JP4760753B2 - 薄型複合素子及びその製造方法 - Google Patents
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Description
図1に示すように、本発明の第1実施形態の薄型複合素子10は、絶縁基板11上に薄膜バリスタ12と一対の櫛型電極13,14と薄膜サーミスタ16と第1引出電極17と第2引出電極18と保護膜19を備える。絶縁基板11としては、シリコン基板11aとこの基板上面に形成された絶縁膜11bとを有するものが例示される。絶縁膜付きシリコン基板11は、後述する空洞又は凹部(図5及び図6参照)を絶縁膜の下にエッチングにより形成し易いため、好ましい。その他の絶縁基板としては、ガラス基板、セラミック基板等が挙げられる。基板は厚さ0.1〜0.5mmの範囲から決められる。絶縁膜付きシリコン基板は、シリコン基板を熱酸化することにより、またシリコン基板表面に化学気相成長法により、基板表面に厚さ100〜1000nmのSiO2膜を有するように形成される。
図4に示すように、本発明の第2実施形態の薄型複合素子20は、絶縁基板21上に薄膜サーミスタ22と一対の櫛型電極23,24と薄膜バリスタ26と第3引出電極27と第4引出電極28と保護膜29を備える。絶縁基板21としては、シリコン基板21aとこの基板上面に形成された絶縁膜21bとを有するものが例示される。絶縁膜付きシリコン基板21は、後述する空洞又は凹部(図5及び図6参照)を絶縁膜の下にエッチングにより形成し易いため、好ましい。絶縁基板の厚さ、種類及び絶縁膜付きシリコン基板の製造方法は第1の実施形態と同じである。
図5に示すように、本発明の第3実施形態の薄型複合素子10は、第1の実施形態の薄型複合素子10の薄膜バリスタ12の下方に絶縁膜11bを残してシリコン基板11aの凹部11cが形成される。図示しないが、凹部11cの代わりに空洞でもよい。
図6に示すように、本発明の第4実施形態の薄型複合素子20は、第2の実施形態の薄型複合素子20の薄膜サーミスタ22の下方に絶縁膜21bを残してシリコン基板21aの凹部21cが形成される。図示しないが、凹部21cの代わりに空洞でもよい。
図1及び図2に示される薄型複合素子の製造方法を説明する。先ず図3(a)に示すように、熱酸化法により、厚さ0.25mmのシリコン基板11aに層厚500nmのSiO2層11bを形成する。このSiO2層11bの上面全体にZnO:98.6mol%、Bi2O3:0.2mol%、Sb2O5:0.1mol%、CoO:0.5mol%、MnO2:0.2mol%、Cr2O3:0.2mol%、NiO:0.2mol%を含む薄膜を膜厚が500nmとなるようにスパッタリング法によって形成する。この薄膜の全面に感光性樹脂を形成し、所定のフォトマスクを用いて、露光し、現像処理を行い、感光性樹脂をパターニングする。その感光性樹脂をマスクとし、リフトオフ法により薄膜を所望の形状にパターニングする。この基板を900℃で2時間熱処理することにより、図3(b)に示すように、バリスタ電圧が安定した信頼性の高い薄膜バリスタ12を得る。
図5に示される薄型複合素子の製造方法を説明する。図3(f)に示される複合素子を裏返した後、図7(a)に示すように基板中心部にSiO2層11dを取り除いた四角形の窓31を形成する。このシリコン基板11aには上面にSiO2層11bが下面にSiO2層11dが形成されている。この窓31は、窓となる部分以外のSiO2層11dを感光性樹脂でマスクし、フッ酸を用いたウエットエッチングによりSiO2層11dをパターニングすることにより、形成される。続いて、上記感光性樹脂をマスクとし、水酸化テトラメチルアンモニア水溶液(TMAH)を用いたウエットエッチングにより薄膜バリスタの下部(図7では上部)に相当するシリコン基板11aの一部をエッチングし、図7(b)に示すようにメンブレン構造にしたバリスタ機能付き薄膜サーミスタの薄型複合素子を得る。
11: 絶縁基板
12: 薄膜バリスタ
13,14: 一対の櫛型電極
16: 薄膜サーミスタ
17: 第1引出電極
17a: 接合層
17b: 導電層
17c: パッド部
18: 第2引出電極
18a: 接合層
18b: 導電層
18c: パッド部
19: 保護膜
20: 薄型複合素子
21: 絶縁基板
22: 薄膜サーミスタ
23,24: 一対の櫛型電極
26: 薄膜バリスタ
27: 第3引出電極
27a: 接合層
27b: 導電層
27c: パッド部
28: 第4引出電極
28a: 接合層
28b: 導電層
28c: パッド部
29: 保護膜
Claims (16)
- 絶縁基板上に形成された薄膜バリスタと、
前記薄膜バリスタ上に形成された導電層からなる相対向する一対の櫛型電極と、
前記一対の櫛型電極を跨いでかつ一対の櫛型電極の各基部が露出するように前記薄膜バリスタ及び前記電極を被覆する薄膜サーミスタと、
前記一対の櫛型電極の一方の露出した基部と電気的に接続するように前記薄膜バリスタの形成されていない前記絶縁基板上に形成された第1引出電極と、
前記一対の櫛型電極の他方の露出した基部と電気的に接続するように前記薄膜バリスタの形成されていない前記絶縁基板上に形成された第2引出電極と、
前記第1及び第2引出電極における引出線を接続するためのパッド部を除いた前記基板上のすべての素子を被覆する保護膜と
を備えた薄型複合素子。 - 絶縁基板が、セラミック基板、ガラス基板又は基板上面に絶縁膜を有するシリコン基板である請求項1記載の薄型複合素子。
- 絶縁基板が基板上面に絶縁膜を有するシリコン基板であって、薄膜バリスタの下方に前記絶縁膜を残して前記シリコン基板の空洞又は凹部が形成された請求項1又は2記載の薄型複合素子。
- 第1及び第2引出電極が、絶縁基板上に成膜された接合層と前記接合層上に前記接合層と同形同大に成膜された導電層とにより構成された請求項1ないし3いずれか1項に記載の薄型複合素子。
- 絶縁基板上に形成された薄膜サーミスタと、
前記薄膜サーミスタ上に形成された導電層からなる相対向する一対の櫛型電極と、
前記一対の櫛型電極を跨いでかつ一対の櫛型電極の各基部が露出するように前記薄膜サーミスタ及び前記電極を被覆する薄膜バリスタと、
前記一対の櫛型電極の一方の露出した基部と電気的に接続するように前記薄膜サーミスタの形成されていない前記絶縁基板上に形成された第3引出電極と、
前記一対の櫛型電極の他方の露出した基部と電気的に接続するように前記薄膜サーミスタの形成されていない前記絶縁基板上に形成された第4引出電極と、
前記第3及び第4引出電極における引出線を接続するためのパッド部を除いた前記基板上のすべての素子を被覆する保護膜と
を備えた薄型複合素子。 - 絶縁基板が、セラミック基板、ガラス基板又は基板上面に絶縁膜を有するシリコン基板である請求項5記載の薄型複合素子。
- 絶縁基板が基板上面に絶縁膜を有するシリコン基板であって、薄膜サーミスタの下方に前記絶縁膜を残して前記シリコン基板の空洞又は凹部が形成された請求項5又は6記載の薄型複合素子。
- 第3及び第4引出電極が、絶縁基板上に成膜された接合層と前記接合層上に前記接合層と同形同大に成膜された導電層とにより構成された請求項5ないし7いずれか1項に記載の薄型複合素子。
- 絶縁基板上に所定のパターンで薄膜バリスタを形成する工程と、
前記薄膜バリスタ上に導電層からなる相対向する一対の櫛型電極を形成する工程と、
前記一対の櫛型電極を跨いでかつ一対の櫛型電極の各基部が露出するように前記薄膜バリスタ及び前記電極を薄膜サーミスタで被覆する工程と、
前記一対の櫛型電極の一方の露出した基部と電気的に接続するように前記薄膜バリスタの形成されていない前記絶縁基板上に第1引出電極を形成する工程と、
前記一対の櫛型電極の他方の露出した基部と電気的に接続するように前記薄膜バリスタの形成されていない前記絶縁基板上に第2引出電極を形成する工程と、
前記第1及び第2引出電極における引出線を接続するためのパッド部を除いた前記基板上のすべての素子を保護膜により被覆する工程と
を含む薄型複合素子の製造方法。 - 絶縁基板が、セラミック基板、ガラス基板又は基板上面に絶縁膜を有するシリコン基板である請求項9記載の薄型複合素子の製造方法。
- 絶縁基板が基板上面に絶縁膜を有するシリコン基板であって、薄膜バリスタの下方に前記絶縁膜をエッチングストッパとしてエッチングにより前記シリコン基板の空洞又は凹部を形成する請求項9又は10記載の薄型複合素子の製造方法。
- 第1及び第2引出電極が、絶縁基板上に接合層を成膜した後、前記接合層上に前記接合層と同形同大に導電層を成膜することにより構成される請求項9ないし11いずれか1項に記載の薄型複合素子の製造方法。
- 絶縁基板上に所定のパターンで薄膜サーミスタを形成する工程と、
前記薄膜サーミスタ上に導電層からなる相対向する一対の櫛型電極を形成する工程と、
前記一対の櫛型電極を跨いでかつ一対の櫛型電極の各基部が露出するように前記薄膜サーミスタ及び前記電極を薄膜バリスタで被覆する工程と、
前記一対の櫛型電極の一方の露出した基部と電気的に接続するように前記薄膜サーミスタの形成されていない前記絶縁基板上に第3引出電極を形成する工程と、
前記一対の櫛型電極の他方の露出した基部と電気的に接続するように前記薄膜サーミスタの形成されていない前記絶縁基板上に第4引出電極を形成する工程と、
前記第3及び第4引出電極における引出線を接続するためのパッド部を除いた前記基板上のすべての素子を保護膜により被覆する工程と
を含む薄型複合素子の製造方法。 - 絶縁基板が、セラミック基板、ガラス基板又は基板上面に絶縁膜を有するシリコン基板である請求項13記載の薄型複合素子の製造方法。
- 絶縁基板が基板上面に絶縁膜を有するシリコン基板であって、薄膜サーミスタの下方に前記絶縁膜をエッチングストッパとしてエッチングにより前記シリコン基板の空洞又は凹部を形成する請求項13又は14記載の薄型複合素子の製造方法。
- 第3及び第4引出電極が、絶縁基板上に接合層を成膜した後、前記接合層上に前記接合層と同形同大に導電層を成膜することにより構成される請求項13ないし15いずれか1項に記載の薄型複合素子の製造方法。
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