JP4771256B2 - 大型セラミックス構造体、その製造方法及びセラミックス部材 - Google Patents
大型セラミックス構造体、その製造方法及びセラミックス部材 Download PDFInfo
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(1)一体化成形が困難な形状を有する粉末焼結体の製造時、寸法精度の悪化、適用粉末の限定、生産性の低下、及び生産コストの上昇という課題を解決するために、粉末と熱可塑性バインダーで形成するコンパウンドを用い、複数個に分割成形体を作製し、接合面にバインダー薄膜層を形成後、各分割成形体を組み立てて脱脂、焼結を行う方法が提案されている(特許文献1)。
(1)アルミナ粉末を添加混合した粘土粉末に超高温用セラミックフアイバ−短繊維を混合して型付けした後、乾燥・焼成することにより、苛酷な自然条件下での使用に適した建築用セラミック板を製造する方法が提案されている(特許文献4)。
(1)最終構造体を分割した形状で構成されるユニット体を組み立て、焼成して一体化するセラミックス構造体の製造方法であって、多孔質のユニット同士の結合部分をはめ合い構造にし、組み立て工程において、結合部分にセラミックススラリーを介在させ、多孔質中にスラリーの一部を浸透させながら前記結合部分の接合面を密着させ、これを焼結して接合面を強固に結合させるとともに一体化させることにより、上記構造体の焼結後における骨格部分をなす材料の平均ヤング率(単位はGPa)に対する、部材全体の重量を体積で割った値(見かけ密度、単位は:g/cm 3 )の比が、200以上で、平均剛性率をかさ密度で割った値が、100以上である当該セラミック構造体を製造することを特徴とするセラミックス構造体の製造方法。
(2)上記ユニットの相互に結合する部分にテーパを形成し、該ユニットの組み立て時において、スラリー内に含まれている気泡、空隙を除去することを特徴とする前記(1)記載のセラミックス構造体の製造方法。
(3)上記ユニットが、加圧鋳込み成形、ゲルキャスト、鋳込み成形、加圧成形後の生加工のいずれかで作製されたことを特徴とする前記(1)又は(2)記載のセラミックス構造体の製造方法。
(4)上記ユニットが、成形後、粒子間同士の結合が生じる程度に焼成された仮焼体であることを特徴とする前記(1)から(3)のいずれかに記載のセラミックス構造体の製造方法。
(5)上記ユニットに、軽量化のための凹部(くぼみ)が設けられていることを特徴とする前記(1)から(4)のいずれかに記載のセラミックス構造体の製造方法。
(6)上記ユニット間に介在させるセラミックススラリーが、ゲル状で、固形分濃度で50%以上であることを特徴とする前記(1)記載のセラミックス構造体の製造方法。
(7)上記ユニット間に介在させるセラミックススラリーの成分が、ユニットのそれと異なり、緻密化最適温度が低いことを特徴とする前記(1)又は(6)記載のセラミックス構造体の製造方法。
(8)上記ユニット間に介在させるセラミックススラリー、ユニットの主成分が、アルミナで、前記スラリーにはTi、あるいはFeの化合物の少なくとも一方が含まれていることを特徴とする前記(1)、(6)、又は(7)記載のセラミックス構造体の製造方法。
(9)焼結時におけるスラリー部分の収縮率とユニット部分の収縮率の差が、5%以内であることを特徴とする前記(1)記載のセラミックス構造体の製造方法。
(10)上記ユニットを、2次元に配して一体化させることを特徴とする前記(1)記載のセラミックス構造体の製造方法。
(11)上記ユニットの組み立てが、焼成セッター上で行われ、組み立て後、そのまま炉内で焼成することを特徴とする前記(1)記載のセラミックス構造体の製造方法。
(12)最終構造体を分割した形状で構成されるユニット体を組み立てて、焼成、一体化してなるセラミックス構造体であって、1)多孔質のユニット同士の結合部分がはめ合い構造を有する、2)該結合部分がセラミックススラリーを介在して密着、接合されている、3)最終構造体として一体化されている、4)上記構造体の焼結後における骨格部分をなす材料の平均ヤング率(単位はGPa)に対する、部材全体の重量を体積で割った値(見かけ密度、単位は:g/cm 3 )の比が、200以上で、平均剛性率をかさ密度で割った値が、100以上である、ことを特徴とするセラミックス構造体。
(13)上記構造体のサイズの1辺が、1000mmを超える大型部材であることを特徴とする前記(12)記載のセラミックス構造体。
(14)上記構造体の各部によって骨格部の気孔率が異なることを特徴とする前記(12)記載のセラミックス構造体。
(15)上記ユニットの材料が、アルミナ、窒化ケイ素、炭化ケイ素、ジルコニア、サイアロン、ムライトのいずれかであることを特徴とする前記(12)記載のセラミックス構造体。
(16)前記(12)から(15)のいずれかに記載のセラミックス構造体からなることを特徴とするセラミックス部材。
(17)上記部材が、フォトレジストあるいは半導体製造プロセスに使用されるステージ、テーブル、又はガイドであることを特徴とする前記(16)記載のセラミックス部材。
本発明は、最終構造体を分割した形状で構成されるユニット体を組み立て、焼成して一体化するセラミックス部材の製造方法であって、多孔質のユニット同士の結合部分をはめ合い構造にし、組み立て工程において、結合部分にセラミックススラリーを介在させ、多孔質中にスラリーの一部を浸透させながら前記結合部分の接合面を密着させ、これを焼結して接合面を強固に結合させるとともに一体化させることを特徴とするものである。
(1)大型で高い比剛性率を有するセラミックス構造体及びその部材を比較的容易に製造し、提供できる。
(2)本発明のセラミックス構造体は、欠陥部分が生じた場合の作り直しの要する費用が少なく、また、非破壊検査も容易であり、それにより、歩留りの高い製造プロセスを構築できる。
(3)本発明のセラミックス構造体は、液晶パネルや半導体製造に使用されるXYステージ等の高い剛性を持ち、軽量で大型、かつ高精度のセラミックス部材として有用である。
(4)本発明の方法により、上記セラミックス構造部材の短期の製造及び提供が可能となる。
(5)個々のユニットのサイズは小さいので小さな成形設備を用いて大きな部品を作ることができる。
(1)スラリー1
原料として、アルミナ粉末(AL−160SG4)100に対して、分散剤A6114:0.75、水:20の比率で、総計1000gとなるように作製した。これらを、約16時間ボールミルを使って混合し、また、生強度を高めるために、アクリル系バインダーを1%添加した。混合終了後、十分な脱気泡処理を行った。
(2)スラリー2
スラリー1の原料において、外掛けでFe2O3を1%配合したスラリーを作製し、更にバインダーとして寒天(増粘多糖類、ゲル化剤)を5g投入し、更に2時間混合後、脱泡した。
スラリー1の原料において、TiO2を1%配合したスラリーを作製し、更にバインダーとして寒天(増粘多糖類、ゲル化剤)を5g投入し、更に2時間混合後、脱泡した。
(4)スラリー4
平均粒径が1ミクロン程度の窒化ケイ素粉末及びアルミナ、イットリアがそれぞれ92:3:5となるように秤量し、所定量のPVA、粉末総重量に対して140wt%の水を配合し、ボールミルにより混合した。
平均粒径が1ミクロン程度の炭化ケイ素粉末及びアルミナ、カーボンがそれぞれ92:5:3となるように秤量し、所定量のPVA、粉末総重量に対して140wt%の水を配合し、ボールミルにより混合した。
(6)スラリー6
平均粒径が1ミクロン程度の炭化硼素粉末及びアルミナ、カーボンがそれぞれ92:5:3となるように秤量し、所定量のPVA、粉末総重量に対して140wt%の水を配合し、ボールミルにより混合した。
原料粉末としてケイ素、アルミナ、イットリア、ムライト混合粉末を(配合比82:5:2:11)を用い、所定量のPVA、粉末総重量に対して140wt%の水を配合し、ボールミルにより混合した。
(8)スラリー8
炭化ケイ素粉末50wt%、カーボン50wt%からなる混合粉末を原料としてアクリルバインダーを添加して、上記と同様のスラリーを作製した。
原料として、アルミナ粉末(AL−160SG4)100を用い、鋳込み成形により実施例と同様の寸法の大型部材の製造を行った。製作を試みたが、成形時、大面積の型にスラリーを注入する際、各部で吸水時間が異なるために、乾燥時に亀裂が生じ、製造は困難であった。
Claims (17)
- 最終構造体を分割した形状で構成されるユニット体を組み立て、焼成して一体化するセラミックス構造体の製造方法であって、多孔質のユニット同士の結合部分をはめ合い構造にし、組み立て工程において、結合部分にセラミックススラリーを介在させ、多孔質中にスラリーの一部を浸透させながら前記結合部分の接合面を密着させ、これを焼結して接合面を強固に結合させるとともに一体化させることにより、上記構造体の焼結後における骨格部分をなす材料の平均ヤング率(単位はGPa)に対する、部材全体の重量を体積で割った値(見かけ密度、単位は:g/cm 3 )の比が、200以上で、平均剛性率をかさ密度で割った値が、100以上である当該セラミック構造体を製造することを特徴とするセラミックス構造体の製造方法。
- 上記ユニットの相互に結合する部分にテーパを形成し、該ユニットの組み立て時において、スラリー内に含まれている気泡、空隙を除去することを特徴とする請求項1記載のセラミックス構造体の製造方法。
- 上記ユニットが、加圧鋳込み成形、ゲルキャスト、鋳込み成形、加圧成形後の生加工のいずれかで作製されたことを特徴とする請求項1又は2記載のセラミックス構造体の製造方法。
- 上記ユニットが、成形後、粒子間同士の結合が生じる程度に焼成された仮焼体であることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のセラミックス構造体の製造方法。
- 上記ユニットに、軽量化のための凹部(くぼみ)が設けられていることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載のセラミックス構造体の製造方法。
- 上記ユニット間に介在させるセラミックススラリーが、ゲル状で、固形分濃度で50%以上であることを特徴とする請求項1記載のセラミックス構造体の製造方法。
- 上記ユニット間に介在させるセラミックススラリーの成分が、ユニットのそれと異なり、緻密化最適温度が低いことを特徴とする請求項1又は6記載のセラミックス構造体の製造方法。
- 上記ユニット間に介在させるセラミックススラリー、ユニットの主成分が、アルミナで、前記スラリーにはTi、あるいはFeの化合物の少なくとも一方が含まれていることを特徴とする請求項1、6、又は7記載のセラミックス構造体の製造方法。
- 焼結時におけるスラリー部分の収縮率とユニット部分の収縮率の差が、5%以内であることを特徴とする請求項1記載のセラミックス構造体の製造方法。
- 上記ユニットを、2次元に配して一体化させることを特徴とする請求項1記載のセラミックス構造体の製造方法。
- 上記ユニットの組み立てが、焼成セッター上で行われ、組み立て後、そのまま炉内で焼成することを特徴とする請求項1記載のセラミックス構造体の製造方法。
- 最終構造体を分割した形状で構成されるユニット体を組み立てて、焼成、一体化してなるセラミックス構造体であって、(1)多孔質のユニット同士の結合部分がはめ合い構造を有する、(2)該結合部分がセラミックススラリーを介在して密着、接合されている、(3)最終構造体として一体化されている、(4)上記構造体の焼結後における骨格部分をなす材料の平均ヤング率(単位はGPa)に対する、部材全体の重量を体積で割った値(見かけ密度、単位は:g/cm 3 )の比が、200以上で、平均剛性率をかさ密度で割った値が、100以上である、ことを特徴とするセラミックス構造体。
- 上記構造体のサイズの1辺が、1000mmを超える大型部材であることを特徴とする請求項12記載のセラミックス構造体。
- 上記構造体の各部によって骨格部の気孔率が異なることを特徴とする請求項12記載のセラミックス構造体。
- 上記ユニットの材料が、アルミナ、窒化ケイ素、炭化ケイ素、ジルコニア、サイアロン、ムライトのいずれかであることを特徴とする請求項12記載のセラミックス構造体。
- 請求項12から15のいずれかに記載のセラミックス構造体からなることを特徴とするセラミックス部材。
- 上記部材が、フォトレジストあるいは半導体製造プロセスに使用されるステージ、テーブル、又はガイドであることを特徴とする請求項16記載のセラミックス部材。
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