JP2002005617A - 光学式測定装置 - Google Patents
光学式測定装置Info
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- JP2002005617A JP2002005617A JP2000185578A JP2000185578A JP2002005617A JP 2002005617 A JP2002005617 A JP 2002005617A JP 2000185578 A JP2000185578 A JP 2000185578A JP 2000185578 A JP2000185578 A JP 2000185578A JP 2002005617 A JP2002005617 A JP 2002005617A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 コリメータレンズに入射する平行光束の入射
角度と共にその入射位置も測定可能な光学式測定装置を
提案すること。 【解決手段】 光学式測定装置１は、レーザダイオード
２からの射出レーザ光をコリメータレンズ５を介して平
行光束Ｌとした後にビームスプリッタ６を介して検査対
象面７に向けて射出する。検査対象面７で反射された戻
りレーザ平行光束Ｌｒはコリメータレンズ５を介して受
光素子８の受光面に結像し、この結像点位置に基づき戻
りレーザ平行光束Ｌｒの入射角度を測定可能である。ま
た、射出レーザ平行光束Ｌの重心位置（基準位置）Ｐが
半導体位置検出素子９により検出され、戻りレーザ平行
光束Ｌｒの重心位置Ｐｒが半導体位置検出素子１０で検
出されるので、これらの位置に基づき、戻りレーザ平行
光束Ｌｒの入射位置ずれも測定可能である。
角度と共にその入射位置も測定可能な光学式測定装置を
提案すること。 【解決手段】 光学式測定装置１は、レーザダイオード
２からの射出レーザ光をコリメータレンズ５を介して平
行光束Ｌとした後にビームスプリッタ６を介して検査対
象面７に向けて射出する。検査対象面７で反射された戻
りレーザ平行光束Ｌｒはコリメータレンズ５を介して受
光素子８の受光面に結像し、この結像点位置に基づき戻
りレーザ平行光束Ｌｒの入射角度を測定可能である。ま
た、射出レーザ平行光束Ｌの重心位置（基準位置）Ｐが
半導体位置検出素子９により検出され、戻りレーザ平行
光束Ｌｒの重心位置Ｐｒが半導体位置検出素子１０で検
出されるので、これらの位置に基づき、戻りレーザ平行
光束Ｌｒの入射位置ずれも測定可能である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、検査対象面で反射
した平行光束をコリメータレンズを介して結像させ、そ
の結像点位置に基づき検査対象面の傾き等を検出する光
学式検出装置に関するものである。さらに詳しくは、コ
リメータレンズに対する平行光束の入射位置に基づき検
査対象面の位置ずれ等も検出可能な光学式測定装置に関
するものである。
した平行光束をコリメータレンズを介して結像させ、そ
の結像点位置に基づき検査対象面の傾き等を検出する光
学式検出装置に関するものである。さらに詳しくは、コ
リメータレンズに対する平行光束の入射位置に基づき検
査対象面の位置ずれ等も検出可能な光学式測定装置に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】検査対象面の平行度や傾きを測定するた
めの装置としてオートコリメータが用いられている。オ
ートコリメータは、例えば、図５に示すように、レーザ
光源等の光源１０１を備え、ここからの射出光を、集光
レンズ１０２およびピンホール１０３を介してビームス
プリッタ１０４に導き、このビームスプリッタ１０４に
よってコリメータレンズ１０５に導いて所定の径の平行
光束として、検査対象面である反射面１０６を照射する
ようになっている。反射面１０６で反射された平行光束
は、再度コリメータレンズ１０５に入射した後は、ビー
ムスプリッタ１０４によって焦点板あるいは受光素子の
受光面１０７に結像するようになっている。
めの装置としてオートコリメータが用いられている。オ
ートコリメータは、例えば、図５に示すように、レーザ
光源等の光源１０１を備え、ここからの射出光を、集光
レンズ１０２およびピンホール１０３を介してビームス
プリッタ１０４に導き、このビームスプリッタ１０４に
よってコリメータレンズ１０５に導いて所定の径の平行
光束として、検査対象面である反射面１０６を照射する
ようになっている。反射面１０６で反射された平行光束
は、再度コリメータレンズ１０５に入射した後は、ビー
ムスプリッタ１０４によって焦点板あるいは受光素子の
受光面１０７に結像するようになっている。
【０００３】受光面１０７での結像点位置は、反射面１
０６で反射した平行光束のコリメータレンズ１０５に対
する入射角に応じて、光軸１００ａに垂直な方向にずれ
る。すなわち、コリメータレンズ１０５に戻る平行光束
が光軸１００ａに平行な場合には図５（ｂ）に示すよう
に、結像点位置は中心Ａに位置するが、光軸１００ａに
対して傾斜している場合には、結像点位置は例えば点Ｂ
のように中心Ａからずれる。従って、このずれに基づ
き、コリメータレンズ１０５に戻る平行光束の入射角を
検出でき、この結果、反射面１０６の傾き等を検出でき
る。
０６で反射した平行光束のコリメータレンズ１０５に対
する入射角に応じて、光軸１００ａに垂直な方向にずれ
る。すなわち、コリメータレンズ１０５に戻る平行光束
が光軸１００ａに平行な場合には図５（ｂ）に示すよう
に、結像点位置は中心Ａに位置するが、光軸１００ａに
対して傾斜している場合には、結像点位置は例えば点Ｂ
のように中心Ａからずれる。従って、このずれに基づ
き、コリメータレンズ１０５に戻る平行光束の入射角を
検出でき、この結果、反射面１０６の傾き等を検出でき
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】オートコリメータに入
射する平行光束は、コリメータレンズの有効径内なら
ば、どの位置に入射しても、その入射角に応じた結像点
位置に結像する。例えば、図５（ａ）に示すように、異
なる位置にある反射面１０６、１０６Ａで反射された平
行光束が共に光軸１００ａに平行である場合には、それ
らの平行光束はコリメータレンズ１０６を介して受光面
１０７上における同一位置に結像する。従って、オート
コリメータは、平行光束の入射角度を検出することがで
きるが、平行光束の入射位置を検出することができな
い。
射する平行光束は、コリメータレンズの有効径内なら
ば、どの位置に入射しても、その入射角に応じた結像点
位置に結像する。例えば、図５（ａ）に示すように、異
なる位置にある反射面１０６、１０６Ａで反射された平
行光束が共に光軸１００ａに平行である場合には、それ
らの平行光束はコリメータレンズ１０６を介して受光面
１０７上における同一位置に結像する。従って、オート
コリメータは、平行光束の入射角度を検出することがで
きるが、平行光束の入射位置を検出することができな
い。
【０００５】本発明の課題は、この点に鑑みて、コリメ
ータレンズに入射する平行光束の入射角度および入射位
置の双方を検出可能な光学式測定装置を提案することに
ある。
ータレンズに入射する平行光束の入射角度および入射位
置の双方を検出可能な光学式測定装置を提案することに
ある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、本発明は、コリメータレンズを介して射出された
出射平行光束を検査対象面に照射し、当該検査対象面で
反射された戻り平行光束を前記コリメータレンズを介し
て結像させ、この結像点位置に基づき、前記戻り平行光
束の前記コリメータレンズに対する入射角度を検出可能
な光学式測定装置において、前記コリメータレンズに入
射する戻り平行光束の一部を分離するビームスプリッタ
と、このビームスプリッタにより分離された戻り平行光
束を受光する戻り光受光素子とを有し、この受光素子
は、前記戻り平行光束の重心位置を検出する二次元位置
検出素子であり、検出された重心位置に基づき戻り平行
光束の前記コリメータレンズに対する入射位置を検出可
能であることを特徴としている。
めに、本発明は、コリメータレンズを介して射出された
出射平行光束を検査対象面に照射し、当該検査対象面で
反射された戻り平行光束を前記コリメータレンズを介し
て結像させ、この結像点位置に基づき、前記戻り平行光
束の前記コリメータレンズに対する入射角度を検出可能
な光学式測定装置において、前記コリメータレンズに入
射する戻り平行光束の一部を分離するビームスプリッタ
と、このビームスプリッタにより分離された戻り平行光
束を受光する戻り光受光素子とを有し、この受光素子
は、前記戻り平行光束の重心位置を検出する二次元位置
検出素子であり、検出された重心位置に基づき戻り平行
光束の前記コリメータレンズに対する入射位置を検出可
能であることを特徴としている。
【０００７】ここで、出射側平行光束の重心を検出でき
るようにすれば、当該重心位置を基準として、反射側平
行光束の位置ずれを検出できる。このために、本発明の
光学式測定装置は、上記の構成に加えて、前記コリメー
タレンズから出射する前記出射平行光束の一部を分離す
る前記ビームスプリッタと、分離された出射平行光束を
受光する出射光側受光素子とを有し、この出射光側受光
素子として、前記出射側平行光束の重心位置を検出可能
な二次元位置検出素子を採用すればよい。
るようにすれば、当該重心位置を基準として、反射側平
行光束の位置ずれを検出できる。このために、本発明の
光学式測定装置は、上記の構成に加えて、前記コリメー
タレンズから出射する前記出射平行光束の一部を分離す
る前記ビームスプリッタと、分離された出射平行光束を
受光する出射光側受光素子とを有し、この出射光側受光
素子として、前記出射側平行光束の重心位置を検出可能
な二次元位置検出素子を採用すればよい。
【０００８】次に、本発明は、直接にコリメータレンズ
に入射する平行光束の入射角度および入射位置を検出可
能な光学式測定装置に関するものであり、当該光学式測
定装置は、平行光束をコリメータレンズを介して結像さ
せ、この結像点位置に基づき、前記平行光束の前記コリ
メータレンズに対する入射角度を検出可能であると共
に、前記コリメータレンズに入射する平行光束の一部を
分離するビームスプリッタと、このビームスプリッタに
より分離された平行光束を受光する受光素子とを有し、
この受光素子が、前記平行光束の重心位置を検出する二
次元位置検出素子であり、検出された重心位置に基づき
平行光束の前記コリメータレンズに対する入射位置を検
出可能であることを特徴としている。
に入射する平行光束の入射角度および入射位置を検出可
能な光学式測定装置に関するものであり、当該光学式測
定装置は、平行光束をコリメータレンズを介して結像さ
せ、この結像点位置に基づき、前記平行光束の前記コリ
メータレンズに対する入射角度を検出可能であると共
に、前記コリメータレンズに入射する平行光束の一部を
分離するビームスプリッタと、このビームスプリッタに
より分離された平行光束を受光する受光素子とを有し、
この受光素子が、前記平行光束の重心位置を検出する二
次元位置検出素子であり、検出された重心位置に基づき
平行光束の前記コリメータレンズに対する入射位置を検
出可能であることを特徴としている。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下に、図面を参照して、本発明
を適用した光学式測定装置の実施例を説明する。
を適用した光学式測定装置の実施例を説明する。
【００１０】（第１の実施例）図１は本発明を適用した
第１の実施例に係る光学式測定装置の光学系を示す構成
図である。本例の光学式測定装置１は、レーザダイオー
ド２を備え、ここから射出されたレーザ光は集光レンズ
３を介して、プリズム合成体からなるビームスプリッタ
４に導かれる。ビームスプリッタ４は射出レーザ光の一
部を直角に反射して、当該射出レーザ光をコリメータレ
ンズ５に導く。コリメータレンズ５を介して形成された
所定の径の射出レーザ平行光束Ｌは、プリズム合成体か
らなるビームスプリッタ６を介して外部に射出される。
第１の実施例に係る光学式測定装置の光学系を示す構成
図である。本例の光学式測定装置１は、レーザダイオー
ド２を備え、ここから射出されたレーザ光は集光レンズ
３を介して、プリズム合成体からなるビームスプリッタ
４に導かれる。ビームスプリッタ４は射出レーザ光の一
部を直角に反射して、当該射出レーザ光をコリメータレ
ンズ５に導く。コリメータレンズ５を介して形成された
所定の径の射出レーザ平行光束Ｌは、プリズム合成体か
らなるビームスプリッタ６を介して外部に射出される。
【００１１】射出されたレーザ平行光束Ｌは検査対象面
７に照射され、ここで反射された戻りレーザ平行光束Ｌ
ｒは、ビームスプリッタ６を介してコリメータレンズ５
に戻り、このコリメータレンズ５を介してビームスプリ
ッタ４に入射し、その一部が当該ビームスプリッタ４を
透過してＣＣＤ等の受光素子８の受光面に結像する。図
においては、射出レーザ光を点線で示し、戻りレーザ光
を実線で示してある。
７に照射され、ここで反射された戻りレーザ平行光束Ｌ
ｒは、ビームスプリッタ６を介してコリメータレンズ５
に戻り、このコリメータレンズ５を介してビームスプリ
ッタ４に入射し、その一部が当該ビームスプリッタ４を
透過してＣＣＤ等の受光素子８の受光面に結像する。図
においては、射出レーザ光を点線で示し、戻りレーザ光
を実線で示してある。
【００１２】ここで、ビームスプリッタ６における光軸
１ａに対して４５度傾斜している分離膜６ａを挟み、両
側にそれぞれ半導体位置検出素子（ＰＳＤ）９、１０が
配置されている。これらの位置検出素子９、１０は共に
二次元半導体位置検出素子であり、その受光面に照射し
た光の重心位置を検出可能な受光素子である。本例で
は、位置検出素子９には、分離膜６ａで反射された射出
レーザ平行光束Ｌが入射し、他方の位置検出素子１０に
は、戻りレーザ平行光束Ｌｒが入射する。
１ａに対して４５度傾斜している分離膜６ａを挟み、両
側にそれぞれ半導体位置検出素子（ＰＳＤ）９、１０が
配置されている。これらの位置検出素子９、１０は共に
二次元半導体位置検出素子であり、その受光面に照射し
た光の重心位置を検出可能な受光素子である。本例で
は、位置検出素子９には、分離膜６ａで反射された射出
レーザ平行光束Ｌが入射し、他方の位置検出素子１０に
は、戻りレーザ平行光束Ｌｒが入射する。
【００１３】この構成の光学式測定装置１では、一般的
なオートコリメータと同様に、戻りレーザ平行光束Ｌｒ
のコリメータレンズ５に対する入射角に応じて、受光素
子８の受光面上での結像点位置が光軸１ａに垂直な方向
にずれる。よって、この結像点位置に基づき、入射角度
を検出できる。この結果、検査対象面７の光軸１ａに垂
直な基準面に対する傾き等を検出できる。
なオートコリメータと同様に、戻りレーザ平行光束Ｌｒ
のコリメータレンズ５に対する入射角に応じて、受光素
子８の受光面上での結像点位置が光軸１ａに垂直な方向
にずれる。よって、この結像点位置に基づき、入射角度
を検出できる。この結果、検査対象面７の光軸１ａに垂
直な基準面に対する傾き等を検出できる。
【００１４】ここで、射出レーザ平行光束Ｌの光重心位
置が位置検出素子９によって検出され、この重心位置が
基準位置とされる。また、戻りレーザ平行光束Ｌｒの重
心位置も位置検出素子１０によって検出される。図示の
例では、射出レーザ平行光束Ｌの重心位置はコリメータ
レンズ有効径Ｄの中心位置Ｐであるが、戻りレーザ平行
光束Ｌｒの重心位置Ｐｒは中心位置Ｐから一方の側に片
寄った位置となっている。従って、予め位置検出素子
９、１０の位置合わせを行なっておけば、基準点である
位置Ｐに対する戻りレーザ平行光束Ｌｒの位置ずれを検
出できる。すなわち、光軸１ａに垂直な面内において、
検査対象面７の基準位置に対する位置ずれを検出でき
る。
置が位置検出素子９によって検出され、この重心位置が
基準位置とされる。また、戻りレーザ平行光束Ｌｒの重
心位置も位置検出素子１０によって検出される。図示の
例では、射出レーザ平行光束Ｌの重心位置はコリメータ
レンズ有効径Ｄの中心位置Ｐであるが、戻りレーザ平行
光束Ｌｒの重心位置Ｐｒは中心位置Ｐから一方の側に片
寄った位置となっている。従って、予め位置検出素子
９、１０の位置合わせを行なっておけば、基準点である
位置Ｐに対する戻りレーザ平行光束Ｌｒの位置ずれを検
出できる。すなわち、光軸１ａに垂直な面内において、
検査対象面７の基準位置に対する位置ずれを検出でき
る。
【００１５】以上のように、本例の光学式測定装置１に
よれば、戻りレーザ平行光束の入射角度および入射位置
の双方を同時に測定あるいは検出できる。
よれば、戻りレーザ平行光束の入射角度および入射位置
の双方を同時に測定あるいは検出できる。
【００１６】図２には光学式測定装置１の光学系の変形
例を示してある。図１の例と異なる点は、集光レンズ３
を省略し、レーザダイオード２からの発散光を直接にビ
ームスプリッタ４を介してコリメータレンズ５に導いて
いる点である。これ以外の構成は同一である。この光学
系を用いた場合においても、図１の場合と同様な作用効
果を得ることができる。
例を示してある。図１の例と異なる点は、集光レンズ３
を省略し、レーザダイオード２からの発散光を直接にビ
ームスプリッタ４を介してコリメータレンズ５に導いて
いる点である。これ以外の構成は同一である。この光学
系を用いた場合においても、図１の場合と同様な作用効
果を得ることができる。
【００１７】次に、図３には光学式測定装置１の光学系
の更に別の例を示してある。この図に示す光学系は、図
１の光学系における位置検出素子９が省略されたもので
あり、それ以外の構成は図１の光学系と同一である。射
出レーザ平行光束Ｌの重心位置（基準位置）が予め分か
っている場合には、位置検出素子９を省略可能である。
の更に別の例を示してある。この図に示す光学系は、図
１の光学系における位置検出素子９が省略されたもので
あり、それ以外の構成は図１の光学系と同一である。射
出レーザ平行光束Ｌの重心位置（基準位置）が予め分か
っている場合には、位置検出素子９を省略可能である。
【００１８】（第２の実施例）図４には、本発明を適用
した第２の実施例に係る光学式測定装置の光学系を示し
てある。本例の光学式測定装置２１は直接入射光の入射
角および入射位置を測定するためのものであり、ＣＣＤ
等の受光素子２２と、コリメータレンズ２３と、ビーム
スプリッタ２４と、位置検出素子２５とを備えている。
外部から直接入射する平行光束Ｌ１は、ビームスプリッ
タ２４によって一部が分離されて位置検出素子２５に入
射する。位置検出素子２５は二次元半導体位置検出素子
（ＰＳＤ）であり、入射した平行光束Ｌ１の重心位置Ｐ
１を検出する。この重心位置の基準位置が予め設定され
ていれば、平行光束Ｌ１の入射位置を測定できる。例え
ば、基準位置Ｐを光軸２１ａとしておけば、平行光束Ｌ
１の光軸２１ａに対する位置ずれ量を測定できる。
した第２の実施例に係る光学式測定装置の光学系を示し
てある。本例の光学式測定装置２１は直接入射光の入射
角および入射位置を測定するためのものであり、ＣＣＤ
等の受光素子２２と、コリメータレンズ２３と、ビーム
スプリッタ２４と、位置検出素子２５とを備えている。
外部から直接入射する平行光束Ｌ１は、ビームスプリッ
タ２４によって一部が分離されて位置検出素子２５に入
射する。位置検出素子２５は二次元半導体位置検出素子
（ＰＳＤ）であり、入射した平行光束Ｌ１の重心位置Ｐ
１を検出する。この重心位置の基準位置が予め設定され
ていれば、平行光束Ｌ１の入射位置を測定できる。例え
ば、基準位置Ｐを光軸２１ａとしておけば、平行光束Ｌ
１の光軸２１ａに対する位置ずれ量を測定できる。
【００１９】ビームスプリッタ２４を透過した平行光束
Ｌ１はコリメータレンズ２３によって受光素子２１の受
光面上に結像する。この結像点位置に基づき、平行光束
Ｌ１の入射角度を測定できる。
Ｌ１はコリメータレンズ２３によって受光素子２１の受
光面上に結像する。この結像点位置に基づき、平行光束
Ｌ１の入射角度を測定できる。
【００２０】なお、上述した各実施例の光学式測定装置
は、光ピックアップ装置における対物レンズの位置決め
調整用の測定器等として利用できる。また、精密な位置
合わせが必要な干渉計等にも応用することが可能であ
る。
は、光ピックアップ装置における対物レンズの位置決め
調整用の測定器等として利用できる。また、精密な位置
合わせが必要な干渉計等にも応用することが可能であ
る。
【００２１】一方、上記の各実施例では、プリズム合成
体からなるビームスプリッタ６、２４を用いているが、
この代わりに、透明プレートの表面に分離膜が形成され
た構成のプレートビームスプリッタを光軸に対して４５
度傾斜配置した構成とすることも可能である。
体からなるビームスプリッタ６、２４を用いているが、
この代わりに、透明プレートの表面に分離膜が形成され
た構成のプレートビームスプリッタを光軸に対して４５
度傾斜配置した構成とすることも可能である。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の光学式測
定装置は、コリメータレンズに入射する平行光束の重心
位置を半導体位置検出素子を用いて検出するようにして
いる。従って、平行光束のコリメータレンズに対する入
射角度の測定は勿論のこと、その入射位置も測定可能で
ある。
定装置は、コリメータレンズに入射する平行光束の重心
位置を半導体位置検出素子を用いて検出するようにして
いる。従って、平行光束のコリメータレンズに対する入
射角度の測定は勿論のこと、その入射位置も測定可能で
ある。
【００２３】また、本発明の光学式測定装置は、平行光
束を射出すると共に、射出される平行光束の重心も半導
体位置検出素子で検出する構成を採用している。よっ
て、この重心位置を基準としてコリメータレンズに戻る
平行光束の位置ずれを測定できる。
束を射出すると共に、射出される平行光束の重心も半導
体位置検出素子で検出する構成を採用している。よっ
て、この重心位置を基準としてコリメータレンズに戻る
平行光束の位置ずれを測定できる。
【図１】本発明を適用した第１の実施例に係る光学式測
定装置の光学系を示す構成図である。
定装置の光学系を示す構成図である。
【図２】図１の光学系の変形例を示す構成図である。
【図３】図１の光学系の更に別の変形例を示す構成図で
ある。
ある。
【図４】本発明を適用した第２の実施例に係る光学式測
定装置の光学系を示す構成図である。
定装置の光学系を示す構成図である。
【図５】従来のオートコリメータの例を示す構成図であ
る。
る。
１、２０ 光学式測定装置 ２ レーザダイオード ３ 集光レンズ ４ ビームスプリッタ ５、２２ コリメータレンズ ６、２３ ビームスプリッタ ７ 検査対象面 ８、２１ 受光素子 ９、１０、２４ 半導体位置検出素子 Ｌ 射出レーザ平行光束 Ｌｒ 戻りレーザ平行光束 Ｌ１ 平行光束 Ｐ 射出レーザ平行光束の重心（基準位置） Ｐｒ 戻りレーザ平行光束の重心 Ｐ１ 平行光束の重心
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 岡田 幸雄 長野県諏訪郡下諏訪町5329番地 株式会社 三協精機製作所内 Ｆターム(参考） 2F065 AA17 AA20 AA31 AA35 FF01 FF04 GG06 HH03 JJ01 JJ03 JJ05 JJ16 JJ26 LL04 LL46 QQ28
Claims (3)
- 【請求項１】 コリメータレンズを介して射出された出
射平行光束を検査対象面に照射し、当該検査対象面で反
射された戻り平行光束を前記コリメータレンズを介して
結像させ、この結像点位置に基づき、前記戻り平行光束
の前記コリメータレンズに対する入射角度を検出可能な
光学式測定装置において、 前記コリメータレンズに入射する戻り平行光束の一部を
分離するビームスプリッタと、このビームスプリッタに
より分離された戻り平行光束を受光する戻り光側受光素
子とを有し、この受光素子は、前記戻り平行光束の重心
位置を検出する二次元位置検出素子であり、検出された
重心位置に基づき戻り平行光束の前記コリメータレンズ
に対する入射位置を検出可能であることを特徴とする光
学式測定装置。 - 【請求項２】 請求項１において、 前記コリメータレンズから出射する前記出射平行光束の
一部を分離する前記ビームスプリッタと、分離された出
射平行光束を受光する出射光側受光素子とを有し、 前記出射光側受光素子は、前記出射平行光束の重心位置
を検出する二次元位置検出素子であり、 前記戻り光側受光素子および前記出射光側受光素子によ
り検出された重心位置に基づき、前記戻り平行光束の前
記出射平行光束に対する位置ずれを検出可能であること
を特徴とする光学式測定装置。 - 【請求項３】 平行光束をコリメータレンズを介して結
像させ、この結像点位置に基づき、前記平行光束の前記
コリメータレンズに対する入射角度を検出可能な光学式
測定装置において、 前記コリメータレンズに入射する平行光束の一部を分離
するビームスプリッタと、このビームスプリッタにより
分離された平行光束を受光する受光素子とを有し、この
受光素子は、前記平行光束の重心位置を検出する二次元
位置検出素子であり、検出された重心位置に基づき平行
光束の前記コリメータレンズに対する入射位置を検出可
能であることを特徴とする光学式測定装置。
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Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7272255B2 (en) | 2002-01-15 | 2007-09-18 | Nec Corporation | Three-dimensional body photography apparatus, three-dimensional geometricmodel generation apparatus, three-dimensional geometric model generation method, and record medium in which three-dimensional geometric model generation program was stored |
| CN102176088A (zh) * | 2011-01-19 | 2011-09-07 | 哈尔滨工业大学 | 偏振光角锥靶标共光路补偿的二维光电自准直方法与装置 |
| CN102176086A (zh) * | 2011-01-19 | 2011-09-07 | 哈尔滨工业大学 | 偏振光平面镜参考共光路补偿的二维光电自准直方法与装置 |
| CN102176087A (zh) * | 2011-01-19 | 2011-09-07 | 哈尔滨工业大学 | 偏振光组合靶标共光路补偿的二维光电自准直方法与装置 |
| WO2012097730A1 (en) * | 2011-01-19 | 2012-07-26 | Harbin Institute Of Technology | Photoelectric autocollimation method and apparatus based on beam drift compensation |
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