JP4738226B2 - 画像記録方法及び装置 - Google Patents
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前記記録素子の前記画像データによる制御状態を補正する補正データを設定するステップと、
前記記録素子による画像記録特性値であって、前記画像データに応じて前記記録素子により変調される光ビームのビーム径を測定するステップと、
前記ビーム径の経時的変化量を求めるステップと、
一定線幅及び一定スペース幅を繰り返すテストデータに基づき前記画像記録媒体に記録されるテストパターンにおける線幅の経時的変化量を、前記ビーム径の経時的変化量に基づき算出するステップと、
前記線幅の経時的変化量に基づいて、前記光ビームの光量の補正量を算出するステップと、
前記補正量に基づき、前記補正データを修正するステップと、
修正された前記補正データを用いて前記記録素子の制御状態を補正し、前記画像データに応じた画像を前記画像記録媒体に記録するステップと、
からなることを特徴とする。
前記記録素子の前記画像データによる制御状態を補正する補正データを設定する補正データ設定手段と、
前記補正データを記憶する補正データ記憶手段と、
前記記録素子による画像記録特性値であって、前記画像データに応じて前記記録素子により変調される光ビームのビーム径を測定する特性値測定手段と、
前記ビーム径の経時的変化量を算出し、一定線幅及び一定スペース幅を繰り返すテストデータに基づき前記画像記録媒体に記録されるテストパターンにおける線幅の経時的変化量を、前記ビーム径の経時的変化量に基づき算出し、前記線幅の経時的変化量に基づいて前記光ビームの光量の補正量を算出する変化量算出手段と、
前記補正量に基づき、前記補正データを修正する補正データ修正手段と、
前記補正データを用いて前記記録素子の制御状態を補正し、前記画像データに応じた画像を前記画像記録媒体に記録する記録素子制御手段と、
を備えることを特徴とする。
n=N・ΔEi/Ei
とし、N枚中のn枚のマイクロミラー40をオフ状態とするように設定すればよい。
ΔW(x)=ΔW1(x)+ΔW2(x)
=f(ΔE(x))+g(ΔF(x))
となる。なお、fは、線幅変化量ΔW1(x)と光量変化量ΔE(x)との関係を表す関数であり、例えば、光量/線幅テーブルメモリ87に記憶されているテーブルである。また、gは、線幅変化量ΔW2(x)とビーム径変化量ΔF(x)との関係を表す関数であり、例えば、ビーム径/線幅テーブルメモリ89に記憶されているテーブルである。光量変化量ΔE(x)及びビーム径変化量ΔF(x)と、線幅変化量ΔW(x)との関係を表す関数f、gは、基板Fに塗布される感光材料の種類に応じて設定してもよい。
ΔEcor(x)=f-1(ΔW(x))
として算出する(ステップS22)。
18…露光ステージ 22a、22b…CCDカメラ
24a〜24j…露光ヘッド 26…スキャナ
28…光源ユニット 36…DMD
42…DMDコントローラ 68、69…フォトセンサ
78…出力データ補正部 80…テストデータメモリ
82…マスクデータメモリ 86…マスクデータ設定部
87…光量/線幅テーブルメモリ 88…光量ローカリティデータ算出部
89…ビーム径/線幅テーブルメモリ 90、96a、96b…テストパターン
91…光量ローカリティデータメモリ
93…ビーム径ローカリティデータ算出部
95…ビーム径ローカリティデータメモリ
F…基板 L…レーザビーム
Claims (10)
- 複数の記録素子を画像データに応じて制御し、画像記録媒体に画像を記録する画像記録方法において、
前記記録素子の前記画像データによる制御状態を補正する補正データを設定するステップと、
前記記録素子による画像記録特性値であって、前記画像データに応じて前記記録素子により変調される光ビームのビーム径を測定するステップと、
前記ビーム径の経時的変化量を求めるステップと、
一定線幅及び一定スペース幅を繰り返すテストデータに基づき前記画像記録媒体に記録されるテストパターンにおける線幅の経時的変化量を、前記ビーム径の経時的変化量に基づき算出するステップと、
前記線幅の経時的変化量に基づいて、前記光ビームの光量の補正量を算出するステップと、
前記補正量に基づき、前記補正データを修正するステップと、
修正された前記補正データを用いて前記記録素子の制御状態を補正し、前記画像データに応じた画像を前記画像記録媒体に記録するステップと、
からなることを特徴とする画像記録方法。 - 請求項1記載の方法において、
前記補正データは、前記画像記録媒体に記録される画像のローカリティを補正すべく、特定の前記記録素子をオフ状態に制御するマスクデータからなることを特徴とする画像記録方法。 - 請求項1記載の方法において、
前記画像記録媒体に前記テストパターンを記録し、前記テストパターンの各位置での線幅又は線間隔を測定して前記補正データを求めることを特徴とする画像記録方法。 - 請求項1記載の方法において、
前記補正データは、前記画像記録媒体の種類毎に設定することを特徴とする画像記録方法。 - 請求項1記載の方法において、
前記画像記録特性値には、前記画像データに応じて前記記録素子により変調される光ビームの光量も含まれ、
前記光ビームの光量を測定するステップと、
前記光量の経時的変化量を求めるステップと、
前記ビーム径の経時的変化量及び前記光量の経時的変化量に基づいて前記線幅の経時的変化量を算出するステップと、
をさらに有することを特徴とする画像記録方法。 - 複数の記録素子を画像データに応じて制御し、画像記録媒体に画像を記録する画像記録装置において、
前記記録素子の前記画像データによる制御状態を補正する補正データを設定する補正データ設定手段と、
前記補正データを記憶する補正データ記憶手段と、
前記記録素子による画像記録特性値であって、前記画像データに応じて前記記録素子により変調される光ビームのビーム径を測定する特性値測定手段と、
前記ビーム径の経時的変化量を算出し、一定線幅及び一定スペース幅を繰り返すテストデータに基づき前記画像記録媒体に記録されるテストパターンにおける線幅の経時的変化量を、前記ビーム径の経時的変化量に基づき算出し、前記線幅の経時的変化量に基づいて前記光ビームの光量の補正量を算出する変化量算出手段と、
前記補正量に基づき、前記補正データを修正する補正データ修正手段と、
前記補正データを用いて前記記録素子の制御状態を補正し、前記画像データに応じた画像を前記画像記録媒体に記録する記録素子制御手段と、
を備えることを特徴とする画像記録装置。 - 請求項6記載の装置において、
前記画像記録特性値には、前記画像データに応じて前記記録素子により変調される光ビームの光量も含まれ、
前記特性値測定手段は、前記光ビームの光量も測定することを特徴とする画像記録装置。 - 請求項7記載の装置において、
前記ビーム径の変化量及び前記光量の変化量と、前記線幅の変化量との関係を記憶する変化量記憶手段を備え、
前記変化量算出手段は、前記ビーム径の変化量及び前記光ビームの光量の変化量を前記線幅の変化量に変換し、変換した前記線幅の変化量と、前記変化量記憶手段に記憶された前記光量の変化量及び前記線幅の変化量の関係とに基づいて前記光量の補正量を算出することを特徴とする画像記録装置。 - 請求項6記載の装置において、
複数の前記記録素子は、光ビームを前記画像データに応じて変調し、前記画像記録媒体に画像を露光記録する空間光変調素子を構成することを特徴とする画像記録装置。 - 請求項9記載の装置において、
前記空間光変調素子は、前記光ビームを反射する反射面の角度が前記画像データに従って変更可能な多数のマイクロミラーを二次元的に配列して構成されるマイクロミラーデバイスであることを特徴とする画像記録装置。
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JP2004034457A (ja) * | 2002-07-02 | 2004-02-05 | Konica Minolta Holdings Inc | 画像記録装置、管理装置、カラープルーフ作成システム、コンピュータプログラム製品、及び画像記録装置の光量補正方法 |
JP2004317545A (ja) * | 2003-04-11 | 2004-11-11 | Fuji Photo Film Co Ltd | 画像露光装置における光量設定方法 |
JP2005022250A (ja) * | 2003-07-02 | 2005-01-27 | Fuji Photo Film Co Ltd | 画像記録方法及び画像記録装置 |
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2006
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