JP5619437B2 - 金属−セラミックス接合基板の製造方法 - Google Patents
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Description
厚さ1mmのCu板にプラズマ溶射で厚さ0.1mmのAl2O3皮膜を形成した溶射皮膜被覆部材と、AlN基板とを、図2に示す鋳型20と同様の鋳型内に収容した後、鋳型内を窒素雰囲気にした状態で加熱し、アルミニウム溶湯をその表面の酸化膜を取り除きながら鋳型内に注湯し、その後、鋳型を冷却して溶湯を凝固させることによって、溶射皮膜被覆部材を内部に含む厚さ5mmのベース板が一体に形成されたベース一体型の金属−セラミックス接合基板を作製した。この金属−セラミックス接合基板を切断して断面を観察したところ、CuとAlの拡散はなく、金属間化合物も認められなかった。また、AlN基板とベース板との接合界面と、溶射皮膜被覆部材とベース板との接合界面には、ボイドなどの接合欠陥は見られず、これらの間の接合強度は充分であることがわかった。
厚さ3mmのCu板を使用した以外は実施例1と同様の方法によりベース一体型の金属−セラミックス接合基板を作製した。この金属−セラミックス接合基板を切断して断面を観察したところ、CuとAlの拡散はなく、金属間化合物も認められなかった。また、AlN基板とベース板との接合界面と、溶射皮膜被覆部材とベース板との接合界面には、ボイドなどの接合欠陥は見られず、これらの間の接合強度は充分であることがわかった。
プラズマ溶射で厚さ0.02mmのAl2O3皮膜を形成した以外は実施例2と同様の方法によりベース一体型の金属−セラミックス接合基板を作製した。この金属−セラミックス接合基板を切断して断面を観察したところ、CuとAlの拡散はなく、金属間化合物も認められなかった。また、AlN基板とベース板との接合界面と、溶射皮膜被覆部材とベース板との接合界面には、ボイドなどの接合欠陥は見られず、これらの間の接合強度は充分であることがわかった。
プラズマ溶射で厚さ0.05mmのAl2O3皮膜を形成した以外は実施例2と同様の方法によりベース一体型の金属−セラミックス接合基板を作製した。この金属−セラミックス接合基板を切断して断面を観察したところ、CuとAlの拡散はなく、金属間化合物も認められなかった。また、AlN基板とベース板との接合界面と、溶射皮膜被覆部材とベース板との接合界面には、ボイドなどの接合欠陥は見られず、これらの間の接合強度は充分であることがわかった。
鋳型内に溶射皮膜被覆部材を収容しなかった以外は実施例1と同様の方法によりベース一体型の金属−セラミックス接合基板を作製した。この金属−セラミックス接合基板を切断して断面を観察したところ、CuとAlが相互に拡散し金属間化合物も認められた。
Cu板にプラズマ溶射を行わなかった以外は実施例1と同様の方法によりベース一体型の金属−セラミックス接合基板を作製した。この金属−セラミックス接合基板を切断して断面を観察したところ、CuとAlが相互に拡散し金属間化合物も認められた。
12、112、212 セラミックス基板
14、114、214 回路パターン用アルミニウム板
16、116、216 溶射皮膜被覆部材
20、120、220 鋳型
22、122、222 下側鋳型部材
22a、122a、222a セラミックス基板収容部
22b、122b、222b 回路パターン用アルミニウム板形成部
24、124、224 上側鋳型部材
24a、124a、224a ベース板形成部
26、28、226 保持ピン
118 箱型部材
210a フィン
Claims (5)
- 銅または銅合金からなる金属板の表面にセラミックスを溶射して金属部材の表面が溶射皮膜で被覆された溶射皮膜被覆部材を得た後、この溶射皮膜被覆部材を鋳型内の保持ピン上に載せてセラミックス基板と離間して鋳型内に配置させ、この鋳型内の溶射皮膜被覆部材の全面とセラミックス基板の一方の面に接触するようにアルミニウムまたはアルミニウム合金の溶湯を注湯した後に溶湯を冷却して固化させることにより、溶射皮膜被覆部材を取り囲み且つセラミックス基板の一方の面に直接接合したアルミニウムまたはアルミニウム合金からなるアルミニウム部材を形成することを特徴とする、金属−セラミックス接合基板の製造方法。
- 前記鋳型内の前記セラミックス基板の他方の面に接触するように前記アルミニウムまたはアルミニウム合金の溶湯を注湯することにより、前記セラミックス基板の他方の面に直接接合したアルミニウムまたはアルミニウム合金からなるアルミニウム板を形成することを特徴とする、請求項1に記載の金属−セラミックス接合基板の製造方法。
- 前記溶射がプラズマ溶射であることを特徴とする、請求項1または2に記載の金属−セラミックス接合基板の製造方法。
- 前記鋳型が下側鋳型部材と上側鋳型部材とから構成され、前記保持ピンが下側鋳型部材と上側鋳型部材の各々に設けられ、下側鋳型部材の保持ピン上に前記溶射皮膜被覆部材を載せた後に上側鋳型部材を下側鋳型部材に被せて、前記溶射皮膜被覆部材を上側鋳型部材の保持ピンと下側鋳型部材の保持ピンにより挟持することを特徴とする、請求項1乃至3のいずれかに記載の金属−セラミックス接合基板の製造方法。
- 前記溶射に使用するセラミックスが、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、炭化珪素および窒化珪素からなる群から選ばれる1種以上であることを特徴とする、請求項1乃至4のいずれかに記載の金属−セラミックス接合基板の製造方法。
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