JP4793824B2 - 窒化物半導体層の形成方法 - Google Patents
窒化物半導体層の形成方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4793824B2 JP4793824B2 JP2006230346A JP2006230346A JP4793824B2 JP 4793824 B2 JP4793824 B2 JP 4793824B2 JP 2006230346 A JP2006230346 A JP 2006230346A JP 2006230346 A JP2006230346 A JP 2006230346A JP 4793824 B2 JP4793824 B2 JP 4793824B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gan layer
- nitride semiconductor
- growth
- plane
- stage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
まず、本発明の一実施形態による無極性III族窒化物半導体層の形成方法について説明する。より具体的には、常圧MOVPE(有機金属気相成長)法によって、r面サファイア基板上に無極性a面GaN層を形成する方法について説明する。本願においては、1段目のGaN層成長と2段目のGaN層成長とを連続して成長させたGaN層を「2段階成長GaN層」と称する。また、以後において特に断らない限り、GaN層とはr面サファイア基板上に成長させたa面GaN層を意味するものとする。なお、MOVPE法の結晶成長時の圧力は常圧として例示されるが、減圧下のMOVPE法をも利用し得ることは言うまでもない。MOVPE法においてGaN層を成長させるためには、周知のように、V族元素原料ガスとしてのNH3(アンモニア)、III族元素原料ガスとしてのTMGa(トリメチルガリウム)、およびキャリアガスとしてのH2ガスとN2ガスが用いられ得る。
本発明にしたがって形成した2段階成長GaN層の表面は、きわめて平坦でありかつ鏡面のように平滑であり得る。より具体的には、光学顕微鏡による観察からもその表面の高度な平坦性が確認でき、その表面にはピットおよびクラックの発生がみられない。さらに、原子間力顕微鏡(AFM)測定によるその表面の自乗平均粗さ(Rms)は、縦10μmで横10μmの測定領域において5nm以下であり得て、原子レベルでも極めて平坦であることが確認され得る。
以下において、1段目の高V/III−GaN層の厚さと2段階成長GaN層の表面モフォロジとの関係について調査した結果を説明する。
次に、1段目の高V/III−GaN層の厚さと2段階成長GaN層の結晶性との関係を調べた結果について説明する。
以下においては、1段目GaN層の成長時のV/IIIモル比と2段階成長GaN層の結晶性との関係について調査した結果を説明する。
以下においては、1段目に成長させる高V/III−GaN層の表面モフォロジに関して、SEMによって調査した結果について説明する。
2段階成長後のa面GaN層のSEMによる断面観察おいて、サファイア基板と2段階成長GaN層との界面には多数の微小空隙が存在していることがわかった。この微小空隙の存在によってそこでサファイア基板中の転位が終端し、その結果として2段階成長GaN層の結晶性が向上すると考えられる。また、サファイア基板とGaN層との熱膨張係数差により生じる歪応力もそれらの微小空隙によって低減され得るので、その結果として2段階成長GaN層中のクラックの発生も抑制され得ると考えられる。
Claims (3)
- サファイア基板の(1−102)面に平行な一主面を窒化処理し、
前記窒化処理された前記主面上に有機金属気相成長法によって第1の窒化物半導体層および第2の窒化物半導体層を順次結晶成長させ、
前記基板の窒化処理と前記第1および第2の窒化物半導体層の結晶成長とが同じ基板温度で行なわれ、
前記有機金属気相成長法において反応室内に導入されるトリメチルガリウムガスに対するアンモニアガスの体積比は、前記第2の窒化物半導体層の成長時に比べて前記第1の窒化物半導体層の成長時において大きく、
前記第1と第2の窒化物半導体層の各々は(11−20)面に平行なGaN層であることを特徴とする窒化物半導体層の形成方法。 - 前記第1の窒化物半導体層は3μm以下の厚さに結晶成長させられることを特徴とする請求項1に記載の窒化物半導体層の形成方法。
- 前記第1の窒化物半導体層の成長時におけるトリメチルガリウムガスに対するアンモニアガスの体積比は152よりも大きいことを特徴とする請求項1または2に記載の窒化物半導体層の形成方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006230346A JP4793824B2 (ja) | 2006-08-28 | 2006-08-28 | 窒化物半導体層の形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006230346A JP4793824B2 (ja) | 2006-08-28 | 2006-08-28 | 窒化物半導体層の形成方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008053594A JP2008053594A (ja) | 2008-03-06 |
JP4793824B2 true JP4793824B2 (ja) | 2011-10-12 |
Family
ID=39237328
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006230346A Expired - Fee Related JP4793824B2 (ja) | 2006-08-28 | 2006-08-28 | 窒化物半導体層の形成方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4793824B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010100699A1 (ja) * | 2009-03-06 | 2010-09-10 | パナソニック株式会社 | 窒化物半導体の結晶成長方法および半導体装置の製造方法 |
WO2010147357A2 (ko) * | 2009-06-15 | 2010-12-23 | 전자부품연구원 | 이종 기판, 그를 이용한 질화물계 반도체 소자 및 그의 제조 방법 |
US8878345B2 (en) | 2010-02-10 | 2014-11-04 | Aetech Corporation | Structural body and method for manufacturing semiconductor substrate |
JP2012184144A (ja) * | 2011-03-07 | 2012-09-27 | Tokuyama Corp | 窒化ガリウム結晶積層基板及びその製造方法 |
JP2013256440A (ja) * | 2012-06-12 | 2013-12-26 | Samsung Corning Precision Materials Co Ltd | 窒化ガリウム基板の製造方法及び該製造方法により製造された窒化ガリウム基板 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11340147A (ja) * | 1998-05-25 | 1999-12-10 | Matsushita Electron Corp | 窒化物半導体ウエハーの製造方法および窒化物半導体素子の製造方法 |
CN1248288C (zh) * | 2000-02-09 | 2006-03-29 | 北卡罗来纳州大学 | 制造氮化镓半导体层和相关结构的方法 |
JP3849855B2 (ja) * | 2001-11-12 | 2006-11-22 | 日亜化学工業株式会社 | 窒化物半導体基板の製造方法 |
KR100718188B1 (ko) * | 2004-05-07 | 2007-05-15 | 삼성코닝 주식회사 | 비극성 a면 질화물 반도체 단결정 기판 및 이의 제조방법 |
JP4581478B2 (ja) * | 2004-05-12 | 2010-11-17 | 日亜化学工業株式会社 | 窒化物半導体の製造方法 |
KR100674829B1 (ko) * | 2004-10-29 | 2007-01-25 | 삼성전기주식회사 | 질화물계 반도체 장치 및 그 제조 방법 |
JP3759746B2 (ja) * | 2005-04-08 | 2006-03-29 | シャープ株式会社 | Iii族窒化物系化合物半導体発光ダイオードの製造方法 |
-
2006
- 2006-08-28 JP JP2006230346A patent/JP4793824B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008053594A (ja) | 2008-03-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101409112B1 (ko) | 반도체 장치 및 그 제조 방법 | |
US7674699B2 (en) | III group nitride semiconductor substrate, substrate for group III nitride semiconductor device, and fabrication methods thereof | |
EP2313543B1 (en) | Growth of planar and semi-polar {1 1-2 2} gallium nitride with hydride vapor phase epitaxy (hvpe) | |
JP5589278B2 (ja) | 窒化物半導体の結晶成長方法および窒化物半導体発光素子 | |
JP5099763B2 (ja) | 基板製造方法およびiii族窒化物半導体結晶 | |
JP5453780B2 (ja) | 窒化物半導体 | |
US7687293B2 (en) | Method for enhancing growth of semipolar (Al,In,Ga,B)N via metalorganic chemical vapor deposition | |
JP5077985B2 (ja) | 窒化物半導体層の形成方法 | |
KR101347848B1 (ko) | 유기금속 화학기상증착법을 통한 반극성(Al,In,Ga,B)N의 성장강화방법 | |
KR20100086988A (ko) | 질화물 반도체 및 질화물 반도체의 결정 성장 방법 | |
JP6966063B2 (ja) | 結晶基板、紫外発光素子およびそれらの製造方法 | |
WO2013042297A1 (ja) | 窒化ガリウム系化合物半導体発光素子及びそれを用いた光源装置 | |
JPH11354846A (ja) | 窒化ガリウム系化合物半導体発光素子及び窒化ガリウム系化合物半導体の製造方法 | |
JP4395609B2 (ja) | 窒化ガリウム系材料からなる基板 | |
JP2013014450A (ja) | 窒化物半導体エピタキシャル基板及び窒化物半導体デバイス | |
JP4793824B2 (ja) | 窒化物半導体層の形成方法 | |
JPH11233391A (ja) | 結晶基板とそれを用いた半導体装置およびその製法 | |
JP2011042542A (ja) | Iii族窒化物基板の製造方法およびiii族窒化物基板 | |
Sawaki et al. | Semi-polar GaN LEDs on Si substrate | |
JP5814131B2 (ja) | 構造体、及び半導体基板の製造方法 | |
US11522105B2 (en) | Nitride semiconductor laminated structure, nitride semiconductor light emitting element, and method for manufacturing nitride semiconductor laminated structure | |
JP2015032730A (ja) | 窒化物半導体構造およびそれを製造する方法 | |
JP2007134463A (ja) | 窒化物半導体成長基板及びその製造方法 | |
WO2020075849A1 (ja) | 半導体成長用基板、半導体素子、半導体発光素子および半導体素子製造方法 | |
JP2001308464A (ja) | 窒化物半導体素子、窒化物半導体結晶の作製方法および窒化物半導体基板 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080806 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110422 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110426 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110617 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110712 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110720 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 4793824 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140805 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |