JP4457093B2 - マイクロミラーデバイス及びそのアレイ - Google Patents
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Description
図1は従来のポリゴンミラーを使った光走査装置の概略的な斜視図であって、光源10から出射された光は各種レンズなどの光学系11を通過してポリゴンミラー12により反射される。
図17は本発明による電磁気力によりマイクロミラーデバイスがY軸方向に駆動される状態を示した図であって、一対の保持部75a、75bに形成された第1Y軸方向駆動用電極31-1、31-2と電気的に連結される第1導線42が外部弾性屈伸構造物58とジンバル56上に形成されている。
40、41、70-1、70-2… 導線
51…ミラー板
52…外部フレーム
53A、53A-1、53A-2、53B、53B-1、53B-2、54…連結部
55、57、58…弾性屈伸構造物
56…ジンバル(Gimbal)
59…保持フレーム
59-1…溝
60…薄膜
71、71-1、71-2…くし形電極
91、92…空間
Claims (15)
- 入力される光を反射させる反射面が形成された薄膜と、該薄膜の下部に位置して前記薄膜を保持する保持フレームよりなるミラー板と、
前記ミラー板の外郭から離隔して置かれた外部フレームと、
前記ミラー板と前記外部フレームとを連結する複数個の連結部と、
前記ミラー板を基準にして対称に形成され、前記外部フレームと一対の保持部に連結され前記ミラー板と外部フレームを下部から浮上させる一対の弾性屈伸構造物と
から構成され、
前記複数個の連結部は、
前記一対の弾性屈伸構造物を連結した第1軸(P1)上に形成され、前記ミラー板を基準にして対称に形成された第1連結部と、
前記第1軸(P1)と垂直な第2軸(P2)を中心に対称に形成され、前記ミラー板を基準にして対称に形成された第2連結部と
から構成され、
前記第2連結部により前記ミラー板と前記外部フレームとの間に空間が形成されており、
前記保持フレームは、中心点から遠ざかるほど薄厚にすることを特徴とするマイクロミラーデバイス。 - 前記ミラー板は、
円形、楕円形と四角形のいずれか一つの形状であることを特徴とする、請求項1に記載のマイクロミラーデバイス。 - 前記外部フレームは、
リング状であることを特徴とする、請求項1に記載のマイクロミラーデバイス。 - 前記一対の弾性屈伸構造物は、
トーションビーム、V字形ビーム、ミアンダ状のいずれか一つの形態よりなるか、あるいはこれらを組み合わせた形態よりなることを特徴とする、請求項1に記載のマイクロミラーデバイス。 - 前記反射面は、金属膜、誘電膜とこれらの積層膜のうちいずれか一つで作られることを特徴とする、請求項1に記載のマイクロミラーデバイス。
- 前記保持フレームの一部領域には、
アレイされた鋸歯状が形成されていることを特徴とする、請求項1に記載のマイクロミラーデバイス。 - 前記一対の保持部のうち一つの保持部に形成されている一対の第1電極と、
前記一対の保持部のうちもう一つの保持部に形成されている一対の第2電極と、
前記第1電極から第2電極まで連結されるように、前記一対の弾性屈伸構造物と前記外部フレームに形成されている一対の導線と
をさらに備えることを特徴とする、請求項1に記載のマイクロミラーデバイス。 - 前記一対の弾性屈伸構造物を連結した第1線上を基準にして、前記外部フレーム部分に対称に形成される第1くし形電極と、
前記第1くし形電極と噛合う位置の下部に、前記第1くし形電極の下部と離隔して形成される第2くし形電極と
をさらに具備していることを特徴とする、請求項1に記載のマイクロミラーデバイス。 - 入力される光を反射させる反射面が形成された薄膜と、該薄膜の下部に位置して前記薄膜を保持する保持フレームよりなるミラー板と、
前記ミラー板の外郭から離隔して位置した外部フレームと、
前記ミラー板と前記外部フレームとを連結する複数個の連結部と、
前記外部フレームの外郭から離隔して位置するジンバルと、
前記ジンバルと前記外部フレームに連結され、前記ミラー板を基準にして対称に形成された一対の内部弾性屈伸構造物と、
前記ミラー板を基準にして対称に形成され、前記ジンバルと一対の保持部に連結され前記ミラー板、外部フレームとジンバルを下部から浮上させる一対の外部弾性屈伸構造物とから構成され、
前記一対の外部弾性屈伸構造物は、第1軸(P1)上に配列されており、
前記一対の内部弾性屈伸構造物は、前記第1軸(P1)と垂直な第2軸(P2)上に配列されており、
前記複数個の連結部は、
前記第1軸(P1)上に形成され、前記ミラー板を基準にして対称に形成された第2連結部と、
前記第2軸(P2)上に形成され、前記ミラー板を基準にして対称に形成された第1連結部と
から構成され、
前記第2連結部により前記ミラー板と前記外部フレームとの間に空間が形成されており、
前記保持フレームは、中心点から遠ざかるほど薄厚にすることを特徴とするマイクロミラーデバイス。 - 前記ミラー板は、
円形、楕円形と四角形のいずれか一つの形状であることを特徴とする、請求項9に記載のマイクロミラーデバイス。 - 前記反射面は、
金属膜、誘電膜とこれらの積層膜のうちいずれか一つで作られることを特徴とする、請求項9に記載のマイクロミラーデバイス。 - 前記保持フレームの一部領域には、
アレイされた鋸歯状が形成されていることを特徴とする、請求項9に記載のマイクロミラーデバイス。 - 前記一対の保持部のうち一つの保持部に形成されている一対の第1電極と、
前記一対の保持部のうちもう一つの保持部に形成されている一対の第2電極と、
前記第1電極から第2電極まで連結されるように、前記一対の弾性屈伸構造物と前記外部フレームに形成されている一対の導線と
をさらに備えることを特徴とする、請求項9に記載のマイクロミラーデバイス。 - 前記一対の弾性屈伸構造物を連結した第1線上を基準にして、前記外部フレーム部に対称に形成される第1くし形電極と、
前記第1くし形電極と噛合う位置の下部に、前記第1くし形電極の下部と離隔して形成される第2くし形電極と
をさらに備えていることを特徴とする、請求項9に記載のマイクロミラーデバイス。 - 基板と、
前記基板の上部に行と列で配列され形成されたマイクロミラーデバイスと
よりなり、
前記マイクロミラーデバイスは、
入力される光を反射させる反射面が形成された薄膜と、該薄膜の下部に位置して前記薄膜を保持する保持フレームよりなるミラー板と、
前記ミラー板の外郭から離隔して位置した外部フレームと、
前記ミラー板と前記外部フレームとを連結する複数個の連結部と、
前記ミラー板を基準にして対称に形成され、前記外部フレームと前記基板の上部に形成された一対の保持部に連結され前記ミラー板と外部フレームを下部から浮上させる弾性屈伸構造物と
から構成され、
前記複数個の連結部は、
前記一対の弾性屈伸構造物を連結した第1軸(P1)上に形成され、前記ミラー板を基準にして対称に形成された第1連結部と、
前記第1軸(P1)と垂直な第2軸(P2)を中心に対称に形成され、前記ミラー板を基準にして対称に形成された第2連結部と、
から構成され、
前記第2連結部により前記ミラー板と前記外部フレームとの間に空間が形成されており、
前記保持フレームは、中心点から遠ざかるほど薄厚にすることを特徴とするマイクロミラーデバイスアレイ。
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