JP4760251B2 - 回路基板の製造方法及び回路基板、半導体モジュール - Google Patents
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請求項1記載の発明の要旨は、セラミックス基板の一方の面に金属回路、他方の面に金属放熱板が接合された構成を具備する回路基板の製造方法であって、めっき層が形成されていない接合後の前記金属回路又は前記金属放熱板に化学研磨を行ない、表面における表面粗さをRaにして0.1〜1.0μm、またはRmaxにして1.0〜5.0μmとし、かつ0.5mm×0.5mmの視野面積当たりのキズの数を50本以下とする化学研磨工程と、めっき層が形成されていない前記化学研磨後の前記金属回路又は前記金属放熱板の表面に防錆剤を付与して0.05〜10μmの厚さの防錆層を形成する防錆剤付与工程と、を具備することを特徴とする回路基板の製造方法に存する。
請求項2記載の発明の要旨は、請求項1に記載の製造方法によって製造された回路基板に存する。
請求項3記載の発明の要旨は、セラミックス基板の一方の面に金属回路、他方の面に金属放熱板が接合された構成を具備する回路基板であって、めっき層が形成されていない前記金属回路又は前記金属放熱板の表面における表面粗さがRaにして0.1〜1.0μm、またはRmaxにして1.0〜5.0μmであり、かつ0.5mm×0.5mmの視野面積当たりのキズの数が50本以下であり、めっき層が形成されていない前記金属回路又は前記金属放熱板の表面に0.05〜10μmの厚さの防錆層を具備することを特徴とする回路基板に存する。
請求項4記載の発明の要旨は、波長600nmにおける光の反射率が、前記防錆層を具備する前記金属回路または前記金属放熱板の表面において40〜100%であることを特徴とする請求項3に記載の回路基板に存する。
請求項5記載の発明の要旨は、請求項2乃至4のいずれか1項に記載の回路基板と、該回路基板に搭載された半導体素子とからなることを特徴とする半導体モジュールに存する。
請求項6記載の発明の要旨は、前記回路基板と前記半導体素子とが鉛レスはんだで接合されたことを特徴とする請求項5に記載の半導体モジュールに存する。
請求項7記載の発明の要旨は、前記金属放熱板に銅または銅合金からなる放熱ベース板が結合されたことを特徴とする請求項5又は6に記載の半導体モジュールに存する。
図においては、セラミックス基板の一方の面に金属回路を形成し、他方の面に金属放熱板が形成された後の工程を示している。
Claims (7)
- セラミックス基板の一方の面に金属回路、他方の面に金属放熱板が接合された構成を具備する回路基板の製造方法であって、
めっき層が形成されていない接合後の前記金属回路又は前記金属放熱板に化学研磨を行ない、表面における表面粗さをRaにして0.1〜1.0μm、またはRmaxにして1.0〜5.0μmとし、かつ0.5mm×0.5mmの視野面積当たりのキズの数を50本以下とする化学研磨工程と、
めっき層が形成されていない前記化学研磨後の前記金属回路又は前記金属放熱板の表面に防錆剤を付与して0.05〜10μmの厚さの防錆層を形成する防錆剤付与工程と、
を具備することを特徴とする回路基板の製造方法。 - 請求項1に記載の製造方法によって製造された回路基板。
- セラミックス基板の一方の面に金属回路、他方の面に金属放熱板が接合された構成を具備する回路基板であって、
めっき層が形成されていない前記金属回路又は前記金属放熱板の表面における表面粗さがRaにして0.1〜1.0μm、またはRmaxにして1.0〜5.0μmであり、かつ0.5mm×0.5mmの視野面積当たりのキズの数が50本以下であり、
めっき層が形成されていない前記金属回路又は前記金属放熱板の表面に0.05〜10μmの厚さの防錆層を具備することを特徴とする回路基板。 - 波長600nmにおける光の反射率が、前記防錆層を具備する前記金属回路または前記金属放熱板の表面において40〜100%であることを特徴とする請求項3に記載の回路基板。
- 請求項2乃至4のいずれか1項に記載の回路基板と、該回路基板に搭載された半導体素子とからなることを特徴とする半導体モジュール。
- 前記回路基板と前記半導体素子とが鉛レスはんだで接合されたことを特徴とする請求項5に記載の半導体モジュール。
- 前記金属放熱板に銅または銅合金からなる放熱ベース板が結合されたことを特徴とする請求項5又は6に記載の半導体モジュール。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005268373A JP4760251B2 (ja) | 2005-09-15 | 2005-09-15 | 回路基板の製造方法及び回路基板、半導体モジュール |
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Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
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JP2007081217A JP2007081217A (ja) | 2007-03-29 |
JP2007081217A5 JP2007081217A5 (ja) | 2009-10-15 |
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ID=37941177
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JP2005268373A Active JP4760251B2 (ja) | 2005-09-15 | 2005-09-15 | 回路基板の製造方法及び回路基板、半導体モジュール |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP4760251B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6162986B2 (ja) * | 2013-03-18 | 2017-07-12 | Dowaメタルテック株式会社 | 金属−セラミックス回路基板の製造方法 |
JP2015214738A (ja) * | 2014-05-13 | 2015-12-03 | 株式会社東芝 | 耐食性金属部材、パワーデバイス用ヒートシンク、発電機用回転翼及び耐食性金属部材の製造方法 |
JP2015230901A (ja) * | 2014-06-03 | 2015-12-21 | 三菱瓦斯化学株式会社 | 樹脂積層体及びプリント配線板 |
JP6631333B2 (ja) * | 2016-03-11 | 2020-01-15 | 三菱マテリアル株式会社 | パワーモジュール用基板の製造方法 |
WO2022138732A1 (ja) | 2020-12-24 | 2022-06-30 | 株式会社 東芝 | 絶縁性回路基板およびそれを用いた半導体装置 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2797488B2 (ja) * | 1989-07-28 | 1998-09-17 | 三菱瓦斯化学株式会社 | 薄銅箔張回路基板の製造法 |
JP4168114B2 (ja) * | 2001-09-28 | 2008-10-22 | Dowaホールディングス株式会社 | 金属−セラミックス接合体 |
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2005
- 2005-09-15 JP JP2005268373A patent/JP4760251B2/ja active Active
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007081217A (ja) | 2007-03-29 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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