JP4076803B2 - 移動検出装置および搬送装置 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、物体の移動を検出する移動検出装置および搬送装置に関するものであり、より詳細には、例えばプリンタまたは複写機における紙送り速度を被接触で検出する移動検出装置および搬送装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の光学式の移動検出装置の一例について、図１１ないし１３に基づいて説明する。
【０００３】
移動検出装置３１は、図１１に示すように、測距センサ３２・３３と演算処理回路部３４とを含んでいる。
【０００４】
測距センサ３２・３３は、光学式のセンサであり、シートＰに光を照射し、その反射光を計測してシートＰへの距離を計測することができる。演算処理回路部３４は、測距センサ３２・３３を制御して、シートＰの移動速度を算出するものである。
【０００５】
測距センサ３２は、図１２に示すように、発光部３５、レンズ３６・３７および受光部３８を含んでいる。
【０００６】
発光部３５は光を出射するものであり、例えばレーザ光を光源として用いることができる。
【０００７】
受光部３８は、例えばＰＳＤ(Position Sensitive Detector:位置高感度検出器)を用いる。ＰＳＤは、受光面上に集光されたスポット光の位置に対応して図示しない出力１と出力２との比を変化させるようになっており、移動検出装置３１とシートＰとの距離に応じて出力１・出力２の値が変わることを利用して、距離を計測することができる。
【０００８】
演算処理回路部３４からの制御信号に応じて発光部３５が発光し、発光部３５からの光をレンズ３６にて集光してシートＰへと垂直に照射する。そして、物体Ｐからの反射光をレンズ３７にて集光して受光部３８へと導き、受光部３８は受光した光量に応じた検出信号を演算処理回路部３４へと出力する。
【０００９】
なお、測距センサ３３は、測距センサ３２と同様の構成であるので、ここでは説明を省略する。
【００１０】
上記構成の移動検出装置３１に対して、図１１に示すように、シートＰが矢印Ｖの方向に移動すると、演算処理回路部３４は、測距センサ３２・３３からの出力を得ることができる。これは、移動検出装置３１とシートＰとの距離が、シートＰの凸凹に応じて、シートＰの移動とともに変化するためである。
【００１１】
このとき演算処理回路部３４において得られる出力波形の一例を図１３に示す。図１３（ａ）は測距センサ３２からの出力波形を示し、図１３（ｂ）は測距センサ３３からの出力波形を示す。図１３（ａ）（ｂ）から分かるように、測距センサ３３における出力波形は、測距センサ３２における出力波形から遅れ時間Δｔだけ遅れることになる。
【００１２】
この遅れ時間Δｔと、測距センサ３２と３３との距離Δｘとを用いて、例えばシートＰの移動速度を得ることができる。また、この移動速度から、シートＰの移動量を求めることもできる。
【００１３】
これに対して、例えば日本国の公開特許公報「特開平６−３４６４７号（公開日：１９９４年２月１０日）」には、上述の移動検出装置３１とは異なる構成の移動検出装置（速度計測装置）が開示されている。
【００１４】
すなわち、上記公報記載の速度計測装置は、上述の測距センサ３２と同様の構成の距離検出器である、第１ないし第３の距離検出器を備えている。
【００１５】
そして、第１の距離検出器と第２の距離検出器との出力の差、および第２の距離検出器と第３の距離検出器との出力の差を用いて相関演算を行い、これによってより精密に移動速度を検出するようになっている。
【００１６】
また、例えば日本国の公開特許公報「特開平８−２９２２６３号（公開日：１９９６年１１月５日）」には、レーザドップラー速度測定装置が開示されている。
【００１７】
このレーザドップラー速度測定装置は、複数本のレーザ光を被測定物に照射し、被測定物の速度に応じてドップラーシフトする散乱光の周波数偏移を検出することにより、被測定物の移動速度を測定する。
【００１８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述の構成は、部品点数が多く、形状が大型であって、製造コストが高いという問題がある。
【００１９】
すなわち、図１１ないし１３に基づいて説明した従来の移動検出装置３１は、発光部３５、レンズ３６・３７および受光部３８を有する測距センサ３２・３３を必要とし、センサを２組備えるので、部品点数が多くなる。このため、形状的にも大型となり、製造コストが高くなる。
【００２０】
また、移動検出装置３１は、シートＰの凸凹に応じて得られる測距センサ３２・３３からの出力信号を例えば比較するなどして遅れ時間Δｔを判別する構成である。このため、測距センサ３２と３３との距離にわたるシートＰの凹凸が微小であり、比較的滑らかな表面を有する場合には、出力信号の変化も微小となるため、遅れ時間Δｔの判別が困難になる。
【００２１】
また、移動検出装置３１は、所定の距離を隔てて配置された測距センサ３２・３３からの出力信号を比較するので、シートＰの凹凸が測距センサ３２と３３との距離よりもゆるやかな凹凸である場合には、そもそも出力信号からこの凹凸を検出することは困難となる。したがって、移動速度を検出することができない虞れがある。
【００２２】
また、上記特開平６−３４６４７号公報および特開平８−２９２２６３号公報に記載の構成についても、より多くのセンサを必要とするなど、装置が大型となり、高価となるという問題がある。
【００２３】
本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、部品点数を減らし、小型化するとともに製造コストを低減した移動検出装置および搬送装置を提供することにある。
【００２４】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る移動検出装置は、上記課題を解決するために、被測定物に光を照射する照射手段を備え、上記被測定物の被照射位置にて反射された反射光を検出して上記被測定物の移動を検出する移動検出装置において、上記照射手段を制御して、上記被照射位置を所望の速度で変化させる照射制御手段と、上記反射光の検出レベルが一定となったときに、上記所望の速度を上記被測定物の移動速度であると判定する速度判定手段とを備えていることを特徴としている。
【００２５】
上記構成においては、照射制御手段が照射手段を制御して被測定物の被照射位置を所望の速度で変化させる一方、速度判定手段は、反射光の検出レベルが一定となったときに、被照射位置の移動速度を被測定物の移動速度であると判定する。すなわち、反射光の検出レベルが一定となったときには、被測定物における被照射位置が一定の位置となり、このため一定の反射レベルが得られるのである。
【００２６】
したがって、一組の照射手段と、検出するための照射制御手段、速度判定手段とによって、被測定物の移動速度を判定することができる。よって、部品点数が少なく、形状的にも小型で製造コストが低い移動検出装置を実現できる。
【００２７】
なお、上記構成において、被測定物の被照射位置を変化させる際には、照射制御手段は、例えば予め定めた所定の速度で被照射位置を変化させてもよい。この場合には、被測定物の速度が予め定めた所定の速度であるか否かを判定できる。また、例えば予め定めた所定の手順で被照射位置の移動速度を順次変化させてもよいし、または例えば前回検出した被測定物の移動速度に応じて被照射位置の移動速度を順次変化させてもよい。この場合には、被照射位置の移動速度を変化させる範囲内において、被測定物の移動速度を判定できる。すなわち、上記構成によれば、被照射位置の移動速度に応じて、被測定物の移動速度を判定できる。この判定される被測定物の移動速度は、被照射位置を移動させる方向における移動速度となる。
【００２８】
また、被測定物の表面における凸凹の状態が鏡面でない限り、比較的滑らかな表面を有する被測定物であっても、その移動速度を測定できる。
【００２９】
すなわち、上記構成において、照射制御手段が照射手段を制御して被測定物の被照射位置を変化させる際には、照射制御手段は、被測定物上の任意の距離にわたって被照射位置を変化させることができる。したがって、本発明によれば、任意の距離にわたった凹凸を有する被測定物の移動速度を検出できる。例えば、被測定物の凹凸形状に応じて、被測定物上において被照射位置を変化させる距離を適切なものとすれば、凹凸に応じた出力信号の変化を十分なものとして、精度よく被測定物の移動速度の検出を行うことができる。
【００３０】
なお、上記構成において、反射光の検出レベルが一定となるとは、例えば反射光を検出する装置の測定精度の範囲内で一定となることのみを意味するものではなく、移動速度を検出する際に所望する精度に応じて定められる時間範囲や検出レベルの変化範囲を用いて、例えば所定の時間範囲内において反射光の検出レベルが所定の変化範囲内となることをも含む。
【００３１】
また、上記構成において、被照射位置を所望の速度で変化させる構成はどのようなものであってもよく、例えば被測定物に光を照射する照射手段を移動させることによって被照射位置を変化させる構成であってもよい。この場合の所望の速度とは、例えば被測定物上における被照射位置の移動速度ではなく、照射手段を移動させる速度に対応する。
【００３２】
本発明に係る移動検出装置は、上記課題を解決するために、上記構成において、上記照射手段は発光部とミラーとを含み、上記発光部からの光を上記ミラーを介して上記被測定物に照射する一方、上記照射制御手段は、上記ミラーを所定の方向へ移動させることによって、上記被照射位置を変化させることを特徴としている。
【００３３】
照射手段が発光部とミラーとを含む構成において、ミラーを所定の方向へ移動させることによって被照射位置を変化させるので、簡単な構成で本発明に係る移動検出装置を実現できる。
【００３４】
なお、上記構成において、ミラーを移動させる所定の方向を、発光部からミラーに照射される光の光軸方向とする構成も好ましい。
【００３５】
本発明に係る移動検出装置は、上記課題を解決するために、上記構成において、上記照射制御手段は、上記ミラーを所定の方向へ移動させる速度を所定の範囲内において変化させることを特徴としている。
【００３６】
ミラーを所定の方向へ移動させる速度を所定の範囲内において変化させるので、被照射位置の移動速度をその所定の範囲内において変化させて、その所定の範囲内における被測定物の移動速度を判定できる。
【００３７】
本発明に係る移動検出装置は、上記課題を解決するために、上記構成において、上記ミラーは、上記所定の方向から４５度傾斜していることを特徴としている。
【００３８】
ミラーは所定の方向から４５度傾斜しているので、例えば所定の方向をミラーに照射される光の光軸方向とし、さらに所定の方向と被測定物の移動方向とが平行である場合には、発光部から出射される光の強度を弱めずに被測定物に垂直に入射できる。
【００３９】
このため、被測定物からの正反射の反射光として比較的強い強度の光を得ることができ、比較的Ｓ／Ｎ(signal-to-noise ratio:信号対雑音比)の良い信号を得ることができる。
【００４０】
本発明に係る移動検出装置は、上記課題を解決するために、上記構成において、上記照射手段は、凸レンズおよび凹レンズを含み、上記照射制御手段は、上記ミラーとともに、上記凸レンズおよび凹レンズを上記所定の方向へ移動させることを特徴としている。
【００４１】
したがって、例えば発光部から出射されミラーにて反射された光を、凹レンズおよび凸レンズを介して被測定物に照射できる。また、例えば被測定物にて反射された光を凸レンズおよび凹レンズを介してミラーへと導き、反射光を検出するための手段へと入射させることができる。
【００４２】
すなわち、被測定物への入射光または被測定物からの反射光、またはその双方を、上述のレンズを用いて集光して精度を高めて、Ｓ／Ｎの良い信号を得ることができる。
【００４３】
本発明に係る移動検出装置は、上記課題を解決するために、上記構成において、上記照射手段は発光部とミラーとを含み、上記発光部からの光を上記ミラーを介して上記被測定物に照射する一方、上記照射制御手段は、上記ミラーを所定の回転軸を中心として回転させることによって、上記被照射位置を変化させることを特徴としている。
【００４４】
したがって、照射手段が発光部とミラーとを含む構成において、ミラーを回転させることによって被照射位置を変化させるので、さらに簡単な構成で本発明に係る移動検出装置を実現できる。すなわち、例えばミラーを所定の方向に移動させる構成と比較して、部品点数が少なく、形状的にも小型で製造コストが低い移動検出装置を簡単に実現できる。また、例えばミラーを所定の方向に移動させる構成と比較して、被照射位置をより高速に変化させることができる。
【００４５】
なお、上記構成において、ミラーを回転させる所定の回転軸は、例えば発光部からミラーに照射される光の光軸と垂直である構成も好ましい。
【００４６】
本発明に係る移動検出装置は、上記課題を解決するために、上記構成において、上記照射制御手段は、上記ミラーを回転させる速度を所定の範囲内において変化させることを特徴としている。
【００４７】
ミラーを回転させる速度を所定の範囲内において変化させるので、被照射位置の移動速度をその所定の範囲内において変化させて、その所定の範囲内における被測定物の移動速度を判定できる。
【００４８】
本発明に係る移動検出装置は、上記課題を解決するために、上記構成において、上記照射手段は、シリンドリカルレンズを含んでいることを特徴としている。
【００４９】
ここで、シリンドリカルレンズとは、円柱状の屈折面をもつレンズであって、円柱レンズとも呼ばれる。
【００５０】
したがって、例えばミラーと被測定物との間にシリンドリカルレンズを備えるとともに、そのシリンドリカルレンズの円柱状の屈折面を適切に設定して、ミラーから被測定物に対して光を垂直に入射させることができる。すなわち、被測定物の位置や、被測定物上の被照射位置によらずに、照射する光の入射角を９０度にできるので、十分な反射光量を得て、被測定物の移動速度を精度よく求めることができる。
【００５１】
本発明に係る移動検出装置は、上記課題を解決するために、上記構成において、上記ミラーは、上記発光部からの光の光軸から４５度傾斜した位置を中心として回転して、上記被測定物に光を照射することを特徴としている。
【００５２】
ここで、発光部からの光とは、発光部から出射され、ミラーに対して入射される光を意味する。
【００５３】
また、光軸とは、光の放射角度特性において例えば最も強度が大きい線のような、入射に支配的な光線を代表する直線に相当する。
【００５４】
上記構成において、ミラーは、発光部からの光の光軸から４５度傾斜した位置を中心として回転する一方、例えばその中心となる位置においては、被測定物に対して垂直に光を照射して、発光部からの光の強度を無駄に減らすことなく、被測定物に光を照射できる。また、被測定物からの反射光の強度を無駄に減らすことなく、反射光を検出できる。
【００５５】
したがって、被測定物からの反射光の強度を減少させず、Ｓ／Ｎの良い信号を得ることができる。
【００５６】
本発明に係る移動検出装置は、上記課題を解決するために、上記構成において、上記ミラーは、上記被測定物に照射する光の光路と上記被照射位置にて反射された上記反射光の光路とを異ならせるとともに、上記照射する光の光路と上記反射光の光路とを含む平面の法線を上記被測定物の移動方向に平行にさせるように上記被測定物に光を照射することを特徴としている。
【００５７】
すなわち、例えば反射光を検出するための受光レンズと受光素子とを、受光レンズの光軸とミラーの回転中心から被測定物に下ろした垂線とを含む平面の法線が被測定物の移動方向に平行となるように配置している。
【００５８】
上記構成によれば、被測定物に光を照射する光路と、被測定物において反射された反射光の光路とを異ならせるので、例えば照射する光路と反射光の光路とを共用する場合に用いるビームスプリッタを不要にできる。また、ビームスプリッタを不要にして、反射光の強度を減少させずに、効率よく反射光を検出できる。
【００５９】
また、被測定物から反射した光の内、例えば受光レンズに入射した光を受光素子へ導ける。
【００６０】
本発明に係る移動検出装置は、上記課題を解決するために、上記構成において、上記被測定物における上記被照射位置の大きさは、直径５０μｍ以下であることを特徴としている。
【００６１】
すなわち、被測定物に照射される光のスポット径が、直径５０μｍ以下であるので、被測定物の表面の凸凹状態をうまく検知し、Ｓ／Ｎの良い信号を得ることができる。
【００６２】
本発明に係る移動検出装置は、上記課題を解決するために、上記構成において、上記照射手段の発光部は半導体レーザを含むことを特徴としている。
【００６３】
上記構成によれば、発光素子に半導体レーザを用いて、照射する光または反射される光をレンズで効率よく集光できる。また、照射する光の強度を強めることにより反射光の強度を強めて、被測定物からの反射光であっても、凹凸を検出するために十分な強度を得ることができる。
【００６４】
本発明に係る搬送装置は、上記課題を解決するために、上述のいずれかの移動検出装置と、上記被測定物を搬送する搬送手段とを備え、上記搬送手段は、判定された上記被測定物の移動速度に応じて、上記被測定物を搬送する速度を変化させることを特徴としている。
【００６５】
したがって、判定された被測定物の移動速度に応じて、被測定物を搬送する速度を所望の速度に変化させてフィードバックすることによって、例えば被測定物を搬送する速度を一定に保つことができる。
【００６６】
本発明に係る搬送装置は、上記課題を解決するために、上述のいずれかの移動検出装置と、上記被測定物を搬送する搬送手段と、上記被測定物に所定のタイミングで処理を行う処理手段とを備え、上記搬送手段は、判定された上記被測定物の移動速度または上記所定のタイミングに応じて、上記被測定物を搬送する速度を変化させることを特徴としている。
【００６７】
したがって、判定された被測定物の移動速度に応じて、被測定物を搬送する速度を所望の速度に変化させてフィードバックすることによって、例えば被測定物を搬送する速度を一定に保つことができる。
【００６８】
また、所定のタイミングに応じて被測定物を搬送する速度を所望の速度に変化させて、例えば被測定物に対する処理が被測定物の所望の位置に対して行われるようにできる。
【００６９】
【発明の実施の形態】
〔実施の形態１〕
本発明の一実施の形態について図１ないし図７に基づいて説明すると以下の通りである。
【００７０】
本実施形態の搬送装置１は、図２に示すように、移動検出装置２、ローラ制御部（搬送手段）３およびローラ（搬送手段）Ｒ１・Ｒ２を備えている。
【００７１】
本実施形態の移動検出装置２は、シート（被測定物）Ｐの移動速度を検出するためのものである。移動検出装置２は、検出した移動速度に関するデータをローラ制御部３へと出力する。
【００７２】
ローラ制御部３は、ローラＲ１・Ｒ２の回転を制御してシートＰの搬送速度を調整するためのものである。ローラ制御部３は、移動検出装置２において検出した移動速度に応じてローラＲ１・Ｒ２の回転を制御して、シートＰの搬送速度を調整する。ローラ制御部３は、例えばシートＰの搬送速度を一定に保つように調整する。
【００７３】
上記搬送装置１は、例えば画像形成装置としてのプリンタに備えられ、印刷するためのシートＰを搬送するための搬送装置であってもよい。
【００７４】
移動検出装置２の詳細な構成について、図１に基づいて説明する。
【００７５】
移動検出装置２は、発光部（照射手段）４、コリメートレンズ５、集光レンズ６、凹レンズ７、ミラー（照射手段）８、ビームスプリッタ９、受光レンズ１０、受光部（速度判定手段）１１および制御部（照射制御手段、速度判定手段）１２を備えている。
【００７６】
発光部４は、例えば半導体レーザからなる図示しない発光素子を含んでいる。発光部４は、備えられる発光素子を用いて、所定の波長の光を出射する。
【００７７】
コリメートレンズ５、集光レンズ６、凹レンズ７、ビームスプリッタ９、および受光レンズ１０の各レンズは、光を屈折させることにより例えば集光させて、検出の精度を増加させるためのものである。
【００７８】
ミラー８は、入射される光を反射して光路を変換するためのものであり、図示しない移動軸に沿って、矢印Ｄ方向に移動可能となっている。この移動軸は、発光部４から凹レンズ７を介してミラー８に入射される光の光軸と平行となっている。
【００７９】
ビームスプリッタ９は、入射される光を透過または反射させる部材であって、本実施形態においては、シートＰへの光の入射光路とシートＰからの反射光路とを、ある程度共用するために設けられている。
【００８０】
受光部１１は、入射される光を受光して検出し、検出量に応じた信号を制御部１２へと出力する。受光部１１としては、例えばＰＳＤ(Position Sensitive Detector:位置高感度検出器)を用いることができる。ＰＳＤは、受光面上に集光されたスポット光の位置に対応して図示しない出力１と出力２との比を変化させるようになっており、移動検出装置２とシートＰとの距離に応じて出力１・出力２の値が変わることを利用して、距離を計測することができる。
【００８１】
制御部１２には、受光部１１から信号が入力される。また制御部１２は、ミラー８の移動速度を変化させる。これによって、シートＰ上の被照射位置Ｓを所望の速度で変化させるようになっている。
【００８２】
上記構成において、移動検出装置２は、シートＰの移動速度を次のように算出する。
【００８３】
まず、発光部４から光が照射され、コリメートレンズ５によってコリメートし、ビームスプリッタ９、集光レンズ６を介して、凹レンズ７にて平行ビームとしてミラー８に入射される。
【００８４】
ミラー８は、上述の図示しない移動軸に沿って、矢印Ｄ方向に移動可能となっている。この矢印Ｄは、シートＰの移動方向を示す矢印Ｖと平行になっている。ミラー８の移動の詳細については、後で説明する。
【００８５】
また、ミラー８は、図示しない移動軸に対して４５度の角度で傾いており、発光部４から出射された光を、シートＰに垂直に入射させるようになっている。
【００８６】
なお、シートＰ上の被照射位置Ｓの大きさは、例えばシートＰ上において直径５０μｍ以下となっている。
【００８７】
一方、ミラー８を介して光が照射されたシートＰは、シートＰの凹凸に応じて、照射された光の一部を反射する。この反射光は、再びミラー８に入射され、凹レンズ７、集光レンズ６を介してビームスプリッタ９によって反射されて、受光レンズ１０を介して受光部１１へと入射される。
【００８８】
受光部１１は、受光量に応じた信号を制御部１２へと出力する。
【００８９】
このようにして得られた出力信号の一例を図３に示す。図３に示す出力信号の振幅（検出レベル）は、シートＰの表面の凹凸の状態に応じて得られるものである。すなわち、シートＰの移動速度Ｖとミラー８を矢印Ｄ方向に移動させる速度とが異なる場合には、シートＰ上において被照射位置Ｓが移動して、シートＰの凹凸に応じて反射光の出力が変動する。
【００９０】
一方、制御部１２においては、以下のようにミラー８の移動速度を変化させて、受光部１１から入力される出力信号の変化を計測する。
【００９１】
すなわち、例えば図４（ａ）に示すように、時間間隔ΔＴごとに、ミラー８の移動速度をΔＶだけ順次増加させる。ここで、図４（ａ）には示していないが、本実施形態においては、例えばミラー８の移動速度を０から１０ΔＶまでの所定の範囲で変化させるようになっている。
【００９２】
なお、このミラー８の移動速度は、図１に示す矢印Ｖ方向への速度である。また、図示しない移動軸にわたってミラー８の移動が終わり、矢印Ｖ方向にもはや移動できなくなった場合には、ミラー８は、矢印Ｖとは反対の方向に所定の速度で移動され、その後に制御部１２の制御によって再び矢印Ｖ方向へと移動する。この矢印Ｖとは反対の方向への移動は、図４においては簡単のため省略した。
【００９３】
そして、図４（ａ）のようにミラー８の移動速度を変化させた場合の、受光部１１から入力される出力信号の振幅（検出レベル）を図４（ｂ）に示す。
【００９４】
図４（ｂ）に示すように、時間範囲４ΔＴないし５ΔＴにおいては、出力信号の検出レベルは一定となっている。
【００９５】
ここで、検出レベルが一定になるとは、例えば、所定の時間間隔において検出レベルの変動範囲が所定の変化範囲内であることを意味する。この時間間隔および変化範囲は、測定しようとするシートＰの移動速度における所望の検出精度に応じて決めることができる。
【００９６】
したがって、制御部１２は、この場合のシートＰの移動速度は、時間範囲４ΔＴないし５ΔＴにおけるミラー８の移動速度５ΔＶに相当すると判定する。
【００９７】
すなわち、以上のように、シートＰの移動速度Ｖとミラー８を矢印Ｄ方向に移動させる速度とが一致する場合には、シートＰ上において被照射位置Ｓは一定の位置となり、シートＰの同一場所からの反射光が受光部１１にて検出される。このため、制御部１２への出力信号の検出レベルは一定となる。
【００９８】
したがって、上述のようにミラー８の移動速度を変化させて、被照射位置Ｓを所望の速度で変化させれば、シートＰの移動速度Ｖとミラー８を矢印Ｄ方向に移動させる速度とが一致した場合に、受光部１１からの出力信号の検出レベルが一定になる。よって、この信号状態を検出して、シートＰの移動速度を測定できる。
【００９９】
以上のように、本実施形態に係る移動検出装置２は、制御部１２がミラー８を移動させて、シートＰの被照射位置Ｓを所望の速度で変化させる一方、制御部１２が受光部１１からの出力信号の検出レベルは一定となるかを判定する構成である。また、一定となった場合に、ミラー８の移動速度をシートＰの移動速度と判定する構成である。したがって、発光部４と受光部１１とを一つずつしか備えない構成であっても、シートＰの移動速度を検出できる。
【０１００】
言い換えると、移動検出装置２は、発光部４の発光素子より発せられた光をコリメートレンズ５によりコリメートし、集光レンズ６で集光し、凹レンズ７で平行ビームにした後に、所定の方向に移動するシートＰに対してミラー８によって光軸を傾斜させて照射し、シートＰ上の被照射位置Ｓに所定のスポット径を有する光スポットを形成する。
【０１０１】
この光スポットはミラー８の移動およびシートＰの移動によって、シートＰ上をスキャンする。そして、スキャン中の各位置から反射した光は、ミラー８によって光軸を元に戻した後、凹レンズ７・集光レンズ６を通過し、ビームスプリッタ９で光軸が所定の角度だけ変化され、受光レンズ１０によって集光されて受光部１１に入射される。
【０１０２】
このときシートＰの移動速度と光スポットのスキャンスピードとが異なるとシートＰ上で光スポットが移動するので、受光部１１においてはシートＰの表面状態に関係した振幅のある信号が得られる。
【０１０３】
一方、シートＰの移動速度と光スポットのスキャンスピードとが一致すると、シートＰの同一場所からの反射光が受光部１１に入射されるので、受光部１１において得られる出力は一定となる。したがって、移動検出装置２によれば、この一定となる信号状態を検出して、シートＰの移動速度を測定できる。
【０１０４】
また、本実施形態の搬送装置１は、移動検出装置２を備えており、移動検出装置２によって検出されたシートＰの移動速度に応じて、シートＰの搬送速度を変化させる構成なので、例えばシートＰの移動速度を一定に保つことができる。
【０１０５】
なお、上述の実施の形態においては、発光部４に半導体レーザからなる発光素子が備えられる構成について説明したが、本発明はこれに限るものではなく、その他の発光源を用いる構成であってもよい。ただし、半導体レーザの発光素子であれば、レンズで効率よく集光でき、また十分な強度を得ることができるので、受光部１１において信号検出に必要な光量をシートＰからの反射光から得ることができる。
【０１０６】
また、被照射位置の大きさとして、シートＰにおいて５０μｍ以下である構成について説明したが、本発明は５０μｍ以下の構成に限るものではない。しかしながら、被照射位置の大きさが大きくなり過ぎると、シートＰの表面状態、すなわちシートＰの表面の凸凹を平均化した信号を得ることになるので、信号のＳ／Ｎ（signal-to-noise ratio:信号対雑音比）が悪くなり、移動速度の検出が困難となる。このため、上述の実施の形態のように、５０μｍ以下であれば好ましい。
【０１０７】
また、上記構成に加えて、図５に示すように、例えばシートＰとミラー８との間に凹レンズ１３および凸レンズ１４を備え、この凹レンズ１３および凸レンズ１４がミラー８とともに矢印Ｄ方向へ移動される構成であってもよい。
【０１０８】
この構成によれば、シートＰから反射される光を、凸レンズ１４、凹レンズ１３を介して受光部１１へと導くので、Ｓ／Ｎの良い信号を得ることができる。
【０１０９】
また、上記実施形態においては、ミラー８が図示しない移動軸に対して４５度の角度で傾いている構成について説明したが、本発明はこの構成に限るものではない。すなわち、例えば図６に示すように、ミラー（照射手段）８ａが図示しない移動軸および移動軸に平行な移動方向を示す矢印Ｄに対して４５度でない角度で傾いている場合であってもよい。しかしながら、上記実施形態のように、ミラー８の傾きが４５度である場合には、受光部１１にて受光できる光強度が最も強くなるので好ましい。
【０１１０】
また、ミラー８の移動速度をどのように変化させていくかという手順については、どのようなものであってもよく、例えば上述した図４（ａ）に示す構成に限るものではない。例えば、受光部１１にて得られる光信号強度に応じて、ミラー８の移動速度を制御する構成であってもよい。
【０１１１】
また、本発明に係る搬送装置は、図２に示す構成に限るものではない。例えば、図２の搬送装置１の構成に加えて処理装置（処理手段）１５を備えた、図７に示す搬送装置１ａのような構成であってもよい。なお、図７においては、ローラ制御部３については示していない。
【０１１２】
すなわち、本発明に係る搬送装置は、シートＰに所定のタイミングで処理を行う処理手段としての処理装置１５を備え、搬送手段としてのローラ制御部３とローラＲ１・Ｒ２とが、検出されたシートＰの移動速度および上記所定のタイミングに応じてシートＰの搬送速度を変化させる構成であってもよい。
【０１１３】
すなわち、上記搬送装置１ａは、例えば画像形成装置としてのプリンタに備えられ、印刷するためのシートＰを搬送するとともに、処理装置１５においてシートＰに印刷を行うものであってもよい。
【０１１４】
上記構成によれば、処理のタイミングに応じてシートＰの搬送速度を変化させるので、シートＰに対する処理をシートＰの所望の位置に対して行うことができる。
【０１１５】
〔実施の形態２〕
本発明の他の実施の形態について図８ないし図１０に基づいて説明すると以下の通りである。
【０１１６】
なお、以下では、上述の実施の形態１と同様の部材については同じ符号によって参照し、説明は省略する。
【０１１７】
本実施の形態の搬送装置は、図２に示す移動検出装置２の代わりに以下に説明する移動検出装置２ａを備えている構成である。
【０１１８】
本実施の形態の移動検出装置２ａは、図８に示すように、所定の回転軸を中心として回転するミラー（照射手段）８ｂと、ミラー８ｂの回転の制御などを行う制御部（照射制御手段、速度判定手段）１２ａとを備えた構成である。
【０１１９】
ミラー８ｂは、発光部４から出射され、コリメートレンズ５、ビームスプリッタ９、集光レンズ６、凹レンズ７を順次介してミラー８ｂへと入射される光を反射して、シートＰに入射させるためのものである。この際、ミラー８ｂは、所定の回転軸を中心に、図に示す矢印Ｒのように時計周りまたは半時計回りに回転して、シートＰ上の被照射位置Ｓを所望の速度で移動させるようになっている。
【０１２０】
また、ミラー８ｂは、凹レンズ７を介して入射される光の光軸から４５度傾いた角度を中心として、時計周りまたは半時計回りに所定の角度にわたって回転移動する。これによって、例えばその中心となる位置において、シートＰに対して垂直に光を照射するので、シートＰからの反射光の強度を減少させず、Ｓ／Ｎの良い信号を得ることができる。
【０１２１】
制御部１２ａには、受光部１１において受光した光量に応じた信号が受光部１１から入力される。また制御部１２ａは、ミラー８ｂの回転速度を変化させる。これによって、シートＰ上の被照射位置Ｓを所望の速度で変化させるようになっている。
【０１２２】
すなわち、例えばミラー８ｂの回転速度を適切に定めて、被照射位置Ｓが図４（ａ）にて示す所望の速度で移動するようにできる。ここで、被照射位置Ｓの移動速度は、例えば、ミラー８ｂとシートＰとの距離と、ミラー８ｂの回転速度とに応じて求めることができる。この制御および検出については、上述の実施の形態と同様であるので説明を省略する。また、本実施形態においては、制御部１２ａによって、ミラー８ｂの回転速度が所定の範囲内において変化させられる。これによって、上述の実施の形態と同様に、例えば図４（ｂ）に示すような出力信号の振幅（検出レベル）を得ることができる。
【０１２３】
したがって、制御部１２ａは、この場合のシートＰの移動速度は、時間範囲４ΔＴないし５ΔＴにおけるミラー８ｂによる被照射位置Ｓの移動速度５ΔＶに相当すると判定する。
【０１２４】
したがって、上述のようにミラー８ｂの回転速度を変化させて、シートＰ上の被照射位置Ｓを所望の速度で変化させれば、シートＰの移動速度Ｖとミラー８ｂによる被照射位置Ｓの移動速度とが一致した場合に、受光部１１からの出力信号の検出レベルが一定になる。よって、この信号状態を検出して、シートＰの移動速度を測定できる。
【０１２５】
以上のように、本実施形態に係る移動検出装置２ａは、制御部１２ａがミラー８ｂを回転移動させて、シートＰの被照射位置Ｓを所望の速度で変化させる一方、制御部１２ａが受光部１１からの出力信号の検出レベルは一定となるかを判定する構成である。また、一定となった場合に、ミラー８ｂの回転による被照射位置Ｓの移動速度をシートＰの移動速度と判定する構成である。したがって、発光部４と受光部１１とを一つずつしか備えない構成であっても、シートＰの移動速度を検出できる。
【０１２６】
この構成によれば、ミラー８ｂを回転させることによるシートＰ上の被照射位置Ｓの移動速度を、上述の実施の形態におけるミラー８を移動させることによるシートＰ上の被照射位置Ｓの移動速度よりも高速にできる。また、ミラー８ｂを回転させることによるシートＰ上の被照射位置Ｓの移動速度の切換えについても、上述の実施の形態よりも高速にできる。したがって、例えばシートＰ上の被照射位置Ｓの移動速度の切換えを高速に行って、シートＰの移動速度をより早く測定することができる。
【０１２７】
また、上述のしたミラー８の移動の場合には、ミラー８が移動軸方向にもはや移動できなくなると、逆の方向へ移動させる必要があるが、本実施形態のミラー８ｂの場合にはその必要はない。図８に示す構成において、ミラー８ｂは、矢印Ｒで示す方向のうち例えば反時計周りのみに回転する構成であってもよい。この場合には、ミラー８ｂにおいて上述の光軸から４５度傾いた位置が中心となるように、例えば所望のタイミングで発光部４から光を照射させ、残りのタイミングでは照射しないようにすれば、逆の方向への移動（時計周りの回転）を不要にしつつ、同様の効果が得られる。また、ミラー８ｂの形状は図８に示す形状に限るものではなく、例えば多角形のポリゴンミラーを用いる構成であってもよい。
【０１２８】
また、上記構成に加えて、図９に示すように、シリンドリカルレンズ１６を含み、ミラー８ｂからの光がシリンドリカルレンズ１６を介してシートＰに照射される構成であってもよい。この構成によれば、ミラー８ｂからの光を適切な円柱状の屈折面を有するシリンドリカルレンズ１６によって屈折させて、シートＰに垂直に入射させることができる。したがって、反射光の強度を強めて、測定の精度を向上できる。
【０１２９】
ここで、図８に示す構成において、ミラー８ｂが回転してシートＰ上の被照射位置Ｓを移動させる場合には、シートＰへの入射角が被照射位置Ｓに応じて変化してしまうことになる。このため、シートＰの移動速度と、被照射位置Ｓの移動速度とが等しい場合であっても、反射光の光量が変化して、受光部１１からの出力信号の検出レベルが一定とならない虞れもある。
【０１３０】
そこで、図９に示すように、シリンドリカルレンズ１６を用いて、シートＰへの入射角度を９０度とすれば、シートＰの移動速度と、被照射位置Ｓの移動速度とが等しい場合に、受光部１１からの出力信号の検出レベルを確実に一定にでき、シートＰの移動速度を精度よく検出できる。
【０１３１】
また、上記構成において、Ｓ／Ｎの良い信号を得るため、以下で説明する図１０に示す構成によって、シートＰからの反射光を受光する構成であってもよい。
【０１３２】
すなわち、図１０（ａ）（ｂ）に示すように、シートＰからの反射光を受光する受光レンズ１０ａおよび受光部１１ａを、発光部４およびその他のレンズなどが配置される平面とは異なる位置に配置する構成であってもよい。
【０１３３】
この場合、ミラー８ｂは、シートＰに光を照射する光路と、シートＰにおいて反射された反射光の光路とを異ならせるとともに、シートＰに光を照射する光路と反射光の光路とを含む平面の法線を、シートＰの移動方向に平行にするように、シートＰに光を照射する。
【０１３４】
すなわち、受光レンズ１０ａおよび受光部１１ａは、ミラー８ｂからシートＰへの垂線と受光レンズ１０ａの光軸とが平面をなし、この平面の法線がシートＰの移動方向Ｖと平行になるように配置されている。
【０１３５】
また、発光部４およびその他のレンズなどが配置される平面と、ミラー８ｂからシートＰへ入射する光線と受光レンズ１０ａの光軸とからなる平面とが、互いに直交する配置となっている。このため、この構成においては、ビームスプリッタ９は不要である。
【０１３６】
上記構成によれば、受光レンズ１０ａおよび受光部１１ａを、発光部４およびその他のレンズなどが配置される平面とは異なる位置に配置する構成のうち、最も効率よくシートＰからの反射光を受光できる。
【０１３７】
また、ビームスプリッタ９を不要としているので、ビームスプリッタにおける光量ロスをなくせる。したがって、精度よく検出を行うことができる。
【０１３８】
また、本発明は、上述の実施の形態の構成に限るものではなく、例えばミラー８ｂは、発光部４からの光の光軸から４５度傾斜した位置において、シートＰに対して垂直に光を照射する構成であってもよい。
【０１３９】
この構成によれば、シートＰの位置によらず光の入射角を９０度として一定の反射光量を得て、シートＰの移動速度を精度よく求めることができる。
【０１４０】
本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても、本発明の技術的範囲に含まれる。
【０１４１】
上述の具体的な実施形態または実施例は、あくまでも、本発明の技術内容を明らかにするものであって、本発明はそのような具体例にのみ限定して狭義に解釈されるべきものではなく、特許請求の範囲に示した範囲で種々の変更が可能であり、変更した形態も本発明の技術的範囲に含まれる。
【０１４２】
【発明の効果】
本発明に係る移動検出装置は、以上のように、照射手段を制御して、被照射位置を所望の速度で変化させる照射制御手段と、反射光の検出レベルが一定となったときに、上記所望の速度を被測定物の移動速度であると判定する速度判定手段とを備えている構成である。
【０１４３】
それゆえ、一組の照射手段と、検出するための照射制御手段、速度判定手段とによって、被測定物の移動速度を判定することができるので、部品点数が少なく、形状的にも小型で製造コストが低い移動検出装置を実現できるという効果を奏する。
【０１４４】
本発明に係る移動検出装置は、以上のように、上記構成において、上記照射手段は発光部とミラーとを含み、上記発光部からの光を上記ミラーを介して上記被測定物に照射する一方、上記照射制御手段は、上記ミラーを所定の方向へ移動させることによって、上記被照射位置を変化させる構成である。
【０１４５】
それゆえ、ミラーを所定の方向へ移動させることによって被照射位置を変化させるので、簡単な構成で本発明に係る移動検出装置を実現できるという効果を奏する。
【０１４６】
本発明に係る移動検出装置は、以上のように、上記構成において、上記照射制御手段は、上記ミラーを所定の方向へ移動させる速度を所定の範囲内において変化させる構成である。
【０１４７】
それゆえ、その所定の範囲内における被測定物の移動速度を判定できるという効果を奏する。
【０１４８】
本発明に係る移動検出装置は、以上のように、上記構成において、上記ミラーは、上記所定の方向から４５度傾斜している構成である。
【０１４９】
それゆえ、発光部から出射される光の強度を弱めずに被測定物に垂直に入射でき、被測定物からの正反射の反射光として比較的強い強度の光を得て、比較的Ｓ／Ｎ(signal-to-noise ratio:信号対雑音比)の良い信号を得ることができるという効果を奏する。
【０１５０】
本発明に係る移動検出装置は、以上のように、上記構成において、上記照射手段は、凸レンズおよび凹レンズを含み、上記照射制御手段は、上記ミラーとともに、上記凸レンズおよび凹レンズを上記所定の方向へ移動させる構成である。
【０１５１】
それゆえ、被測定物への入射光または被測定物からの反射光、またはその双方を、上述のレンズを用いて集光して精度を高めて、Ｓ／Ｎの良い信号を得ることができるという効果を奏する。
【０１５２】
本発明に係る移動検出装置は、以上のように、上記構成において、上記照射手段は発光部とミラーとを含み、上記発光部からの光を上記ミラーを介して上記被測定物に照射する一方、上記照射制御手段は、上記ミラーを所定の回転軸を中心として回転させることによって、上記被照射位置を変化させる構成である。
【０１５３】
それゆえ、ミラーを回転させることによって被照射位置を変化させるので、さらに簡単な構成で本発明に係る移動検出装置を実現できるという効果を奏する。
【０１５４】
本発明に係る移動検出装置は、以上のように、上記構成において、上記照射制御手段は、上記ミラーを回転させる速度を所定の範囲内において変化させる構成である。
【０１５５】
それゆえ、その所定の範囲内における被測定物の移動速度を判定できるという効果を奏する。
【０１５６】
本発明に係る移動検出装置は、以上のように、上記構成において、上記照射手段は、シリンドリカルレンズを含んでいる構成である。
【０１５７】
それゆえ、例えばミラーから被測定物に対して光を垂直に入射させて、十分な反射光量を得て、被測定物の移動速度を精度よく求めることができるという効果を奏する。
【０１５８】
本発明に係る移動検出装置は、以上のように、上記構成において、上記ミラーは、上記発光部からの光の光軸から４５度傾斜した位置を中心として回転して、上記被測定物に光を照射する構成である。
【０１５９】
それゆえ、例えばその中心となる位置においては、被測定物に対して垂直に光を照射して、発光部からの光の強度を無駄に減らすことなく、被測定物に光を照射できるので、被測定物からの反射光の強度を減少させず、Ｓ／Ｎの良い信号を得ることができるという効果を奏する。
【０１６０】
本発明に係る移動検出装置は、以上のように、上記構成において、上記ミラーは、上記被測定物に照射する光の光路と上記被照射位置にて反射された上記反射光の光路とを異ならせるとともに、上記照射する光の光路と上記反射光の光路とを含む平面の法線を上記被測定物の移動方向に平行にさせるように上記被測定物に光を照射する構成である。
【０１６１】
それゆえ、例えば照射する光路と反射光の光路とを共用する場合に用いるビームスプリッタを不要にでき、反射光の強度を減少させずに、効率よく反射光を検出できるという効果を奏する。
【０１６２】
本発明に係る移動検出装置は、以上のように、上記構成において、上記被測定物における上記被照射位置の大きさは、直径５０μｍ以下である構成である。
【０１６３】
それゆえ、被測定物の表面の凸凹状態をうまく検知し、Ｓ／Ｎの良い信号を得ることができるという効果を奏する。
【０１６４】
本発明に係る移動検出装置は、以上のように、上記構成において、上記照射手段の発光部は半導体レーザを含む構成である。
【０１６５】
それゆえ、照射する光の強度を強めることにより反射光の強度を強めて、被測定物からの反射光であっても、凹凸を検出するために十分な強度を得ることができるという効果を奏する。
【０１６６】
本発明に係る搬送装置は、以上のように、上述のいずれかの移動検出装置と、被測定物を搬送する搬送手段とを備え、上記搬送手段は、判定された上記被測定物の移動速度に応じて、上記被測定物を搬送する速度を変化させる構成である。
【０１６７】
それゆえ、判定された被測定物の移動速度に応じて、被測定物を搬送する速度を所望の速度に変化させてフィードバックすることによって、例えば被測定物を搬送する速度を一定に保つことができるという効果を奏する。
【０１６８】
本発明に係る搬送装置は、以上のように、上述のいずれかの移動検出装置と、被測定物を搬送する搬送手段と、上記被測定物に所定のタイミングで処理を行う処理手段とを備え、上記搬送手段は、判定された上記被測定物の移動速度または上記所定のタイミングに応じて、上記被測定物を搬送する速度を変化させる構成である。
【０１６９】
それゆえ、判定された被測定物の移動速度に応じて、被測定物を搬送する速度を所望の速度に変化させてフィードバックすることによって、例えば被測定物を搬送する速度を一定に保つことができるという効果を奏する。
【０１７０】
また、所定のタイミングに応じて被測定物を搬送する速度を所望の速度に変化させて、例えば被測定物に対する処理が被測定物の所望の位置に対して行われるようにできるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の移動検出装置の一実施の形態を示す概略の断面図である。
【図２】上記移動検出装置を備えた本発明の搬送装置の一実施の形態を示す概略の断面図である。
【図３】上記移動検出装置の出力波形の一例を示すグラフである。
【図４】（ａ）は上記移動検出装置において被照射位置の移動速度を調整した一例を示すグラフであり、（ｂ）は（ａ）に示す動作を行った際の上記移動検出装置の出力波形の一例を示すグラフである。
【図５】上記移動検出装置の一変形例を示す概略の断面図である。
【図６】上記移動検出装置の他の変形例を示す概略の断面図である。
【図７】上記搬送装置の一変形例を示す概略の断面図である。
【図８】本発明の移動検出装置の他の実施の形態を示す概略の断面図である。
【図９】上記移動検出装置の変形例を示す概略の断面図である。
【図１０】（ａ）は上記移動検出装置の他の変形例を示す概略の断面図であり、（ｂ）は（ａ）に示す移動検出装置を側面から見た概略の断面図である。
【図１１】従来の光学式移動検出装置の一例を示す概略の断面図である。
【図１２】上記移動検出装置の測距センサの概略構成を示す断面図である。
【図１３】（ａ）は上記移動検出装置の一方の測距センサから得られる出力波形を示すグラフであり、（ｂ）は上記移動検出装置の他方の測距センサから得られる出力波形を示すグラフである。
【符号の説明】
１、１ａ 搬送装置
２、２ａ 移動検出装置
３ ローラ制御部（搬送手段）
４ 発光部（照射手段）
８、８ａ、８ｂ ミラー（照射手段）
１１ 受光部（速度判定手段）
１２ 制御部（照射制御手段、速度判定手段）
１３ 凹レンズ
１４ 凸レンズ
１５ 処理装置（処理手段）
１６ シリンドリカルレンズ
Ｐ シート（被測定物）
Ｒ１、Ｒ２ ローラ（搬送手段）
Ｓ 被照射位置
Ｖ 移動速度

Claims (12)

1. 被測定物に光を照射する照射手段を備え、上記被測定物の被照射位置にて反射された反射光を検出して上記被測定物の移動を検出する移動検出装置において、
   上記照射手段を制御して、上記被照射位置を所望の速度で変化させる照射制御手段と、
   上記反射光の検出レベルが一定となったときに、上記所望の速度を上記被測定物の移動速度であると判定する速度判定手段とを備え、
   上記照射手段は、上記被測定物の移動方向に平行な方向に沿って上記光を照射する発光部と、
   上記発光部から照射された光の光軸方向に移動可能に設けられ、上記光を反射して上記被測定物に入射させるミラーとを有し、
   上記照射制御手段は、上記光軸方向に上記ミラーを移動させ、上記ミラーの移動速度を変化させて上記被照射位置を所望の速度で変化させることを特徴とする移動検出装置。
2. 上記照射制御手段は、上記ミラーを所定の方向へ移動させる速度を所定の範囲内において変化させることを特徴とする請求項１に記載の移動検出装置。
3. 上記ミラーは、上記所定の方向から４５度傾斜していることを特徴とする請求項１または２に記載の移動検出装置。
4. 上記照射手段は、凸レンズおよび凹レンズを含み、
   上記照射制御手段は、上記ミラーとともに、上記凸レンズおよび凹レンズを上記所定の方向へ移動させることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の移動検出装置。
5. 被測定物に光を照射する照射手段を備え、上記被測定物の被照射位置にて反射された反射光を検出して上記被測定物の移動を検出する移動検出装置において、
   上記照射手段を制御して、上記被照射位置を所望の速度で変化させる照射制御手段と、
   上記反射光の検出レベルが一定となったときに、上記所望の速度を上記被測定物の移動速度であると判定する速度判定手段とを備え、
   上記照射手段は、上記被測定物の移動方向に平行な方向に沿って上記光を照射する発光部と、
   上記発光部から照射された光の光軸方向に直交する回転軸を中心として回転可能に設けられ、上記光を反射して上記被測定物に入射させるミラーと、
   上記ミラーと上記被測定物との間に設けられたシリンドリカルレンズとを有し、
   上記照射制御手段は、上記回転軸を中心として上記ミラーを回転させ、上記ミラーの回転速度を変化させて上記被照射位置を所望の速度で変化させることを特徴とする移動検出装置。
6. 上記照射制御手段は、上記ミラーを回転させる速度を所定の範囲内において変化させることを特徴とする請求項５に記載の移動検出装置。
7. 上記ミラーは、上記発光部からの光の光軸から４５度傾斜した位置を中心として回転して、上記被測定物に光を照射することを特徴とする請求項５または６に記載の移動検出装置。
8. 上記ミラーは、上記被測定物に照射する光の光路と上記被照射位置にて反射された上記反射光の光路とを異ならせるとともに、上記照射する光の光路と上記反射光の光路とを含む平面の法線を上記被測定物の移動方向に平行にさせるように上記被測定物に光を照射することを特徴とする請求項５ないし７のいずれか１項に記載の移動検出装置。
9. 上記被測定物における上記被照射位置の大きさは、直径５０μｍ以下であることを特徴とする請求項１ないし８のいずれか１項に記載の移動検出装置。
10. 上記照射手段の発光部は半導体レーザを含むことを特徴とする請求項１ないし９のいずれか１項に記載の移動検出装置。
11. 請求項１ないし１０のいずれか１項に記載の移動検出装置と、上記被測定物を搬送する搬送手段とを備え、
    上記搬送手段は、判定された上記被測定物の移動速度に応じて、上記被測定物を搬送する速度を変化させることを特徴とする搬送装置。
12. 請求項１ないし１０のいずれか１項に記載の移動検出装置と、上記被測定物を搬送する搬送手段と、上記被測定物に所定のタイミングで処理を行う処理手段とを備え、
    上記搬送手段は、判定された上記被測定物の移動速度または上記所定のタイミングに応じて、上記被測定物を搬送する速度を変化させることを特徴とする搬送装置。

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