JP2007187570A - 反射型光学センサ及び測定面の表面粗さ検出方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】単一波長の光を発光する発光素子2と、発光素子2の発光光に受光感度を有する2個の受光素子3f、3nを備え、受光素子3f、3nは夫々の光軸Xdf、Xdnが略平行となるように配設され、発光素子2と受光素子3fとは夫々の光軸XeとXdfとが反射型光学センサ1から所定の距離Faだけ離れた位置Pxfで、発光素子2と受光素子3nとは夫々の光軸XeとXdnとが反射型光学センサ1から所定の距離Neだけ離れた位置Pxnで夫々交差するように配置されている。測定ポイントSに発光素子2の光軸Xeと受光素子3fの光軸Xdfとが交差する受発光光軸クロスポイントPxfが位置し、且つ測定ポイントSにおける法線SNに対して発光素子2の光軸Xeと受光素子3fの光軸Xdfとが同一角θとなるように反射型光学センサ1をセットして測定する。
【選択図】図3
Description
被測定物の測定面が測定面に垂直の方向に可動自在となるよう支持する支持部とを含むことを特徴とするものである。
発光素子から測定対象へ光を照射し、測定対象からの反射光を受光素子で受光する第1の段階と、
受光素子からの出力を第1の記憶領域に格納する第2の段階と、
前記発光素子と測定対象の間の距離を変化させる第3の段階と、
発光素子から測定対象へ光を照射し、測定対象からの反射光を受光素子で受光する第4の段階と、
受光素子からの出力を第2の記憶領域に格納する第5の段階と、
第1の記憶領域と第2の記憶領域にそれぞれ格納された出力を用いて演算する第6の段階と、
演算の結果を出力する第7の段階と、
を含むことを特徴とするものである。
発光素子から測定対象へ光を照射し、測定対象からの反射光を受光素子で受光する第1の段階と、
受光素子からの出力を第1の記憶領域に格納する第2の段階と、
前記発光素子と測定対象の間の距離を変化させる第3の段階と、
発光素子から測定対象へ光を照射し、測定対象からの反射光を受光素子で受光する第4の段階と、
受光素子からの出力を第2の記憶領域に格納する第5の段階と、
第1の記憶領域と第2の記憶領域にそれぞれ格納された出力を用いて演算する第6の段階と、
演算の結果を出力する第7の段階と、からなっている。
2 発光素子
3、3f、3n 受光素子
4 受発光部
5 被測定物
6 表面
7f,7n ライトガイド
8 ビームスプリッタ
Claims (8)
- 発光部と、前記発光部の発光光に受光感度を有する受光部とを、夫々の光軸が前記発光部の発光方向及び前記受光部の受光方向において所定の角度で交差するように配設した受発光部が可動自在に支持されていることを特徴とする反射型光学センサ。
- 前記光軸の交差点を含み、該交差点を通り交差角を2等分する2等分線に垂直な面となるように被測定物の測定面を位置させた状態で前記発光部から出射されて前記被測定物の測定面で反射されて前記受光部で検出された光の光量と、前記2等分線に沿って前記受発光部を可動して該受発光部を前記被測定物の測定面に一定距離近づけるか又は遠ざけた状態で前記発光部から出射されて前記被測定物の測定面で反射されて前記受光部で検出された光の光量とを、演算処理することによって前記被測定物の表面粗さを検出することが可能なことを特徴とする請求項1に記載の反射型光学センサ。
- 発光部と、前記発光部の発光光に受光感度を有する受光部とを、夫々の光軸が前記発光部の発光方向及び前記受光部の受光方向において所定の角度で交差するように配設した受発光部と、
被測定物の測定面が測定面に垂直の方向に可動自在となるよう支持する支持部とを含むことを特徴とする反射型光学センサ。 - 前記光軸の交差点を含み、該交差点を通り交差角を2等分する2等分線に垂直な面となるように被測定物の測定面を位置させた状態で前記発光部から出射されて前記被測定物の測定面で反射されて前記受光部で検出された光の光量と、前記2等分線に沿って前記被測定物の測定面を可動して該受発光部を前記被測定物の測定面に一定距離近づけるか又は遠ざけた状態で前記発光部から出射されて前記被測定物の測定面で反射されて前記受光部で検出された光の光量とを、演算処理することによって前記被測定物の表面粗さを検出することが可能なことを特徴とする請求項3に記載の反射型光学センサ。
- 発光部と、前記発光部の発光光に受光感度を有する2つの受光部を有し、前記発光部の光軸と所定の同一角度で交差する2本の線を想定し、前記夫々の線を前記発光部から出射された光の反射光線としたときに、該夫々の反射光線を検出するように前記受光部が配設されていることを特徴とする反射型光学センサ。
- 前記発光部の光軸と前記2本の線のうちの一方の線との第一の交差点を含み、該第一の交差点を通り交差角を2等分する2等分線に垂直な面となるように被測定物の測定面を位置させ、前記発光部の光軸と前記2本の線のうちの他方の線との第二の交差点が前記第一の交差点よりも前記反射型光学センサ側に位置するような状態において、前記発光部から出射されて前記被測定物の測定面の前記第一の交差点で反射されて前記受光部で検出された光の光量と、前記発光部から出射されて前記被測定物の測定面で反射されて前記第二の交差点を通って前記受光部で検出された光の光量とを、演算処理することによって前記被測定物の表面粗さを検出することが可能なことを特徴とする請求項5に記載の反射型光学センサ。
- 前記発光部は発光ダイオード及びレーザダイオードのうちのいずれか一方を含み、前記受光部はフォトダイオード及びフォトトランジスタのうちのいずれか一方を含むことを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の反射型光学センサ。
- 発光素子から測定対象へ光を照射し、測定対象からの反射光を受光素子で受光する第1の段階と、
受光素子からの出力を第1の記憶領域に格納する第2の段階と、
前記発光素子と測定対象の間の距離を変化させる第3の段階と、
発光素子から測定対象へ光を照射し、測定対象からの反射光を受光素子で受光する第4の段階と、
受光素子からの出力を第2の記憶領域に格納する第5の段階と、
第1の記憶領域と第2の記憶領域にそれぞれ格納された出力を用いて演算する第6の段階と、
演算の結果を出力する第7の段階と、
を含むことを特徴とする測定面の表面粗さ検出方法。
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