JP4806803B2 - 金属−セラミックス接合基板およびその製造方法 - Google Patents
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Description
図1および図2は、本発明による金属−セラミックス接合基板の第1の実施の形態を示している。図1および図2に示すように、本実施の形態の金属−セラミックス接合基板10は、略矩形の平板状のセラミックス基板12と、このセラミックス基板の一方の面に接合し、セラミックス基板12より小さい略矩形の平板状の少なくとも1枚(図1および図2では1枚のみを示す)の回路用金属板14と、セラミックス基板12の他方の面に接合した平面形状が略矩形の放熱用金属ベース板16とから構成されている。本実施の形態では、セラミックス基板12は、約半分の厚さ分だけ金属ベース板16に埋め込まれて金属ベース板16と平行に配置され、金属板14と金属ベース板16とを所定の距離だけ離間させている。
図4は、本発明による金属−セラミックス接合基板の第2の実施の形態を示している。図4に示すように、本実施の形態の金属−セラミックス接合基板110は、略矩形の平板状のセラミックス基板112と、このセラミックス基板の一方の面に接合し、セラミックス基板112より小さい略矩形の平板状の少なくとも1枚(図4では1枚のみを示す)の回路用金属板114と、セラミックス基板112の他方の面に接合した平面形状が略矩形の放熱用金属ベース板116とから構成されている。本実施の形態では、セラミックス基板112は、全ての厚さ分だけ金属ベース板116に埋め込まれて金属ベース板116と平行に配置され、金属板114と金属ベース板116とを所定の距離だけ離間させている。また、セラミックス基板112の金属板114側の面と金属ベース板116の金属板114側の露出面が同一の高さになっている。
第1の実施の形態の金属−セラミックス接合基板の製造方法と同様の方法により、36mm×40mm×0.635mmの窒化アルミニウム基板の一方の面に厚さ0.4mmの3枚のアルミニウム板を接合するとともに、窒化アルミニウム基板が0.3mm程度の厚さ分だけアルミニウムベース板に埋め込まれるように、窒化アルミニウム基板の他方の面に厚さ5mmでのアルミニウムベース板を接合し、第1の実施の形態の金属−セラミックス接合基板と同様の形状の金属−セラミックス接合基板を得た。この金属−セラミックス接合基板に対して、20℃×10分→−40℃×30分→20℃×10分→125℃×30分を1サイクルとするヒートサイクルを3000回行った後に、窒化アルミニウム基板の下側のアルミニウムベース板に亀裂が確認されず、同様のヒートサイクルを5000回行った後にも亀裂が確認されなかった。
第2の実施の形態の金属−セラミックス接合基板の製造方法と同様の方法により、36mm×40mm×0.635mmの窒化アルミニウム基板の窒化アルミニウム基板の一方の面に厚さ0.4mmの3枚のアルミニウム板を接合するとともに、窒化アルミニウム基板が全ての厚さ分だけアルミニウムベース板に埋め込まれるように、窒化アルミニウム基板の他方の面に厚さ5mmでのアルミニウムベース板を接合し、第2の実施の形態の金属−セラミックス接合基板と同様の形状の金属−セラミックス接合基板を得た。この金属−セラミックス接合基板に対して、実施例1と同様のヒートサイクルを3000回行った後に、窒化アルミニウム基板の下側のアルミニウムベース板に亀裂が確認されず、同様のヒートサイクルを5000回行った後にも亀裂が確認されなかった。
図10に示すように、第1および第2の実施の形態と同様に溶湯法によって、36mm×40mm×0.635mmの窒化アルミニウム基板612の一方の面に厚さ0.4mmの3枚(図5では1枚のみを示す)のアルミニウム板614を接合するとともに、他方の面に厚さ5mmのアルミニウムベース板616を接合し、金属−セラミックス接合基板610を得た。この金属−セラミックス接合基板に対して、実施例1と同様のヒートサイクルを3000回行った後に、窒化アルミニウム基板の下側のアルミニウムベース板に長さ3mmの亀裂が生じた。
12、112、212、312、412、512 セラミックス基板
14、114、214、314、414、514 回路用金属板
16、116、216、316、416、516 放熱用金属ベース板
20、120 鋳型
22、122 下側鋳型部材
22a セラミックス基板保持部
22b、122b 回路用金属板形成部
24、124 上側鋳型部材
24a、124a 金属ベース板形成部
612 窒化アルミニウム基板
614 アルミニウム板
616 アルミニウムベース板
Claims (1)
- 内部にセラミックス基板を配置した鋳型内に金属溶湯を注湯してセラミックス基板の両面に接触させた後に冷却して固化させることにより、セラミックス基板の一方の面に金属板が直接接合するとともに他方の面に放熱用金属ベース部材が直接接合した金属−セラミックス接合基板を製造する方法において、セラミックス基板の一方の面が放熱用金属ベース部材と接触せず且つ他方の面が放熱用金属ベース部材に直接接合するとともにセラミックス基板の側面の少なくとも一部が放熱用金属ベース部材に直接接合するように、セラミックス基板を放熱用金属ベース部材に直接接合することを特徴とする、金属−セラミックス接合基板の製造方法。
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