JP4757630B2 - プローブカード - Google Patents
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Description
以上、本発明を実施するための最良の形態を詳述してきたが、本発明は上記一実施の形態によってのみ限定されるべきものではない。例えば、上述した一実施の形態においては、出力用導線をシールド部材によって束ねていたが、入力側で電源電圧を供給する電源線をシールドさせてもよい。
2 プローブ
3 プローブホルダ
3A、3B 接触領域
4 入力用導線
5 同軸ケーブル
6 出力用導線
7 基板
7A、7B グランド層
8 シールド板
9 シールド部材
21 入力用端子
21G 入力用端子群
22、24、27、29 グランド線
23、25、28 グランド端子
26 出力用端子
26G 出力用端子群
31 プローブヘッド
32 中継基板
33 インターポーザ
45 ハンダ
51 芯線
52 被覆シールド
71 接続用端子
100 TAB
100A、100B 検査対象
101 電極パッド
102A、102B 入力パッド群
103A、103B 出力パッド群
104A、104B 半導体チップ
Claims (4)
- 複数の検査対象と検査用の信号を生成する回路構造との間を電気的に接続し、前記複数の検査対象の少なくとも一部に対して前記検査用の信号を同時に入出力可能なプローブカードであって、
導電性材料から成り、前記検査対象と接触して電気信号の入力または出力の少なくともいずれか一方を行う複数のプローブと、
前記回路構造に対応する配線パターンを有する基板と、
前記複数のプローブのいずれかに対して一端が電気的に接続され、前記検査対象への入力信号を伝送する複数の入力用導線と、
前記基板に対して一端が電気的に接続され、他端が前記複数の入力用導線のいずれかまたは前記複数のプローブのいずれかと電気的に接続された複数の同軸ケーブルと、
前記複数のプローブのいずれかに対して一端が電気的に接続され、前記検査対象からの出力信号を伝送する複数の出力用導線と、
導電性材料から成り、隣接する二つの前記検査対象のうち一方の検査対象に接続される前記出力用導線と他方の検査対象に接続される前記入力用導線とが交差する領域の近傍に設けられたシールド板と、
を備えたことを特徴とするプローブカード。 - 隣接する二つの前記検査対象のうち一方の検査対象に接続される前記出力用導線と他方の検査対象に接続される前記入力用導線とが交差する領域の近傍で、前記一方の検査対象に接続される前記出力用導線を束ね、導電性材料から成るシールド部材をさらに備えたことを特徴とする請求項1記載のプローブカード。
- 前記基板は、前記複数の検査対象にグランド電位を供給し、検査対象ごとに当該基板の異なる領域に分離して形成されたグランド層を有することを特徴とする請求項1または2記載のプローブカード。
- 前記基板は、前記複数の検査対象に対する入力端子群と出力端子群とを備え、
同一の前記検査対象に対する入力用端子群と出力用端子群とが当該基板の異なる領域に分離して形成されたことを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項記載のプローブカード。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005380381A JP4757630B2 (ja) | 2005-12-28 | 2005-12-28 | プローブカード |
KR1020087018416A KR101021253B1 (ko) | 2005-12-28 | 2006-12-25 | 프로브카드 |
CN2006800491242A CN101346632B (zh) | 2005-12-28 | 2006-12-25 | 探针卡 |
PCT/JP2006/325756 WO2007074765A1 (ja) | 2005-12-28 | 2006-12-25 | プローブカード |
TW095149164A TW200734650A (en) | 2005-12-28 | 2006-12-27 | Probe card |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005380381A JP4757630B2 (ja) | 2005-12-28 | 2005-12-28 | プローブカード |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007178406A JP2007178406A (ja) | 2007-07-12 |
JP4757630B2 true JP4757630B2 (ja) | 2011-08-24 |
Family
ID=38217985
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005380381A Expired - Fee Related JP4757630B2 (ja) | 2005-12-28 | 2005-12-28 | プローブカード |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4757630B2 (ja) |
KR (1) | KR101021253B1 (ja) |
CN (1) | CN101346632B (ja) |
TW (1) | TW200734650A (ja) |
WO (1) | WO2007074765A1 (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5260163B2 (ja) * | 2008-07-02 | 2013-08-14 | 日置電機株式会社 | 測定装置および測定方法 |
JP5260164B2 (ja) * | 2008-07-04 | 2013-08-14 | 日置電機株式会社 | 測定装置および測定方法 |
KR101115958B1 (ko) * | 2009-12-11 | 2012-02-22 | (주)기가레인 | 프로브 카드 |
KR101455540B1 (ko) * | 2013-10-07 | 2014-11-04 | 주식회사 세디콘 | 프로브 카드 |
CN103926433B (zh) * | 2014-03-20 | 2016-06-08 | 上海华力微电子有限公司 | 探针卡 |
TWI620940B (zh) * | 2016-11-14 | 2018-04-11 | 旺矽科技股份有限公司 | 探針卡及其多重訊號傳輸板 |
KR101962529B1 (ko) * | 2017-01-03 | 2019-03-26 | 주식회사 텝스 | Dc 패러미터 테스트를 위한 수직형 울트라-로우 리키지 프로브 카드 |
US10914757B2 (en) | 2019-02-07 | 2021-02-09 | Teradyne, Inc. | Connection module |
WO2023243250A1 (ja) * | 2022-06-14 | 2023-12-21 | 住友電気工業株式会社 | クロストーク測定方法及びクロストーク測定用プローブ |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR0138618B1 (ko) * | 1993-08-04 | 1998-06-15 | 이노우에 아끼라 | 프로브카드, 프로브카드용 동축 프로브빔 및 그 제조방법 |
KR950021486A (ko) * | 1993-12-14 | 1995-07-26 | 문정환 | 집적소자의 노이즈 차폐장치 |
KR100227283B1 (ko) * | 1997-08-22 | 1999-11-01 | 김충환 | 고주파용 프로브 카드 |
JP2002257898A (ja) * | 2001-03-06 | 2002-09-11 | Nec Corp | 半導体装置検査用プローブ構造とその製造方法 |
JP2003344494A (ja) * | 2002-05-24 | 2003-12-03 | Nec Micro Systems Ltd | エミュレータプローブ |
JP2004117247A (ja) * | 2002-09-27 | 2004-04-15 | Advantest Corp | 半導体試験装置のプローバインタフェース装置及び半導体試験装置のデバイスインターフェース装置 |
KR100702003B1 (ko) * | 2003-01-18 | 2007-03-30 | 삼성전자주식회사 | 프로브 카드 |
JP2005183863A (ja) * | 2003-12-24 | 2005-07-07 | Renesas Technology Corp | 半導体集積回路装置の製造方法 |
-
2005
- 2005-12-28 JP JP2005380381A patent/JP4757630B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2006
- 2006-12-25 KR KR1020087018416A patent/KR101021253B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2006-12-25 CN CN2006800491242A patent/CN101346632B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2006-12-25 WO PCT/JP2006/325756 patent/WO2007074765A1/ja active Application Filing
- 2006-12-27 TW TW095149164A patent/TW200734650A/zh not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW200734650A (en) | 2007-09-16 |
CN101346632B (zh) | 2011-03-30 |
JP2007178406A (ja) | 2007-07-12 |
KR101021253B1 (ko) | 2011-03-11 |
CN101346632A (zh) | 2009-01-14 |
KR20080083020A (ko) | 2008-09-12 |
TWI324256B (ja) | 2010-05-01 |
WO2007074765A1 (ja) | 2007-07-05 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080603 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110531 |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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