JPH0210139A - 光ディスク検査装置 - Google Patents
光ディスク検査装置Info
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- JPH0210139A JPH0210139A JP16125388A JP16125388A JPH0210139A JP H0210139 A JPH0210139 A JP H0210139A JP 16125388 A JP16125388 A JP 16125388A JP 16125388 A JP16125388 A JP 16125388A JP H0210139 A JPH0210139 A JP H0210139A
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Classifications
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/9506—Optical discs
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- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は光ディスク、コンパクトディスク等の光ディス
クの欠陥の有無を検査するための検査装置に関するもの
である。
クの欠陥の有無を検査するための検査装置に関するもの
である。
従来光ディスクの検査装置は例えば第１０図にその一例
を示すように、一定の偏光面を有する光を発生する例え
ばレーザ光源１より偏光ビームスプリッタ２及び集束レ
ンズ３を介して光ディスク４に垂直に照射し、その反射
光を偏光ビームスプリッタ２を介して受光するようにし
ている。直線偏光を有する光源を光ディスク４に照射す
ると、反射光は全ての偏光成分を有することとなるため
、その光の一部が偏光ビームスプリッタを介して光電変
換器５に与えられ、電気信号に変換されて信号処理部６
に与えられる。信号処理部６では光ディスク４を回転制
御機構７によって回転させると共に、光学系又は光ディ
スク４を光ディスクの半径方向に走査することによって
反射光レベルより欠陥の大きさを識別し、又そのレベル
低下の回数によって個数を検出するようにしていた。
を示すように、一定の偏光面を有する光を発生する例え
ばレーザ光源１より偏光ビームスプリッタ２及び集束レ
ンズ３を介して光ディスク４に垂直に照射し、その反射
光を偏光ビームスプリッタ２を介して受光するようにし
ている。直線偏光を有する光源を光ディスク４に照射す
ると、反射光は全ての偏光成分を有することとなるため
、その光の一部が偏光ビームスプリッタを介して光電変
換器５に与えられ、電気信号に変換されて信号処理部６
に与えられる。信号処理部６では光ディスク４を回転制
御機構７によって回転させると共に、光学系又は光ディ
スク４を光ディスクの半径方向に走査することによって
反射光レベルより欠陥の大きさを識別し、又そのレベル
低下の回数によって個数を検出するようにしていた。
しかるにこのような従来の光ディスク検査装置では、レ
ーザ光を光ディスクに対して垂直に入射しているため光
ディスクに生じている欠陥の大きさや個数しか検査する
ことができず、欠陥の種類や深さ方向の位置を正確に判
断することができなかった。
ーザ光を光ディスクに対して垂直に入射しているため光
ディスクに生じている欠陥の大きさや個数しか検査する
ことができず、欠陥の種類や深さ方向の位置を正確に判
断することができなかった。
本発明はこのような従来の光ディスク検査装置の問題点
に鑑みてなされたものであって、光ディスクの欠陥の個
数だけでなくその種類と深さ方向の位置を正確に判別で
きるようにすることを技術的課題とする。
に鑑みてなされたものであって、光ディスクの欠陥の個
数だけでなくその種類と深さ方向の位置を正確に判別で
きるようにすることを技術的課題とする。
本願の請求項１の発明は光ディスクの欠陥の有無を検査
するための検査装置であって、光ディスクを回転駆動す
る回転駆動手段と、直線偏光成分を有する光ビームを発
生させ光ディスクの面より所定角度傾けて照射する光源
と、光源より照射されたときに光ディスクの表面より反
射する反射光を検出する第１の光電変換素子と、光ディ
スクに形成されるピット面からの回折光を受光する第２
の光電変換素子と、光ディスクのピット面からの反射光
のうち光源と同一の偏光成分を持つ反射光と他の成分の
反則光とに分離する偏光ビームスプリッタと、偏光ビー
ムスプリッタより分離された光源と同一の偏光成分の反
射光を受光する第３の光電変換素子と、偏光ビームスプ
リッタより分離された他の偏光成分の反射光を受光する
第４の光電変換素子と、第１乃至第４の光電変換素子の
出力に基づいて光ディスクの欠陥の種類を識別する欠陥
識別手段と、を有することを特徴とするものである。又
本願の請求項２の発明は、請求項１の発明より第２の光
電変換素子を除いて構成したものである。
するための検査装置であって、光ディスクを回転駆動す
る回転駆動手段と、直線偏光成分を有する光ビームを発
生させ光ディスクの面より所定角度傾けて照射する光源
と、光源より照射されたときに光ディスクの表面より反
射する反射光を検出する第１の光電変換素子と、光ディ
スクに形成されるピット面からの回折光を受光する第２
の光電変換素子と、光ディスクのピット面からの反射光
のうち光源と同一の偏光成分を持つ反射光と他の成分の
反則光とに分離する偏光ビームスプリッタと、偏光ビー
ムスプリッタより分離された光源と同一の偏光成分の反
射光を受光する第３の光電変換素子と、偏光ビームスプ
リッタより分離された他の偏光成分の反射光を受光する
第４の光電変換素子と、第１乃至第４の光電変換素子の
出力に基づいて光ディスクの欠陥の種類を識別する欠陥
識別手段と、を有することを特徴とするものである。又
本願の請求項２の発明は、請求項１の発明より第２の光
電変換素子を除いて構成したものである。
このような特徴を有する本願の請求項１の発明によれば
、直線偏光成分の光ビームを光ディスクの垂直面とは所
定角度傾いた方向から照射し、その表面の反射光を第１
の光電変換素子で受光し、光ディスク内に形成されるピ
ット面からの反射光とに分離するようにしている。そし
てピッ１〜面からの反射光のうち回折反射光を第２の光
電変換素子で検出すると共に、光源と同一の偏光成分を
存する反射光を第３の光電変換素子、それと異なった偏
光成分を持つ反射光を第４の光電変換素子で分離して受
光している。
、直線偏光成分の光ビームを光ディスクの垂直面とは所
定角度傾いた方向から照射し、その表面の反射光を第１
の光電変換素子で受光し、光ディスク内に形成されるピ
ット面からの反射光とに分離するようにしている。そし
てピッ１〜面からの反射光のうち回折反射光を第２の光
電変換素子で検出すると共に、光源と同一の偏光成分を
存する反射光を第３の光電変換素子、それと異なった偏
光成分を持つ反射光を第４の光電変換素子で分離して受
光している。
こうすれば光ディスクのビット面に存在するピンホール
は、第２．第３の光電変換素子から得られる反射光レベ
ルが低下することに基づいて検出され、光ディスクに形
成されるピット面の損傷は第２の光電変換素子の出力低
下に基づいて検出される。又光ディスクの表面の欠陥が
ある場合には第１〜第３の光電変換素子の出力の低下に
基づいて検出され、光ディスク内部に気泡等の欠陥があ
る場合には第２．第３の光電変換素子の反射光レヘルが
低下すると共に第４の光電変換変換素子の反射光レヘル
が上昇することにより検出することができる。
は、第２．第３の光電変換素子から得られる反射光レベ
ルが低下することに基づいて検出され、光ディスクに形
成されるピット面の損傷は第２の光電変換素子の出力低
下に基づいて検出される。又光ディスクの表面の欠陥が
ある場合には第１〜第３の光電変換素子の出力の低下に
基づいて検出され、光ディスク内部に気泡等の欠陥があ
る場合には第２．第３の光電変換素子の反射光レヘルが
低下すると共に第４の光電変換変換素子の反射光レヘル
が上昇することにより検出することができる。
又本願の請求項２の発明では、請求項１の発明と同様に
直線偏光成分を持つ光ビームを光ディスクの垂直面とは
所定角度傾いた方向から照射し、表面反射光を第１の光
電変換素子で受光している。
直線偏光成分を持つ光ビームを光ディスクの垂直面とは
所定角度傾いた方向から照射し、表面反射光を第１の光
電変換素子で受光している。
又ピット面からの反射光のうち光源と同一の偏光成分を
持つ反射光を第３の光電変換素子、それと異なった偏光
成分を持つ反射光を第４の光電変換素子で分離して受光
している。こうすれば光ディスクのピット面にピンホー
ルが存在する場合及び表面の欠陥や光ディスク内部に気
泡等の欠陥がある場合に夫々の欠陥を検出することがで
き、稀にしか生じないピットの損傷を除いて他の損傷が
検出されることとなる。
持つ反射光を第３の光電変換素子、それと異なった偏光
成分を持つ反射光を第４の光電変換素子で分離して受光
している。こうすれば光ディスクのピット面にピンホー
ルが存在する場合及び表面の欠陥や光ディスク内部に気
泡等の欠陥がある場合に夫々の欠陥を検出することがで
き、稀にしか生じないピットの損傷を除いて他の損傷が
検出されることとなる。
第１図は本願の請求項１の発明の一実施例による光ディ
スク検査装置の光学系を示す斜視図である。本実施例で
は光源として直線偏光成分を有するレーザ光源、例えば
Ｈｅ−Ｎｅレーザ１１を用いており、そのレーザビーム
は光径を楕円形にするプリズム１２を介して集束レンズ
１３に与えられる。そして集束レンズ１３より集束され
た光は光ディスク１４の下面より照射される。このレー
ザビームの照射方向は光ディスク１４に垂直なｙ軸より
所定角度θ傾けて照射するものとし、例えば第１図及び
第２図に示すように光ディスク１４の半径方向に半径方
向と垂直なＸ軸上の位置から光ディスク１４にレーザビ
ームを照射するものとする。そして光ディスク１４の表
面からの反射光を集束レンズ１３を介して受光する位置
に第１の光電変換素子、例えばフォトダイオードＰＤＩ
を配置する。又光ディスク１４の樹脂膜１４ａを隔てて
アルミニウム等が蒸着され所定のパターンが形成された
面１４ｂ （以後ピット面という）からの反射光のうち
回折する反射光を受光する位置、即ち半径方向の２方向
とｙ軸とで作るｙｚ平面上に第２の光電変換変換素子で
あるフォトダイオードＰＤ２を配置する。又ピット面１
４ｂからの反射光を集束レンズ１３を介して偏光ビーム
スプリッタ１５に導く。偏光ビームスプリッタ１５は光
源であるレーザ光源１１の偏光成分がそのまま保存され
た正反射光を透過し、それと垂直な偏光成分の光を反射
するものである。正反射光の受光位置に第３の光電変換
素子であるフォトダイオードＰＤ３、それと垂直な偏光
成分の反射光を受光する位置に第４の光電変換素子であ
るフォトダイオードＰＤ４を設けるようにしている。そ
して光ディスク１４は回転駆動する回転制御機構１６に
よって所定速度で駆動させる。そして光ディスク１４と
回転制御機構１６、又はレーザ光源１１がら偏光ビーム
スプリッタ１５及びフォトダイオードＰＤ１〜ＰＤ４を
２軸方向に徐々に移動させて光ディスク１４の前面を走
査するように構成する。
スク検査装置の光学系を示す斜視図である。本実施例で
は光源として直線偏光成分を有するレーザ光源、例えば
Ｈｅ−Ｎｅレーザ１１を用いており、そのレーザビーム
は光径を楕円形にするプリズム１２を介して集束レンズ
１３に与えられる。そして集束レンズ１３より集束され
た光は光ディスク１４の下面より照射される。このレー
ザビームの照射方向は光ディスク１４に垂直なｙ軸より
所定角度θ傾けて照射するものとし、例えば第１図及び
第２図に示すように光ディスク１４の半径方向に半径方
向と垂直なＸ軸上の位置から光ディスク１４にレーザビ
ームを照射するものとする。そして光ディスク１４の表
面からの反射光を集束レンズ１３を介して受光する位置
に第１の光電変換素子、例えばフォトダイオードＰＤＩ
を配置する。又光ディスク１４の樹脂膜１４ａを隔てて
アルミニウム等が蒸着され所定のパターンが形成された
面１４ｂ （以後ピット面という）からの反射光のうち
回折する反射光を受光する位置、即ち半径方向の２方向
とｙ軸とで作るｙｚ平面上に第２の光電変換変換素子で
あるフォトダイオードＰＤ２を配置する。又ピット面１
４ｂからの反射光を集束レンズ１３を介して偏光ビーム
スプリッタ１５に導く。偏光ビームスプリッタ１５は光
源であるレーザ光源１１の偏光成分がそのまま保存され
た正反射光を透過し、それと垂直な偏光成分の光を反射
するものである。正反射光の受光位置に第３の光電変換
素子であるフォトダイオードＰＤ３、それと垂直な偏光
成分の反射光を受光する位置に第４の光電変換素子であ
るフォトダイオードＰＤ４を設けるようにしている。そ
して光ディスク１４は回転駆動する回転制御機構１６に
よって所定速度で駆動させる。そして光ディスク１４と
回転制御機構１６、又はレーザ光源１１がら偏光ビーム
スプリッタ１５及びフォトダイオードＰＤ１〜ＰＤ４を
２軸方向に徐々に移動させて光ディスク１４の前面を走
査するように構成する。
次に第３図はこれらのフォトダイオードからの信号に基
づいて光ディスク１４の欠陥を検出する欠陥識別手段を
構成する信号処理部を示す図である。本図においてフォ
トダイオードＰＤＩ〜ＰＤ４の出力は夫々Ｉ／Ｖ変換器
２１〜２４に与えられる。Ｉ／Ｖ変換器２１〜２４は夫
々フォトダイオードＰＤＩ〜ＰＤ４の出力を電圧信号に
変換して増幅するものであって、その出力は比較器２５
〜２８に与えられる。比較器２５〜２８には夫々一定の
闇値レベルが設定されており与えられた信号を二値信号
に変換するものである。比較器２５〜２８の出力は夫々
４人刃型のアンド回路２９〜３２に与えられる。アンド
回路２９〜３２はこの論理信号に基づいて光ディスク１
４上の欠陥の種類を判別するものである。
づいて光ディスク１４の欠陥を検出する欠陥識別手段を
構成する信号処理部を示す図である。本図においてフォ
トダイオードＰＤＩ〜ＰＤ４の出力は夫々Ｉ／Ｖ変換器
２１〜２４に与えられる。Ｉ／Ｖ変換器２１〜２４は夫
々フォトダイオードＰＤＩ〜ＰＤ４の出力を電圧信号に
変換して増幅するものであって、その出力は比較器２５
〜２８に与えられる。比較器２５〜２８には夫々一定の
闇値レベルが設定されており与えられた信号を二値信号
に変換するものである。比較器２５〜２８の出力は夫々
４人刃型のアンド回路２９〜３２に与えられる。アンド
回路２９〜３２はこの論理信号に基づいて光ディスク１
４上の欠陥の種類を判別するものである。
次に本実施例の動作について第４図〜第８図を参照しつ
つ説明する。光ディスクを検査する際にらは回転制御機
構１６を駆動させて光ディスク１４を一定速度で回転さ
せると共に、レーザ光源１１を駆動する。レーザ光源１
１からの光はプリズム１２．集束レンズ１３を介して光
ディスク１４に照射される。検査対象とする光ディスク
に欠陥がなければ光ディスク１４より一定し−、ルの表
面反射光が得られ、更にその内部にまで照射された光は
ピット面１４． ｂで反射される。そしてビット面に所
定のビットパターンが形成されているときには回折光が
得られ、フォトダイオードＰＤ２で受光される。又ビッ
ト面１４ｂの正反射光は偏光成分が保存されるため偏光
ビームスプリッタ１５を介してフォトダイオードＰＤ３
に受光されることとなる。
つ説明する。光ディスクを検査する際にらは回転制御機
構１６を駆動させて光ディスク１４を一定速度で回転さ
せると共に、レーザ光源１１を駆動する。レーザ光源１
１からの光はプリズム１２．集束レンズ１３を介して光
ディスク１４に照射される。検査対象とする光ディスク
に欠陥がなければ光ディスク１４より一定し−、ルの表
面反射光が得られ、更にその内部にまで照射された光は
ピット面１４． ｂで反射される。そしてビット面に所
定のビットパターンが形成されているときには回折光が
得られ、フォトダイオードＰＤ２で受光される。又ビッ
ト面１４ｂの正反射光は偏光成分が保存されるため偏光
ビームスプリッタ１５を介してフォトダイオードＰＤ３
に受光されることとなる。
さて第４図（ａ）に示すように光ディスク１４のピット
面にピンポールが位置する場合には、第５図（ａ）〜（
Ｃ）に示すようにフォトダイオードＰＤＩの出力は低下
せずフォトダイオードＰＤ２で検出される回折光及びフ
ォトダイオードＰＤ３で検出される正反射光の光量レベ
ルが低下する。従ってピンホールの欠陥をアンド回路３
１により検出することができる。
面にピンポールが位置する場合には、第５図（ａ）〜（
Ｃ）に示すようにフォトダイオードＰＤＩの出力は低下
せずフォトダイオードＰＤ２で検出される回折光及びフ
ォトダイオードＰＤ３で検出される正反射光の光量レベ
ルが低下する。従ってピンホールの欠陥をアンド回路３
１により検出することができる。
次に第４図ｆｂｌに示すように光ディスク１４のビット
パターンに損傷がある場合には、第６図（ａ）に示すよ
うにフォトダイオードＰＤＩで受光される表面反射光レ
ベルは変化しないが、第６図（ｂ）、 （ｃ＋に示すよ
うにフォトダイオードＰＤ２に得られる回折光レベルが
低下しそれに対応してフォトダイオードＰＤ３で得られ
る正反射光のレベルがわずかに上昇する。しかしこのと
き偏光成分は保存されるため、フォトダイオードＰＤ４
の受光レベルは低い状態が保たれる。従ってこのような
信号の変化がアンド回路３２によって検出されることと
なる。
パターンに損傷がある場合には、第６図（ａ）に示すよ
うにフォトダイオードＰＤＩで受光される表面反射光レ
ベルは変化しないが、第６図（ｂ）、 （ｃ＋に示すよ
うにフォトダイオードＰＤ２に得られる回折光レベルが
低下しそれに対応してフォトダイオードＰＤ３で得られ
る正反射光のレベルがわずかに上昇する。しかしこのと
き偏光成分は保存されるため、フォトダイオードＰＤ４
の受光レベルは低い状態が保たれる。従ってこのような
信号の変化がアンド回路３２によって検出されることと
なる。
又第４図（Ｃ）に示すように光ディスク１４の表面に欠
陥があるときには、照射光が表面で乱反射されることと
なって表面からの反射光を受光するフォトダイオードＰ
ＤＩのレベルが低下する。又この欠陥を介して光ディス
ク１４の樹脂膜１４ａ内に入射するレーザ光のレベルも
低下するため、第７図（ｂｌ、 （Ｃ）に示すようにフ
ォトダイオードＰＤ２ＰＤ３で受光されるレベルも低下
することとなる。
陥があるときには、照射光が表面で乱反射されることと
なって表面からの反射光を受光するフォトダイオードＰ
ＤＩのレベルが低下する。又この欠陥を介して光ディス
ク１４の樹脂膜１４ａ内に入射するレーザ光のレベルも
低下するため、第７図（ｂｌ、 （Ｃ）に示すようにフ
ォトダイオードＰＤ２ＰＤ３で受光されるレベルも低下
することとなる。
しかしＰＤ４で受光される偏光面が回転した反射光はほ
とんど受光されず元の状態が保たれる。従ってこのよう
な状態変化をアンド回路２９で検出することができる。
とんど受光されず元の状態が保たれる。従ってこのよう
な状態変化をアンド回路２９で検出することができる。
更に第４図（ｄｉに示すように光ディスク１４の合成樹
脂面中に気泡等の欠陥が存在する場合には、第８図（ａ
ｌ〜（Ｃ１）に反射光レベルの変化を示すようにフォト
ダイオードＰＤＩの表面反射光レベルは変化しないが、
フォトダイオードＰＤ２．ＰＤ３で受光される拡散反射
光及び正反射光の受光レベルが低下する。しかし気泡に
よって光の偏光方向が変化するため偏光ビームスプリッ
タ１５を介してフォトダイオードＰＤ４で受光する受光
レベルが上昇することとなる。従ってこのような変化を
アンド回路３０によって検出することができる。このよ
うに本発明では光ディスクの表面から所定角度傾けた位
置から光を照射し、４個の光電変換素子を設けてその光
電変換素子の受光レベルの関係によって欠陥の種類を識
別している。これらの出力はそのまま計数して外部に出
力するようにしてもよく、何らかの統計処理を行うよう
にすることも可能である。
脂面中に気泡等の欠陥が存在する場合には、第８図（ａ
ｌ〜（Ｃ１）に反射光レベルの変化を示すようにフォト
ダイオードＰＤＩの表面反射光レベルは変化しないが、
フォトダイオードＰＤ２．ＰＤ３で受光される拡散反射
光及び正反射光の受光レベルが低下する。しかし気泡に
よって光の偏光方向が変化するため偏光ビームスプリッ
タ１５を介してフォトダイオードＰＤ４で受光する受光
レベルが上昇することとなる。従ってこのような変化を
アンド回路３０によって検出することができる。このよ
うに本発明では光ディスクの表面から所定角度傾けた位
置から光を照射し、４個の光電変換素子を設けてその光
電変換素子の受光レベルの関係によって欠陥の種類を識
別している。これらの出力はそのまま計数して外部に出
力するようにしてもよく、何らかの統計処理を行うよう
にすることも可能である。
次に本願の請求項２の発明による実施例について第９図
を参照しつつ説明する。第９図において第１図と同一部
分は同一符号を付している。本実施例においてもレーザ
光源１１にプリズム１２及び集束レンズ１３を介して光
ディスク１４の正面に垂直な線より所定角度傾けた方向
からレーザ光を照射し、その反射光レベルに基づいて欠
陥の種類を検出することは前述した第１実施例と同様で
ある。本実施例では光ディスク１４の表面より反射され
る表面反射光を受光するために第１の光電変換素子であ
るフォトダイオードＰＤＩを設ける。
を参照しつつ説明する。第９図において第１図と同一部
分は同一符号を付している。本実施例においてもレーザ
光源１１にプリズム１２及び集束レンズ１３を介して光
ディスク１４の正面に垂直な線より所定角度傾けた方向
からレーザ光を照射し、その反射光レベルに基づいて欠
陥の種類を検出することは前述した第１実施例と同様で
ある。本実施例では光ディスク１４の表面より反射され
る表面反射光を受光するために第１の光電変換素子であ
るフォトダイオードＰＤＩを設ける。
更にビット面からの反射光を偏光ビームスプリッタ１５
を介して偏光面の相違により反射光を分離する。そして
偏光ビームスプリッタ１５を透過する正反射光を検出す
る第３の光電変換素子であるフォトダイオードＰＤ３及
び偏光ビームスプリッタ１５で反射された反射光を検出
する第４の光電変換素子であるフォトダイオードＰＤ４
を設ける。
を介して偏光面の相違により反射光を分離する。そして
偏光ビームスプリッタ１５を透過する正反射光を検出す
る第３の光電変換素子であるフォトダイオードＰＤ３及
び偏光ビームスプリッタ１５で反射された反射光を検出
する第４の光電変換素子であるフォトダイオードＰＤ４
を設ける。
その信号処理回路についてはフォトダイオードＰＤ２の
出力を処理するＩ／Ｖ変換器２２及び比較器２６を除い
て前述した実施例と同様である。木実施例においては第
４図（ｂｌ及び第６図に示すようにピットパターンの損
傷を検出することができない。しかしこのような損傷が
生じる可能性が極めて少ないため、これらに対向する第
２の光電変換素子ＰＤ２を除いてその他の場合の光ディ
スクの欠陥を検出するようにしたものである。
出力を処理するＩ／Ｖ変換器２２及び比較器２６を除い
て前述した実施例と同様である。木実施例においては第
４図（ｂｌ及び第６図に示すようにピットパターンの損
傷を検出することができない。しかしこのような損傷が
生じる可能性が極めて少ないため、これらに対向する第
２の光電変換素子ＰＤ２を除いてその他の場合の光ディ
スクの欠陥を検出するようにしたものである。
そのため本願の請求項１の発明によれば、光ディスクを
回転させつつ光学系又は光ディスク自体を半径方向に移
動させることによって光ディスクの全ての面についてそ
の欠陥の種類と位置を判別することができる。又請求項
２の発明では、はとんど生じないピット面の損傷を除く
他の損傷の位置と種類を判別することができるという効
果が得られる。
回転させつつ光学系又は光ディスク自体を半径方向に移
動させることによって光ディスクの全ての面についてそ
の欠陥の種類と位置を判別することができる。又請求項
２の発明では、はとんど生じないピット面の損傷を除く
他の損傷の位置と種類を判別することができるという効
果が得られる。
第１図は本発明の一実施例によるディスク検査装置の光
学系を示す斜視図、第２図はその側面図、第３図は欠陥
識別手段の構成を示すブロック図、第４図（ａｌ、 （
ｂ）、 （Ｃ１，（ｄ）は光ディスクの損傷の種類を示
す図、第５図、第６図、第７図及び第８図は夫々光ディ
スクの損傷に対する各光電変換素子ＰＤ１〜ＰＤ４の出
力変化を示す図、第９図は本願の請求項２の発明の一実
施例による光ディスク検査装置の光学系を示す斜視図、
第１０図は従来の光ディスク検査装置の構成を示すブロ
ック図である。 １１−−−−レーザ光源 １２・−−−−−−プリズ
ム １３−−−−−一集束レンズ １４−・−光デ
ィスク １５−−−−一偏光ビームスプリッタ １
６−−−−−回転制御機構 ＰＤＩ〜ＰＤ４−−〜−
−−−フォトダイオード特許出願人 日本科学工業
株式会社代理人 弁理士 岡本宜喜（他１名） 第 図 第 図
学系を示す斜視図、第２図はその側面図、第３図は欠陥
識別手段の構成を示すブロック図、第４図（ａｌ、 （
ｂ）、 （Ｃ１，（ｄ）は光ディスクの損傷の種類を示
す図、第５図、第６図、第７図及び第８図は夫々光ディ
スクの損傷に対する各光電変換素子ＰＤ１〜ＰＤ４の出
力変化を示す図、第９図は本願の請求項２の発明の一実
施例による光ディスク検査装置の光学系を示す斜視図、
第１０図は従来の光ディスク検査装置の構成を示すブロ
ック図である。 １１−−−−レーザ光源 １２・−−−−−−プリズ
ム １３−−−−−一集束レンズ １４−・−光デ
ィスク １５−−−−一偏光ビームスプリッタ １
６−−−−−回転制御機構 ＰＤＩ〜ＰＤ４−−〜−
−−−フォトダイオード特許出願人 日本科学工業
株式会社代理人 弁理士 岡本宜喜（他１名） 第 図 第 図
Claims (2)
- （１）光ディスクを回転駆動する回転駆動手段と、 直線偏光成分を有する光ビームを発生させ光ディスクの
面より所定角度傾けて照射する光源と、前記光源より照
射されたときに光ディスクの表面より反射する反射光を
検出する第１の光電変換素子と、 光ディスクに形成されるピット面からの回折光を受光す
る第２の光電変換素子と、 光ディスクのピット面からの反射光のうち光源と同一の
偏光成分を持つ反射光と他の成分の反射光とに分離する
偏光ビームスプリッタと、 前記偏光ビームスプリッタより分離された光源と同一の
偏光成分の反射光を受光する第３の光電変換素子と、 前記偏光ビームスプリッタより分離された他の偏光成分
の反射光を受光する第４の光電変換素子と、 前記第１乃至第４の光電変換素子の出力に基づいて光デ
ィスクの欠陥の種類を識別する欠陥識別手段と、を有す
ることを特徴とする光ディスク検査装置。 - （２）光ディスクを回転駆動する回転駆動手段と、 直線偏光成分を有する光ビームを発生させ光ディスクの
面より所定角度傾けて照射する光源と、前記光源より照
射されたときに光ディスクの表面より反射する反射光を
検出する第１の光電変換素子と、 光ディスクのピット面からの反射光のうち光源と同一の
偏光成分を持つ反射光と他の成分の反射光とに分離する
偏光ビームスプリッタと、 前記偏光ビームスプリッタより分離された光源と同一の
偏光成分の反射光を受光する第３の光電変換素子と、 前記偏光ビームスプリッタより分離された他の偏光成分
の反射光を受光する第４の光電変換素子と、 前記第１及び第３、第４の光電変換素子の出力に基づい
て光ディスクの欠陥の種類を識別する欠陥識別手段と、
を有することを特徴とする光ディスク検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63161253A JP2683039B2 (ja) | 1988-06-28 | 1988-06-28 | 光ディスク検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63161253A JP2683039B2 (ja) | 1988-06-28 | 1988-06-28 | 光ディスク検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0210139A true JPH0210139A (ja) | 1990-01-12 |
| JP2683039B2 JP2683039B2 (ja) | 1997-11-26 |
Family
ID=15731575
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63161253A Expired - Lifetime JP2683039B2 (ja) | 1988-06-28 | 1988-06-28 | 光ディスク検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2683039B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007187570A (ja) * | 2006-01-13 | 2007-07-26 | Stanley Electric Co Ltd | 反射型光学センサ及び測定面の表面粗さ検出方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62106351A (ja) * | 1985-11-05 | 1987-05-16 | Victor Co Of Japan Ltd | 光学式情報記録媒体円盤の欠陥検査装置 |
| JPS62188948A (ja) * | 1986-02-14 | 1987-08-18 | Nec Corp | 欠陥検査装置 |
-
1988
- 1988-06-28 JP JP63161253A patent/JP2683039B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62106351A (ja) * | 1985-11-05 | 1987-05-16 | Victor Co Of Japan Ltd | 光学式情報記録媒体円盤の欠陥検査装置 |
| JPS62188948A (ja) * | 1986-02-14 | 1987-08-18 | Nec Corp | 欠陥検査装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007187570A (ja) * | 2006-01-13 | 2007-07-26 | Stanley Electric Co Ltd | 反射型光学センサ及び測定面の表面粗さ検出方法 |
| KR101360252B1 (ko) * | 2006-01-13 | 2014-02-11 | 스탠리 일렉트릭 컴퍼니, 리미티드 | 반사형 광학센서 및 측정면의 표면조도 검출방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2683039B2 (ja) | 1997-11-26 |
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