JPS6319542A - 光学的記録媒体検査装置 - Google Patents
光学的記録媒体検査装置Info
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- JPS6319542A JPS6319542A JP16400586A JP16400586A JPS6319542A JP S6319542 A JPS6319542 A JP S6319542A JP 16400586 A JP16400586 A JP 16400586A JP 16400586 A JP16400586 A JP 16400586A JP S6319542 A JPS6319542 A JP S6319542A
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- Pending
Links
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/9506—Optical discs
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
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- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
この発明は、光学的記録媒体の評価技術に関するもので
ある。
ある。
従来の技術
光透過性基材に情報記録膜を積層した光学的記録媒体の
欠陥としては、ａ光透過性基材内に混入している遮光性
異物（以下、基材内異物と呼ぶ）ｂ光透過性基材の情報
記録膜側表面の異常（以下、基材面異常と呼ぶ）Ｃ情報
記録膜が通常より薄い記録膜異常（以下、ピンホールと
呼ぶ）が考えられる。
欠陥としては、ａ光透過性基材内に混入している遮光性
異物（以下、基材内異物と呼ぶ）ｂ光透過性基材の情報
記録膜側表面の異常（以下、基材面異常と呼ぶ）Ｃ情報
記録膜が通常より薄い記録膜異常（以下、ピンホールと
呼ぶ）が考えられる。
これら欠陥の検査装置として、第３図に従来例を示す。
半導体レーザ１から出射した光は、光透過性基材７に積
層した情報記録膜８面に、対物レンズらによって集光さ
れるとともに、情報記録膜面からの反射光は集光レンズ
４によって反射光検出器３の受光面に入射し、各欠陥に
応じて第３図ａ、ｂ、ｃに示すような欠陥波形が検出さ
れる。
層した情報記録膜８面に、対物レンズらによって集光さ
れるとともに、情報記録膜面からの反射光は集光レンズ
４によって反射光検出器３の受光面に入射し、各欠陥に
応じて第３図ａ、ｂ、ｃに示すような欠陥波形が検出さ
れる。
発明が解決しようとする問題点
各欠陥波形は、第３図に示すように上（反射率が高い）
に出たり、下（反射率が低い）に出たりし、従来の検査
装置ではこれら欠陥の検出は可能であるが、各欠陥を・
要因別に分離することは不可能である。
に出たり、下（反射率が低い）に出たりし、従来の検査
装置ではこれら欠陥の検出は可能であるが、各欠陥を・
要因別に分離することは不可能である。
問題点を解決するための手段
本発明は、各欠陥を要因別に分離検出することを目的と
する。この目的を達成するために次のような構成とする
。すなわち、光源から放射された光束を、光学的記録媒
体の信号面て収束させ、前記信号面から反射された光束
を受光する第一の光検出器と、前記信号面を透過した光
束を受光する第二の光検出器を備えたものである。
する。この目的を達成するために次のような構成とする
。すなわち、光源から放射された光束を、光学的記録媒
体の信号面て収束させ、前記信号面から反射された光束
を受光する第一の光検出器と、前記信号面を透過した光
束を受光する第二の光検出器を備えたものである。
作用
本発明のような構成とすると、情報記録媒体の信号面か
らの反射光と透過光を検出することができ、これらの反
射光信号と透過光信号を組み合わせることによって、各
欠陥を要因別に分離検出することが可能となる。
らの反射光と透過光を検出することができ、これらの反
射光信号と透過光信号を組み合わせることによって、各
欠陥を要因別に分離検出することが可能となる。
実施例
本発明の実施例を第１図を参照しながら説明する。なお
、第２図と同一のものについては、同一番号を付す。半
導体レーザ１から出射した光は、コリメータレンズ２で
平行光となり、ビームスプリッタ５、対物レンズ６を介
して光学的記録媒体の情報記録膜８面上に収束する。収
束した光は情報記録膜８面で反射し、対物レンズ６、ビ
ームスプリンタ５、集光レンズ４を介して反射光検出器
３に入射するとともに、情報記録膜８を透過し、対物レ
ンズ９、集光レンズ１０を介して透過光検出器１１に入
射する。各欠陥の反射光検出器での波形を第３図、透過
光検出器での波形を第４図に示す。第３図、第４図とも
ａは基材内異物、ｂは基材面異常、Ｃはピンホールの波
形である。基材内異物は光を遮光するため、反射光、透
過光とも下（反射率低、透過率低）に也る。基材面異常
は、反射光では回折によって下に出たり上に出たりする
が、透過光では回折は起きず、欠陥波形は出ない。ピン
ホールは、反射光では膜厚によって上に出たり下に出た
りするが、透過光では全て上に出る。したがって、反射
光と透過光の欠陥波形より、反射光検出器、透過光検出
器とも下に出た欠陥は基材内異物、反射光検出器で検出
し、透過光検出器で検出されない欠陥は基材面異常、透
過光検出器で上に出た欠陥はピンホールというように欠
陥を要因別に分離することができる。
、第２図と同一のものについては、同一番号を付す。半
導体レーザ１から出射した光は、コリメータレンズ２で
平行光となり、ビームスプリッタ５、対物レンズ６を介
して光学的記録媒体の情報記録膜８面上に収束する。収
束した光は情報記録膜８面で反射し、対物レンズ６、ビ
ームスプリンタ５、集光レンズ４を介して反射光検出器
３に入射するとともに、情報記録膜８を透過し、対物レ
ンズ９、集光レンズ１０を介して透過光検出器１１に入
射する。各欠陥の反射光検出器での波形を第３図、透過
光検出器での波形を第４図に示す。第３図、第４図とも
ａは基材内異物、ｂは基材面異常、Ｃはピンホールの波
形である。基材内異物は光を遮光するため、反射光、透
過光とも下（反射率低、透過率低）に也る。基材面異常
は、反射光では回折によって下に出たり上に出たりする
が、透過光では回折は起きず、欠陥波形は出ない。ピン
ホールは、反射光では膜厚によって上に出たり下に出た
りするが、透過光では全て上に出る。したがって、反射
光と透過光の欠陥波形より、反射光検出器、透過光検出
器とも下に出た欠陥は基材内異物、反射光検出器で検出
し、透過光検出器で検出されない欠陥は基材面異常、透
過光検出器で上に出た欠陥はピンホールというように欠
陥を要因別に分離することができる。
発明の効果
本発明に係る光学的記録媒体検査装置の構成は次のよう
である。光源から放射された光束を光学的記録媒体の信
号面に収束させ、前記信号面から反射された光束を受光
する第一の光検出器と、前記信号面を透過した光束を受
光する第二の光検出器を備えたものである。この第一の
光検出器と第二の光検出器から得られる欠陥波形より各
欠陥を要因に分離することができる。
である。光源から放射された光束を光学的記録媒体の信
号面に収束させ、前記信号面から反射された光束を受光
する第一の光検出器と、前記信号面を透過した光束を受
光する第二の光検出器を備えたものである。この第一の
光検出器と第二の光検出器から得られる欠陥波形より各
欠陥を要因に分離することができる。
第１図は本発明の実施例における光学的記録媒体検査装
置の原理図、第２図は従来例の光学的記録媒体検査装置
の原理図、第３図は反射光検出器における各要因別欠陥
波形ａ、第４図は透過光検出図 器における各要因別欠陥波形を示した＼つである。 １・・・・・・半導体レーザ、３・・・・・・反射光検
出器、６・・・・・・対物レンズ、１１・・・・・・透
過光検出器。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 はが１名ＷＥ
１図 第２因 第３図 （ｃＬ） 第４図 （Ｃ）
置の原理図、第２図は従来例の光学的記録媒体検査装置
の原理図、第３図は反射光検出器における各要因別欠陥
波形ａ、第４図は透過光検出図 器における各要因別欠陥波形を示した＼つである。 １・・・・・・半導体レーザ、３・・・・・・反射光検
出器、６・・・・・・対物レンズ、１１・・・・・・透
過光検出器。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 はが１名ＷＥ
１図 第２因 第３図 （ｃＬ） 第４図 （Ｃ）
Claims (1)
- 光源から放射された光束を、光学的記録媒体の信号面に
収束させる手段と、前記信号面から反射された光束を受
光する第一の光検出器と、前記信号面を透過した光束を
受光する第二の光検出器とを備え、前記両光検出器の出
力を用いて前記光学的記録媒体の欠陥を検査することを
特徴とする光学的記録媒体検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16400586A JPS6319542A (ja) | 1986-07-11 | 1986-07-11 | 光学的記録媒体検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16400586A JPS6319542A (ja) | 1986-07-11 | 1986-07-11 | 光学的記録媒体検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6319542A true JPS6319542A (ja) | 1988-01-27 |
Family
ID=15784951
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16400586A Pending JPS6319542A (ja) | 1986-07-11 | 1986-07-11 | 光学的記録媒体検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6319542A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017020837A (ja) * | 2015-07-08 | 2017-01-26 | パイオニア株式会社 | 異物検出装置及び方法 |
| JP2019105649A (ja) * | 2019-03-07 | 2019-06-27 | パイオニア株式会社 | 異物検出装置及び方法 |
-
1986
- 1986-07-11 JP JP16400586A patent/JPS6319542A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017020837A (ja) * | 2015-07-08 | 2017-01-26 | パイオニア株式会社 | 異物検出装置及び方法 |
| JP2019105649A (ja) * | 2019-03-07 | 2019-06-27 | パイオニア株式会社 | 異物検出装置及び方法 |
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