JP4790229B2 - 切削装置 - Google Patents

Description

本発明は，切削装置に係り，特に，切削装置の開閉カバーに関する。

半導体ウェハ等の被加工物を切削加工する切削装置は，スピンドルに装着された切削ブレードを有する切削手段と，被加工物を吸着保持するチャックテーブルとを備えており，チャックテーブルに保持された被加工物に対し，高速回転する切削ブレードを切り込ませて切削を行う。

このような切削装置の切削加工においては，切削屑を含む切削水や，破損した切削ブレードの破片等が周囲に飛散することがある。かかる切削水やブレード破損片の飛散を防止するため，上記チャックテーブル及び切削手段の周囲には，開閉式の安全カバー（以下，開閉カバーという。）が設けられる（例えば特許文献１参照）。

この開閉カバーは，例えば，切削装置の正面側と側面側にそれぞれ設けられる。正面側の開閉カバーは，切削ブレードを交換する際に開閉される。一方，側面側の開閉カバーは，チャックテーブル周辺に散乱した切削屑及び切削水を清掃するために開閉される。例えば，チャックテーブルとその移動機構の両側下部に，切削屑等を回収する切削屑回収手段（いわゆるウォーターケース等）が配設されている場合には，かかる切削屑回収手段を清掃するために，側面側の開閉カバーが開閉される。

このような開閉カバー，特に，側面側の開閉カバーは，従来では，その開閉の頻度が少ないという理由で，切削装置本体に対してネジ止めにより固定されることが多かった。

特開平１０−１１６８０２号公報

しかしながら，上記従来の切削装置のように，開閉頻度が少ないとはいえ開閉カバーがネジ止めされていると，開閉カバーの開閉作業に非常に時間と手間がかかってしまうという問題があった。このため，簡単に開閉でき利便性が高い開閉カバーが希求されていた。

そこで，本発明は，上記問題に鑑みてなされたものであり，本発明の目的とするところは，開閉カバーを簡単に開閉することができ，利便性を向上させることが可能な，新規かつ改良された切削装置を提供することにある。

上記課題を解決するために，本発明のある観点によれば，筐体と；前記筐体内に設けられ，被加工物を保持する保持手段と；前記筐体内に設けられ，前記被加工物を切削する切削手段と；前記切削手段の切削ブレードの外周に対向する位置に設けられた筐体開口部と；前記筐体開口部を開放／閉鎖する開閉カバーと；前記開閉カバーを支持する開閉カバー取付手段と；前記筐体開口部を閉鎖した状態の前記開閉カバーをロックするロック手段と；を備え，前記開閉カバー取付手段は，前記筐体開口部の少なくとも左右両側に装着された弾性部材と，前記筐体開口部の下側に装着され，上方より差し込まれた前記開閉カバーの下端部を係止して前記開閉カバーを取り外し可能に支持する支持部材とを有し，前記前記ロック手段によって前記開閉カバーがロックされていない場合には，前記弾性部材によって前記開閉カバーを開く方向に押圧することにより，前記開閉カバーの下端部を中心として前記開閉カバーを回動させて，前記開閉カバーを開き，前記ロック手段は，前記開閉カバーに装着され，前記筐体に設けられた係合孔に挿入されると前記係合孔と係合するラッチ部と，前記ラッチ部と前記係合孔との係合を解除するスイッチ部と，を備える切削装置が提供される。

かかる構成により，ロック手段によって開閉カバーを筐体開口部に対してロック／ロック解除するだけで，簡単に開閉カバーを開閉できる。また，開閉カバーが中途半端に閉められたため，ロック手段によるロックが不完全である場合には，開閉カバーを自動的に大きく開かせることができる。このため，オペレータは，開閉カバーが閉まっていないことを視覚的に認識することができる。よって，切削装置のオペレータの利便性が向上する。

また，上記開閉カバー取付手段は，開閉カバーの下端部を係止することによって，開閉カバーを取り外し可能に支持し，ロック手段によって前記開閉カバーがロックされていない場合には，開閉カバーの下端部を中心として前記開閉カバーを回動させて，開閉カバーを開くようにしてもよい。これにより，開いた開閉カバーを取り外して，内部装置の清掃作業やメンテナンス作業を実行することができる。開閉カバーが中途半端に閉められて，ロックされていない場合には，開閉カバーの下端部を中心として開閉カバーを筐体開口部から離れる方向に回動させて，開閉カバーを自動的に大きく開かせることができる。

また，上記開閉カバー取付手段は，筐体開口部の少なくとも左右両側に装着された弾性部材と，筐体開口部の下側に装着され，上方より差し込まれた開閉カバーの下端部を係止して開閉カバーを取り外し可能に支持する支持部材とを有し，ロック手段によって開閉カバーがロックされていない場合には，弾性部材によって開閉カバーを開く方向に押圧するようにしてもよい。これにより，支持部材という比較的簡単な構成によって，開閉カバーを支持して，筐体開口部に取り付けることができる。また，ロック手段によるロックが不完全である場合には，弾性部材という簡単な構成によって，開閉カバーを内側より押圧して回動させ，大きく開かせることができる。また，弾性部材の下端部と支持部材とによって開閉カバーの下端部が挟持されるので，開閉カバー取付手段は，取り付けられた開閉カバーを安定して支持できる。

また，上記支持部材を被覆するようにして弾性部材を装着してもよい。或いは，上記支持部材自体が弾性部材で構成されてもよい。

また，上記ロック手段は，開閉カバーに装着され，筐体に設けられた係合孔に挿入されると係合孔と係合するラッチ部と；ラッチ部と係合孔との係合を解除するスイッチ部と；
を備えるようにしてもよい。これにより，オペレータが開閉カバーを押して完全に閉じた状態とすると，ロック手段のラッチ部が筐体の係合孔に挿入されて係合するので，筐体開口部を閉鎖した状態で開閉カバーをロックできる。一方，閉じられた開閉カバーを開けるときには，ロック手段のスイッチ部を押下するだけでよい。これにより，ラッチ部と係合孔との係合が解除されて，開閉カバーのロックが解除されるので，開閉カバーが開くようになる。このように，オペレータは，ワンタッチで開閉カバーを開閉することができるので便利である。

以上説明したように本発明によれば，オペレータは，開閉カバーを簡単に開閉できるので，各種作業を行う際の利便性が向上する。

以下に添付図面を参照しながら，本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお，本明細書及び図面において，実質的に同一の機能構成を有する構成要素については，同一の符号を付することにより重複説明を省略する。

（第１の実施の形態）
まず，図１および図２に基づいて，本発明の第１の実施形態にかかる切削装置の一例として構成されたダイシング装置１０の全体構成について説明する。なお，図１は，本実施形態にかかるダイシング装置１０を示す全体斜視図である。図２は，本実施形態にかかるダイシング装置１０の切削領域周辺の構成を示す平面図であり，筐体１２を切り欠いて図示してある。

図１および図２に示すように，ダイシング装置１０は，例えば，筐体１２と，半導体ウェハＷなどの被加工物を切削加工する切削ユニット２０と，上記被加工物を保持するチャックテーブル３０と，切削ユニット２０とチャックテーブル３０とを相対移動させる移動機構３２，３４と，切削加工により生じた切削屑および切削水を回収する切削屑回収手段３６と，筐体１２に設けられた筐体開口部４０，４２と，これら筐体開口部４０，４２にそれぞれ取り付けられた開閉カバー５０，６０と，を主に備える。

筐体１２は，例えば金属等で形成された例えば略直方体形状を有する箱である。この筐体１２内には，以下に説明するような切削ユニット２０，チャックテーブル３０，移動機構など，各種装置が配設されている。

切削ユニット２０は，本実施形態にかかる切削手段として構成されており，半導体ウェハＷ等の被加工物を切削する。具体的には，この切削ユニット２０は，スピンドル２４に装着された切削ブレード２２を備えており，かかる切削ブレード２２を高速回転させながら半導体ウェハＷに切り込ませることで，半導体ウェハＷを切削する。この切削ユニット２０の詳細な構成については後述する。

チャックテーブル３０は，本実施形態にかかる保持手段として構成されており，半導体ウェハＷ等の被加工物を吸着保持・固定する。このチャックテーブル３０は，例えば，その上面に真空チャック機構を具備しており，例えばウェハテープ（図示せず。）を介してフレーム（図示せず。）に支持された状態の半導体ウェハＷを，真空吸着して保持することができる。

また，移動機構は，例えば，図２に示すように，切削ユニット移動機構３２とチャックテーブル移動機構３４とからなる。このうち，切削ユニット移動機構３２は，切削ユニット２０を切削方向と直交する水平方向（Ｙ軸方向）に移動させ，切削ブレード２２の刃先を半導体ウェハＷの各切削ラインに位置合わせすることができる。また，この切削ユニット移動機構３４は，切削ユニット２０を垂直方向（Ｚ軸方向）に移動させ，半導体ウェハＷに対する切削ブレード２２の切り込み深さを調整することもできる。一方，チャックテーブル移動機構３４は，チャックテーブル３０およびこれに保持された半導体ウェハＷを切削方向（Ｘ軸方向）に移動させることができる。

かかる構成のダイシング装置１０は，高速回転する切削ブレード２２を半導体ウェハＷに切り込ませながら，切削ユニット２０とチャックテーブル３０とを切削方向（Ｘ軸方向）相対移動させて，複数の切削ラインの切削を繰り返すことにより，半導体ウェハＷをダイシング加工して，複数の半導体チップに分割することができる。

また，切削屑回収手段３６は，例えば，断面が略コの字形のウォーターケースで構成される。この切削屑回収手段３６は，チャックテーブル３０とこのチャックテーブル３０を往復動させるチャックテーブル移動機構３４の両側の下部に，それぞれ設けられる。かかる切削屑回収手段３６は，切削加工により生じた切削屑（半導体ウェハＷの端材や，細かい切り屑等を含む。）および切削水を，その内部に回収する。

また，筐体１２には，上記切削ユニット２０およびチャックテーブル３０に対応する位置に，例えば２つの筐体開口部４０，４２が設けられている。このうち，ダイシング装置１０の側面側に設けられた筐体開口部４０（以下，側面開口部４０という。）は，例えば，オペレータがダイシング装置１０の側面側から筐体１２内部に手を差し入れて，上記切削屑回収手段３６等を清掃するために設けられている。一方，ダイシング装置１０の正面（前面）側に設けられた筐体開口部４２（以下，正面開口部４２という。）は，例えば，オペレータがダイシング装置１０の正面側から筐体１２内部に手を差し入れて，上記切削ユニット２０の切削ブレード２２を交換するために設けられている。また，オペレータは，かかる側面開口部４０および正面開口部４２から手を差しれて，内部の切削ユニット２０，チャックテーブル３０，移動機構３２，３４等について各種のメンテナンス作業を行うこともできる。

かかる側面開口部４０，正面開口部４２には，それぞれ，開閉カバー５０，６０が設けられている。この開閉カバー５０，６０は，例えば，オペレータが手動で開閉可能な安全カバーである。これら開閉カバー５０，６０は，オペレータが装置内部の状態を目視できるように透明で，かつ，飛散物の衝撃に耐えうる比較的強度のある素材（例えば，塩化ビニル，ポリカーボネート等）で形成されている。

このうち，側面開口部４０に取り付けられる開閉カバー５０は，本実施形態にかかる特徴的な構成要素であり，例えば，１枚の略矩形の平板で構成され，開き戸式に開閉される。この開閉カバー５０は，側面開口部４０に対して取り外し可能に装着される。一方，正面開口部４２に取り付けられた開閉カバー６０は，例えば，２枚の略矩形の平板で構成され，引き違い戸式に開閉される。オペレータは，かかる開閉カバー５０，６０を開けて，上記清掃作業，ブレード交換作業，メンテナンス作業等を行うことができる。なお，側面開口部４０に取り付けられる開閉カバー５０の詳細については後述する。

次に，図３に基づいて，本実施形態にかかる切削ユニット２０の構成と，この切削ユニット２０から飛散するブレード破損片，切削水等の態様について説明する。なお，図３は，本実施形態にかかる切削ユニット２０を示す斜視図である。

図３に示すように，切削ユニット２０は，例えば，フランジ２１と，切削ブレード２２と，スピンドル２４と，スピンドルハウジング２６と，切削水供給ノズル２８と，ホイルカバー２９と，を主に備える。

切削ブレード２２は，例えば，リング形状を有する極薄の切削砥石（所謂，ワッシャーブレード）である。かかる切削ブレード２２は，例えば，フランジ２１により両側より挟持された状態で，スピンドル２４に軸着される。また，スピンドル２４は，例えば，モータ（図示せず。）などの回転駆動力を切削ブレード２２に伝達するための回転軸であり，装着された切削ブレード２２を例えば３０，０００ｒｐｍで高速回転させる。また，スピンドルハウジング２６は，このスピンドル２４を覆うようにして設けられ，内部に備えたエアベアリング機構などにより，当該スピンドル２４を高速回転可能に支持する。また，切削水供給ノズル２８は，加工点付近に切削水を供給する切削水供給手段として構成されている。この切削水供給ノズル２８は，例えば，切削ブレード２２の下部側の両側に着脱可能に設けられ，切削ブレード２２および加工点に向けて切削水を噴射して冷却する。図３では，切削ブレード２２の一側（前面側）に配設された切削水供給ノズル２８のみを図示しているが，切削ブレード２２の他側（背面側）にも同様な構成の切削水供給ノズルが配設されている。また，ホイルカバー２９は，切削ブレード２２の外周を覆うにして設けられ，切削水や切削屑などの飛散をある程度防止することができる。

かかる構成の切削ユニット２０は，図３に示すように，スピンドル２４の回転駆動力により切削ブレード２２を高速回転させ，かかる切削ブレード２２を半導体ウェハＷに切り込ませることによって，半導体ウェハＷの加工面を切削加工して，切削ライン（ストリート）に沿って極薄の切溝（カーフ）を形成することができる。

このような切削ユニット２０の切削加工では，例えば，高速回転する切削ブレード２２の回転力等により，ブレード破損片，切削屑を含む切削水などが，切削ブレード２２の周囲に高速で飛散してしまう。かかるブレード破損片や切削水の飛散は，上記ホイルカバー２９によりある程度は阻止することができる。

しかし，ホイルカバー２９には，例えばメンテナンス等の都合上，一部に隙間Ａ（図３の破線で囲った部分）が存在している。このため，ブレード破損片２２２，切削水２２４などが，このホイルカバー２９の隙間Ａを通り抜けてホイルカバー２９の外部に高速で飛散してしまうことになる。本実施形態にかかるダイシング装置１０では，例えば，この隙間Ａが配設されている方向が，ダイシング装置１０の側面方向（Ｘ軸負方向）である。このため，隙間Ａを通り抜けたブレード破損片２２２，切削水２２４は，切削ユニット２０から開閉カバー５０に向かって飛散し，開閉カバー５０に衝突することとなる。

従って，切削加工中に，もし開閉カバー５０が完全に閉じていない場合には，切削屑を含む切削水２２４が側面開口部４０から飛散して，ダイシング装置１０周辺を汚染してしまうだけでなく，ブレード破損片２２２が側面開口部４０から飛び出して，オペレータを傷つけてしまう危険性がある。また，開閉カバー５０内には，オペレータにけが（手，指などの切断，挟み込み）を負わせる危険性がある装置（例えば，高速回転する切削ブレード２２を有する切削ユニット２０や，移動機構３２，３４など）が配設されている。よって，オペレータの安全を確保するとともに，装置周辺の汚染を防止するためには，開閉カバー５０が完全に閉じられた状態で，切削加工が遂行されなければならない。

なお，上記では，切削ユニット２０にホイルカバー２９が設けられており，このホイルカバー２９の隙間Ａからブレード破損片２２２，切削水２２４等が飛散して，開閉カバー５０に衝突する例について説明したが，ブレード破損片２２２等の飛散態様は，かかる例に限定されない。例えば，切削ユニット２０にホイルカバー２９が設けられていない場合には，加工点付近から，より多くのブレード破損片２２２，切削水２２４等が開閉カバー５０に衝突するようになる。また，上記図３の例とは異なる形状のホイルカバ−２９を設けた場合には，上記隙間Ａ以外の箇所を通り抜けて，ブレード破損片２２２，切削水２２４等が，開閉カバー５０に衝突するようになる。さらに，飛散したブレード破損片２２２，切削水２２４等は，直接，開閉カバー５０に到達する場合だけでなく，チャックテーブル３０，チャックテーブル移動機構３４，開閉カバー６０などに衝突して反射し，開閉カバー５０に到達する場合もありうる。

次に，図４に基づいて，本実施形態にかかる特徴である開閉カバー５０およびその取付手段について詳細に説明する。なお，図４は，本実施形態にかかる開閉カバー５０およびその取付手段の構成を示す斜視図（ａ）および側面図（ｂ）である。ただし，図４（ｂ）では，説明の便宜上，筐体１２については，図４（ａ）のＢ−Ｂ’線での縦断面で図示してある。

図４に示すように，筐体１２の側面に設けられた側面開口部４０は，例えば，水平方向（Ｙ軸方向）を長辺とする矩形状（長方形状）の開口である。この側面開口部４０を覆うようにして，開閉カバー５０が取り付けられる。この開閉カバー５０は，例えば，略矩形状を有する平板状の安全カバーである。かかる開閉カバー５０は，上述したように，透明で，ブレード破損片２２２等が衝突したときの衝撃に耐えうる程度の強度を有する素材（例えば，塩化ビニル，ポリカーボネート等）で形成されている。この開閉カバー５０の形状および大きさは，側面開口部４０の形状および大きさに応じて設定されている。具体的には，開閉カバー５０の横幅（Ｙ軸方向）と縦幅（Ｚ軸方向）は，それぞれ，側面開口部４０の横幅と縦幅よりも若干大きくなるように設定されている。かかる開閉カバー５０は，側面開口部４０に対して開閉可能に取り付けられており，側面開口部４０を開放／閉鎖することができる。

また，側面開口部４０の周囲（４辺）には，例えば，第１の弾性部材５１と，支持部材５２と，支持部材５２に装着される第２の弾性部材５３とが設けられている。このうち第１及び第２の弾性部材５１，５３は，例えば，ゴム，合成樹脂等の弾性材料で形成されており，また，支持部材５２は，例えば，ステンレス等の金属で形成されている。第１の弾性部材５１は，側面開口部４０の周囲の筐体１２に対して接着剤などにより固着されている。また，支持部材５２は，例えば，断面が略Ｌ字形（鉤型）の突出部であり，側面開口部４０の下側の筐体１２と一体形成されている。また，第２の弾性部材５３は，例えば，この支持部材５２の例えば先端部５２ａに対して接着剤などにより固着されており，支持部材５２の先端部を覆うようにして断面略Ｕ字形となっている。

かかる第１の弾性部材５１，支持部材５２および第２の弾性部材５３は，開閉カバー５０を側面開口部４０に取り付けるための開閉カバー取付手段として構成されており，上記開閉カバー５０を取り外し可能に支持することができる。以下に第１の弾性部材５１，支持部材５２および第２の弾性部材５３についてそれぞれ詳細に説明する。なお，第１の弾性部材５１は，本実施形態にかかる「筐体開口部の少なくとも左右両側に装着された弾性部材」として構成されている。

第１の弾性部材５１は，例えば，側面開口部４０の下辺を除いた３辺（上辺，左辺，右辺）に沿うような「略コの字形」に形成されている。この第１の弾性部材５１は，側面開口部４０の周囲（下辺を除く。）を取り囲むようにして取り付けられる。具体的には，第１の弾性部材５１は，側面開口部４０の左側，上部側，右側の筐体１２に，側面開口部４０の左辺，上辺，右辺に沿って配設される。このため，開閉カバー５０を閉じたときには，第１の弾性部材５１は，開閉カバー５０の３辺（上辺，左辺，右辺）と密着する。従って，第１の弾性部材５１は，筐体１２と開閉カバー５０との隙間を密閉して，かかる隙間から切削水等が外部に漏れ出してしまうことを防止できる。また，第１の弾性部材５１は，開閉カバー５０を閉じるときの緩衝材としても機能する。

なお，第１の弾性部材５１は，上記のように略コの字形に一体に形成した方が切削水の漏出防止効果が高いが，かかる例に限定されず，例えば，３つの略直線状（棒状）の弾性部材で別体に形成し，かかる略直線状の弾性部材を側面開口部４０の上部側，左側，右側にそれぞれ装着しても良い。また，側面開口部４０の上部側には，第１の弾性部材５１を必ずしも装着しなくてもよく，側面開口部４０の左右両側のみに，第１の弾性部材５１を装着してもよい。また，第１の弾性部材５１は，側面開口部４０の４辺（上辺，下辺，左辺，右辺）に沿うような「略ロの字形」に形成され，側面開口部４０の全周囲を囲むように配設されてもよい。

また，支持部材５２は，例えば，長手方向（Ｙ軸方向）の長さが側面開口部４０の下辺よりも若干長くなるように，筐体１２面から例えば鉤状に突出した部分である。この支持部材５２は，図４（ａ）に示すように，側面開口部４０の下部側に，側面開口部４０の下辺に沿って略水平に設けられている。この支持部材５２の左右両端は，それぞれ，側面開口部４０の左辺，右辺よりも外側に位置している。また，かかる支持部材５２は，例えば，図４（ｂ）に示すように，筐体１２面から水平に張りだした水平部５２ｂと，この水平部５２ｂの端部から垂直方向上方に延びる垂直部５２ａとからなる。さらに，この支持部材５２の先端部（垂直部５２ａ）を被覆するようにして，上記第２の弾性部材５３が装着されている。

この支持部材５２は，図４（ｂ）に示すように，開閉カバー５０の下端５０ａを上方より差し込むことができるように配設されている。具体的には，支持部材５２は，側面開口部４０の下側に配されたレール状の部材であり，支持部材５２の垂直部５２ａと筐体１２との間には所定の隙間が生じている。このため，かかる隙間に，開閉カバー５０の下端部５０ａを差し込むことができる。支持部材５２は，このようにして差し込まれた開閉カバー５０の下端部５０ａを係止することで，開閉カバー５０を取り外し可能に支持することができる。さらに，このように開閉カバー５０を係止する支持部材５２の垂直部５２ａを，弾力性および高摩擦係数を有する第２の弾性部材５３が覆い包んでいる。このため，第２の弾性部材５３が緩衝材として機能して開閉カバー５０が傷つくことを防止できるとともに，第２の弾性部材５３が滑り止めとなって開閉カバー５０の落下を防止できる。

さらに，かかる支持部材５２の両端部は，上記「略コの字形」に形成された第１の弾性部材５０の両端部（側面開口部４０の左辺側の下端部５１ｂと右辺側の下端部５１ｂ）の外側（Ｘ軸負方向）に位置するように配設されている。より詳しくは，支持部材５２の垂直部５２ａの左右両端が，上記第１の弾性部材５１の下端部５１ａの外側に覆い被さるように，第１の弾性部材５１と支持部材５２の配置が調整されている。これにより，支持部材５２に差し込まれた開閉カバー５０の下端部５０ａは，第２の弾性部材５３と第１の弾性部材５１の下端部５１ａとによって挟持される。このため，支持部材５２に差し込まれた開閉カバー５０をより安定的に支持して，落下しないようにできる。

このような構成の第１の弾性部材５１と支持部材５２および第２の弾性部材５３とからなる開閉カバー取付手段によって，開閉カバー５０を側面開口部４０に取り付けることにより，開閉カバー５０が後述するロック手段７０によってロックされていない状態では，開閉カバー５０の上部側が開いた状態となる。即ち，開閉カバー５０は，その下端部５０ａを中心として，側面開口部４０から離れる方向に回動し，側面開口部４０に対して手前側（Ｘ軸方向負方向）に所定角度傾いた状態となる。オペレータは，このように開いた状態の開閉カバー５０を，支持部材５２から引き抜いて，簡単に取り外すことができる。このようにして開閉カバー５０を取り外すことにより，オペレータは，側面開口部４０から手を挿入して，ウォーターケース３６の清掃作業等を容易に実行できる。

また，開閉カバー５０の例えば上端部には，ロック手段７０が装着されている。このロック手段７０は，側面開口部４０の例えば上部側（例えば側面開口部４０の上辺の中央部分近傍）に設けられた係合孔７２と係合することにより，開閉カバー５０の上端部を筐体１２に対して固定して，開かないようにロックすることができる。このロック手段７０は，例えば，ボタン解除機能を有するラッチ装置で構成することができ，具体的には，例えば（「プッシュラッチ」Ｃ−１２１３；タキゲン社製」）を使用できる。

ここで，図５に基づいて，本実施形態にかかるロック手段７０について詳細に説明する。なお，図５は，本実施形態にかかるロック手段７０と係合孔７２の構成を示す横断面図である。

図５に示すように，ロック手段７０は，例えば，ラッチ部７０ａとスイッチ部７０ｃとを備える。ラッチ部７０ａは，開閉カバー５０の側面開口部４０側に突設され，係合孔７２と係合可能である。具体的には，ラッチ部７０ａの一側には係合突起７０ｂが出没可能に設けられており，この係合突起７０ｂは，係合孔７２内の側面に設けられた係止孔７２ａに係合するように構成されている。

また，スイッチ部７０ｃは，側面開口部４０とは反対側に突設され，上記ラッチ部７０ａと連結されている。このスイッチ部７０ｃは，例えば，ロック解除用のボタンであり，オペレータによって押下されることによって，ラッチ部７０ａと係合孔７２との係合を解除する。

かかる構成のロック手段７０は，開閉カバー５０を容易かつ好適にロック／ロック解除できる。詳細には，開閉カバー５０を閉じるために，オペレータによって開閉カバー５０が閉じる方向に押されると，ラッチ部７０ａが係合孔７２内に挿入される。このとき，係合突起７０ｂは，係合孔７２の入口部分と接触して，一旦，ラッチ部７０ａ本体内に埋没した後に，係止孔７２ａの位置まで到達すると突出して，当該係止孔７２ａと嵌合する。この係合突起７０ｂと係止孔７２ａとの嵌合状態は，スイッチ部７０ｃが押されるまでは維持される。このようにして，係合孔７２とラッチ部７０ａとが好適に係合するので，開閉カバー５０の上端部が筐体１２に対して固定され，開閉カバー５０が閉じた状態でロックされる。

一方，このようにロックされた開閉カバー５０を開くときには，オペレータは，ロック手段７０のスイッチ部７０ｃを押すだけでよい。スイッチ部７０ｃが押されると，係合突起７０ｂがラッチ部７０ａ内に埋没するため，係合孔７２とラッチ部７０ａとの係合が解除される。この結果，ロック手段７０による開閉カバー５０の上端部の固定が解除されるため，開閉カバー５０が開くようになる。

このように，本実施形態にかかるロック手段７０を採用することで，オペレータは，開閉カバー５０を閉じるときには，開閉カバー５０を側面開口部４０に対して押しつけるだけで簡単にロックでき，また，開閉カバー５０を開くときには，スイッチ部７０ｃを押すだけで，ワンタッチでロックを解除して開閉カバー５０を開くことができる。従って，従来のようなネジ止めされた開閉カバーと比して，開閉カバー５０の開閉作業を大幅に迅速化，簡略化することができ，オペレータの利便性が向上する。

ところで，このように簡単に開閉できるように開閉カバー５０の取付機構を構成すると，オペレータが開閉カバー５０を閉じる際に，開閉カバー５０をしっかりと閉めないため，ロック手段７０による開閉カバー５０のロックがなされない場合が生じうる。開閉カバー５０が完全に閉まっていない状態で切削加工を行うと，上述したように，ブレード破損片２２２が装置外に飛散するなどして，重大な事故を引き起こす恐れがある。

従って，切削加工中には，飛散したブレード破損片２２２からオペレータを確実に保護するという安全性の観点，並びに，飛散した切削水２２４等による装置周辺の汚染を防止するという観点から，開閉カバー５０が完全に閉じた状態で切削加工が遂行される必要がある。よって，開閉カバー５０が完全に閉じていない場合には，オペレータにその旨を認知させる必要がある。

そこで，本実施形態にかかる開閉カバー５０の取付手段は，開閉カバー５０が中途半端に閉められてロックが不完全である場合には，開閉カバー５０を自動的に開くように構成されている。このため，オペレータに対して，開閉カバー５０が完全に閉じていないことを認知させることができる。

ここで，かかる開閉カバー５０を自動的に開く動作について，図６に基づいて詳細に説明する。なお，図６は，本実施形態にかかる開閉カバー５０が完全に閉められた状態（ａ）と，中途半端に閉められた状態（ｂ）とを示す側面図である。ただし，図６では，説明の便宜上，筐体１２については，図４（ａ）のＢ−Ｂ’線での縦断面で図示してある。

オペレータが開閉カバー５０をしっかりと押して，ロック手段７０のラッチ部７０ａが係合孔７２内に十分に挿入されると，図６（ａ）に示すように，開閉カバー５０が完全に閉められた状態となる。このように開閉カバー５０が完全に閉められた状態では，ラッチ部７０ａと係合孔７２とが係合することで，ロック手段７０が開閉カバー５０の上端部を完全にロックする。また，開閉カバー５０の下端部５０ａは，第１の弾性部材５１の下端部５１ａと第２の弾性部材５３とによって挟持固定されている。このようにロック手段７０によって開閉カバー５０がロックされた状態では，オペレータによってロック解除されるまでは，開閉カバー５０が開くことはない。また，かかる状態では，開閉カバー５０と，上記第１の弾性部材５１および第２の弾性部材５３とが密着しているので，切削加工によって生じた切削屑，切削水２２４等が装置外部に漏れ出さないようにできる。

一方，図６（ｂ）の破線で示すように，オペレータが開閉カバー５０を十分に押し切らずに，開閉カバー５０が中途半端に閉められた状態では，ラッチ部７０ａが係合孔７２内に十分に挿入されないため，ラッチ部７０ａと係合孔７２とが係合しない。このため，ロック手段７０による開閉カバー５０のロックがなされず，開閉カバー５０が少し開いた状態となる。

このように開閉カバー５０が中途半端に閉められロックが成されていない場合には，第１の弾性部材５１がその弾性力によって開閉カバー５０を開く方向に押圧することによって，開閉カバー５０を自動的に大きく開かせる。より詳細に説明すると，上記のように，開閉カバー５０の下端部５０ａは，支持部材５２の垂直部５２ａの内側にある第２の弾性部材５３と，第１の弾性部材５１の下端部５１ａとの間に差し込まれている。このため，第１の弾性部材５１の下端部５１ａは，若干傾斜して開閉カバー５０の下端部５０ａによって弾性収縮させられており，開閉カバー５０と接触している間は，常に，開閉カバー５０の下端部５０ａを開く方向に押圧する力を作用させる。

この第１の弾性部材５１の押圧力により，中途半端に閉められた開閉カバー５０は，その下端部５０ａを中心として側面開口部４０から離れる方向に回動する。さらに，このように押圧されて回動した開閉カバー５０は，自重によって，さらに開く方向に回動する。この結果，図６（ｂ）の実線で示すように，所定の角度まで大きく開くことになる。この角度は，例えば，開閉カバー５０の重量や厚さ，幅，第１および第２の弾性部材５１，５３の剛性，弾性率等に応じて決定される。つまり，開閉カバー５０は，第１の弾性部材５１の押圧力および自重と，第２の弾性部材５３を介した支持部材５２による支持力とがつり合う所定角度まで大きく開く。このように，大きく開いた開閉カバ−５０の下端部５０ａは，摩擦係数の大きいゴムなどで形成された第１および第２の弾性部材５１，５３と接触しているため，開閉カバー５０が支持部材５２から外れて落下することはない。

このように，本実施形態にかかる開閉カバー取付手段によれば，開閉カバー５０が中途半端に閉められロックが不完全である場合には，開閉カバー５０は，中途半端に閉められた位置で留まることなく，自動的に開くようになっている。このため，オペレータは，大きく開いた開閉カバー５０を見て，開閉カバー５０が完全に閉まっていないことを視覚的に認識できる。このように開閉カバー５０を自動的に開かせる機構は，上記のような比較的簡単で安価な構造の第１の弾性部材５１，支持部材５２および第２の弾性部材５３で実現されており，別途のセンサ，開閉駆動装置等を特に必要としない。このため，装置コスト面で有益である。

以上，本実施形態にかかる切削装置１０，特に，開閉カバー５０の取付手段について詳細に説明した。本実施形態にかかる切削装置１０では，側面開口部４０に対する開閉カバー５０の取付機構を，従来のネジ止めによる取付機構に代えて，開閉カバー５０をワンタッチで開閉できかつ取り外し可能な取付機構に改良している。このため，オペレータは，清掃作業等をするときに，開閉カバー５０を簡単に開閉できるとともに，開閉カバー５０を取り外すこともできるので，非常に便利である。

さらに，オペレータが開閉カバー５０を中途半端に閉めて，ロック手段７０により開閉カバー５０が完全にロックされていない場合には，開閉カバー５０が自動的に大きく開くようになっている。このため，オペレータは，開閉カバー５０が閉じていないことを視覚的に容易に把握できるので，切削加工を開始する前に，再度，開閉カバー５０を確実に閉めるようにすることができる。従って，開閉カバー５０が閉まっていない状態で切削加工が遂行されることを防止できるので，オペレータの安全性を確保でき，また，切削水等の飛散等による装置周辺の汚染も防止できる。

以上，添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが，本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば，特許請求の範囲に記載された範疇内において，各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり，それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。

例えば，上記実施形態では，切削装置１０本体の側面に設けられた筐体開口部（側面開口部４０）について，開閉カバー５０およびその取付手段（第１の弾性部材５１，支持部材５２および第２の弾性部材５３）を適用する例について説明したが，本発明はかかる例に限定されない。例えば，上記のような開閉カバー５０およびその取付手段は，切削装置１０本体の正面に設けられた正面部開口部４２，或いは切削装置１０本体の他の側面または背面などに設けられた筐体開口部（図示せず。）など，任意の筐体開口部を開放／閉鎖するために適用可能である。

また，上記実施形態では，筐体開口部４０および開閉カバー５０が，ともに横長の略長方形状を有する例について説明したが，本発明は，かかる例に限定されない。筐体開口部４０は，三角形状，正方形状，台形状，平行四辺形状，五角形以上の多角形状，略円形状，楕円形状，略半円形状など，任意の形状であっても良い。また，開閉カバー５０は，例えば，下辺が略水平な直線状であれば，三角形状，正方形状，台形状，平行四辺形状，五角形以上の多角形状，略半円形状など，任意の形状であっても良い。また，筐体開口部４０の形状と開閉カバー５０の形状とは，相互に異なる形状であっても良い。

また，第１の弾性部材５１は，少なくとも筐体開口部４０の左右両側下部において，開閉カバー５０を押圧できる位置に設けられればよく，必ずしも，筐体開口部４０の左辺，上辺，右辺の全てを取り囲むように設けられなくてもよく，例えば，当該上辺に対応する位置には第１の弾性部材５１を設けなくても良い。

また，支持部材５２は，開閉カバー５０を取り外し可能に支持できるものであれば，筐体開口部４０の下辺の全体に沿って延設されなくてもよく，当該下辺の一部分のみに配設されても良い。

また，上記実施形態では，第２の弾性部材５３は，支持部材５２の先端部（垂直部５２ａ）を覆うように装着されていたが，本発明は，かかる例に限定されない。例えば，第２の弾性部材５３は，支持部材５２の全体（垂直部５２ａおよび水平部５２ｂ）を覆うように装着されてもよいし，支持部材５２の内側のみを覆うように設けられてもよい。

また，上記実施形態では，開閉カバー取付手段は，第１の弾性部材５１と，支持部材５２と，第２の弾性部材５３とから構成されていたが，本発明はかかる例に限定されない。例えば，開閉カバー５０を筐体開口部４０に対して取り外し可能に取り付けるだけであれば，開閉カバー取付手段は，少なくとも支持部材５２を備えればよい。また，開閉カバー取付手段は，第２の弾性部材５３を含まない，即ち，第２の弾性部材５３が支持部材５２に装着されていないようにしてもよい。

また，上記実施形態では，ロック手段７０は，開閉カバー５０の上端部に装着され，開閉カバー５０の上端部を筐体開口部４０の上部の筐体１２に固定するように構成されたが，本発明は，かかる例に限定されない。例えば，ロック手段７０は，開閉カバー５０の側端部（例えば左辺もしくは右辺の中央部等）に設けられてもよい。この場合，ロック手段７０に対応する位置に，係合孔７２が設けられる。また，ロック手段７０は，複数設けられても良い。また，ロック手段７０は，上記ボタン解除機能を有するラッチ装置（プッシュラッチ）で構成されなくてもよく，開閉カバー５０の一端部を係止してロックできるものであれば，例えば，かんぬき式，フック式，止め金式のロック機構など任意のロック機構で構成されてもよい。

また，上記実施形態では，支持部材５２は，金属材料で形成された鉤型の部材で構成されていたが，本発明は，かかる例に限定されない。例えば，支持部材５２を，ゴム等の弾性材料で形成された弾性部材で構成してもよい。

本発明は，切削装置の開閉カバーに適用可能であり，特に，簡単に開閉でき，切削加工時に確実に閉まっていることが要求される開閉カバーに適用可能である。

本発明の第１の実施形態にかかるダイシング装置を示す全体斜視図である。 同実施形態にかかるダイシング装置の切削領域周辺の構成を示す平面図である。 同実施形態にかかる切削ユニットを示す斜視図である。 同実施形態にかかる開閉カバーおよびその取付手段の構成を示す斜視図（ａ）および側面図（ｂ）である。 同実施形態にかかるロック手段と係合孔の構成を示す横断面図である。 同実施形態にかかる開閉カバーが完全に閉められた状態（ａ）と，中途半端に閉められた状態（ｂ）を示す側面図である。

符号の説明

１０ ダイシング装置
２０ 切削ユニット
２２ 切削ブレード
２４ スピンドル
３０ チャックテーブル
３６ 切削屑回収手段
４０ 側面開口部
４２ 正面開口部
５０ 開閉カバー
５０ａ 開閉カバーの下端部
５１ 第１の弾性部材
５１ａ 第１の弾性部材の下端部
５２ 支持部材
５２ａ 垂直部
５２ｂ 水平部
５３ 第２の弾性部材
７０ ロック手段
７０ａ ラッチ部
７０ｂ 係合突起
７０ｃ スイッチ部
７２ 係合孔
７２ａ 係止孔

Claims (1)

1. 筐体と；
   前記筐体内に設けられ，被加工物を保持する保持手段と；
   前記筐体内に設けられ，前記被加工物を切削する切削手段と；
   前記切削手段の切削ブレードの外周に対向する位置に設けられた筐体開口部と；
   前記筐体開口部を開放／閉鎖する開閉カバーと；
   前記開閉カバーを支持する開閉カバー取付手段と；
   前記筐体開口部を閉鎖した状態の前記開閉カバーをロックするロック手段と；
   を備え，
   前記開閉カバー取付手段は，
   前記筐体開口部の少なくとも左右両側に装着された弾性部材と，前記筐体開口部の下側に装着され，上方より差し込まれた前記開閉カバーの下端部を係止して前記開閉カバーを取り外し可能に支持する支持部材とを有し，
   前記ロック手段によって前記開閉カバーがロックされていない場合には，前記弾性部材によって前記開閉カバーを開く方向に押圧することにより，前記開閉カバーの下端部を中心として前記開閉カバーを回動させて，前記開閉カバーを開き，
   前記ロック手段は，
   前記開閉カバーに装着され，前記筐体に設けられた係合孔に挿入されると前記係合孔と係合するラッチ部と，前記ラッチ部と前記係合孔との係合を解除するスイッチ部と，を備えることを特徴とする，切削装置。
   

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