CN1691287B - 切削装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种可简单地对开闭罩进行开闭、方便性提高的切削装置。该切削装置具有箱体(12)、保持机构、切削机构、箱体开口部(40)、开闭罩(50)、第二弹性构件(53)、及锁定机构(70)；该保持机构和该切削机构设在箱体(12)内；该箱体开口部(40)设在与保持机构和/或切削机构对应的位置；该开闭罩(50)对箱体开口部(40)进行开放/关闭；该第二弹性构件(53)安装于箱体开口部(40)的下侧，卡止从上方插入的开闭罩(50)的下端部，可拆卸地支承开闭罩(50)；该锁定机构(70)对关闭箱体开口部(40)的状态的开闭罩(50)进行锁定。按照该构成，可简单地进行开闭罩(50)的开闭，同时，可在维修作业时拆卸开闭罩(50)，方便性提高。

Description

切削装置

技术领域

本发明涉及一种对半导体晶片等被加工物进行切削加工的切削装置，特别是涉及在覆盖切削机构的周围的箱体具有开闭罩的切削装置。

背景技术

对半导体晶片等被加工物进行切削加工的切削装置具有包含安装于主轴的切削刀片的切削机构和吸附保持被加工物的卡盘台，相对保持于卡盘台的被加工物使高速回转的切削刀片切入而进行切削。

在这样的切削装置的切削加工中，存在包含切屑的切削水和破损的切削刀片的破片等飞散到周围的可能性。为了防止该切削水和刀片破损片的飞散，在上述卡盘台和切削机构的周围设置开闭式的安全罩(以下称开闭罩)(例如参照日本特开平10-116802号公报)。

该开闭罩例如分别设在切削装置的正面侧和侧面侧。正面侧的开闭罩在交换切削刀片时开闭。另一方面，侧面侧的开闭罩为了清扫散乱到卡盘台周围的切屑及切削水而开闭。例如，在卡盘台与其移动机构的两侧下部配置回收切屑等的切屑回收机构(所谓的水盒等)时，为了清扫该切屑回收机构，对侧面侧的开闭罩进行开闭。

这样的开闭罩特别是侧面侧的开闭罩在现有技术中由于其开闭频度少的原因，大多相对切削装置本体由螺钉固定进行固定。

然而，如上述现有的切削装置那样，虽说开闭频度较少，但如开闭罩由螺钉固定，则开闭罩的开闭作业非常费事。为此，对可简单地开闭、方便性高的开闭罩存在需求。

发明内容

因此，本发明就是鉴于上述问题而作出的，其目的在于提供一种新型的、经过改良的切削装置，该切削装置可简单地对开闭罩进行开闭，可提高方便性。

为了解决上述问题，本发明的切削装置具有箱体、保持机构、切削机构、箱体开口部、开闭罩、开闭罩安装机构、及锁定机构；该保持机构设于箱体内，保持被加工物；该切削机构设在箱体内，对被加工物进行切削；该箱体开口部设在与保持机构和/或切削机构对应的位置；该开闭罩对箱体开口部进行开放/关闭；该开闭罩安装机构具有支承构件，该支承构件安装于箱体开口部的下侧，卡止从上方插入的开闭罩的下端部，可拆卸地支承开闭罩；该锁定机构对关闭箱体开口部的状态的开闭罩进行锁定，所述锁定机构具有锁紧部和开关部；所述锁紧部安装在所述开闭罩上，当插入到设于所述箱体的接合孔时，与所述接合孔接合；所述开关部解除所述锁紧部与所述接合孔的接合。

按照该构成，由锁定机构相对箱体开口部对开闭罩进行锁定和锁定解除，即可简单地进行开闭罩的开闭，同时，可拆卸打开的开闭罩，实施内部装置的清扫作业和维修作业。因此，切削装置的操作者的方便性提高。

另外，当操作者推压开闭罩而成为完全关闭的状态时，锁定机构的锁紧部插入到箱体的接合孔进行接合，所以，可在关闭箱体开口部的状态下将开闭罩锁定。另一方面，当要将关闭的开闭罩打开时，按下锁定机构的开关部即可。这样，解除锁紧部与接合孔的接合，解除开闭罩的锁定，所以，开闭罩打开。这样，操作者可由一次操作对开闭罩进行开闭，所以，很方便。

另外，为了解决上述问题，按照本发明的另一观点的切削装置具有箱体、保持机构、切削机构、箱体开口部、开闭罩、开闭罩安装机构、及锁定机构；该保持机构设于箱体内，保持被加工物；该切削机构设在箱体内，对被加工物进行切削；该箱体开口部设在与保持机构和/或切削机构对应的位置；该开闭罩对箱体开口部进行开放/关闭；该开闭罩安装机构支承开闭罩；该锁定机构对关闭箱体开口部的状态的开闭罩进行锁定；开闭罩安装机构在上述开闭罩不由上述锁定机构锁定的场合，可自动地打开上述开闭罩，所述锁定机构具有锁紧部和开关部；所述锁紧部安装在所述开闭罩上，当插入到设于所述箱体的接合孔时，与所述接合孔接合；所述开关部解除所述锁紧部与所述接合孔的接合。

按照该构成，由锁定机构相对箱体开口部对开闭罩进行锁定和锁定解除，即可简单地进行开闭罩的开闭。另外，当开闭罩关闭到途中而使得锁定机构的锁定不完全时，可自动地使开闭罩大幅地打开。为此，操作者可在视觉上认识到开闭罩未关闭这一情况。因此，切削装置的操作者的方便性提高。

另外，当操作者推压开闭罩而成为完全关闭的状态时，锁定机构的锁紧部插入到箱体的接合孔进行接合，所以，可在关闭箱体开口部的状态下将开闭罩锁定。另一方面，当要将关闭的开闭罩打开时，按下锁定机构的开关部即可。这样，解除锁紧部与接合孔的接合，解除开闭罩的锁定，所以，开闭罩打开。这样，操作者可由一次操作对开闭罩进行开闭，所以，很方便。

另外，上述开闭罩安装机构通过卡止开闭罩的下端部可拆卸地支承开闭罩，在未由锁定机构对上述开闭罩进行锁定的场合，以开闭罩的下端部的中心使上述开闭罩回转，将开闭罩打开。这样，可拆卸打开的开闭罩，实现内部装置的清扫作业和维修作业。在开闭罩关闭到途中而未锁定的场合，以开闭罩的下端部为中心使开闭罩朝从箱体开口部离开的方向回转，使开闭罩自动地大幅打开。

另外，上述开闭罩安装机构也可具有弹性构件和支承构件；该弹性构件安装于箱体开口部的至少左右两侧；该支承构件安装于箱体开口部的下侧，卡止从上方插入的开闭罩的下端部，可拆卸地支承开闭罩；在开闭罩未由锁定机构锁定的场合，由弹性构件朝打开的方向推压开闭罩。这样，可由支承构件这样较简单的构成支承开闭罩，并将其安装于箱体开口部。另外，在锁定机构的锁定不完全的场合，可由弹性构件这样简单的构成从内侧推压开闭罩使其回转，将其大幅地打开。另外，由弹性构件的下端部和支承构件夹持开闭罩的下端部，所以，开闭罩安装机构可稳定地支承安装的开闭罩。

另外，也可覆盖上述支承构件地安装弹性构件。或者，也可由弹性构件构成上述支承构件自身。

如以上说明的那样按照本发明，操作者可简单地对开闭罩进行开闭，所以，进行各种作业时的方便性提高。

附图说明

图1为示出本发明第一实施形式的切割装置的整体透视图。

图2为示出该实施形式的切割装置的切削区域周边的构成的平面图。

图3为示出该实施形式的切削单元的透视图。

图4A和4B分别为示出该实施形式的开闭罩和其安装机构的构成的透视图和侧面图。

图5为示出该实施形式的锁定机构和接合孔的构成的横断面图。

图6A和6B为分别示出该实施形式的开闭罩安全关闭的状态和在途中关闭的状态的侧面图。

具体实施方式

下面，参照附图详细说明本发明的优选实施形式。在本说明书和附图中，对实质上具有相同功能构成的构成要素赋予相同符号，省略重复说明。

(第一实施形式)

首先，根据图1和图2说明作为本发明第一实施形式的切削装置的一例构成的切割装置10的整体构成。图1为示出本实施形式的切割装置10的整体透视图。图2为示出本实施形式的切割装置10的切削区域周边的构成的平面图，剖切地示出箱体12。

如图1和图2所示那样，切割装置10例如主要具有箱体12，对半导体晶片W等被加工物进行切削加工的切削单元20，保持上述被加工物的卡盘台30，使切削单元20与卡盘台30相对移动的移动机构32、34，回收由切削加工产生的切屑和切削水的切屑回收机构36，设于箱体12的箱体开口部40、42，分别安装于这些箱体开口部40、42的开闭罩50、60。

箱体12为由例如金属等形成的、例如具有大体长方形的箱。在该箱体12内配置以下说明的那样的切削单元20、卡盘台30、移动机构等各种装置。

切削单元20构成为本实施形式的切削机构，对半导体晶片W等被加工物进行切削。具体地说，该切削单元20具有安装于主轴24的切削刀片22，一边使该切削刀片22高速回转一边向半导体晶片W切入，从而切削半导体晶片W。关于该切削单元20的详细构成在后面说明。

卡盘台30构成为本实施形式的保持机构，吸附保持和固定半导体晶片W等被加工物。该卡盘台30例如在其上面具有真空卡盘机构，能够对例如通过晶片台(图中未示出)支承于构架(图中未示出)的状态的半导体晶片W通过真空吸附进行保持。

另外，移动机构例如图2所示那样由切削单元移动机构32和卡盘台移动机构34构成。其中，切削单元移动机构32使切削单元20朝与切削方向直交的水平方向(Y轴方向)移动，可将切削刀片22的刀尖与半导体晶片W的各切削线对齐位置。另外，该切削单元移动机构34也可使切削单元20朝垂直方向(Z轴方向)移动，调整切削刀片22相对半导体晶片W的切入深度。另一方面，卡盘台移动机构34可使卡盘台30和由其保持的半导体晶片W朝切削方向(X轴方向)移动。

该构成的切割装置10一边使高速回转的切削刀片22向半导体晶片W切入一边使切削单元20和卡盘台30朝切削方向(X轴方向)相对移动，反复进行多条切削线的切削，从而可对半导体晶片W进行切割加工，分割成多个半导体芯片。

另外，切屑回收机构36例如由大体匚字形的水盒构成。该切屑回收机构36分别设在卡盘台30和使该卡盘台30往复移动的卡盘台移动机构34的两侧的下部。该切屑回收机构36将由切削加工产生的切屑(包含半导体晶片W的端材和细切屑等)和切削水回收到其内部。

另外，在箱体12例如将2个箱体开口部40、42设在与上述切削单元20和卡盘台30对应的位置。其中，设在切割装置10的侧面侧的箱体开口部40(以下称侧面开口部40)例如用于操作者从切割装置10的侧面侧将手插入到箱体12内部，清扫上述切屑回收机构36等。另一方面，设于切割装置10的正面(前面)侧的箱体开口部42(以下称正面开口部42)例如用于操作者从切割装置10的正面侧将手插入到箱体12内部，交换上述切削单元20的切削刀片22。另外，操作者也可从该侧面开口部40和正面开口部42插入手，对内部的切削单元20、卡盘台30、移动机构32、34等进行各种的维修作业。

在该侧面开口部40、正面开口部42分别设置开闭罩50、60。该开闭罩50、60例如为操作者可用手动进行开闭的安全罩。这些开闭罩50、60由操作者可看到装置内部状态那样透明而且具有可承受飞散物的撞击的较高强度的材料(例如氯乙烯、聚碳酸酯等)形成。

其中，安装于侧面开口部40的开闭罩50为本实施形式的特征构成要素，例如由1片大体矩形的平板构成，以平开门的方式进行开闭。该开闭罩50相对侧面开口部40可拆卸地安装。另一方面，安装于正面开口部42的开闭罩60例如由2片大体矩形的平板构成，以双槽推拉门的方式进行开闭。操作者打开该开闭罩50、60，可进行上述清扫作业、刀片交换作业、维修作业等。安装于侧面开口部40的开闭罩50的详细内容在后面说明。

下面，根据图3说明本实施形式的切削单元20的构成和从该切削单元20飞散的刀片破损片、切削水等的状态。图3为示出本实施形式的切削单元20的透视图。

如图3所示那样，切削单元20例如主要具有刷子21、切削刀片22、主轴24、主轴壳26、切削水供给喷嘴28、轮罩29。

切削刀片22例如为环形的极薄的切削砂轮(所谓垫圈刀片)。该切削刀片22例如在由刷子21从两侧夹持的状态下安装于主轴24。另外，主轴24例如为用于将电动机(图中未示出)等的回转驱动力传递到切削刀片22的回转轴，例如按30,000rpm使安装的切削刀片22高速回转。另外，主轴壳26覆盖该主轴24地设置，由内部具有的空气轴承机构等可高速回转地支承该主轴24。另外，切削水供给喷嘴28作为将切削水供给到加工点附近的切削水供给机构构成。该切削水供给喷嘴28例如可装拆地设在切削刀片22下部侧的两侧，朝切削刀片22和加工点喷射切削水进行冷却。在图3中，仅图示出配置于切削刀片22的一侧(前面侧)的切削水供给喷嘴28，但实际上在切削刀片22的另一侧(背面侧)也配置有同样构成的切削水供给喷嘴。另外，轮罩29覆盖切削刀片22的外周地设置，可在某种程度上防止切削水和切屑等的飞散。

该构成的切削单元20如图3所示那样，由主轴24的回转驱动力使切削刀片22高速回转，使该切削刀片22向半导体晶片W切入，从而对半导体晶片W的加工面进行切削加工，沿切削线(狭缝)形成极薄的切槽(切缝)。

在这样的切削单元20的切削加工中，例如由高速回转的切削单元20的回转力等使刀片破损片、包含切屑的切削水等以高速飞散到切削刀片22的周围。该刀片破损片和切削水的飞散可在某种程度上由上述轮罩29阻止。

然而，在轮罩29例如为了维修等方便而在一部分存在间隙A(图3中由虚线围住的部分)。为此，刀片破损片222、切削水224等透过过该轮罩29的间隙A高速地飞散到轮罩29的外部。在本实施形式的切割装置10中，例如，配置该间隙A的方向为切割装置10的侧面方向(X轴负方向)。为此，穿过间隙A的刀片破损片222、切削水224从切削单元20朝开闭罩50飞散，撞击到开闭罩50。

因此，在切削加工中，如开闭罩50未完全关闭，则不仅包含切屑的切削水224从侧面开口部40飞散，污染切割装置10周边，而且存在刀片破损片222从侧面开口部40飞出伤及操作者的危险性。另外，在开闭罩50内配置有存在使操作者负伤(手、指等的切断、夹入)的危险性的装置(例如具有高速回转的切削刀片22的切削单元20和移动机构32、34等)。因此，为了确保操作者的安全，同时防止装置周边的污染，必须在开闭罩50安全关闭的状态下进行切削加工。

在以上说明的例子中，在切削单元20设置有轮罩29，刀片破损片222、切削水224等从该轮罩29的间隙A飞散，撞击到开闭罩50，但刀片破损片222等的飞散状态不限于该例。例如，在不将轮罩29设于切削单元20的场合，更多的刀片破损片222、切削水224等从加工点附近撞击到开闭罩50。另外，在设置与上述图3的例子不同的形状的轮罩29的场合，刀片破损片222、切削水224等通过上述间隙A以外的部位撞击到开闭罩50。另外，飞散的刀片破损片222、切削水224等不仅可能直接到达开闭罩50，而且也可能撞击到卡盘台30、卡盘台移动机构34、开闭罩60等产生反射，到达开闭罩50。

下面，根据图4A和4B说明作为本实施形式的特征的开闭罩50和其安装机构。图4A和图4B为示出本实施形式的开闭罩50及其安装机构的构成的透视图和侧面图。在图4B中，为了方便说明，由图4A的B-B′线纵断面示出箱体12。

如图4A所示那样，设于箱体12侧面的侧面开口部40例如为以水平方向(Y轴方向)为长边的矩形(长方形)的开口。覆盖该侧面开口部40地安装开闭罩50。该开闭罩50例如为具有大体矩形的平板状的安全罩。该开闭罩50如上述那样由透明、具有能承受刀片破损片222等撞击时的冲击的程度的强度的材料(例如氯乙烯、聚碳酸酯等)形成。该开闭罩50的形状和大小相应于侧面开口部40的形状和大小设定。具体地说，开闭罩50的宽度(Y轴方向)和长度(Z轴方向)分别比侧面开口部40的宽度和长度稍大地设定。该开闭罩50可相对侧面开口部40开闭地安装，可开放/关闭侧面开口部40。

在侧面开口部40的周围(4边)例如设置第一弹性构件51、支承构件52、安装于支承构件52的第二弹性构件53。其中第一和第二弹性构件51、53例如由橡胶、合成树脂等弹性材料形成，另外，支承构件52例如由不锈钢等金属形成。第一弹性构件51相对侧面开口部40周围的箱体12由粘接剂等固定。另外，支承构件52例如为大体L字形(钩形)断面的突起部，与侧面开口部40下侧的箱体12一体形成。另外，第二弹性构件53例如相对该支承构件52的例如前端部52a由粘接剂等固定，覆盖支承构件52的前端部成为大体U字形断面。

该第一弹性构件51、支承构件52、及第二弹性构件53构成为用于将开闭罩50安装于侧面开口部40的开闭罩安装机构，可拆卸地支承上述开闭罩50。以下分别详细说明第一弹性构件51、支承构件52、及第二弹性构件53。第一弹性构件51构成为本实施形式的“安装于箱体开口部的至少左右两侧的弹性构件”。

第一弹性构件51例如形成为沿除侧面开口部40下边的3边(上边、左边、右边)的那样的“大体匚字形”。该第一弹性构件51围住侧面开口部40的周围(除下边外)地安装。具体地说，第一弹性构件51在侧面开口部40的左侧、上部侧、右侧的箱体12沿侧面开口部40的左边、上边、右边配置。为此，当将开闭罩50关闭时，第一弹性构件51与开闭罩50的3边(上边、左边、右边)紧密接触。因此，第一弹性构件51密闭箱体12与开闭罩50的间隙，可防止切削水等从该间隙漏出到外部。另外，第一弹性构件51也可作为将开闭罩50关闭时的缓冲材料起作用。

虽然第一弹性构件51如上述那样一体形成大体匚字形时切削水的漏出防止效果高，但不限于该例，例如也可由3个大体直线状(杆状)的弹性构件分开形成，分别将该大体直线状的弹性构件安装于侧面开口部40的上部侧、左侧、右侧。另外，也可不一定非要在侧面开口部40的上部侧安装第一弹性构件51，也可仅在侧面开口部40的左右两侧安装第一弹性构件51。另外，第一弹性构件51形成为沿侧面开口部40的4边(上边、下边、左边、右边)的那样的“大体口字形”，围住侧面开口部40的全周围地配置。

另外，支承构件52为从箱体12面例如突起成钩状的部分，例如使长度方向(Y轴方向)的长度比侧面开口部40下边稍长。该支承构件52如图4A所示那样在侧面开口部40的下部侧沿侧面开口部40的下边大体水平地设置。该支承构件52的左右两端分别位于侧面开口部40的左边、右边的外侧。另外，该支承构件52例如图4B所示那样由从箱体12面水平伸出的水平部52b和从该水平部52b的端部朝垂直方向上方延伸的垂直部52a构成。另外，覆盖该支承构件52的前端部(垂直部52a)地安装上述第二弹性构件53。

该支承构件52如图4B所示那样，可从上方插入开闭罩50的下端部50a地配置。具体地说，支承构件52为配置于侧面开口部40下侧的轨状的构件，在支承构件52的垂直部52a与箱体12之间产生预定的间隙。为此，在该间隙可插入开闭罩50的下端部50a。支承构件52通过卡止这样插入的开闭罩50的下端部50a，从而能够可拆卸地支承开闭罩50。另外，具有弹性力和高摩擦系数的第二弹性构件53包覆这样卡止开闭罩50的支承构件52的垂直部52a。为此，第二弹性构件53作为缓冲材料起作用，可防止开闭罩50受伤，同时，第二弹性构件53成为防滑构件，可防止开闭罩50的落下。

另外，该支承构件52的两端部位于形成为上述“大体匚字形”的第一弹性构件50的两端部(侧面开口部40的左边侧的下端部51b和右边侧的下端部51b)的外侧(X轴负方向)地配置。更为详细地说，支承构件52的垂直部52a的左右两端覆盖到上述第一弹性构件51的下端部51a的外侧地调整第一弹性构件51和支承构件52的配置。这样，插入到支承构件52的开闭罩50的下端部50a由第二弹性构件53和第一弹性构件51的下端部51a夹持。为此，可更稳定地支承插入到支承构件52的开闭罩50，防止落下。

通过由包括这样的构成的第一弹性构件51、支承构件52、及第二弹性构件53的开闭罩安装机构将开闭罩50安装于侧面开口部40，从而在开闭罩50未由后述的锁定机构70锁定的状态下，开闭罩50的上部侧成为打开的状态。即，开闭罩50以其下端部50a为中心，朝从侧面开口部40离开的方向回转，成为相对侧面开口部40朝前面侧(X轴方向负方向)倾斜预定角度的状态。操作者从支承构件52拉拔这样打开的状态的开闭罩50，可简单地拆卸。通过这样拆卸开闭罩50，操作者可从侧面开口部40插入手，容易地进行水盒36的清扫作业等。

另外，在开闭罩50的例如上端部安装锁定机构70。该锁定机构70通过与设于侧面开口部40的例如上部侧(例如侧面开口部40的上边的中央部分近旁)的接合孔72接合，从而相对箱体12固定开闭罩50的上端部，可不打开地锁定。该锁定机构70例如可由具有按钮解除功能的锁紧装置构成，具体地说，例如可使用(“推压锁紧构件”C-1213；塔基亘(タキグン)公司制)。

下面，根据图5详细说明本实施形式的锁定机构70。图5为示出本实施形式的锁定机构70和接合孔72的构成的横断面图。

如图5所示那样，锁定机构70例如具有锁紧部70a和开关部70c。锁紧部70a突设于开闭罩50的侧面开口部40侧，可与接合孔72接合。具体地说，在锁紧部70a的一侧可出没地设置接合突起70b，该接合突起70b与设于接合孔72内的侧面的卡止孔72a接合地构成。

另外，开关部70c突设于侧面开口部40相反侧，与上述锁紧部70a连接。该开关部70c例如为锁定解除用的按钮，通过由操作者按下，从而解除锁紧部70a与接合孔72的接合。

该构成的锁定机构70可容易而且适当地对开闭罩50进行锁定/锁定解除。详细地说，为了关闭开闭罩50，当由操作者将朝开闭罩50关闭的方向按下时，锁紧部70a插入到接合孔72内。此时，接合突起70b与接合孔72的入口部分接触，一旦埋没到锁紧部70a本体内后，当到达卡止孔72a的位置时突出，与该卡止孔72a配合。该接合突起70b与卡止孔72a的配合状态在推压开关部70c之前维持。这样，接合孔72与锁紧部70a较好地接合，所以，开闭罩50的上端部相对箱体12固定，在开闭罩50关闭的状态下锁定。

另一方面，当打开这样锁定的开闭罩50时，操作者推压锁定机构70的开关部70c即可。当推压开关部70c时，接合突起70b埋没到锁紧部70a内，所以，解除接合孔72与锁紧部70a的接合。结果，解除由锁定机构70进行的开闭罩50的上端部的固定，所以，开闭罩50打开。

通过采用本实施形式的锁定机构70，当操作者关闭开闭罩50时，相对侧面开口部40推压开闭罩50即可简单地锁定，另外，当打开开闭罩50时，推压开关部70c即可由一次操作解除锁定，打开开闭罩50。因此，与过去的那样的由螺钉固定的开闭罩相比，可大幅度地使开闭罩50的开闭作业迅速化、简化，操作者的方便性提高。

可是，如这样可简单开闭地构成开闭罩50的安装机构，当操作者关闭开闭罩50时，不能紧紧地关闭开闭罩50，所以，可能产生锁定机构70不能锁定开闭罩50的场合。当开闭罩50在未完全关闭的状态下进行切削加工时，如上述那样，存在刀片破损片222飞散到装置外等引起重大事故的危险。

因此，在切削加工中，从确实地保护操作者不受飞散的刀片破损片222的伤害的安全性观点和防止飞散的切削水224等导致装置周边污染的观点出发，需要在完全关闭开闭罩50的状态下进行切削加工。因此，在开闭罩50未完全关闭的场合，需要让操作者认识到这一点。

因此，本实施形式的开闭罩50的安装机构在开闭罩50关闭到途中、锁定不完全的场合，自动打开开闭罩50地构成。为此，可使操作者了解到开闭罩50未完全关闭这一情况。

在这里，根据图6A和6B详细说明自动地打开该开闭罩50的动作。图6A和6B为分别示出本实施形式的开闭罩50完全关闭的状态和关闭到途中的状态的侧面图。但是，在图6中，为了方便说明，关于箱体12，用图4A的B-B′线的纵断面示出。

当操作者紧压开闭罩50使锁定机构70的锁紧部70a充分地插入到接合孔72内时，如图6A所示那样，成为开闭罩50被完全关闭的状态。在这样完全关闭开闭罩50的状态下，通过锁紧部70a与接合孔72接合，锁定机构70完全锁定开闭罩50的上端部。另外，开闭罩50的下端部50a由第一弹性构件51的下端部51a和第二弹性构件53夹持固定。在这样由锁定机构70锁定开闭罩50的状态下，在由操作者解除锁定之前，开闭罩50不会打开。另外，在该状态下，由于开闭罩50与上述第一弹性构件51和第二弹性构件53紧密接触，所以，可防止由切削加工产生的切屑、切削水224等漏出到装置外部。

另一方面，如图6B的虚线所示那样，在操作者未充分地推压开闭罩50、开闭罩50关闭到途中的状态下，锁紧部70a未充分地插入到接合孔72内，所以，锁紧部70a与接合孔72不接合。为此，不由锁定机构70进行开闭罩50的锁定，开闭罩50成为稍打开的状态。

在这样将开闭罩50关闭到途中而未锁定的场合，第一弹性构件51由其弹性力朝打开开闭罩50的方向推压，从而将开闭罩50自动地大幅地打开。更为详细地说，如上述那样，开闭罩50的下端部50a插入到处于支承构件52的垂直部52a的内侧的第二弹性构件53与第一弹性构件51的下端部51a之间。为此，第一弹性构件51的下端部51a稍倾斜，由开闭罩50的下端部50a使其弹性收缩，在与开闭罩50接触期间，时常作用朝打开开闭罩50的下端部50a的方向推压的力。

由该第一弹性构件51的推压力使关闭到途中的开闭罩50以其下端部50a为中心朝从侧面开口部40离开的方向回转。另外，这样受到推压而回转的开闭罩50由自重进一步朝打开方向回转。结果，如图6B的实线所示那样，大幅地打开到预定的角度。该角度例如相应于开闭罩50的重量和厚度、宽度、第一和第二弹性构件51、53的刚性、弹性模量等决定。即，开闭罩50大幅地打开到第一弹性构件51的推压力和自重与通过第二弹性构件53的由支承构件52产生的支承力平衡的预定角度。这样，大幅地打开的开闭罩50的下端部50a接触于由摩擦系数大的橡胶等形成的第一和第二弹性构件51、53，所以，开闭罩50不会从支承构件52脱开落下。

这样，按照本实施形式的开闭罩安装机构，在开闭罩50关闭到途中而不完全锁定的场合，开闭罩50不在关闭到途中的位置停留，而是自动地打开。为此，操作者看到大幅地打开的开闭罩50，可视觉地认识到开闭罩50未完全关闭这一状态。这样使开闭罩50自动打开的机构由上述那样的较简单、廉价构造的第一弹性构件51、支承构件52、及第二弹性构件53实现，不特别需要另外的传感器、开闭驱动装置等。为此，在装置成本方面有益。

以上，详细说明了本实施形式的切割装置10，特别是开闭罩50的安装机构。在本实施形式的切割装置10中，可由开闭罩50相对侧面开口部40的安装机构代替由现有的螺钉固定实现的安装机构，改良为可由一次操作开闭且可拆卸开闭罩50的安装机构。为此，操作者在进行清扫作业等时，可简单地进行开闭罩50的开闭，同时，可拆卸开闭罩50，所以，非常方便。

另外，在操作者将开闭罩50关闭到途中而未完全由锁定机构70锁定开闭罩50的场合，开闭罩50自动地大幅地打开。为此，操作者可通过视觉容易地把握开闭罩50未关闭这一情况，所以，在开始切削加工之前，可再次确实地关闭开闭罩50。因此，可防止在开闭罩50未关闭的状态下实施切削加工，所以，可确保操作者的安全性，另外，可防止切削水等的飞散等导致的装置周边污染。

以上参照附图说明了本发明的优选实施形式，但当然本发明不限于该例。很明显，如为本领域的技术人员，则在记载于权利要求的范围中可想到各种变更例或修正例，它们当然也属于本发明的技术范围。

例如，在上述实施形式中，说明了对设于切削装置10本体的侧面的箱体开口部(侧面开口部40)适用开闭罩50和其安装机构(第一弹性构件51、支承构件52、及第二弹性构件53)的例子，但本发明不限于该例。例如，上述那样的开闭罩50和其安装机构可用于开放/关闭设于切割装置10本体的正面的正面部开口部42、或设于切割装置10本体的其它侧面或背面等的箱体开口部(图中未示出)等任意的箱体开口部。

另外，在上述实施形式中，说明了箱体开口部40和开闭罩50都具有横向伸长的大体长方形的例子，但本发明不限于该例。箱体开口部40也可为三角形、正方形、梯形、平行四边形、五边形或其以上的多边形、大体圆形、椭圆形、大体半圆形等任意的形状。另外，开闭罩50例如如为下边大体水平的直线状，则也可为三角形、正方形、梯形、平行四边形、五边形或其以上的多边形、大体半圆形等任意的形状。另外，箱体开口部40的形状和开闭罩50的形状也可为相互不同的形状。

另外，第一弹性构件51至少在箱体开口部40的左右两侧下部设于可推压开闭罩50的位置即可，不一定非要围住箱体开口部40的左边、上边、右边全部地设置，例如，也可不在与该上边对应的位置设置第一弹性构件51。

另外，支承构件52如可拆卸地支承开闭罩50，则也可不沿箱体开口部40的下边的整体延伸设置，而是仅在该下边的一部分配置。

另外，在上述实施形式中，第二弹性构件53覆盖支承构件52的前端部(垂直部52a)地安装，但本发明不限于该例。例如，第二弹性构件53可覆盖支承构件52整体(垂直部52a和水平部52b)地安装，也可仅覆盖支承构件52的内侧地设置。

另外，在上述实施形式中，开闭罩安装机构由第一弹性构件51、支承构件52、第二弹性构件53构成，但本发明不限于该例。例如，如相对箱体开口部40可拆卸地安装开闭罩50，则开闭罩安装机构只要至少具有支承构件52即可。另外，开闭罩安装机构也可不包含第二弹性构件53，即，第二弹性构件53可不安装于支承构件52。

另外，在上述实施形式中，锁定机构70安装于开闭罩50的上端部，将开闭罩50的上端部固定于箱体开口部40的上部的箱体12地构成，但本发明不限于该例。例如，锁定机构70也可设于开闭罩50的侧端部(例如左边或右边的中央部等)。在该场合，在与锁定机构70对应的位置设置接合孔72。另外，锁定机构70也可设置多个。另外，锁定机构70也可不由具有上述按钮解除功能的锁紧装置(推压锁紧构件)构成，只要可卡止开闭罩50的一端部地锁定，则例如也可由锁杆式、钩式、挡块式的锁定机构等任意的锁定机构构成。

另外，在上述实施形式中，支承构件52由通过金属材料形成的钩形的构件构成，但本发明不限于该例。例如也可由通过橡胶等弹性材料形成的弹性构件构成支承构件52。

本发明可适用于切削装置的开闭罩，特别是可适用于能够简单地开闭、在切削加工时需要确实地关闭的开闭罩。

Claims (4)

1.一种切削装置，具有箱体、保持机构、切削机构、箱体开口部、开闭罩、开闭罩安装机构、及锁定机构；

所述保持机构设于所述箱体内，保持被加工物；

所述切削机构设在所述箱体内，对所述被加工物进行切削；

所述箱体开口部设在与所述保持机构和/或所述切削机构对应的位置；

所述开闭罩对所述箱体开口部进行开放/关闭；其特征在于，

所述开闭罩安装机构具有支承构件，所述支承构件安装于所述箱体开口部的下侧，卡止从上方插入的所述开闭罩的下端部，可拆卸地支承所述开闭罩；

所述锁定机构对关闭所述箱体开口部的状态的所述开闭罩进行锁定；

所述锁定机构具有锁紧部和开关部；

所述锁紧部安装在所述开闭罩上，当插入到设于所述箱体的接合孔时，与所述接合孔接合；

所述开关部解除所述锁紧部与所述接合孔的接合。

2.一种切削装置，具有箱体、保持机构、切削机构、箱体开口部、开闭罩、开闭罩安装机构、及锁定机构；

所述保持机构设于所述箱体内，保持被加工物；

所述切削机构设在所述箱体内，对所述被加工物进行切削；

所速箱体开口部设在与所述保持机构和/或所述切削机构对应的位置；

所述开闭罩对所述箱体开口部进行开放/关闭；其特征在于，

所述开闭罩安装机构支承所述开闭罩；

所述锁定机构对关闭所述箱体开口部的状态的所述开闭罩进行锁定；

所述开闭罩安装机构，在所述开闭罩未由所述锁定机构锁定时可自动地打开所述开闭单；

所述锁定机构具有锁紧部和开关部；

所述锁紧部安装在所述开闭罩上，当插入到设于所述箱体的接合孔时，与所述接合孔接合；

所述开关部解除所述锁紧部与所述接合孔的接合。

3.根据权利要求2所述的切削装置，其特征在于：所述开闭罩安装机构通过卡止所述开闭罩的下端部而可拆卸地支承所述开闭罩，

在未由所述锁定机构对所述开闭罩进行锁定时，以所述开闭罩的下端部为中心使所述开闭罩回转，将所述开闭罩打开。

4.根据权利要求3所述的切削装置，其特征在于：所述开闭罩安装机构具有弹性构件和支承构件；所述弹性构件安装于所述箱体开口部的至少左右两侧；所述支承构件安装于所述箱体开口部的下侧，卡止从上方插入的所述开闭罩的下端部，可拆卸地支承所述开闭罩；

在所述开闭罩未由所述锁定机构锁定时，由所述弹性构件朝打开的方向推压所述开闭罩。

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