JP4785044B2 - 反射型光学センサ及び測定面の表面粗さ検出方法 - Google Patents

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Description

本発明は、物体表面に照射した光の反射光を検出することによって物体表面の粗さを光学的に検知する反射型光学センサ及びそれを使用した測定面の表面粗さ検出方法に関するものであり、詳しくは、カラーコピー、カラープリンタ等の印刷紙(普通紙、光沢紙、再生紙、コート紙、OHPシート等)を判別するメディアセンサ、塗装面等の光沢度を測定する光沢センサ、FA分野で使用される種々の部材の材質判別を行なう材質判別センサ等としての機能を有する反射型光学センサ及びそれを使用した測定面の表面粗さ検出方法に関する。
従来、この種の反射型光学センサには以下に述べるようなものが提案されている。例えば、図10に示すように、発光ダイオード(LED)やレーザダイオード等の単一波長の光を発光する発光素子を発光源とする投光器50と、フォトダイオードやフォトトランジスタ等の受光素子を受光源とする受光器51とを物体表面の垂直線に対する入射角θと反射角θとが同一となるように対峙させ、投光器50には偏光板52が設けられ、受光器51には偏光ビームスプリッタ53が設けられて偏光ビームスプリッタ53で分離された反射光を受光するように補正受光器54が設けられている。
このような構成の反射型光学センサ55において、投光器50から出射された単一波長の光は、偏光板52を通過してある特定の方向に振動面をもつ偏った光「偏光」になって物体表面56に照射され、物体表面56で反射された偏光は偏光ビームスプリッタ53で分離されて受光器51と補正受光器54の夫々で検出されて信号を出力する。
このとき、被測定物の物体表面56で反射された偏光のうち、投光器50から出射されて偏光板52を通過した偏光と同一方向の振動面をもつ偏光は偏光ビームスプリッタ53を介して受光器51で検出され、異なる振動面をもつ偏光は同じく偏光ビームスプリッタ53を介して補正受光器54で検出される。
その結果、夫々受光した偏光に基づく受光器51の出力と補正受光器54の出力との比率を算出することによって被測定物の表面粗さを検知することができるものである(例えば、特許文献1参照。)。
特開平10−281991号公報
上記構成の反射型光学センサは、普通紙、光沢紙、再生紙、コート紙、OHPシート等の印刷紙の印刷メディア判別が可能である以上に、例えば、1つの印刷メディアである光沢紙を光沢度に基づいて更に細かく判別することができる程度の精度を有しており、検出分解能も高い。
しかしながら、上記構成の反射型光学センサは同時に、構成部品に偏光光学素子(偏光板及び偏光ビームスプリッタ)が必要なために製造コストが嵩むという問題点を有していた。
そこで、本発明は上記問題に鑑みて創案なされたもので、その目的とするところは、検出精度が高く、製造コストが廉価な表面粗さ測定用センサを提供することにある。
上記課題を解決するために、本発明の請求項1に記載された発明は、発光部と、前記発光部の発光光に受光感度を有する2つの受光部を有し、前記発光部の光軸と所定の同一角度で交差する2本の線を想定し、前記夫々の線を前記発光部から出射された光の反射光線としたときに、前記受光部には夫々にその光軸が前記反射光線に一致しかつ前記受光部の光軸とは異なるライトガイドが設けられ、前記ライトガイドの夫々の光軸の間隔は前記受光部の夫々の光軸の間隔よりも接近させ、該夫々の反射光線を検出するように前記受光部が配設されていることを特徴とするものである。
また、本発明の請求項2に記載された発明は、請求項1において、前記発光部の光軸と前記2本の線のうちの一方の線との第一の交差点を含み、該第一の交差点を通り交差角を2等分する2等分線に垂直な面となるように被測定物の測定面を位置させ、前記発光部の光軸と前記2本の線のうちの他方の線との第二の交差点が前記第一の交差点よりも前記反射型光学センサ側に位置するような状態において、前記発光部から出射されて前記被測定物の測定面の前記第一の交差点で反射されて前記受光部で検出された光の光量と、前記発光部から出射されて前記被測定物の測定面で反射されて前記第二の交差点を通って前記受光部で検出された光の光量とを、演算処理することによって前記被測定物の表面粗さを検出することが可能なことを特徴とするものである。
また、本発明の請求項3に記載された発明は、請求項1または2のいずれか1項において、前記発光部は発光ダイオード及びレーザダイオードのうちのいずれか一方を含み、前記受光部はフォトダイオード及びフォトトランジスタのうちのいずれか一方を含むことを特徴とするものである。
本発明の反射型光学センサは、発光素子から出射した単一波長の光を被測定物の表面に照射し、照射面の異なる位置で反射した2つの正反射光を前記発光素子の発光光に受光感度を有する2つの受光素子または2つの受光部を1つのパッケージ内に実装した受光素子のいずれか一方で検出し、その検出光量を演算処理することによって被測定物の表面粗さが検知できるような簡単な構成となっている。
その結果、表面粗さ測定用センサを、検出精度が高く、製造コストが廉価な反射型光学センサによって提供することができる。
検出精度が高く、製造コストが廉価な表面粗さ測定用センサを提供するという目的を、発光素子から出射した単一波長の光を被測定物の表面に照射し、照射面の異なる位置で反射した2つの正反射光を前記発光素子の発光光に受光感度を有する2つの受光素子または2つの受光部を1つのパッケージ内に実装した受光素子のいずれか一方で検出し、その検出光量を演算処理することによって被測定物の表面粗さが検知できるような簡単な構成の反射型光センサとすることで実現した。
以下、この発明の好適な実施例を図1〜9を参照しながら、詳細に説明する(同一部分については同じ符号を付す)。尚、以下に述べる実施例は、本発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの実施例に限られるものではない。
図1は本発明の反射型光学センサに係わる実施例1を表す概念図である。本実施例における反射型光学センサ1は(a)のように、発光ダイオード(LED)やレーザダイオード等の単一波長の光を発光する発光体(ベアチップ)が1個実装された(図示せず)発光素子2と、フォトダイオードやフォトトランジスタ等の光を検出する受光体(ベアチップ)が1個実装された(図示せず)受光素子3とによって構成された受発光部4を備えている。受発光部4を構成する発光素子2と受光素子3とは、夫々の光軸XとXとが受発光部4から所定の距離Fだけ離れた位置Pで交差するように配設されている。
そこで、被測定物の表面粗さを測定する場合は、まず(b)のように、表面粗さを測定する被測定物5の表面6の測定ポイントSに受発光光軸クロスポイントPが位置し、且つ被測定物5表面6の測定ポイントSにおける法線SNに対して発光素子2の光軸Xと受光素子3の光軸Xとが同一角θとなるように反射型光学センサ1をセットする。
そして、発光素子2に電圧を供給して点灯させると、発光素子2から出射した光は受発光光軸クロスポイントPでもある被測定物5の表面6の測定ポイントSに至り、測定ポイントSで反射された正反射光が受光素子3で検出される。このときに受光素子3からは受光光量に対応した出力信号Vofが送出される。
次に、(c)のように、被測定物5の表面6が受発光光軸クロスポイントPよりも反射型光学センサ1側に、且つ受発光部4からの距離が所定の距離となるような位置に、受発光部4を可動させる。そして再度、発光素子2に電圧を供給して点灯させ、発光素子2から出射して被測定物5の表面6で反射された正反射光を受光素子3で検出する。このときに受光素子3からは受光光量に対応した出力信号Vonが送出される。
上記操作によって得られた受光素子3の出力信号VofとVonとの比または差を算出し、その結果を予め作成しておいたテーブルに照らし合わせて被検出物表面の状態を推定することによって、メディア判別、紙種判別、材質判別等を行なうことが可能となる。
図2は反射型光学センサ1の受発光部4と被測定物5の表面6との距離と受光素子3から送出される出力信号との関係(「距離−出力特性」。以下、距離特性と略称する)を、普通紙、光沢紙及びOHPシートの3つのメディアについて表したグラフである。
横軸は受発光部と被測定物表面との距離、縦軸は受光素子の相対出力を表している。このグラフより、OHPシートのように被測定物の表面状態が鏡面に近い場合は、距離特性のピークが受発光部と被測定物表面との距離が短い側に存在し、普通紙のように被測定物の表面状態が拡散面に近くなって光の拡散度合が大きくなるにつれて距離特性のピークは受発光光軸クロスポイントに近づくことがわかる。
更にメディアの場合、Vof/Von>1の関係が成り立つときは普通紙、Vof/Von≒1の関係が成り立つときは光沢紙、Vof/Von<1の関係が成り立つときはOHPシートであることが特定できる。従って、VofとVonとの関係を求めることによってメディア判別が可能であることもわかる。
なお、本実施例では被測定物を固定し、反射型光学センサの受発光部を可動させることによって受発光部と被測定物表面との距離を調整するような構成にしたが、受発光部を固定して被測定物を可動するような構成にしてもよいし、受発光部と被測定物の両方を可動するような構成にしてもよい。つまり、受発光部と被測定物との距離が相対的に調整できるような構成であればいずれの構成でもかまわない。
図3は本発明の反射型光学センサに係わる実施例2を表す概念図である。本実施例は上述の実施例1と同様の検出原理に基づくものであるが、実施例1では1対の受発光素子で構成された受発光部を被測定物表面に対して可動させる構造としたのに対し、本実施例では(a)のように、反射型光学センサ1は1個の発光素子と2個の受光素子3f、3nとで構成されており、発光素子2及び受光素子3f、3nは反射型光学センサ1内に固定されている。
2個の受光素子3f、3nは夫々の光軸Xdf、Xdnが略平行となるように配設されており、発光素子2と受光素子3fとは、夫々の光軸XとXdfとが反射型光学センサ1から所定の距離Fだけ離れた位置Pxfで交差するように配置されている。
一方、発光素子2と受光素子3nとは、夫々の光軸XとXdnとが反射型光学センサ1から所定の距離Nだけ離れた位置Pxnで交差するように配置されている。発光素子2の光軸Xと2個の受光素子3f、3nの夫々の光軸Xdf、Xdnとが交差する受発光光軸クロスポイントPxf、Pxnは、反射型光学センサ1に近い方からPxn、Pxfの順に位置している。
このような構成の反射型光学センサ1によって被測定物の表面粗さを測定する場合は(b)のように、表面粗さを測定する被測定物5の表面6の測定ポイントSに、発光素子2の光軸Xと受光素子3fの光軸Xdfとが交差する受発光光軸クロスポイントPxfが位置し、且つ被測定物5表面6の測定ポイントSにおける法線SNに対して発光素子2の光軸Xと受光素子3fの光軸Xdfとが同一角θとなるように反射型光学センサ1をセットする。そのため、発光素子2の光軸Xと受光素子3nの光軸Xdnとが交差する受発光光軸クロスポイントPxnは、被測定物5表面6と反射型光学センサ1との間に位置することになる。
そして、発光素子2に電圧を供給して点灯させると、発光素子2から出射した光は受発光光軸クロスポイントPxfでもある被測定物5の表面6の測定ポイントSに至り、測定ポイントSで反射された正反射光が受光素子3fで検出される。このときに受光素子3fからは受光光量に対応した出力信号Vofが送出される。
また同時に、発光素子2から出射して受発光光軸クロスポイントPxfでもある被測定物5の表面6の測定ポイントSに至り、測定ポイントSで反射された正反射光のうちの一部は受光素子3nで検出される。このときに受光素子3nからは受光光量に対応した出力信号Vonが送出される。
このとき、予め規定の表面粗さを有する被測定物を測定してそのときの受光素子3f、3nの夫々の出力信号Vof、Vonが同一レベルとなるように調整しておき、上記実測時に得られた受光素子3f、3nの夫々の出力信号Vof、Vonの比または差を算出するか、あるいは被測定物を測定したときの受光素子3f、3nの夫々の出力信号Vof、Vonを記憶しておき、その出力信号Vof、Vonの比または差を算出して得られた結果を、予め作成しておいたテーブルに照らし合わせて被検出物表面の状態を推定することによって、メディア判別、紙種判別、材質判別等を行なうことが可能となる。
例えば、規定の表面粗さを有する被測定物を光沢紙とし、予め光沢紙を測定してそのときの受光素子3f、3nの夫々の出力信号Vof、Vonが同一レベルとなるように調整しておき、メディア判別したい被測定物の測定で得られた受光素子3f、3nの夫々の出力信号をVof、Vonとすると、Vof/Von>1の関係が成り立つときは普通紙、Vof/Von≒1の関係が成り立つときは光沢紙、Vof/Von<1の関係が成り立つときはOHPシートであることが特定できる。従って、VofとVonとの関係を求めることによってメディア判別が可能であることもわかる。
本実施例の反射型光学センサは、可動部が不要であるために構造が簡単であり、製造コストが廉価である。
図4は本発明の反射型光学センサに係わる実施例3を表す概念図である。本実施例は上述の実施例2と同様に、反射型光学センサ1は1個の発光素子2と2個の受光素子3f、3nとで構成されており、発光素子2及び受光素子3f、3nは反射型光学センサ1内に固定されている。また、2個の受光素子3f、3nは夫々の光軸Xdf、Xdnが略平行となるように配設されている。
本実施例が上記実施例2と異なる点は、本実施例においては(a)のように、受光素子3f、3nには夫々透光性材料からなるライトガイド7f、7nが設けられており、発光素子2とライトガイド7fとは、発光素子2の光軸Xとライトガイド7fの光軸Xgfとが反射型光学センサ1から所定の距離Fだけ離れた位置Pxfで交差するように配置されている。
一方、発光素子2とライトガイド7nとは、発光素子2の光軸Xとライトガイド7nの光軸Xgnとが反射型光学センサ1から所定の距離Nだけ離れた位置Pxnで交差するように配置されている。発光素子2の光軸Xと2個のライトガイド7f、7nの夫々の光軸Xgf、Xgnとが交差する受発光光軸クロスポイントPxf、Pxnは、反射型光学センサ1に近い方からPxn、Pxfの順に位置している。
また、受光素子3fの光軸Xdfと受光素子3fに設けられたライトガイド7fの光軸Xgfとは同一線上にはなく、同様に受光素子3nの光軸Xdnと受光素子3nに設けられたライトガイド7nの光軸Xgnとは同一線上にはない。よって、ライトガイド7fの光軸Xgfとライトガイド7nの光軸Xgnとの間隔を、受光素子3fの光軸Xdfと受光素子3nの光軸Xdnとの間隔よりも接近させることが可能となり、反射型光学センサの小型化に寄与する構成となっている。
このような構成の反射型光学センサ1によって被測定物の表面粗さを測定する場合は(b)のように、表面粗さを測定する被測定物5の表面6の測定ポイントSに、発光素子2の光軸Xと受光素子3fに設けられたライトガイド7fの光軸Xgfとが交差する受発光光軸クロスポイントPxfが位置し、且つ被測定物5表面6の測定ポイントSにおける法線SNに対して発光素子2の光軸Xと受光素子3fに設けられたライトガイド7fの光軸Xgfとが同一角θとなるように反射型光学センサ1をセットする。そのため、発光素子2の光軸Xと受光素子3nに設けられたライトガイド7nの光軸Xgnとが交差する受発光光軸クロスポイントPxnは、被測定物5表面6と反射型光学センサ1との間に位置することになる。
そして、発光素子2に電圧を供給して点灯させると、発光素子2から出射した光は受発光光軸クロスポイントPXfでもある被測定物5の表面6の測定ポイントSに至り、測定ポイントSで反射された正反射光がライトガイド7f内を導光されて受光素子3fで検出される。このときに受光素子3fからは受光光量に対応した出力信号Vofが送出される。
また同時に、発光素子2から出射して受発光光軸クロスポイントPxfでもある被測定物5の表面6の測定ポイントSに至り、測定ポイントSで反射された正反射光のうちの一部はライトガイド7n内を導光されて受光素子3nで検出される。このときに受光素子3nからは受光光量に対応した出力信号Vonが送出される。
なお、その後の出力信号処理は上記実施例2と同様であるので説明は省略する。
本実施例の場合、受光素子3f、3nの夫々に設けられるライトガイド7f、7nは、個別に形成された受光素子とライトガイドとを接続することによって一体化してもよいし、受光素子の作製時にライトガイドを一体形成してもよい。
図5は本発明の反射型光学センサに係わる実施例4を表す概念図である。本実施例は上述の実施例2及び実施例3と同様に、反射型光学センサ1は1個の発光素子2と2個の受光素子3f、3nとで構成されており、発光素子2及び受光素子3f、3nは反射型光学センサ1内に固定されている。
本実施例が上記実施例2及び実施例3と異なる点は、2個の受光素子3f、3nとの間にビームスプリッタ8が配設されていることである。本実施例で被測定物の表面粗さを測定する場合は、表面粗さを測定する被測定物5の表面6の測定ポイントSに、発光素子2の光軸Xと受光素子3fの光軸Xdfの延長線がビームスプリッタ8を透過して被測定物5の表面6に至る光軸Xdf延長線とが交差する受発光光軸クロスポイントPxfが位置し、且つ被測定物5表面6の測定ポイントSにおける法線SNに対して発光素子2の光軸Xと受光素子3fの光軸Xdf延長線とが同一角θとなるように反射型光学センサ1をセットする。そのため、発光素子2の光軸Xと受光素子3nの光軸Xdnの延長線がビームスプリッタ8で反射された光軸Xdn延長線とが交差する受発光光軸クロスポイントPxnは、被測定物5表面6と反射型光学センサ1との間に位置することになる。
そして、発光素子2に電圧を供給して点灯させると、発光素子2から出射した光は受発光光軸クロスポイントPxfでもある被測定物5の表面6の測定ポイントSに至り、測定ポイントSで全反射された正反射光がビームスプリッタ8を透過して受光素子3fで検出される。このときに受光素子3fからは受光光量に対応した出力信号Vofが送出される。
また同時に、発光素子2から出射して受発光光軸クロスポイントPxfでもある被測定物5の表面6の測定ポイントSに至り、測定ポイントSで反射された正反射光のうちの一部はビームスプリッタ8で反射されて受光素子3nで検出される。このときに受光素子3nからは受光光量に対応した出力信号Vonが送出される。
なお、その後の出力信号処理は上記実施例2及び実施例3と同様であるので説明は省略する。
本実施例は、受光素子3fで検出される正反射光と受光素子3nで検出される正反射光との間隔を接近させた状態に構成することが可能となり、上記実施例3と同様に反射型光学センサの小型化に寄与する構成となっている。
図6は本発明の反射型光学センサに係わる実施例5を表す概念図である。本実施例では、反射型光学センサ1は1個の発光素子2と1個の受光素子3とで構成されており、発光素子2及び受光素子3は反射型光学センサ1内に固定されている。
但し、受光素子3は独立した2個の受光部を備えており(図示せず)、2個の受光部が1つのパッケージ内に実装された構成となっている。2個の受光部の構成は、1個の半導体基板内に2箇所の独立した受光エリアを設けたモノリシック型、又は、半導体基板内に1個の受光エリアを設けた受光体を2個並設したハイブリッド型が可能である。そして、モノリシック型の場合には、2箇所の受光エリアの間に遮光部を設けて夫々の受光エリアに入射した光のアイソレーションを行い、互いに受光エリア間の干渉を阻止してS/N比を高めるような手段が施されており、ハイブリッド型の場合には、2箇所の受光体の間に遮光部を設けて夫々の受光体に入射した光のアイソレーションを行い、互いに受光体間の干渉を阻止してS/N比を高めるような手段が施されている。
なお、被測定物5の表面6粗さを測定する場合の被測定物5に対する反射型光学センサ1の位置関係、測定手法、測定信号処理等は上記実施実施例2と同様であるので説明は省略する。
本実施例は、受光素子を、独立した2個の受光部を1つのパッケージ内に実装した構成としたことで反射型光学センサの小型化が可能となる。また、独立した2個の受光部の位置精度が高められるために検出精度及検出の再現性を向上させることができる。
ところで、発光素子及び受光素子は夫々単独で配設されることもあるが、レンズや図4で示したようなライトガイド等の光学要素とを組み合わせて配設されることもある。この場合、発光素子と光学要素との組み合わせを発光部、受光素子と光学要素との組み合わせを受光部と称することができる。
すると、光学要素の光軸が測定面に対して所定の角度をなしていれば、該光学要素と組み合わされた発光素子及び受光素子はその光軸方向(言い換えると、発光素子に実装されたベアチップ及び受光素子に実装されたベアチップの光軸方向)を必ずしも測定面に対して制約されるものではない。
例えば、図4で示す反射型光学センサの場合、2つのライトガイドの夫々の光軸が測定面に対して所定の角度をなしていれば、2つの受光素子(受光素子に実装されたベアチップ)の光軸は必ずしも互いに平行である必要はない。
ここまでは、本発明の反射型光学センサに係わる実施例1〜5について詳細に説明してきたが、次に、これら実施例の反射型光学センサを使用した測定面の表面粗さ検出方法について説明する。
それは概略7段階の手順を経て結果が得られるものであり、
発光素子から測定対象へ光を照射し、測定対象からの反射光を受光素子で受光する第1の段階と、
受光素子からの出力を第1の記憶領域に格納する第2の段階と、
前記発光素子と測定対象の間の距離を変化させる第3の段階と、
発光素子から測定対象へ光を照射し、測定対象からの反射光を受光素子で受光する第4の段階と、
受光素子からの出力を第2の記憶領域に格納する第5の段階と、
第1の記憶領域と第2の記憶領域にそれぞれ格納された出力を用いて演算する第6の段階と、
演算の結果を出力する第7の段階と、からなっている。
つまり、本発明の反射型光学センサは、発光素子から出射して被測定物の表面で反射され反射光のうち、反射光とその他の反射光の夫々を受光した受光素子の夫々の受光光量に対応した出力信号について正規化し、正規化後の出力信号の比または差を算出して得られた結果を、予め作成しておいたテーブルに照らし合わせて被検出物表面の状態を推定することによって、メディア判別、紙種判別、材質判別等を行なうことが可能となるものである。
それに対し、図7に示すように、発光素子から出射されて被測定物の表面で反射された正反射光と、乱反射された乱反射光との光量比または差を算出し、得られた結果によってメディア判別、紙種判別、材質判別等を行なう方法も実用化されている。
そこで、本発明の構成からなる反射型光学センサと、図7に示す比較例の構成からなる反射型光学センサとが図8に示す被測定物を測定して得た判別特性を図9に示している。図9において横軸は被測定紙No、縦軸のうち右側縦軸は本発明の反射型光学センサで得られた2つの反射光量において正反射受光量とその他の反射受光量との比、左側縦軸は比較例の反射型光学センサで得られた反射光量において正反射光量と乱反射光量との比を表している。
図9によって明らかなように、本発明の反射型光学センサの判別特性は、比較例の反射型光学センサの判別特性に対してリニアリティが大幅に改善されており、比較例では困難であった光沢紙グループの詳細判別が本発明の反射型光学センサでは可能であることが分かる。
また、光沢紙と普通紙との境にいおいて、本発明の反射型光学センサで得られた2つの正反射光量の比は、比較例の反射型光学センサで得られた正反射光量と乱反射光量との比よりも変化量が大きいことがわかる。これは、本発明の反射型光学センサが比較例の反射型光学センサよりも検出分解能が高いことを示している。
以上詳細に説明したように、本発明の反射型光学センサは、表面状態の違いが正反射光を検出媒体とする反射型光学センサの距離特性の違いとなる性質を利用しており、簡単な構成(1つの発光素子と2つの受光部)で高分解能な性能を有する反射型光学センサを安価に実現可能にしたものである。
本発明に係わる反射型光学センサの実施例1を示すものであり、(a)は反射型光学センサの概念図、(b)及び(c)は測定時の概念図である。 実施例1の測定結果を示すグラフである。 本発明に係わる反射型光学センサの実施例2を示すものであり、(a)は反射型光学センサの概念図、(b)は測定時の概念図である。 本発明に係わる反射型光学センサの実施例3を示すものであり、(a)は反射型光学センサの概念図、(b)は測定時の測定概念図である。 本発明に係わる反射型光学センサの実施例4の測定時の測定概念図である。 本発明に係わる反射型光学センサの実施例5の測定時の概念図である。 比較例の反射型光学センサを示す概略図である。 本発明及び比較例の測定で使用する被測定物の仕様を示す表である。 本発明と比較例の判別特性を示すグラフである。 従来の反射型光学センサを示す概念図である。
符号の説明
1 反射型光学センサ
2 発光素子
3、3f、3n 受光素子
4 受発光部
5 被測定物
6 表面
7f,7n ライトガイド
8 ビームスプリッタ

Claims (3)

  1. 発光部と、前記発光部の発光光に受光感度を有する2つの受光部を有し、前記発光部の光軸と所定の同一角度で交差する2本の線を想定し、前記夫々の線を前記発光部から出射された光の反射光線としたときに、前記受光部には夫々にその光軸が前記反射光線に一致しかつ前記受光部の光軸とは異なるライトガイドが設けられ、前記ライトガイドの夫々の光軸の間隔は前記受光部の夫々の光軸の間隔よりも接近させ、該夫々の反射光線を検出するように前記受光部が配設されていることを特徴とする反射型光学センサ。
  2. 前記発光部の光軸と前記2本の線のうちの一方の線との第一の交差点を含み、該第一の交差点を通り交差角を2等分する2等分線に垂直な面となるように被測定物の測定面を位置させ、前記発光部の光軸と前記2本の線のうちの他方の線との第二の交差点が前記第一の交差点よりも前記反射型光学センサ側に位置するような状態において、前記発光部から出射されて前記被測定物の測定面の前記第一の交差点で反射されて前記受光部で検出された光の光量と、前記発光部から出射されて前記被測定物の測定面で反射されて前記第二の交差点を通って前記受光部で検出された光の光量とを、演算処理することによって前記被測定物の表面粗さを検出することが可能なことを特徴とする請求項1に記載の反射型光学センサ。
  3. 前記発光部は発光ダイオード及びレーザダイオードのうちのいずれか一方を含み、前記受光部はフォトダイオード及びフォトトランジスタのうちのいずれか一方を含むことを特徴とする請求項1または2のいずれか1項に記載の反射型光学センサ。
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Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102008022372A1 (de) * 2008-05-06 2009-11-12 Endress + Hauser Conducta Gesellschaft für Mess- und Regeltechnik mbH + Co. KG Vorrichtung zur Trübungsmessung
US8564849B2 (en) * 2009-08-25 2013-10-22 Konica Minolta Laboratory U.S.A., Inc. System, method, and computer readable medium for scanning a document having a raised image on it
US8366229B2 (en) 2010-04-27 2013-02-05 International Business Machines Corporation Indication of print media quality to printer users
JP5507353B2 (ja) * 2010-06-22 2014-05-28 株式会社Pfu 媒体供給装置
JP5989359B2 (ja) * 2012-02-29 2016-09-07 株式会社Lixil センサ装置及び便座装置
JP2014044157A (ja) 2012-08-28 2014-03-13 Ricoh Co Ltd 光学センサ及び画像形成装置
US8770706B1 (en) * 2012-12-31 2014-07-08 Funai Electric Co., Ltd. Scan and pause method for determining ink drying time in an inkjet printer
CN104019773B (zh) * 2014-06-06 2017-10-13 东莞市瀛通电线有限公司 一种线材表面粗糙度测量方法及实施该方法的设备
JP5862731B1 (ja) * 2014-08-27 2016-02-16 セイコーエプソン株式会社 センサー及び生体情報検出装置
CN105510248A (zh) * 2014-09-26 2016-04-20 深圳先进技术研究院 表面材料一致性的光学检测系统及方法
EP3249351B1 (en) * 2015-01-23 2020-07-15 KYOCERA Corporation Measuring apparatus and measuring method
KR102340777B1 (ko) * 2015-02-03 2021-12-20 엘지이노텍 주식회사 광학 센서
CN106290387A (zh) * 2015-06-08 2017-01-04 杭州中自华内光电科技有限公司 一种光反射法检测光伏板清洁度的方法及检测器
MX2018003045A (es) * 2015-09-10 2018-05-02 Cpg Technologies Llc Sincronizacion de hora global utilizando una onda superficial guiada.
CN108028022B (zh) * 2015-09-30 2021-06-15 索尼公司 图像处理装置、图像处理方法和车辆控制系统
DE112017002245T5 (de) * 2016-04-28 2019-02-28 Jtekt Corporation Werkzeugmaschinensystem und oberflfächenrauigkeitserfassungsverfahren
JP7027840B2 (ja) * 2017-11-29 2022-03-02 セイコーエプソン株式会社 分光反射測定器
CN110793944B (zh) * 2019-11-26 2022-04-26 东台施迈尔新材料科技有限公司 一种陶瓷件表面光泽度检测装置

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3614453A (en) * 1970-04-08 1971-10-19 Richard M Johnson Radiation sensitive cassette leader detector
JPS57139607A (en) * 1981-02-23 1982-08-28 Hitachi Ltd Position measuring equipment
JP2683039B2 (ja) * 1988-06-28 1997-11-26 日本科学工業株式会社 光ディスク検査装置
DE4040225C2 (de) * 1990-12-15 1994-01-05 Leuze Electronic Gmbh & Co Reflexions-Lichttaster
JP3259326B2 (ja) * 1992-05-25 2002-02-25 株式会社豊田中央研究所 光沢度測定装置
JP3358099B2 (ja) * 1994-03-25 2002-12-16 オムロン株式会社 光学式センサ装置
JPH07286958A (ja) * 1994-04-15 1995-10-31 Ushio Inc 反射率測定装置および反射率測定方法
JPH10281991A (ja) 1997-04-11 1998-10-23 Stanley Electric Co Ltd 光沢センサ
US6084671A (en) * 1997-05-06 2000-07-04 Holcomb; Matthew J. Surface analysis using Gaussian beam profiles
US6291816B1 (en) * 1999-06-08 2001-09-18 Robotic Vision Systems, Inc. System and method for measuring object features with coordinated two and three dimensional imaging
DE19930688A1 (de) * 1999-07-02 2001-01-04 Byk Gardner Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Bestimmung der Qualität von Oberflächen
US6432729B1 (en) * 1999-09-29 2002-08-13 Lam Research Corporation Method for characterization of microelectronic feature quality
TW434399B (en) * 2000-06-08 2001-05-16 Ind Tech Res Inst Multi-range fiber-optic reflective displacement micrometer
JP2001356640A (ja) * 2000-06-12 2001-12-26 Rohm Co Ltd 光センサ、判別装置および画像形成装置
JP4048163B2 (ja) * 2003-09-02 2008-02-13 シャープ株式会社 光学式物体識別装置およびそれを用いた印刷装置
US7205561B2 (en) * 2004-03-29 2007-04-17 Lexmark International, Inc. Media sensor apparatus using a two component media sensor for media absence detection

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