JP4738227B2 - 記録素子設定方法、画像記録方法及び装置 - Google Patents
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複数の前記記録素子を隣接する複数の前記記録素子からなる記録素子群に分割し、前記各記録素子群間の記録特性のローカリティ特性データを取得するステップと、
前記ローカリティ特性データを補正すべく、前記各記録素子群を構成する前記記録素子のオフ状態に制御する素子数を求めるステップと、
オフ状態に制御する前記素子数からなる特定の前記記録素子を前記各記録素子群毎に設定したマスクデータを求めるステップと、
オンオフ状態を決定する前記画像データと、オフ状態を決定する前記マスクデータとに基づいて前記各記録素子を制御し、前記画像記録媒体に画像を記録するステップと、
からなり、
前記特定の記録素子は、欠陥のある記録素子が優先的に選択されることを特徴とする。
複数の前記記録素子による記録特性のローカリティ特性データを取得するステップと、
前記ローカリティ特性データを補正すべく、オフ状態に制御する特定の前記記録素子を設定するステップと、
オフ状態に制御されない前記記録素子を前記画像データに応じて制御し、前記画像記録媒体に画像を記録するステップと、
を含み、前記特定の記録素子を設定するステップでは、オフ状態に制御する前記記録素子を欠陥のある記録素子から優先的に選択することを特徴とする。
複数の前記記録素子を隣接する複数の前記記録素子からなる記録素子群に分割し、前記各記録素子群間の記録特性のローカリティ特性データを取得するステップと、
前記ローカリティ特性データを補正すべく、前記各記録素子群を構成する前記記録素子のオフ状態に制御する素子数を求めるステップと、
オフ状態に制御する前記素子数からなる特定の前記記録素子を前記各記録素子群毎に設定したマスクデータを求めるステップと、
からなり、
オンオフ状態を決定する前記画像データと、オフ状態を決定する前記マスクデータとに基づいて前記各記録素子を制御可能に設定し、
前記特定の記録素子は、欠陥のある記録素子が優先的に選択されることを特徴とする。
複数の前記記録素子による記録特性のローカリティ特性データを取得するステップと、
前記ローカリティ特性データを補正すべく、オフ状態に制御する特定の前記記録素子を設定するステップと、
を含み、前記特定の記録素子を設定するステップでは、オフ状態に制御する前記記録素子を欠陥のある記録素子から優先的に選択することを特徴とする。
複数の前記記録素子を隣接する複数の前記記録素子からなる記録素子群に分割し、前記各記録素子群間の記録特性のローカリティ特性データを取得するローカリティ特性データ取得手段と、
前記ローカリティ特性データを補正すべく、前記各記録素子群を構成する前記記録素子から選択した特定の前記記録素子をオフ状態に制御するマスクデータを設定するマスクデータ設定手段と、
前記マスクデータを記憶するマスクデータ記憶手段と、
オンオフ状態を決定する前記画像データと、オフ状態を決定する前記マスクデータとに基づいて前記各記録素子を制御する記録素子制御手段と、
を備え、
前記特定の記録素子は、欠陥のある記録素子が優先的に選択されることを特徴とする。
複数の前記記録素子による記録特性のローカリティ特性データを取得するローカリティ特性データ取得手段と、
前記ローカリティ特性データを補正すべく、オフ状態に制御する特定の前記記録素子を設定する特定記録素子設定手段と、
オフ状態に制御されない前記記録素子を前記画像データに応じて制御し、前記画像記録媒体に画像を記録する記録素子制御手段と、
を備え、前記特定記録素子設定手段は、欠陥のある記録素子を優先的に選択して前記特定の記録素子に設定することを特徴とする。
n=N・ΔEi/Ei
とし、N枚中のn枚のマイクロミラー40をオフ状態とするデータとして設定すればよい。
k=INT(N/n)
の関係で決まる間引き間隔kで等間隔にオフ状態とするマスクデータを設定する(図15参照)。なお、INTは、N/nの少数以下を切り捨て、切り上げ、又は、四捨五入する関数である。
18…露光ステージ 22a、22b…CCDカメラ
24a〜24j…露光ヘッド 26…スキャナ
28…光源ユニット 36…DMD
42…DMDコントローラ 68…フォトセンサ
78…出力データ補正部 80…テストデータメモリ
82…マスクデータメモリ 86…マスクデータ設定部
87…ローカリティ特性データ設定部 88…光量ローカリティデータ算出部
90、96a、96b…テストパターン 92…グレースケールデータ
94…レジストパターン
F…基板 L…レーザビーム
Claims (24)
- 複数の記録素子を画像データに応じて制御し、画像記録媒体に画像を記録する画像記録方法において、
複数の前記記録素子を隣接する複数の前記記録素子からなる記録素子群に分割し、前記各記録素子群間の記録特性のローカリティ特性データを取得するステップと、
前記ローカリティ特性データを補正すべく、前記各記録素子群を構成する前記記録素子のオフ状態に制御する素子数を求めるステップと、
オフ状態に制御する前記素子数からなる特定の前記記録素子を前記各記録素子群毎に設定したマスクデータを求めるステップと、
オンオフ状態を決定する前記画像データと、オフ状態を決定する前記マスクデータとに基づいて前記各記録素子を制御し、前記画像記録媒体に画像を記録するステップと、
からなり、
前記特定の記録素子は、欠陥のある記録素子が優先的に選択されることを特徴とする画像記録方法。 - 請求項1記載の方法において、
前記記録素子は、前記画像データに応じて光ビームを前記画像記録媒体に導き、画像を露光記録することを特徴とする画像記録方法。 - 請求項1記載の方法において、
前記画像記録媒体は、前記記録素子により相対的に走査されることを特徴とする画像記録方法。 - 請求項1記載の方法において、
前記ローカリティ特性データは、前記画像記録媒体にテストパターンを記録し、前記テストパターンを所望の記録状態とすべく、前記記録素子の位置に応じた補正データとして求めることを特徴とする画像記録方法。 - 請求項1記載の方法において、
前記記録素子群を構成する前記各記録素子に対応して閾値を設定し、前記閾値と前記素子数とを比較して前記特定の記録素子を設定することを特徴とする画像記録方法。 - 請求項1記載の方法において、
前記素子数に基づき、前記各記録素子群内で略等間隔に前記特定の記録素子を設定することを特徴とする画像記録方法。 - 請求項6記載の方法において、
前記記録素子群を構成する複数の前記記録素子は、前記画像記録媒体の走査方向に対して所定角度傾斜したライン上に配列され、且つ、複数の前記ラインが前記走査方向と直交する方向に配列されることを特徴とする画像記録方法。 - 請求項6記載の方法において、
前記画像記録媒体に対して二次元的に配列された前記記録素子を一次元軸上に射影し、前記一次元軸上の各位置に射影された前記記録素子群を構成する複数の前記記録素子より、前記素子数からなる前記特定の記録素子を設定することを特徴とする画像記録方法。 - 請求項6記載の方法において、
オフ状態に制御する前記素子数nからなる前記特定の記録素子は、前記記録素子群を構成するN個の前記記録素子から、
k=INT(N/n) (INTは整数化の関数)
となる間隔kで設定されることを特徴とする画像記録方法。 - 請求項1記載の方法において、
前記画像記録媒体の略同一点に、前記画像記録媒体の走査方向に配列された複数の前記記録素子により画像を記録することを特徴とする画像記録方法。 - 請求項10記載の方法において、
前記記録素子群を構成する複数の前記記録素子は、前記画像記録媒体の走査方向に対して所定角度傾斜したライン上に配列され、且つ、複数の前記ラインが前記走査方向と直交する方向に配列されることを特徴とする画像記録方法。 - 請求項11記載の方法において、
前記各ライン上で前記素子数からなる前記記録素子がオフ状態に制御され、前記走査方向と直交する方向に配列される前記各ライン間で、オフ状態に制御される前記記録素子の一次元軸上に射影された位置が互いに一致しないように制御されることを特徴とする画像記録方法。 - 請求項1記載の方法において、
前記画像記録媒体の走査方向と直交する方向に配列される前記記録素子群毎に設定される前記各マスクデータを、前記素子数を保持した状態で前記走査方向に対する記録位置の移動に応じて変更することを特徴とする画像記録方法。 - 複数の記録素子を画像データに応じて制御し、画像記録媒体に画像を記録する画像記録方法において、
複数の前記記録素子による記録特性のローカリティ特性データを取得するステップと、
前記ローカリティ特性データを補正すべく、オフ状態に制御する特定の前記記録素子を設定するステップと、
オフ状態に制御されない前記記録素子を前記画像データに応じて制御し、前記画像記録媒体に画像を記録するステップと、
を含み、前記特定の記録素子を設定するステップでは、オフ状態に制御する前記記録素子を欠陥のある記録素子から優先的に選択することを特徴とする画像記録方法。 - 請求項14記載の方法において、
前記画像記録媒体の略同一点に、前記画像記録媒体の走査方向に配列された複数の前記記録素子により画像を記録することを特徴とする画像記録方法。 - 複数の記録素子を画像データに応じて制御し、画像記録媒体に画像を記録する際、
複数の前記記録素子を隣接する複数の前記記録素子からなる記録素子群に分割し、前記各記録素子群間の記録特性のローカリティ特性データを取得するステップと、
前記ローカリティ特性データを補正すべく、前記各記録素子群を構成する前記記録素子のオフ状態に制御する素子数を求めるステップと、
オフ状態に制御する前記素子数からなる特定の前記記録素子を前記各記録素子群毎に設定したマスクデータを求めるステップと、
からなり、
オンオフ状態を決定する前記画像データと、オフ状態を決定する前記マスクデータとに基づいて前記各記録素子を制御可能に設定し、
前記特定の記録素子は、欠陥のある記録素子が優先的に選択されることを特徴とする記録素子設定方法。 - 請求項16記載の方法において、
前記画像記録媒体の走査方向と直交する方向に配列される前記記録素子群毎に設定される前記各マスクデータを、前記素子数を保持した状態で前記走査方向に対する記録位置の移動に応じて変更することを特徴とする記録素子設定方法。 - 複数の記録素子を画像データに応じて制御し、画像記録媒体に画像を記録する際、
複数の前記記録素子による記録特性のローカリティ特性データを取得するステップと、
前記ローカリティ特性データを補正すべく、オフ状態に制御する特定の前記記録素子を設定するステップと、
を含み、前記特定の記録素子を設定するステップでは、オフ状態に制御する前記記録素子を欠陥のある記録素子から優先的に選択することを特徴とする記録素子設定方法。 - 複数の記録素子を画像データに応じて制御し、画像記録媒体に画像を記録する画像記録装置において、
複数の前記記録素子を隣接する複数の前記記録素子からなる記録素子群に分割し、前記各記録素子群間の記録特性のローカリティ特性データを取得するローカリティ特性データ取得手段と、
前記ローカリティ特性データを補正すべく、前記各記録素子群を構成する前記記録素子から選択した特定の前記記録素子をオフ状態に制御するマスクデータを設定するマスクデータ設定手段と、
前記マスクデータを記憶するマスクデータ記憶手段と、
オンオフ状態を決定する前記画像データと、オフ状態を決定する前記マスクデータとに基づいて前記各記録素子を制御する記録素子制御手段と、
を備え、
前記特定の記録素子は、欠陥のある記録素子が優先的に選択されることを特徴とする画像記録装置。 - 請求項19記載の装置において、
前記記録素子は、前記画像データに応じて光ビームを前記画像記録媒体に導き、画像を露光記録する露光素子であることを特徴とする画像記録装置。 - 請求項20記載の装置において、
前記露光素子は、前記画像データに従い、入射した光ビームを変調して前記画像記録媒体に導く空間光変調素子を構成することを特徴とする画像記録装置。 - 請求項21記載の装置において、
前記空間光変調素子は、前記光ビームを反射する反射面の角度が前記画像データに従って変更可能な多数のマイクロミラーを二次元的に配列して構成されるマイクロミラーデバイスであることを特徴とする画像記録装置。 - 請求項19記載の装置において、
前記画像記録媒体の走査方向と直交する方向に配列される前記記録素子群毎に設定される前記各マスクデータを、素子数を保持した状態で前記走査方向に対する記録位置の移動に応じて変更するマスクデータ変更手段を備えることを特徴とする画像記録装置。 - 複数の記録素子を画像データに応じて制御し、画像記録媒体に画像を記録する画像記録装置において、
複数の前記記録素子による記録特性のローカリティ特性データを取得するローカリティ特性データ取得手段と、
前記ローカリティ特性データを補正すべく、オフ状態に制御する特定の前記記録素子を設定する特定記録素子設定手段と、
オフ状態に制御されない前記記録素子を前記画像データに応じて制御し、前記画像記録媒体に画像を記録する記録素子制御手段と、
を備え、前記特定記録素子設定手段は、欠陥のある記録素子を優先的に選択して前記特定の記録素子に設定することを特徴とする画像記録装置。
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Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09240058A (ja) * | 1996-03-08 | 1997-09-16 | Konica Corp | 画像記録装置 |
JP2003260815A (ja) * | 2002-03-11 | 2003-09-16 | Fuji Photo Film Co Ltd | 画像記録方法および画像記録装置 |
JP2004147140A (ja) * | 2002-10-25 | 2004-05-20 | Fuji Photo Film Co Ltd | デジタルカメラ |
JP2004230879A (ja) * | 2003-01-10 | 2004-08-19 | Seiko Epson Corp | ラインヘッドおよびそれを用いた画像形成装置 |
JP2005022250A (ja) * | 2003-07-02 | 2005-01-27 | Fuji Photo Film Co Ltd | 画像記録方法及び画像記録装置 |
JP2006030986A (ja) * | 2004-06-17 | 2006-02-02 | Fuji Photo Film Co Ltd | 描画装置および描画方法 |
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09240058A (ja) * | 1996-03-08 | 1997-09-16 | Konica Corp | 画像記録装置 |
JP2003260815A (ja) * | 2002-03-11 | 2003-09-16 | Fuji Photo Film Co Ltd | 画像記録方法および画像記録装置 |
JP2004147140A (ja) * | 2002-10-25 | 2004-05-20 | Fuji Photo Film Co Ltd | デジタルカメラ |
JP2004230879A (ja) * | 2003-01-10 | 2004-08-19 | Seiko Epson Corp | ラインヘッドおよびそれを用いた画像形成装置 |
JP2005022250A (ja) * | 2003-07-02 | 2005-01-27 | Fuji Photo Film Co Ltd | 画像記録方法及び画像記録装置 |
JP2006030986A (ja) * | 2004-06-17 | 2006-02-02 | Fuji Photo Film Co Ltd | 描画装置および描画方法 |
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