Google Patents
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Description
12 感光材料
14 移動ステージ
18 設置台
20 ガイド
22 ゲート
24 スキャナ
26 センサ
28 スリット
30 露光ヘッド
32 露光エリア
36 DMD
38 ファイバアレイ光源
140 使用画素指定手段
150 設定変更手段
160 コントローラ
Claims (19)
- 描画面をN重描画(Nは2以上の自然数)により描画し、画像データが表す2次元パターンを該描画面上に形成する描画装置であって、
2次元状に配された多数の使用可能画素を有し前記画像データに応じて前記2次元パターンを構成する描画点群を発生させる画素アレイを備えた、1つまたは複数の描画ヘッドであって、前記使用可能画素の画素列方向と該描画ヘッドの走査方向が所定の設定傾斜角度をなすように、前記描画面に対して取り付けられた描画ヘッドと、
前記描画面に対して各々の前記描画ヘッドを前記走査方向に相対移動させる移動手段と、
各々の前記描画ヘッドについて、前記多数の使用可能画素のうちの前記N重描画に使用する使用画素を用いて前記描画を行なうように設定する使用画素設定手段を備え、
前記使用画素設定手段が、前記使用画素を指定する使用画素指定手段と、前記使用画素のみを用いて前記描画を行なうように設定を変更する設定変更手段とを有するものであり、
前記使用画素指定手段が、前記描画点群が示す前記描画面上における実際の画素列方向と前記走査方向とがなす実傾斜角度を特定し、該実傾斜角度と前記設定傾斜角度との間の誤差を吸収するように、前記使用画素を画素行単位で指定するものであることを特徴とする描画装置。 - 前記使用画素指定手段が、前記使用画素を画素行単位で指定するものであることを特徴とする請求項1または2記載の描画装置。
- 前記使用画素指定手段が、前記使用可能画素の画素列のうちの複数に対応する前記描画面上の描画点の複数の列を代表描画点列とし、複数の該代表描画点列の各々について、該代表描画点列の方向と前記走査方向とがなす個別実傾斜角度を特定し、該個別傾斜角度の代表値を、前記実傾斜角度とするものであることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項記載の描画装置。
- 前記代表値が、前記個別傾斜角度の平均値、中央値、最大値および最小値のいずれかであることを特徴とする請求項4記載の描画装置。
- 各々の前記描画ヘッドの前記画素アレイが、前記描画点群として光点群を発生させるものであることを特徴とする請求項1から5のいずれか1項記載の描画装置。
- 描画面をN重描画(Nは2以上の自然数)により描画し、画像データが表す2次元パターンを該描画面上に形成する描画装置であって、
2次元状に配された多数の使用可能画素を有し前記画像データに応じて前記2次元パターンを構成する描画点群を発生させる画素アレイを備えた、1つまたは複数の描画ヘッドであって、前記使用可能画素の画素列方向と該描画ヘッドの走査方向が所定の設定傾斜角度をなすように、前記描画面に対して取り付けられた描画ヘッドと、
前記描画面に対して各々の前記描画ヘッドを前記走査方向に相対移動させる移動手段と、
各々の前記描画ヘッドについて、前記多数の使用可能画素のうちの前記N重描画に使用する使用画素を用いて前記描画を行なうように設定する使用画素設定手段を備え、
前記使用画素設定手段が、前記使用画素を指定する使用画素指定手段と、前記使用画素のみを用いて前記描画を行なうように設定を変更する設定変更手段とを有するものであり、
各々の前記描画ヘッドの前記画素アレイが、前記描画点群として光点群を発生させるものであり、
前記使用画素指定手段が、
各々の前記描画ヘッドについて、前記光点群を構成する光点の前記描画面上における位置を検出する位置検出手段と、
各々の前記描画ヘッドについて、前記位置検出手段による検出結果に基づいて、前記描画面上の、前記使用画素の画素列間のつなぎ部分による描画個所を少なくとも1つ含む代表領域において、理想的な前記N重描画に対して描画が冗長となる部分および理想的な前記N重描画に対して描画が不足となる部分の合計が最小となるように、前記使用可能画素中の不使用画素を特定し、該不使用画素を除いた画素を前記使用画素として選択する選択手段を備えていることを特徴とする描画装置。 - 描画面をN重描画(Nは2以上の自然数)により描画し、画像データが表す2次元パターンを該描画面上に形成する描画装置であって、
2次元状に配された多数の使用可能画素を有し前記画像データに応じて前記2次元パターンを構成する描画点群を発生させる画素アレイを備えた、1つまたは複数の描画ヘッドであって、前記使用可能画素の画素列方向と該描画ヘッドの走査方向が所定の設定傾斜角度をなすように、前記描画面に対して取り付けられた描画ヘッドと、
前記描画面に対して各々の前記描画ヘッドを前記走査方向に相対移動させる移動手段と、
各々の前記描画ヘッドについて、前記多数の使用可能画素のうちの前記N重描画に使用する使用画素を用いて前記描画を行なうように設定する使用画素設定手段を備え、
前記使用画素設定手段が、前記使用画素を指定する使用画素指定手段と、前記使用画素のみを用いて前記描画を行なうように設定を変更する設定変更手段とを有するものであり、
各々の前記描画ヘッドの前記画素アレイが、前記描画点群として光点群を発生させるものであり、
前記使用画素指定手段が、
各々の前記描画ヘッドについて、前記光点群を構成する光点の前記描画面上における位置を検出する位置検出手段と、
各々の前記描画ヘッドについて、前記位置検出手段による検出結果に基づいて、前記描画面上の、前記使用画素の画素列間のつなぎ部分による描画個所を少なくとも1つ含む代表領域において、理想的な前記N重描画に対して描画が冗長となる部分の描画点数と、理想的な前記N重描画に対して描画が不足となる部分の描画点数とが等しくなるように、前記使用可能画素中の不使用画素を特定し、該不使用画素を除いた画素を前記使用画素として選択する選択手段を備えていることを特徴とする描画装置。 - 描画面をN重描画(Nは2以上の自然数)により描画し、画像データが表す2次元パターンを該描画面上に形成する描画装置であって、
2次元状に配された多数の使用可能画素を有し前記画像データに応じて前記2次元パターンを構成する描画点群を発生させる画素アレイを備えた、1つまたは複数の描画ヘッドであって、前記使用可能画素の画素列方向と該描画ヘッドの走査方向が所定の設定傾斜角度をなすように、前記描画面に対して取り付けられた描画ヘッドと、
前記描画面に対して各々の前記描画ヘッドを前記走査方向に相対移動させる移動手段と、
各々の前記描画ヘッドについて、前記多数の使用可能画素のうちの前記N重描画に使用する使用画素を用いて前記描画を行なうように設定する使用画素設定手段を備え、
前記使用画素設定手段が、前記使用画素を指定する使用画素指定手段と、前記使用画素のみを用いて前記描画を行なうように設定を変更する設定変更手段とを有するものであり、
各々の前記描画ヘッドの前記画素アレイが、前記描画点群として光点群を発生させるものであり、
前記使用画素指定手段が、
各々の前記描画ヘッドについて、前記光点群を構成する光点の前記描画面上における位置を検出する位置検出手段と、
各々の前記描画ヘッドについて、前記位置検出手段による検出結果に基づいて、前記描画面上の、前記使用画素の画素列間のつなぎ部分による描画個所を少なくとも1つ含む代表領域において、理想的な前記N重描画に対して描画が冗長となる部分が最小となり、かつ、理想的な前記N重描画に対して描画が不足となる部分が生じないように、前記使用可能画素中の不使用画素を特定し、該不使用画素を除いた画素を前記使用画素として選択する選択手段を備えていることを特徴とする描画装置。 - 描画面をN重描画(Nは2以上の自然数)により描画し、画像データが表す2次元パターンを該描画面上に形成する描画装置であって、
2次元状に配された多数の使用可能画素を有し前記画像データに応じて前記2次元パターンを構成する描画点群を発生させる画素アレイを備えた、1つまたは複数の描画ヘッドであって、前記使用可能画素の画素列方向と該描画ヘッドの走査方向が所定の設定傾斜角度をなすように、前記描画面に対して取り付けられた描画ヘッドと、
前記描画面に対して各々の前記描画ヘッドを前記走査方向に相対移動させる移動手段と、
各々の前記描画ヘッドについて、前記多数の使用可能画素のうちの前記N重描画に使用する使用画素を用いて前記描画を行なうように設定する使用画素設定手段を備え、
前記使用画素設定手段が、前記使用画素を指定する使用画素指定手段と、前記使用画素のみを用いて前記描画を行なうように設定を変更する設定変更手段とを有するものであり、
各々の前記描画ヘッドの前記画素アレイが、前記描画点群として光点群を発生させるものであり、
前記使用画素指定手段が、
各々の前記描画ヘッドについて、前記光点群を構成する光点の前記描画面上における位置を検出する位置検出手段と、
各々の前記描画ヘッドについて、前記位置検出手段による検出結果に基づいて、前記描画面上の、前記使用画素の画素列間のつなぎ部分による描画個所を少なくとも1つ含む代表領域において、理想的な前記N重描画に対して描画が不足となる部分が最小となり、かつ、理想的な前記N重描画に対して描画が冗長となる部分が生じないように、前記使用可能画素中の不使用画素を特定し、該不使用画素を除いた画素を前記使用画素として選択する選択手段を備えていることを特徴とする描画装置。 - 前記不使用画素が画素行単位で特定されることを特徴とする請求項7から11のいずれか1項記載の描画装置。
- 前記選択手段が、前記位置検出手段による少なくとも2つの前記光点の位置の検出結果に基づいて、前記光点群が示す前記描画面上に投影された実際の画素列方向と前記走査方向とがなす実傾斜角度を特定し、該実傾斜角度に基づいて、前記不使用画素を特定するものであることを特徴とする請求項7から12のいずれか1項記載の描画装置。
- 前記選択手段が、前記使用可能画素の画素列のうちの1つに対応する前記描画面上の前記光点の1つの列を代表光点列とし、該代表光点列およびその近傍の光点列をなす光点のうち、少なくとも2つの光点の位置の前記位置検出手段による検出結果に基づいて、前記実傾斜角度を特定するものであることを特徴とする請求項13記載の描画装置。
- 前記選択手段が、前記使用可能画素の画素列のうちの複数に対応する前記描画面上の前記光点の複数の列を代表光点列とし、複数の該代表光点列の各々について、該代表光点列およびその近傍の光点列をなす光点のうち、少なくとも2つの光点の位置の前記位置検出手段による検出結果に基づいて、該代表光点列の方向と前記走査方向とがなす個別実傾斜角度を特定し、該個別傾斜角度の代表値を、前記実傾斜角度とするものであることを特徴とする請求項13記載の描画装置。
- 前記代表値が、前記個別傾斜角度の平均値、中央値、最大値および最小値のいずれかであることを特徴とする請求項15記載の描画装置。
- 前記画像データが表す前記2次元パターンの所定部分の寸法が、指定された前記使用画素により実現できる対応部分の寸法と一致するように、前記画像データを変換するデータ変換手段をさらに備えていることを特徴とする請求項1から16のいずれか1項記載の描画装置。
- 前記画素アレイが、光源からの光を前記画像データに応じて画素ごとに変調する空間光変調素子であることを特徴とする請求項1から17のいずれか1項記載の描画装置。
- 前記Nが3以上7以下の自然数であることを特徴とする請求項1から18のいずれか1項記載の描画装置。
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