JP4765719B2 - 焼結体、磁気ヘッドスライダ、及び焼結体の製造方法 - Google Patents
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Description
本発明者らが検討した結果、従来の磁気ヘッドスライダの基板として用いられるアルティック焼結体やアルミナ焼結体等のアルミナ系焼結体の研磨速度は、薄膜磁気ヘッドを含む積層体の研磨速度に比べて極めて低く、これによって、ラッピング時に積層体の研磨量が基板の研磨量にくらべて大きくなりすぎて大きな段差が生じることを見出した。
また、エアベアリング面においては、浮上量制御等のためにドライエッチングによる加工が行われるが、ドライエッチングにより加工された加工面の表面粗さをより一層低下させることも求められている。
これによれば、上述の焼結体を用いた基板の研磨速度と、薄膜磁気ヘッドを含む積層体の研磨速度と、の差が従来よりも十分に少なくなる。これにより、磁気ヘッドスライダの製造時に、詳しくは、この焼結体から作られた基板上に薄膜磁気ヘッドを含む積層体を積層して積層構造体とし、この積層構造体における積層方向に平行な断面をラッピングして磁気ヘッドスライダを製造する時に、ラッピングにより形成されるエアベアリング面にお
いて積層体と基板との間に段差が生じにくくなる。また、エアベアリング面をドライエッチングにより加工した時に、ドライエッチング加工面の平滑性が十分なものとなる。
まず、本実施形態に係るアルミナ系焼結体について説明する。本実施形態に係る焼結体は、アルミナ(Al2O3)及び炭素(C)を含む焼結体であり、必要に応じて、炭化チタン(TiC)及び/又はチタニア(TiO2)を含む。
均径は、例えば以下のようにして求めることができる。まず、焼結体を破断し、その破断面を鏡面加工し、(焼結温度−100)℃で熱エッチングする。その表面を、走査型電子顕微鏡にて3万倍に拡大して撮影し、この写真に放射状に直線を引く。具体的には、縦9mm×横12mmの矩形状の写真に対して、その中心を通るように、縦、横、及び2本の対角線の直線を引く(直線の合計は30mm)。そして、各直線が結晶粒界をよこぎる交点を数え、(直線の総延長(mm))/(交点総数×写真倍率)の演算により、アルミナ結晶粒や炭化チタン結晶粒の平均径を求めることができる。
続いて、このようなアルミナ系焼結体の第一の製造方法について説明する。
を溶媒として使用すると、溶媒と炭化チタンとが化学反応を起こして炭化チタン粉が酸化してしまうため、炭化チタン粉を含む場合に水は使用できない。
次に、上述のアルミナ系焼結体を用いた磁気ヘッドスライダについて図3を参照して説明する。
また、必要に応じて、図3に示すように、ラッピング前又は後のエアベアリング面に、反応性イオンエッチングやイオンミリング等のドライエッチング法により、溝11aを形成する。このとき、基板13が上述の焼結体であるので、ドライエッチング加工面の平滑性もきわめて高くなり、例えば、表面粗さRa<3nmが達成可能である。
なお、上記の記載においては、本発明にかかるアルミナ系の焼結体を磁気ヘッドスライダ用に用いているが、これ以外の用途に用いることも可能である。たとえば、このような焼結体を薄膜技術を用いた各種センサヘッド等に用いることも可能である。
アルミナ粉(平均一次粒径320nm)、炭素粉(カーボンブラック、平均一次粒子径15nm)を各々所定量秤量し、ボールミル中でIPA(イソプロピルアルコール;沸点82.4℃)と共に30分粉砕して混合し、その後窒素中で150℃でスプレー造粒し造粒物を得た。
比較例1では、アルミナの重量を100重量部とした時に、炭素の重量を、5.3重量部とする以外は参考例1と同様とした。比較例2では、炭素粉として、平均一次粒子径が25nmであるカーボンブラックを用い、かつ、焼結温度を1680℃とする以外は、比較例1と同様にした。
参考例4〜6では、炭素粉として、平均一次粒子径が100nmであるカーボンブラックを用いる以外は参考例1〜3と同様にした。
比較例3では、炭素粉として、平均一次粒子径が300nmであるカーボンブラックを用い、かつ、焼結温度を1650℃とする以外は参考例1と同様にした。また、比較例4では、焼結温度を1700℃とする以外は、比較例3と同様にした。
実施例7〜9では、アルミナ粉、炭素粉、及び、炭化チタン粉(平均一次粒子径300nm)を混合し、焼結温度及び混合割合を以下のようにした以外は参考例1と同様とした。実施例7においては、アルミナ粉の重量を100重量部とした時に、炭素粉の重量を0.8重量部、炭化チタン粉の重量を56.3重量部、焼結温度を1700℃とした。実施例8においては、炭素粉の重量を2.3重量部、炭化チタン粉の重量を56.3重量部、焼結温度を1720℃とした。実施例9においては、炭素粉の重量を4.0重量部、炭化チタン粉の重量を56.2重量部、焼結温度を1720℃とした。なお、炭化チタン粉には、炭化チタンの重量の0.1%程度の炭素が不可避的に含まれるが量が少ないので、問題とならない。
比較例5では、炭素粉を添加しない以外は実施例7と同様とした。
実施例10では、アルミナ粉、炭素粉、チタニア粉(平均一次粒子径100nm)、及び、炭化チタン粉を混合し、アルミナ粉の重量を100重量部とした時に、炭素粉の重量を2.3重量部とし、炭化チタン粉の重量を56.2重量部とし、チタニア粉の重量を6.2重量部とする以外は実施例7と同様とした。
例えば、炭素粉の量を参考例1〜6、実施例7〜9よりも多くした比較例1、2では、薄膜が形成せずアルミナ結晶粒の成長が十分に抑制されず、研磨速度及び加工面の粗度とも好適でなかった。
特に、比較例1では、極めて微細で嵩高な炭素粉を高濃度にアルミナ粉と混合することは困難であり、低密度となった。
比較例2では、比較的高温で焼結したためにそれほど低密度ではないものの、薄膜が形成せずにアルミナ結晶粒の成長が十分に抑制されなかった。
また、炭素粉の一次粒子径が300nmである比較例3、4でも、薄膜が形成せず、アルミナの結晶粒成長が十分に抑制されず、研磨速度及び加工面の粗度とも好適でない。さらに、炭素粉を含まない比較例5でも、アルミナの粒成長を十分に抑制できず、研磨速度が十分でなかった。
実施例11〜13では、アルミナ粉100重量部に対して、炭素粉2.0重量部、炭化チタン粉40.9重量部とし、焼結温度を、順に1600℃、1650℃、1680℃とする以外は参考例1と同様にした。各焼結サンプルをイオンミリングし、その表面をSTEM−EELS(JEM−2100F/Gatan−Enfina)により測定した。実施例11における表面のADF−STEM写真を図10に、図10の薄膜130の横断線に沿ったEELSによる組成分析カーブを図11に示す。薄膜130において、炭素以外のAlやOの濃度は低いことが理解される。また、STEM写真における薄膜の輝度が低いことから、薄膜130においてはTiの濃度も低いことが解る。
Claims (9)
- アルミナ結晶粒、炭化チタン結晶粒、及び、前記アルミナ結晶粒間の粒界に存在する炭素を含む薄膜を有する焼結体(但し、炭化ケイ素を含む焼結体を除く)であり、
前記アルミナ結晶粒の平均径が0.05〜0.5μmであり、
前記薄膜の厚みが1〜20nmであり、
前記焼結体中のアルミナの重量を100重量部とした時に焼結体中に、炭素を0.5〜4重量部含み、かつ、炭化チタンを30〜70重量部含む焼結体。 - 前記焼結体中にさらにチタニアを含む請求項1記載の焼結体。
- 前記薄膜中の炭素のモル分率が50%以上である請求項1又は2記載の焼結体。
- 焼結密度が95%以上である請求項1〜3のいずれか一項に記載の焼結体。
- 磁気ヘッドスライダ用である請求項1〜4のいずれか一項に記載の焼結体。
- 焼結体から作られた基板と、前記基板上に形成された、薄膜磁気ヘッドを含む積層体と、を備え、
前記焼結体は請求項1〜5のいずれか一項に記載の焼結体である磁気ヘッドスライダ。 - アルミナ粉、炭化チタン粉、及び、炭素粉を含み、(但し、炭化ケイ素粉を含む場合を除く)
前記アルミナ粉の重量を100重量部とした時に前記炭素粉を0.5〜4重量部含み、かつ、前記炭化チタン粉を30〜70重量部含み、
前記炭素粉の1次粒子径が200nm以下であり、
前記アルミナ粉の平均1次粒子径が100〜400nmであり、
前記炭化チタン粉の平均1次粒子径が100〜400nmである、成形体を用意する工程と、
前記成形体を非酸化性雰囲気中で1600〜1720℃で焼結させる工程と、
を備え、
前記成形体を用意する工程では、前記アルミナ粉、前記炭化チタン粉、及び、1次粒子径が200nm以下である前記炭素粉を混合して混合粉を得、前記混合粉を成形して前記成形体を得る焼結体の製造方法。 - 前記成形体は、さらに、1次粒子径が200nm以下のチタニア粉を含む請求項7記載の焼結体の製造方法。
- 前記焼結体は磁気ヘッドスライダ用である請求項7又は8記載の焼結体の製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006091967A JP4765719B2 (ja) | 2005-06-27 | 2006-03-29 | 焼結体、磁気ヘッドスライダ、及び焼結体の製造方法 |
US11/471,669 US7595274B2 (en) | 2005-06-27 | 2006-06-21 | Sintered body, magnetic head slider, and method of manufacturing sintered body |
CN2006100935194A CN1891661B (zh) | 2005-06-27 | 2006-06-26 | 烧结体、磁头滑块,以及烧结体的制造方法 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005186701 | 2005-06-27 | ||
JP2005186701 | 2005-06-27 | ||
JP2006091967A JP4765719B2 (ja) | 2005-06-27 | 2006-03-29 | 焼結体、磁気ヘッドスライダ、及び焼結体の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007039308A JP2007039308A (ja) | 2007-02-15 |
JP4765719B2 true JP4765719B2 (ja) | 2011-09-07 |
Family
ID=37568282
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006091967A Expired - Fee Related JP4765719B2 (ja) | 2005-06-27 | 2006-03-29 | 焼結体、磁気ヘッドスライダ、及び焼結体の製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7595274B2 (ja) |
JP (1) | JP4765719B2 (ja) |
CN (1) | CN1891661B (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4025791B2 (ja) * | 2005-06-27 | 2007-12-26 | Tdk株式会社 | 磁気ヘッドスライダ用材料、磁気ヘッドスライダ、及び磁気ヘッドスライダ用材料の製造方法 |
US20100143749A1 (en) * | 2006-09-29 | 2010-06-10 | Nippon Tungsten Co., Ltd. | Substrate material for magnetic head and method for manufacturing the same |
WO2011125900A1 (ja) * | 2010-03-31 | 2011-10-13 | Tdk株式会社 | 焼結磁石及び焼結磁石の製造方法 |
US9446989B2 (en) * | 2012-12-28 | 2016-09-20 | United Technologies Corporation | Carbon fiber-reinforced article and method therefor |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5782172A (en) | 1980-11-12 | 1982-05-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Substrate ceramic for thin film magnetic head |
JPS60231308A (ja) * | 1984-05-01 | 1985-11-16 | Sumitomo Special Metals Co Ltd | アルミナ系磁気ヘッド用基板材料及びその製造方法 |
JPH062615B2 (ja) * | 1984-12-29 | 1994-01-12 | ティーディーケイ株式会社 | 磁気ヘツドスライダ材料 |
JPH0780707B2 (ja) * | 1987-07-06 | 1995-08-30 | 東芝タンガロイ株式会社 | 高強度酸化アルミニウム基焼結体及びその製造方法 |
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JPH08152020A (ja) * | 1994-11-30 | 1996-06-11 | Kyocera Corp | セラミック製動圧軸受 |
JP2000173034A (ja) | 1998-11-30 | 2000-06-23 | Tokin Corp | 磁気ヘッドスライダ用材料 |
JP4230175B2 (ja) * | 2002-06-14 | 2009-02-25 | 新日鉄マテリアルズ株式会社 | アルミナ質焼結体及びその製造方法 |
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JP4133586B2 (ja) | 2003-05-23 | 2008-08-13 | Tdk株式会社 | 平面パネルディスプレイ用スペーサ基材、平面パネルディスプレイ用スペーサ基材の製造方法、平面パネルディスプレイ用スペーサ、及び、平面パネルディスプレイ |
JP3962727B2 (ja) * | 2004-05-21 | 2007-08-22 | Tdk株式会社 | 磁気ヘッドスライダ用材料、磁気ヘッドスライダ、及び磁気ヘッドスライダ用材料の製造方法 |
JP2006018905A (ja) * | 2004-06-30 | 2006-01-19 | Tdk Corp | 磁気ヘッドスライダ用材料、磁気ヘッドスライダ、及び磁気ヘッドスライダ用材料の製造方法 |
-
2006
- 2006-03-29 JP JP2006091967A patent/JP4765719B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2006-06-21 US US11/471,669 patent/US7595274B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2006-06-26 CN CN2006100935194A patent/CN1891661B/zh not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN1891661B (zh) | 2010-05-12 |
US7595274B2 (en) | 2009-09-29 |
US20060293167A1 (en) | 2006-12-28 |
JP2007039308A (ja) | 2007-02-15 |
CN1891661A (zh) | 2007-01-10 |
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A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |