JP4817543B2 - 積層型マルチチップ半導体装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体装置に係り、特に複数の半導体素子が積層されて搭載された積層型マルチチップ半導体装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
電子機器の小型化に伴い、半導体装置の小型化への要求も高まっている。このような半導体装置への小型化への要求にこたえるべく、半導体装置の構造は、従来のリードフレーム構造から、外部端子としてハンダボールのように突起電極を備えるCSP(チップサイズパッケージ)構造へと移行してきている。
【0003】
近年では、RCSP(リアルチップサイズパッケージ)が開発され、これにより半導体装置の2次元的な小型化は限界となっている。そこで、半導体装置の更なる高密度化のために、複数個の半導体素子を積層したスタック型のMCP(マルチチップパッケージ)が開発されている。スタック型のMCPの例を図1に示す。
【0004】
図1(a)に示すスタック型のMCPは、インターポーザ(再配線基板)1の上に半導体素子2Aを搭載し、その上に半導体素子2Bを積層して搭載した半導体装置である。半導体素子2Aはダイス付け材3によりインターポーザ1上に固定される。同様に、半導体素子2Bもダイス付け材3により半導体措置2A上に固定される。半導体素子2Bの端子は半導体素子2Aの端子にボンディングワイヤ5Aにより接続される。また、半導体素子2Aの端子はインターポーザ1の端子にボンディングワイヤ5Bにより接続される。半導体素子2A及び2Bは、インターポーザ1上でモールドレジン7により封止される。インターポーザ1の底面には、外部接続用端子としてハンダボール6が形成される。
【0005】
図1(b)に示すスタック型のMCPは、半導体素子2Aにバンプ4Aを設け、フリップチップ実装によりインターポーザ1に搭載したものである。したがって、上側の半導体素子2Bの端子はボンディングワイヤ5Bにより直接インターポーザ1の端子に接続される。
【0006】
図1(c)に示すスタック型のMCPは、半導体素子2Bにバンプ4Bを設け、フリップチップ実装により半導体素子2Aに搭載したものである。したがって、下側の半導体素子2Aのみがボンディングワイヤ5Aによりインターポーザ1の端子に接続される。
【0007】
ここで、図1(a)及び(b)に示す半導体装置では、半導体装置2A,2Bをダイス付け材3により接合しているが、ダイス付け材3の厚みは非常に薄いため、接合された半導体装置2A,2Bは、発熱量が異なっていてもほぼ同じ温度となる。また、図1(c)に示す半導体装置でも、半導体装置2A,2Bがバンプにより接続されているため、半導体装置2A,2Bの温度はほぼ同じ温度となる。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
図1に示すような従来のスタック型のMCPは、比較的消費電力の小さいメモリ系の半導体素子同士の組み合わせで主に使用されていた。このため、半導体素子の発熱による問題はあまり生じておらず、半導体素子の放熱に関してはほとんど対策が施されていなかった。
【0009】
しかし、近年において、スタック型のMCPには、メモリ同士の組み合わせばかりでなく、ロジック+メモリ、アナログ+デジタル、あるいは低消費電力素子+高消費電力素子といった組み合わせのように、システムあるいはサブシステムとしての機能が要求されている。このような機能を有するスタック型のMCPでは、ジャンクション温度(Tj)の異なる半導体素子を積層して搭載する必要がある。
【0010】
上述のように、従来の構成のスタック型のMCPでは、積層された半導体素子は、全てほぼ等しい温度となってしまう。このため、ジャンクション温度が異なる半導体素子を積層した場合、ジャンクション温度の低い方の半導体素子に合わせた熱抵抗を有するパッケージとする必要がある。あるいは、発熱に対するマージンが少ない方の半導体素子に対して熱がなるべく伝達されないような構成とする必要がある。
【0011】
本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、複数の半導体素子を積層した際に各半導体素子から発生する熱の移動を制御することのできる積層型マルチチップ半導体装置を提供することを目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために本発明では、次に述べる各手段を講じたことを特徴とするものである。
【0015】
請求項1記載の発明は、複数の半導体素子を積層して搭載した積層型マルチチップ半導体装置であって、前記複数の半導体素子のうちジャンクション温度が低い第1の半導体素子と該第1の半導体素子よりもジャンクション温度が高い第2の半導体素子との間にペルチェ素子を積層して配置し、該ペルチェ素子の低温側を前記第1の半導体素子に接合し、前記ペルチェ素子の高温側を前記第2の半導体素子に接合したことを特徴とするものである。
【0016】
請求項1記載の発明によれば、ジャンクション温度の低い半導体素子、すなわち発熱に対するマージンが少ない半導体素子の熱を集中的に吸収して冷却し、吸収した熱をジャンクション温度の高い半導体装置へと移動(伝達)することができる。したがって、半導体装置全体を、ジャンクション温度の高い半導体素子に合わせた熱抵抗に基づいて設計することができる。
【0021】
請求項2記載の発明は、配線基板上に積層して搭載された複数の半導体素子を有する積層型マルチチップ半導体装置であって、前記複数の半導体素子の間に積層した状態で熱絶縁体を配置し、該熱絶縁体を挟む半導体装置の間に温度差を設け、前記熱絶縁体の厚みは、配線基板上に前記半導体素子を固定するダイス付け材の厚みより大きく、前記熱絶縁体は複数の柱状の熱絶縁体からなることを特徴とするものである。
【0022】
請求項2記載の発明によれば、柱状の熱絶縁体の周囲に熱伝導率の低い材料を充填することができる。
【0023】
図2は本発明の第1の実施の形態による積層型マルチチップ半導体装置の断面図である。図2において、図1に示す構成部品と同等な部品には同じ符号を付し、その説明は適宜省略する。
【0024】
図2に示す半導体装置は、下側の半導体素子2Aと上側の半導体素子2Bとの間に電子冷却素子としてのペルチェ素子8が設けられている。ペルチェ素子8は放熱面8aと反対側の吸熱面8bとを有しており、放熱面8a側にバンプ8cが形成される。バンプ8cはペルチェ素子8に電流を供給するための端子であり、2個設けられていればよいが、本実施の形態ではペルチェ素子8から半導体素子2Aへの熱の伝達を促進するために多数のバンプ8cが設けられている。
【0025】
上側の半導体素子2Bは、ペルチェ素子8の吸熱面8Bに対してダイス付け材3により固定される。そして、半導体素子2Bの端子はボンディングワイヤ5Bにより半導体素子2Aの端子に接続され、半導体素子2Aの端子はボンディングワイヤ5Aによりインターポーザ1の端子に接続される。
【0026】
以上のような構成の半導体装置において、ペルチェ素子8に電流を流すと、吸熱面8bで吸収した熱が放熱面8aから放出される。したがって、上側の半導体素子2Bの熱がペルチェ素子8により吸収され、下側の半導体素子2Aに対して放出される。すなわち、上側の半導体素子2Aで発生した熱は、ペルチェ素子8により下側の半導体素子2Aに移動される。下側の半導体素子2Aに移動した熱は、従来と同様にインターポーザ1及びハンダボール6を介して半導体装置の外部へと放出される。
【0027】
ここで、ペルチェ素子8の構成について図3を参照しながら説明する。図3はペルチェ素子8の構成を示す図である。ペルチェ素子8は、直列に接続された複数のN型半導体とP型半導体で構成される。図3に示すように電流Iを流すと、両面8aと8bとの間に温度差ΔTが発生する。ペルチェ素子8の電極側が放熱面8aとなり、反対側の面が吸熱面8bとなる。すなわち、吸熱面8bでは熱を吸収し、吸収した熱を放熱面8bから放出する。したがって、ペルチェ素子は、吸熱面側から放熱面側へと熱を移動させる機能を有し、これにより、吸熱面8b側を冷却することができる。
【0028】
以上のようなペルチェ素子8により、上側の半導体素子2Aが発生した熱は、下側の半導体素子2Aに移動(伝達)されるため、上側の半導体素子2Bに対して冷却効果が提供される。すなわち、上側の半導体素子2Bより下側の半導体素子2Aの方が発熱量が大きい場合であっても、ペルチェ素子8の作用により下側の半導体素子2Aから上側の半導体素子2Bへと熱が伝わることが防止される。これにより、上側の半導体素子2Bの温度を下側の半導体素子2Aの温度より低く維持することができる。
【0029】
すなわち、上側の半導体素子2Bのジャンクション温度が、下側の半導体素子2Aのジャンクション温度より低いような場合、図2に示すようにペルチェ素子8を設けることにより、下側の半導体素子2Aからの熱の伝達を防止し、上側の半導体素子2Bをそのジャンクション温度より低く維持することができる。換言すると、下側の半導体素子2Aの温度許容範囲に対して上側の半導体素子2Bの温度許容範囲の方がマージンが小さい場合であっても、ペルチェ素子8を設けることにより、下側の半導体素子2Aの温度を許容範囲の上限に近く維持しながら、上側の半導体素子2Bの温度をその許容範囲内に維持することができる。
【0030】
図2に示す半導体素装置では、ペルチェ素子8と下側の半導体素子2Aとの間にはモールドレジン7が充填される構成であるが、図4に示すように、ペルチェ素子8と下側の半導体素子2Aとの間にアンダーフィル材9を充填することとしてもよい。アンダーフィル材9に伝熱特性の高い材料を使用すれば、ペルチェ素子8から半導体素子2Aへの熱の伝達を促進することができる。
【0031】
次に、本発明の第2の実施の形態による積層型マルチチップ半導体装置について、図5を参照しながら説明する。図5は本発明の第2の実施の形態による積層型マルチチップ半導体装置の断面図である。図5において、図2に示す構成部品と同等な部品には同じ符号を付し、その説明は適宜省略する。
【0032】
本発明の第2の実施の形態による半導体装置では、ペルチェ素子8がインターポーザ1に搭載され、ペルチェ素子8の上に半導体素子2A,2Bが積層された状態で搭載される。本実施の形態の場合、ペルチェ素子8は、下側の半導体素子2Aから熱を吸収して、吸収した熱をインターポーザ1に対して放出する。インターポーザ1に伝達された熱は、インターポーザ1から外部へと放出される。
【0033】
したがって、本実施の形態の場合、半導体素子2Bの熱は半導体素子2Aを介してペルチェ素子8に伝達され、インターポーザ1から外部に放出される。これにより、半導体素子2Bの温度と半導体素子2Aの温度とはほぼ同じ温度となるが、半導体素子2Aと半導体素子2Bとの間にダイス付け材3の熱抵抗があるため、半導体素子2Bの温度のほうが僅かに高くなる。
【0034】
本実施の形態の場合、半導体素子2Aと半導体素子2Bとの温度差は僅かであるが、ペルチェ素子8を下側の半導体素子2Aに等しい大きさか、それより大きくできるため、冷却効果を大きくすることができ、発熱量の大きな半導体素子であっても十分に冷却することができる。
【0035】
次に、本発明の第3の実施の形態について、図6を参照しながら説明する。図6は本発明の第3の実施の形態による積層型マルチチップ半導体装置の断面図である。図6において、図2に示す構成部品と同等な部品には同じ符号を付し、その説明は適宜省略する。
【0036】
本発明の第3の実施の形態による半導体装置は、上側の半導体素子2Bの上にペルチェ素子8を積層して搭載したものである。すなわち、インターポーザ1上に下側の半導体素子2Aを搭載し、その上に半導体素子2Bを積層して搭載し、更にその上にペルチェ素子8を積層して搭載したものである。また、ペルチェ素子8は、吸熱面8bが半導体素子2Bに対向した状態で積層される。更に、ペルチェ素子8の放熱面8aにはヒートシンク10が接合される。
【0037】
そして、下側の半導体素子2Aの端子はインターポーザ1の端子にワイヤボンディングされ、上側の半導体素子2Bの端子は下側の半導体素子2Aの端子にワイヤボンディングされる。また、図6に示す例では、ペルチェ素子8の端子が半導体素子2Bの端子にワイヤボンディングされ電流が供給される。
【0038】
以上のような構成の半導体装置では、半導体装置と実装基板との接続状況にも依存するが、インターポーザ1からの放熱量よりヒートシンク10からの放熱量の方が大きくなり、上側の半導体素子2Bの温度を半導体素子2Aの温度より低く維持することができる。
【0039】
図7及び図8は、図6に示す半導体装置の変形例を示す断面図である。図7に示す半導体装置では、下側の半導体素子2Aがフリップチップボンディングによりインターポーザ1に搭載されている。また、図8に示す半導体装置では、上側の半導体素子2Bがフリップチップボンディングにより下側の半導体素子2Aに搭載されている。したがって、ペルチェ素子8の端子は、下側の半導体素子2Aの端子にワイヤボンディングされる。
【0040】
次に、本発明の第4の実施の形態について、図9を参照しながら説明する。図9は本発明の第4の実施の形態による積層型マルチチップ半導体装置の断面図である。図9において、図2に示す構成部品と同等な部品には同じ符号を付し、その説明は適宜省略する。
【0041】
本発明の第4の実施の形態は、上述の実施の形態とは異なり、ペルチェ素子のような電子冷却素子を用いない。その代わり、下側の半導体素子2Aと上側の半導体素子2Bとの間に、熱絶縁体11が配置される。熱絶縁体11は、例えばエポキシ樹脂のように熱伝導率の小さい材料により形成される。そして、熱絶縁体11の厚みは、例えば150μm以上であり、従来の積層型の半導体装置のダイス付け材3の厚みより十分大きい厚みである。したがって、上側の半導体素子2Bは、下側の半導体素子2Aから熱的に絶縁された状態となり、下側の半導体素子2Aから上側の半導体素子2Bへの熱伝達が防止される。これにより、上側の半導体素子2Bの温度を下側の半導体素子2Aの温度より低く維持することができる。
【0042】
なお、上側の半導体素子2Bの発熱量が多い場合は、図6に示すようなヒートシンクを上側の半導体素子2Bに接合することにより、上側の半導体素子2Bの温度を低く維持することができる。また、熱絶縁体11を熱伝送率の低い材料で形成されたダミーチップとしても同様な熱絶縁効果を得ることができる。
【0043】
図10は、図9に示す半導体装置の変形例を示す断面図である。図10に示す半導体装置は、熱絶縁体11の代わりにポスト状(柱状)の熱絶縁体11Aを設けたものである。熱絶縁体11Aは半導体素子の接合材料により形成し、その周囲に熱伝導率の低いエポキシ樹脂等をオーバーモールドすることとしてもよい。
【0044】
以上説明した実施の形態による半導体装置は、2つの半導体素子を有するものとして説明したが、本発明は3つ以上の半導体素子が積層されたマルチチップ半導体装置にも適用することができ、上述したものと同様の効果を得ることができる。
【発明の効果】
上述の如く本発明によれば、次に述べる種々の効果を実現することができる。
【0046】
請求項1記載の発明によれば、ジャンクション温度の低い半導体素子、すなわち発熱に対するマージンが少ない半導体素子の熱を集中的に吸収して冷却し、吸収した熱をジャンクション温度の高い半導体装置へと移動(伝達)することができる。したがって、半導体装置全体を、ジャンクション温度の高い半導体素子に合わせた熱抵抗に基づいて設計することができる。
【0049】
請求項2記載の発明によれば、柱状の熱絶縁体の周囲に熱伝導率の低い材料を充填することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来のスタック型のMCPの構成を示す断面図である。
【図2】本発明の第1の実施の形態による積層型マルチチップ半導体装置の断面図である。
【図3】図2に示すペルチェ素子の構成を示す図である。
【図4】図2に示す半導体装置の変形例を示す断面図である。
【図5】本発明の第2の実施の形態による積層型マルチチップ半導体装置の断面図である。
【図6】本発明の第3の実施の形態による積層型マルチチップ半導体装置の断面図である。
【図7】図6に示す半導体装置の変形例を示す断面図である。
【図8】図6に示す半導体装置の他の変形例を示す断面図である。
【図9】本発明の第4の実施の形態による積層型マルチチップ半導体装置の断面図である。
【図10】図9に示す半導体装置の変形例を示す断面図である。
【符号の説明】
1 インターポーザ
2A,2B 半導体素子
3 ダイス付け材
5A,5B ボンディングワイヤ
6 ハンダボール
7 モールドレジン
8 ペルチェ素子
8a 放熱面
8b 吸熱面
8c バンプ
9 アンダーフィル材
10 ヒートシンク
11,11A 熱絶縁体
Claims (2)
- 複数の半導体素子を積層して搭載した積層型マルチチップ半導体装置であって、
前記複数の半導体素子のうちジャンクション温度が低い第1の半導体素子と該第1の半導体素子よりもジャンクション温度が高い第2の半導体素子との間にペルチェ素子を積層して配置し、該ペルチェ素子の低温側を前記第1の半導体素子に接合し、前記ペルチェ素子の高温側を前記第2の半導体素子に接合したことを特徴とする積層型マルチチップ半導体装置。 - 配線基板上に積層して搭載された複数の半導体素子を有する積層型マルチチップ半導体装置であって、
前記複数の半導体素子の間に積層した状態で熱絶縁体を配置し、該熱絶縁体を挟む半導体装置の間に温度差を設け、
前記熱絶縁体の厚みは、配線基板上に前記半導体素子を固定するダイス付け材の厚みより大きく、
前記熱絶縁体は複数の柱状の熱絶縁体からなることを特徴とする積層型マルチチップ半導体装置。
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