JP4771059B2 - 走査装置及びその製作方法 - Google Patents
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Description
また、モータに走査ミラーが装着される構造により、全体システムのサイズが大きくなるという問題、モータの駆動に使用される電力の低減が困難であるという問題、モータの回転による機械的な摩擦騒音の問題、及び複雑な構造により生産コストが増加するという問題があった。
また、支持フレームがミラー部の回動軸を中心に両側に対称になるように形成され、ミラー部の両端部に行くに従って質量が減るように形成されるため、回動時の慣性モーメントを減らすことができ、ミラー部の構造的安定性を達成することができると共に、ミラー部の作動の敏感度及びそれによる光学的性能を向上し得るという効果がある。
図1〜図5は、本発明による走査装置を示す。
図示のように、本発明による走査装置は、反射光の方向を調節できるように回動軸を中心に回動自在に基板に形成されたミラー部110(マイクロミラー部ともいう)と、ミラー部110の動的変形を防止するようにミラー部110の一面に形成されてミラー部110を支持する支持フレーム111と、前記基板に備えられてミラー部110を駆動させる駆動部とを含む。ここで、ミラー部110は、ミクロン単位の微細構造物である。
前記基板は、上部基板100及び下部基板200が上下に積層するように結合されて構成される。上部基板100は、その内部の中心部にマイクロミラー部110を回動自在に設けることができるように第1中心空間部101が貫通形成され、マイクロミラー部110の両端部には、マイクロミラー部110を上部基板100に支持する1対の回動付勢部140(弾性回転支持要素、トーションビームともいう)が形成される。
また、上部基板100の内部両側には、トーションビーム140の軸方向に沿って第1中心空間部101と連通する第1側空間部102が貫通形成され、可動櫛形電極120は、トーションビーム140の左右側に配置されるようにマイクロミラー部110の両側から延長形成され、第1側空間部102でトーションビーム140を軸にマイクロミラー部110と共に所定角度だけ回動自在に構成される。
支持フレーム111は、マイクロミラー部110の一面に、マイクロミラー部110の回動軸を中心に左右に鋸歯状を有し、複数の三角形状の突出部112と複数の三角形状の空間部113とが交互に周期的に形成されて構成され、その厚さは、支持フレーム111の面積と比較して非常に薄く形成される。また、支持フレーム111は、マイクロミラー部110が正確な角度で回動するように、マイクロミラー部110の回動軸を中心に左右に対称の構造を有しなければならない。さらに、支持フレーム111は、マイクロミラー部110が回動軸を中心に回動するときに発生する慣性モーメントを減少させるために、マイクロミラー部110の回動軸からその両端部に行くに従って質量が減るように構成される。
一方、支持フレーム111は、前述したような形状に限定されず、多様に変形することができる。
図12〜図18は、本発明による走査装置の製作方法を各段階別に示している。図においては、便宜上、素子1つの製作について示しているが、実際の製作過程では、MEMS技術を利用してウェハレベルで複数の走査装置が同時に多量に製作される。
また、図には示していないが、前述したような構造を有する走査装置をM個の行とN個の列で複数個配列して構成することもできる。
図6及び図7は、本発明による走査装置の動作を示す断面図である。
図示のように、前述したような本発明による走査装置の駆動のために、下部基板200の両電極固定部230を介して、固定櫛形電極220と可動櫛形電極120の間に電圧を印加する。即ち、図6に示す初期状態で、可動櫛形電極120と固定櫛形電極220の間に電位差が発生して、静電気力が発生する。このとき、トーションビーム140の回動軸を中心に両側に形成された固定櫛形電極220に電圧を順次印加すると、マイクロミラー部110が回動軸を中心に所定角度だけ正逆に回動する。よって、図7に示すように、入射光に対する反射光の方向が駆動前の方向L1から駆動後の方向L2に変調されて、走査機能が実現される。
101 第1中心空間部
102 第1側空間部
110 ミラー部
111 支持フレーム
112 突出部
113 空間部
114 凹部
115 反射層
120 可動櫛形電極
140 回動付勢部
200 下部基板
201 第2中心空間部
202 第2側空間部
210 絶縁層
220 固定櫛形電極
230 電極固定部
Claims (15)
- 中心空間部及び該中心空間部の両側に配置された側空間部を有する基板と、
前記中心空間部に配置され、支持フレームを有するミラー部であって、前記支持フレームは前記ミラー部の動的変形を防止するように前記ミラー部に形成されて前記ミラー部を支持するものである前記ミラー部と、
前記ミラー部を前記基板に支持して前記ミラー部の回動軸となるように、両側の前記側空間部のそれぞれに配置される一対の弾性回転支持要素と、
前記側空間部に備えられ、前記ミラー部が回動するように前記弾性回転支持要素を駆動する駆動部と、を含み、
前記駆動部は、前記側空間部で前記弾性回転支持要素を中心に前記弾性回転支持要素の両側にそれぞれ配置され、前記弾性回転支持要素に隣接する前記ミラー部の端部から延長形成される可動電極と、静電気力により前記可動電極と相互作用するように前記側空間部で前記各可動電極に隣接して配置され、前記基板の一部分から延長形成される固定電極とを含み、
前記支持フレームは、前記支持フレームの質量を減らすために前記支持フレームに形成された複数の凹部を有し、前記ミラー部の前記回動軸から両端部に行くに従って厚さが次第に減少するように形成されることを特徴とする走査装置。 - 前記支持フレームは、前記ミラー部の前記回動軸を中心に対称になるように形成されることを特徴とする請求項1に記載の走査装置。
- 前記支持フレームは、前記ミラー部の前記回動軸から前記支持フレームの両端部に行くに従って質量が減ることを特徴とする請求項1に記載の走査装置。
- 前記複数の凹部は、前記ミラー部の回動軸を中心に対称になるように形成されることを特徴とする請求項1に記載の走査装置。
- 前記複数の凹部は、それぞれ六角形状に形成され、ハニカム状に集まっていることを特徴とする請求項1に記載の走査装置。
- 前記ミラー部の面積は、前記支持フレームの面積より大きいことを特徴とする請求項1に記載の走査装置。
- 前記支持フレームは、前記ミラー部の前記回動軸を中心に左右に鋸歯状を有し、複数の三角形状の突出部と複数の三角形状の空間部とが交互に周期的に形成されることを特徴とする請求項1に記載の走査装置。
- 前記支持フレームは、上面が菱形の六面体状に形成され、その対角の2頂点が前記ミラー部の前記回動軸に位置するように構成されることを特徴とする請求項1に記載の走査装置。
- 前記支持フレームの4側面が、前記支持フレームの中心に対して湾曲線状に形成されることを特徴とする請求項8に記載の走査装置。
- 前記弾性回転支持要素は、トーションビームであることを特徴とする請求項1に記載の走査装置。
- 前記可動電極及び前記固定電極は、櫛形に形成されることを特徴とする請求項1に記載の走査装置。
- 前記可動電極及び固定電極は、前記ミラー部を中心に前記ミラー部の両側に配置されることを特徴とする請求項1に記載の走査装置。
- 前記可動電極及び固定電極は、前記回動軸の両側に配置されることを特徴とする請求項1に記載の走査装置。
- 前記可動電極及び固定電極は、前記基板の高さ方向に所定部分が重なるように構成されることを特徴とする請求項11に記載の走査装置。
- 行列形に配列された複数の走査装置を含んでおり、それぞれの前記走査装置は、
中心空間部及び該中心空間部の両側に配置された側空間部を有する基板と、
前記中心空間部に配置され、支持フレームを有するミラー部であって、前記支持フレームは前記ミラー部の動的変形を防止するように前記ミラー部に形成されて前記ミラー部を支持するものである前記ミラー部と、
前記ミラー部を前記基板に支持して前記ミラー部の回動軸となるように、両側の前記側空間部のそれぞれに配置される一対の弾性回転支持要素と、
前記側空間部に備えられ、前記ミラー部が回動するように前記弾性回転支持要素を駆動する駆動部と、を含み、
前記駆動部は、前記側空間部で前記弾性回転支持要素を中心に前記弾性回転支持要素の両側にそれぞれ配置され、前記弾性回転支持要素に隣接する前記ミラー部の端部から延長形成される可動電極と、静電気力により前記可動電極と相互作用するように前記側空間部で前記各可動電極に隣接して配置され、前記基板の一部分から延長形成される固定電極とを含み、
前記支持フレームは、前記ミラー部の前記回動軸を中心に左右に鋸歯状を有し、複数の三角形の突出部と複数の三角形状の空間部とが交互に周期的に形成され、前記突出部は、複数の凹部を有し、前記ミラー部の前記回動軸から両端部に行くに従って厚さが次第に減少するように形成されることを特徴とする走査装置アレイ。
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