JPS62188948A - 欠陥検査装置 - Google Patents
欠陥検査装置Info
- Publication number
- JPS62188948A JPS62188948A JP3119186A JP3119186A JPS62188948A JP S62188948 A JPS62188948 A JP S62188948A JP 3119186 A JP3119186 A JP 3119186A JP 3119186 A JP3119186 A JP 3119186A JP S62188948 A JPS62188948 A JP S62188948A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reflected light
- light detector
- scattered light
- defect
- output signal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000007547 defect Effects 0.000 title claims abstract description 33
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims description 11
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 16
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 claims description 8
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 14
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 3
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 abstract 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 abstract 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は欠陥検査装置、特に、表面上に極めて微細な周
期的パターンを持つ測定物の欠陥を検出する欠陥検査装
置に関する。
期的パターンを持つ測定物の欠陥を検出する欠陥検査装
置に関する。
近年、欠陥検査装置においては、光ディスクのように微
細で周期的なパターンが形成された基板上の微小欠陥を
検出することが必要となっている。
細で周期的なパターンが形成された基板上の微小欠陥を
検出することが必要となっている。
さらに、この微小欠陥は空気中に浮遊しているゴミやチ
リが付着したシ、製造工程中にキズが付くことによって
、パターン表面上に凹凸欠陥として生じたシ又しみが付
くことによシ凹凸のない欠陥として生じるため、欠陥の
種類を判別することが工程改善上必要となっている。
リが付着したシ、製造工程中にキズが付くことによって
、パターン表面上に凹凸欠陥として生じたシ又しみが付
くことによシ凹凸のない欠陥として生じるため、欠陥の
種類を判別することが工程改善上必要となっている。
従来の欠陥検査装置は、被測定物を光デイスク基板とす
ると、第３図に示すようにホルダー２に固定された光デ
イスク基板１にある角度を持って、レーザ光を照射する
レーザ光発生源４と、光デイスク基板１の表面上に周期
的に形成されている信号ビット又は案内溝のために発生
する反射１次回折光を、他の回折光と区別するためのピ
ンホール２１と、反射１次回折光を検出する回折光検出
器２０とで構成されていた。
ると、第３図に示すようにホルダー２に固定された光デ
イスク基板１にある角度を持って、レーザ光を照射する
レーザ光発生源４と、光デイスク基板１の表面上に周期
的に形成されている信号ビット又は案内溝のために発生
する反射１次回折光を、他の回折光と区別するためのピ
ンホール２１と、反射１次回折光を検出する回折光検出
器２０とで構成されていた。
ここで、光デイスク基板１の欠陥部分にレーザ光のスポ
ットが照射さｎた場合、信号ピット又は案内溝の周期的
パターンが欠陥によってみだれているので、反射１次回
折光が増減し、回折光検出器２０の出力信号に変化を示
す。この出力信号変化により欠陥検出を行っていた。
ットが照射さｎた場合、信号ピット又は案内溝の周期的
パターンが欠陥によってみだれているので、反射１次回
折光が増減し、回折光検出器２０の出力信号に変化を示
す。この出力信号変化により欠陥検出を行っていた。
上述した従来の欠陥検査装置は光デイスク基板の表面上
での欠陥を反射回折光の増減により検出することはでき
るが、その反射回折光の増減が、突起あるいは陥没によ
って起きているのか、しみなどによって起きているのか
判別することができないという欠点があった３゜ 〔問題点を解決するための手段〕 本発明の欠陥検査装置は、少なくとも一方向に周期的な
凹凸パターンを持つ測定物の表面にレーザ光を垂直に照
射する光学系と、前記測定物の表面からの反射光を検出
する反射光検出器と、前記測定物表面からの散乱光を周
期的パターンにより起きる回折方向と一致しない方向で
検出する散乱光検出器と、前記反射光検出器と散乱光検
出器の出力信号を比較し欠陥の種類を判別する判別器と
を含んで構成される。
での欠陥を反射回折光の増減により検出することはでき
るが、その反射回折光の増減が、突起あるいは陥没によ
って起きているのか、しみなどによって起きているのか
判別することができないという欠点があった３゜ 〔問題点を解決するための手段〕 本発明の欠陥検査装置は、少なくとも一方向に周期的な
凹凸パターンを持つ測定物の表面にレーザ光を垂直に照
射する光学系と、前記測定物の表面からの反射光を検出
する反射光検出器と、前記測定物表面からの散乱光を周
期的パターンにより起きる回折方向と一致しない方向で
検出する散乱光検出器と、前記反射光検出器と散乱光検
出器の出力信号を比較し欠陥の種類を判別する判別器と
を含んで構成される。
次に、本発明の実施例について、図面を参照して詳細に
説明する。
説明する。
第１図は本発明の一実施例である。被測定物を光デイス
ク基板１とすると、図において、光デイスク基板１はホ
ルダー２に固定され、円周方向と径方向に全面走査可能
な移動ステージ３に搭載され、レーザ発生源４から出力
されたレーザ光は、偏光ビームスプリッタ−５，１／４
波長板６を透過し、光デイスク基板１に垂直に入射され
る。前記光デイスク基板１からの反射光は再度１／４波
長板６を透過し、偏光ビームスプリッタ−５によって、
全反射されレーザ発生源４へ戻ることなく反射光を検出
する反射光検出器８に入射される。
ク基板１とすると、図において、光デイスク基板１はホ
ルダー２に固定され、円周方向と径方向に全面走査可能
な移動ステージ３に搭載され、レーザ発生源４から出力
されたレーザ光は、偏光ビームスプリッタ−５，１／４
波長板６を透過し、光デイスク基板１に垂直に入射され
る。前記光デイスク基板１からの反射光は再度１／４波
長板６を透過し、偏光ビームスプリッタ−５によって、
全反射されレーザ発生源４へ戻ることなく反射光を検出
する反射光検出器８に入射される。
同時に前記光デイスク基板１の表面からの散乱光は、周
期的パターンにより起きる回折方向と一致しない方向で
、集光レンズ７によシ集光さｎ１散乱光４！ｌ：ｔｊ器
９に入射さｎる。前記反射光検出器９の出力信号は判別
器１０に入力される。
期的パターンにより起きる回折方向と一致しない方向で
、集光レンズ７によシ集光さｎ１散乱光４！ｌ：ｔｊ器
９に入射さｎる。前記反射光検出器９の出力信号は判別
器１０に入力される。
第１図に示す欠陥検査装置において、散乱光検出器９は
周期的パターンによシ起きる回折光の影響を受けずに散
乱光のみ検出するために、回折方向と一致しない方向に
検出器を配置する。こ７′Ｌは、散乱光ｆ１に対し回折
光量が大きいため散乱光検出において回折光の影響を受
けないようにするためである、。
周期的パターンによシ起きる回折光の影響を受けずに散
乱光のみ検出するために、回折方向と一致しない方向に
検出器を配置する。こ７′Ｌは、散乱光ｆ１に対し回折
光量が大きいため散乱光検出において回折光の影響を受
けないようにするためである、。
突起あるいは陥没のような凹凸欠陥にレーザ光が照射き
ｆた場合、入射レーザ光は凹凸欠陥上で散乱を起すため
、反射光量は減少する。したがってないじみのような欠
陥は、入射レーザ光に対し欠陥上で散乱を起さずに、反
射光量のみ増減する。
ｆた場合、入射レーザ光は凹凸欠陥上で散乱を起すため
、反射光量は減少する。したがってないじみのような欠
陥は、入射レーザ光に対し欠陥上で散乱を起さずに、反
射光量のみ増減する。
したがって反射光検出器８の出力信号は増加あるいは減
少をするが散乱光検出器９の出力信号ｔよ変化しない。
少をするが散乱光検出器９の出力信号ｔよ変化しない。
次に第１図の判別器１０の詳細について説明する。
第２図は判別器１０の一実施例である。前記反射光検出
器８の出力信号と散乱光検出器９の出力信号は増幅器Ａ
ｌｌ、増幅器Ｂ１２によシそれぞれ増幅される。前記増
幅器Ａｌｌの出力信号はコンパレータＡ１３の入力信号
となシ、増幅器Ｂ１２の出力信号はコンパレータＢ１４
の入力信号となる。前記コンパレータＡ１３は前記増幅
器Ａｌｌの出力信号をスライスレベルで弁別することに
よりディジタル信号として出力し、前記コンパレータＢ
１４は前記増幅器Ｂ１２の出力信号をスライスレベルで
弁別することによシディジタル信号として出力する。
器８の出力信号と散乱光検出器９の出力信号は増幅器Ａ
ｌｌ、増幅器Ｂ１２によシそれぞれ増幅される。前記増
幅器Ａｌｌの出力信号はコンパレータＡ１３の入力信号
となシ、増幅器Ｂ１２の出力信号はコンパレータＢ１４
の入力信号となる。前記コンパレータＡ１３は前記増幅
器Ａｌｌの出力信号をスライスレベルで弁別することに
よりディジタル信号として出力し、前記コンパレータＢ
１４は前記増幅器Ｂ１２の出力信号をスライスレベルで
弁別することによシディジタル信号として出力する。
したがって反射光検出器８の出力信号に増減があればコ
ンパレータＡ１３の出力信号が１となり、変化がないと
きは出力信号はＯとなる。同様に散乱光検出器９の出力
信号が増加した場合コンパレータＢ１４の出力信号は１
となり、変化がないときは出力信号は０となる。
ンパレータＡ１３の出力信号が１となり、変化がないと
きは出力信号はＯとなる。同様に散乱光検出器９の出力
信号が増加した場合コンパレータＢ１４の出力信号は１
となり、変化がないときは出力信号は０となる。
このコンパレータＡ１３．Ｂ１４の出力信号−１０Ｒゲ
ート１６に入力し論理積を取ることによって、欠陥を検
出し、またＡＮＤゲート１５、Ｘ ＯＲゲート１７に入
力して論理和、排他的論理和を取ることによって欠陥の
８１ ｆＡに対応した出力信号を得ることができる。
ート１６に入力し論理積を取ることによって、欠陥を検
出し、またＡＮＤゲート１５、Ｘ ＯＲゲート１７に入
力して論理和、排他的論理和を取ることによって欠陥の
８１ ｆＡに対応した出力信号を得ることができる。
以上により、反射光検出器８の出力信号と散乱光検出器
９の出力信号を同時に検出し、その出力信号を判別器１
０によって比較することによって光デイスク基板１上の
欠陥を検出するだけでなく欠陥の種類をも同時に判別す
ることができる。
９の出力信号を同時に検出し、その出力信号を判別器１
０によって比較することによって光デイスク基板１上の
欠陥を検出するだけでなく欠陥の種類をも同時に判別す
ることができる。
本発明の欠陥検査装置は反射光及び散乱光をそれぞれ独
立した検出器によって同時に検出し、反射光検出器、散
乱光検出器の両者の出力信号変化を比較することにより
、測定物の欠陥が突起あるいは陥没であるか、しみなど
によるものかを判別することができるという効果がある
。
立した検出器によって同時に検出し、反射光検出器、散
乱光検出器の両者の出力信号変化を比較することにより
、測定物の欠陥が突起あるいは陥没であるか、しみなど
によるものかを判別することができるという効果がある
。
第１図は本発明の一実施例を示す構成図、第２図は第１
図に示す判別器１０のブロック構成図、第３図は従来の
欠陥検査装置の一例を示す構成図である。 １・・・・・・光ディスク恭敬、２・旧・・ホルダー、
３・・・・・・移動ステージ、４・・・・・・レーザ発
生源、５・・・・・・偏光ビームスプリッタ−１６・・
・・・・１／４波長板、７・・・・・・集光レンズ、８
・・・・・・反射光検出器、９・・団・散乱光検出器、
１０・・・・・・判別器、１１・・・・・・増幅５Ａ、
１２・・・・・・増［５Ｂ、１３・・・・・・コンパレ
ータＡ、１４・・・・・・コンパレータＢ、１５・−・
・・・ＡＮＤゲート、１６・・・・・・ＯＲゲート、１
７・・・・・・ＸＯＲゲート、２ｏ・・・・・・回折光
検出器、２１・・・・・・ピンホール。 、ど−′− 代理人 弁理士 内 原 鼓、：・ ・“〜ζ
、− 第１図 第３図 第２図 ７Ｈ４を幅器Ａ
図に示す判別器１０のブロック構成図、第３図は従来の
欠陥検査装置の一例を示す構成図である。 １・・・・・・光ディスク恭敬、２・旧・・ホルダー、
３・・・・・・移動ステージ、４・・・・・・レーザ発
生源、５・・・・・・偏光ビームスプリッタ−１６・・
・・・・１／４波長板、７・・・・・・集光レンズ、８
・・・・・・反射光検出器、９・・団・散乱光検出器、
１０・・・・・・判別器、１１・・・・・・増幅５Ａ、
１２・・・・・・増［５Ｂ、１３・・・・・・コンパレ
ータＡ、１４・・・・・・コンパレータＢ、１５・−・
・・・ＡＮＤゲート、１６・・・・・・ＯＲゲート、１
７・・・・・・ＸＯＲゲート、２ｏ・・・・・・回折光
検出器、２１・・・・・・ピンホール。 、ど−′− 代理人 弁理士 内 原 鼓、：・ ・“〜ζ
、− 第１図 第３図 第２図 ７Ｈ４を幅器Ａ
Claims (1)
- 少なくとも一方向に周期的な凹凸パターンを持つ測定物
の表面にレーザ光を垂直に照射する光学系と、前記測定
物の表面からの反射光を検出する反射光検出器と、前記
測定物表面からの散乱光を、周期的パターンにより起き
る回折方向と一致しない方向で検出する散乱光検出器と
前記反射光検出器と散乱光検出器の出力信号を比較し欠
陥の種類を判別する判別器とで構成したことを特徴とす
る欠陥検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3119186A JPS62188948A (ja) | 1986-02-14 | 1986-02-14 | 欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3119186A JPS62188948A (ja) | 1986-02-14 | 1986-02-14 | 欠陥検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62188948A true JPS62188948A (ja) | 1987-08-18 |
Family
ID=12324537
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3119186A Pending JPS62188948A (ja) | 1986-02-14 | 1986-02-14 | 欠陥検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62188948A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0210139A (ja) * | 1988-06-28 | 1990-01-12 | Nippon Kagaku Kogyo Kk | 光ディスク検査装置 |
| JPH02163639A (ja) * | 1988-12-16 | 1990-06-22 | Pioneer Electron Corp | ディスク検査装置 |
| JPH05232035A (ja) * | 1991-11-26 | 1993-09-07 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 空間フィルタと面構造をモニタするシステム |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57192844A (en) * | 1981-05-12 | 1982-11-27 | Ford Aerospace & Communication | Inspection scanning system for surface |
| JPS59150330A (ja) * | 1983-02-17 | 1984-08-28 | Toshiba Corp | 欠陥検出装置 |
-
1986
- 1986-02-14 JP JP3119186A patent/JPS62188948A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57192844A (en) * | 1981-05-12 | 1982-11-27 | Ford Aerospace & Communication | Inspection scanning system for surface |
| JPS59150330A (ja) * | 1983-02-17 | 1984-08-28 | Toshiba Corp | 欠陥検出装置 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0210139A (ja) * | 1988-06-28 | 1990-01-12 | Nippon Kagaku Kogyo Kk | 光ディスク検査装置 |
| JPH02163639A (ja) * | 1988-12-16 | 1990-06-22 | Pioneer Electron Corp | ディスク検査装置 |
| JPH05232035A (ja) * | 1991-11-26 | 1993-09-07 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 空間フィルタと面構造をモニタするシステム |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5875029A (en) | Apparatus and method for surface inspection by specular interferometric and diffuse light detection | |
| US6999183B2 (en) | Detection system for nanometer scale topographic measurements of reflective surfaces | |
| JPH036460B2 (ja) | ||
| JP2000275182A (ja) | 円盤状記録媒体の検査装置及び検査方法 | |
| KR0156908B1 (ko) | 포커스 에러 검출장치 및 광학 헤드 장치 | |
| JPS62188948A (ja) | 欠陥検査装置 | |
| JPH0933237A (ja) | 測定プローブ | |
| JPS62291550A (ja) | 光デイスク検査装置 | |
| JPH0610656B2 (ja) | 表面欠陥検出装置 | |
| JPH0431748A (ja) | 透明板状体の欠点検査方法 | |
| JPS63284455A (ja) | 表面欠陥検査装置 | |
| JPS60154635A (ja) | パタ−ン欠陥検査装置 | |
| JP4580579B2 (ja) | 表面形状測定方法および表面形状測定装置 | |
| JPH0252241A (ja) | 表面欠陥検査装置 | |
| JPS63298034A (ja) | 欠陥検出装置 | |
| JPS59193561A (ja) | 光学式デイスクの欠陥検査方法 | |
| JPS62170963A (ja) | 異物検査装置 | |
| JPS58147824A (ja) | デイスク検査装置 | |
| JPS599546A (ja) | 情報記録体の欠陥検査装置 | |
| JPH04307358A (ja) | 表面検査装置 | |
| JPS6319542A (ja) | 光学的記録媒体検査装置 | |
| JPH0589461A (ja) | 光学記録媒体の汚れ検出方法 | |
| JPS62118243A (ja) | 表面欠陥検査装置 | |
| JPS6273427A (ja) | ドロツプアウト検査装置 | |
| JPS63153454A (ja) | 光デイスク透明円板の欠陥検査装置 |