JP4752288B2

JP4752288B2 - スピンコート装置およびレンズの製造方法

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Publication number: JP4752288B2
Application number: JP2005053244A
Authority: JP
Inventors: 敬介高田
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2005-02-28
Filing date: 2005-02-28
Publication date: 2011-08-17
Anticipated expiration: 2025-02-28
Also published as: JP2006231282A

Description

本発明は、スピンコート装置およびレンズの製造方法に関する。特に、眼鏡用などのレンズの成膜加工時におけるスピンコート装置およびレンズの製造方法に関する。

従来、眼鏡用などのレンズでは、表面反射によるゴーストおよびちらつきを防止する加工として、プラスチック、ガラスなどの基材表面に反射防止膜を形成することが行われている。
この反射防止膜は、従来、主に真空蒸着法による多層膜として形成されていたが、真空蒸着法では、真空プロセスを必要とするため、製造装置が大型化、複雑化してしまう。そのため、近年では、反射防止膜を形成する方法として、反射防止機能を有する硬化性液体を使用してレンズをコーティングする方法も行われている（例えば、特許文献１参照）。

ここで、反射防止膜を硬化性液体によりコーティングする際は、レンズが吸引チャックされ、特許文献１にも示されるように、スピンコートなどの湿式法によりコーティング液を均一な厚さで塗布する。具体的には、支持体に取り付けられたパッドにレンズを配置し、レンズをパッド側に吸引することでレンズをパッドと密着させて保持し、レンズの塗布面にノズルからコーティング液を吐出する。なお、スピンコートを行う場合は、支持体の高速回転によりレンズが回転し、塗布面に滴下されたコーティング液が遠心力によって塗り広げられるため、反射防止膜を薄く、より均一な厚さとすることが可能である。

特開２００３−２２２７０３号公報（［００３５］、［００３６］）

しかしながら、前述のようにレンズをコーティングする際、吸着パッドにより保持されたレンズの部分がパッドと密着して保熱されるため、パッドに保持された部分と保持されない部分との間の熱的なムラにより、反射防止膜の厚さがばらついて干渉色のムラが生じてしまうという問題があった。このパッドによる保熱作用は、被保持面の一部がパッドにより保持されている場合に限らず、被保持面の全体が保持されている場合であっても同様に生じ、パッドに保持された部分と保持されない部分との温度差により、被保持面とは反対側の塗布面に熱のムラが生じてしまう。
特に、スピンコート方式では、支持体の高速回転によりコーティング液に含まれる溶剤成分の気化が促進され、気化熱により、レンズが冷却される際にレンズに熱的なムラが生じやすくなるので、ときにはレンズ表面に色班が生じるなど、熱的なムラによる塗布面への影響は深刻なものであった。
また、パッドに保持されるレンズの部分の厚みが薄い場合には特に、パッドに保持された部分の熱が塗布面に伝達され易く、塗布面への影響が多大であった。

なお、このような保持具によるレンズの熱ムラの問題は、反射防止膜の形成に限らず、レンズへの傷付きを防止するハードコートの形成に際しても同様に生じるおそれがある。すなわち、保持具の保熱作用によりハードコートの膜厚がばらつくと、所定の耐擦傷性を確保することができない。そのうえ、このようなハードコート膜の上に反射防止膜を均一な膜厚で形成することは困難であり、反射防止膜に色ムラが生じてしまう。

このような問題点から、本発明の目的は、保持具からレンズへの熱伝達が殆んど生じず、コーティングにおける膜厚のばらつきを防止することができるスピンコート装置およびレンズの製造方法を提供することにある。

本発明のスピンコート装置は、レンズの被保持面に当接され、前記レンズの吸引により前記レンズを密着保持する保持具と、この保持具に保持されたレンズにコーティング組成物を吐出する吐出装置とを備えたスピンコート装置であって、前記レンズ保持具は、回転軸と、この回転軸に設けられる吸着パッドと、この吸着パッドと前記レンズとの間に設けられる弾性体と、前記レンズを吸引する真空ポンプと、を備え、前記弾性体は、通気性を有し、複数の気泡が互いに連通する連続気泡が設けられ、前記真空ポンプのリーク量が１ｋPａ以上であることを特徴とする。
この発明によれば、保持具を介してレンズを吸引する際、弾性体がレンズの被保持面と保持具の当接面との間の隙間形状に倣って弾性変形し、保持具とレンズとが密着されるとともに、吸引に伴って外部空気が弾性体の内部を移動し、弾性体を挟んだレンズと保持具との間に通気層が形成されるため、保持具からとレンズへの熱伝達が殆んど生じない。すなわち、レンズと保持具とが吸引時の通気（リーク）によって断熱され、保持具自体の熱がレンズに伝達されないので、保持具によるレンズの保熱が解消され、レンズに熱的なムラが生じない。つまり、保持具にレンズが保持された部分と保持されない部分との温度差が生じず、レンズの被保持面と反対側の加工面に熱的な影響が及ばないので、レンズ加工のばらつきを防止することができる。

したがって、レンズに反射防止膜のコーティング加工を行う場合は、膜厚を均一にすることができ、膜厚のばらつきによる干渉色のばらつきを抑制することができる。この反射防止膜により表面反射が防止されることによって、光学系の光束透過率が向上し、結像に寄与しない不要光（迷光）が低減され、像のコントラストを向上させることができる。
しかも、隣接する気泡同士が連通した構造により、吸引時における通気性を十分に確保することができるとともに、各気泡がレンズ表面にそれぞれ密接するので、レンズとの密着性が向上し、レンズを安定的に保持できる。

本発明のレンズの保持具では、前記弾性体は、ポリウレタンフォームであることが好ましい。
この発明によれば、連続気泡構造であるポリウレタンフォームにより、弾性と通気性とを十分に確保できる。また、ポリウレタン材料により、耐候性、耐油性および耐薬品性などを発揮できる。
なお、ポリエステル系のポリウレタンフォーム、ポリエーテル系のポリウレタンフォームのいずれも採用することができる。これらのポリウレタンフォームにおける連続気泡構造を形成するには、発泡剤の添加により発泡ブロックを成形し、爆発、押し出し成形、プレス成形などで気泡の壁を破る方法や、材料に練り込んだ粉末等を分解溶出する方法、空気を吹き込み高速攪拌して形成された独立気泡構造をゲル化し、ゲル化時の材料の収縮によって気泡の壁にクラックを入れる方法など、任意の方法を採用できる。

本発明のレンズの保持具では、前記弾性体の密度は、１０〜６０ｋｇ／ｍ^３であることが好ましい。
ここで、弾性体の密度が１０ｋｇ／ｍ^３未満の場合は、弾性が不足して吸引時につぶれてしまい、通気性を確保するのが困難となる。一方、弾性体の密度が６０ｋｇ／ｍ^３を超える場合は、その密な構造により、弾性体内部の気流の流れが阻害され、やはり通気性が確保されない。
したがって、弾性体の密度が１０〜６０ｋｇ／ｍ^３とされた本発明によれば、弾性体の適度な弾性、および適度な通気性を確保することができる。

本発明のレンズの製造方法は、前記スピンコート装置を用いてレンズを製造する方法であって、前記保持具の回転軸を回転させて、前記レンズの前記被保持面とは反対側の面に吐出された液状のコーティング組成物を塗り広げる工程を備え、前記コーティング組成物を塗り広げる工程を所定の真空条件下で行い、前記保持具で前記レンズを保持する際のリーク量が、１ｋＰａ以上であることを特徴とする。
この発明によれば、前述した保持具が使用され、保持具を介してレンズを回転させることにより、レンズ表面に滴下されたコーティング組成物が遠心力で塗り広げられ、薄く均一な膜を形成することが可能となる。
ここで、レンズの回転により、コーティング組成物の気化が促進されるが、レンズが保持具によって保熱されていないので、レンズが全体的に均一に冷却される。すなわち、気化熱による冷却時に生じやすい熱のムラを効果的に防止することが可能となるため、このようにレンズを回転させてスピンコートを行う際に、本発明の効果を際立たせることができる。

本発明のレンズの製造方法では、前記コーティング組成物は、反射防止膜を構成する組成物であることが好ましい。
この発明によれば、コーティング組成物のレンズ基材への塗布によって反射防止膜が形成され、真空蒸着装置などの大型の装置が不要となるため、製造コストを低減できる。
また、前述の保持具の使用によってレンズの熱的なムラが解消され、反射防止膜を形成する場合の非常に高い膜厚精度の要求に応えることができるので、本発明は、レンズの反射防止膜形成方法として極めて有用である。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１は、本発明に係るレンズの保持具２０を用いたスピンコート装置１の概略図である。
スピンコート装置１の内部には、図１に示すように、レンズのコーティング作業が行われる槽１１が形成され、槽１１の底部には、レンズ５０の保持具２０が配設されるとともに、槽１１の底部側面側には、コーティング廃液の排出口１１１が形成されている。また、槽１１の上方には、図示しない加圧タンクとチューブで連通したノズル１２１とを具備する吐出装置１２が配置されており、待機位置と保持具２０の上方との間を移動する構造になっている。
さらに、スピンコート装置１の上部には、ＨＥＰＡフィルタ１３が設けられ、スピンコート装置１の内部は局所クリーン構造となっている。

図２は、図１を拡大して保持具２０を示す図である。
保持具２０は、モーター３０を動力源として回転する筒状の回転軸２１と、ベアリング２２３と、ハウジング２２と、回転軸２１の一端側に設けられたホルダー２３と、このホルダー２３に取り付けられた吸着パッド２４とを備えて構成され、吸着パッド２４に配置されたレンズ５０を保持するものである。

回転軸２１には、ホルダー２３側とは反対側の端部に歯付きプーリー２１１が設けられ、このプーリー２１１と、モーター３０に設けられた歯付きプーリー３０１とに掛け回されたタイミングベルト３０２により、モーター３０の回転が回転軸２１に伝達されている。
また、回転軸２１のプーリー２１１側の端部の旋回継ぎ手２８には、真空ポンプ４０からの配管２９が接続され、この真空ポンプ４０の吸引により、回転軸２１の内部を通じて、吸着パッド２４に配置されたレンズ５０が吸着される。

ベアリング２２３は、回転軸２１の軸周りに設けられたハウジング２２を備え、回転軸２１との間で回転自在な複数のボール２２１をボール保持部２２２で保持し、ボール２２１の回転により、回転軸２１の回転を円滑に受けている。
なお、回転軸２１の端部はベアリング２２３から突出しており、突出部にホルダー２３を差し込んだ後にネジ止めする構造になっている。

ホルダー２３は、テフロン（登録商標）製の円板状部材であり、中央に形成された孔２３１に対し、回転軸２１の端部を差し込んで固定する構造になっている。また、孔２３１の周縁から立ち上がる突出部２３２が形成されており、この突出部２３２の周りに吸着パッド２４が取り付けられる。

吸着パッド２４は、ニトリルゴム、フッ素ゴム、クロロプレンゴム、シリコーンゴム等により形成された平面視環状の部材であって、断面形状は略コ字状であり、このコ字形状における対向部分の一方がホルダー２３に支持され、他方の部分がレンズ５０の保持部２４１とされている。
なお、吸着パッド２４の材質には、このようなゴム素材のほか、レンズ５０の形状に追従、密着可能な各種の弾性部材を使用できる。

ここで、吸着パッド２４の保持部２４１には、レンズ５０との当接面に弾性体２５が配置されており、弾性体２５は保持部２４１の表面に接着固定されている。
図３は、弾性体２５を示す図である。弾性体２５は、シート状のポリウレタンフォームの打ち抜きまたは裁断により、保持部２４１の表面を覆うドーナツ状に形成されている。この弾性体２５の材質であるポリウレタンフォームは、多数の微小孔（気泡）が形成された連続気泡構造であり、隣接する気泡同士が繋がっているため、良好な通気性および弾性を有する。なお、弾性体２５の密度は１０〜６０ｋｇ／ｍ^３であり、適度な弾性を有する。また、弾性体２５における各気泡の径は、例えば、約０．４５ｍｍである。

レンズ５０は、プラスチック製レンズであり、真空ポンプ４０の吸引によって吸着パッド２４に保持される。なお、図２等では、レンズ５０の凹面が被保持面５１として保持され、凸面が加工面５２とされているが、同一の吸着パッド２４を用いてレンズ５０の凸面側を保持し、凹面を加工することも可能である。

図４（Ａ）および（Ｂ）は、レンズ５０の断面図であって、レンズ５０の基材５００に積層された複数の膜を示している。
図４（Ａ）では、レンズ５０の凹面側、凸面側の両方に、基材５００表面から順に、プライマー膜５０１、ハードコート膜５０２、反射防止膜５０３、防汚膜５０４がそれぞれ形成されている。
プライマー膜５０１は、ウレタン樹脂などで形成され、基材５００とハードコート膜５０２との密着性を高める必要がある場合や、耐衝撃性を向上させる必要がある場合に形成されたもので、図４（Ｂ）のように、プライマー膜５０１を形成せずに基材５００に直接ハードコート膜５０２を形成する場合もある。

ハードコート膜５０２は、シリコーン系、アクリル系材料により、レンズ５０の傷付きを防止するために、例えば、２μｍ程度の厚さで形成されている。このハードコート膜５０２を基材５００に直に形成する場合は、基材５００の表面にあらかじめアルカリ処理、酸処理、微粒子による研磨処理、プラズマ処理等を行うことが好ましく、これにより、基材５００とハードコート膜５０２との密着性が向上する。

また、反射防止膜５０３は、レンズ５０の表面反射を防止するために、これより下層のハードコート膜５０２、プライマー膜５０１、及び基材５００よりも低屈折の層として形成される。
この反射防止膜５０３は、後述するように、スピンコート装置１によりレンズ５０の加工面５２に塗布され、単層膜としてだけでなく、多層膜として形成することも可能である。
スピンコート装置１で塗布されるコーティング液ＬＱとしては、フッ素系化合物や、シラン化合物等を使用できる。本実施形態では、シラン化合物を有機溶剤で希釈し、必要に応じて水または薄い塩酸、酢酸等を添加して加水分解を行い、さらに、シリカ系微粒子が有機溶剤中にコロイド状に分散したゾルを添加した後、必要に応じて界面活性剤、紫外線吸収剤、酸化防止剤などを添加し、十分に撹拌したものをコーティング液ＬＱとして使用する。
このような反射防止膜５０３の膜厚は、所望の光学特性を実現するため、例えば、所定の膜厚１００ｎｍに対して、±１０ｎｍの範囲で制御されている。
防汚膜５０４は、防汚成分としてフッ素含有化合物が添加されたもので、レンズ５０の最表層として形成されている。

このようなレンズ５０を製造する際には、まず、液体のプラスチック原料に対して加熱及び／又は光照射をして基材５００を成形し、基材５００にプライマー膜５０１およびハードコート膜５０２を形成する。これらのプライマー膜５０１およびハードコート膜５０２の形成は、ディッピング法、スピンナー法、ロールコート法、スプレー、インクジェット法法あるいはフロー法によりコーティング液を塗布した後、加熱乾燥することにより行う。そして、ハードコート膜５０２の表面にプラズマによって表面改質処理を施した後、スピンコート装置１により、反射防止膜５０３のコーティングを行う。

以下、反射防止膜５０３の塗布工程について説明する。
反射防止膜５０３の塗布工程では、次のようにレンズ５０を保持し、スピンコートを実施する。
まず、保持具２０の吸着パッド２４にレンズ５０を供給し、真空ポンプ４０で吸引チャックする。この際、レンズ５０の形状に従って吸着パッド２４の保持部２４１および弾性体２５が弾性変形し、弾性体２５がレンズ５０の被保持面５１に密着することで、レンズ５０が動かずに確実に保持される。

ここで、弾性体２５の前述の密度による適度な弾性により、弾性体２５は吸引時にもつぶれず、気泡間を気流が移動自在であるため、適度な通気性を有している。このため、真空ポンプ４０のリーク量（弾性体２５を保持具２０に設けない場合と比べた真空度の差）は１ｋＰａ以上であって、真空ポンプ４０の吸引に伴って外部空気が弾性体２５の内部を移動し、回転軸２１の内部に向かって流れる通気流ＣＲが形成される。この通気流ＣＲにより、レンズ５０と吸着パッド２４とが断熱され、吸着パッド２４の保持部２４１近傍のレンズ５０部分が、レンズ５０のその他の部分と比べて保熱されない。つまり、レンズ５０は、吸着パッド２４による熱の影響がない状態で保持されている。

このようにレンズ５０を保持具２０にセットしたら、モーター３０を作動させ、保持具２０の回転軸２１を介してレンズ５０を回転させながら、レンズ５０の加工面５２にノズル１２１からコーティング液ＬＱを吐出する。
すると、コーティング液ＬＱは、遠心力により、レンズ５０の加工面５２の内側から外側に向かって塗り広げられる。このとき、レンズ５０の回転によりコーティング液ＬＱの気化が促進されてレンズ５０が冷却されるが、前述のようにレンズ５０が吸着パッド２４により保熱されることなく、レンズ５０の熱状態は均一であるため、この気化作用によってもレンズ５０に熱的なムラが生じない。レンズ５０が熱的に均一であることから、コーティング液ＬＱが加工面５２全体に薄く均一な厚さで塗布される。

このようなスピンコート処理が終わると、レンズ５０の乾燥、焼成工程が行われる。コーティング液ＬＱがレンズ５０に均一な厚さで塗布されているので、硬化した反射防止膜５０３も均一な厚さとなる。
このような操作を、レンズ５０の両面に対して行う。
この反射防止膜５０３の上に、レンズ５０の最表層として防汚膜５０４を形成することにより、眼鏡用レンズ５０が完成する。

以上説明した本実施形態によれば、次のような効果を得ることができる。
（１）保持具２０において、吸着パッド２４のレンズ５０との当接面に弾性体２５を設けたことにより、レンズ５０を吸引する際、吸着パッド２４とレンズ５０との密着性が向上する。
加えて、弾性体２５を介した通気流ＣＲにより吸着パッド２４とレンズ５０との間で熱交換が殆んど生じないので、レンズ５０に熱的なムラが生じず、レンズ５０の加工面５２に形成される反射防止膜５０３を均一な厚さで形成することができる。したがって、反射防止膜５０３の膜厚のばらつきによる干渉色のばらつきが抑制され、レンズ５０の表面反射をより確実に防止できる。

（２）また、弾性体２５は多数の微小孔が互いに連通した構造のポリウレタンフォーム製であることにより、弾性体２５の弾性と、レンズ５０の吸引時における通気性とが十分に確保され、弾性体２５のレンズ５０との密着性がより向上するとともに、レンズ５０と吸着パッド２４との断熱効果が高まる。

（３）弾性体２５の密度が１０〜６０ｋｇ／ｍ^３であるため、弾性体２５は適度な弾性、および通気性を有する。すなわち、弾性の点では、弾性が不足して吸引時につぶれたり、逆に硬すぎてレンズ５０の形状に追従せず、レンズ５０と密着しないなどの不具合がない。また、通気性の点では、弾性体２５が吸引時につぶれず、また、密な構造によって気流の流れが阻害されることもないので、通気が確保され、弾性体２５によるレンズ５０と吸着パッド２４との断熱性を担保できる。したがって、弾性体２５からレンズ５０への熱伝達を抑制することができる。

（４）反射防止膜５０３を形成する手段としてスピンコート方式が採用され、回転に伴う気化熱によって生じやすいレンズ５０の熱的なムラを効果的に防止することが可能となるため、ここに、本発明の効果を際立たせることができる。

（５）また、保持手段に起因するレンズ５０の熱的なムラが保持具２０の使用によって解消され、反射防止膜５０３を形成する場合の非常に高い膜厚精度の要求に応えることができる。このため、保持具２０は、反射防止膜５０３を形成するにあたり、非常に有用な保持手段となる。

（６）コーティング液ＬＱを塗り広げる工程において、吸着パッド２４によってレンズ５０を保持する際の真空ポンプ４０のリーク量が１ｋＰａ以上であるため、弾性体２５の通気量が確保され、吸着パッド２４からレンズ５０への熱伝達を確実に防止することができる。

ここで、本実施形態における弾性体２５の変形例を示す。
図５は、吸着パッド２４に取り付け可能な他の弾性体２７を示している。
弾性体２７は、前述の弾性体２５の形状を変更したもので、弾性体２５がドーナツ形状であったのに対して、孔のない円形板状に形成されている。この弾性体２７は、レンズ５０の被保持面５１略全体と当接する。
このような弾性体２７によっても、前述のような連続気泡構造による通気性により、レンズ５０と吸着パッド２４との間を断熱することが可能である。すなわち、レンズ５０の被保持面５１の全体が保持される場合でも、前記実施形態のように一部が保持される場合でも、吸着パッド２４そのものの熱がレンズ５０に伝達される限り、レンズ５０の被保持面５１と、被保持面５１とは反対側の加工面５２との間に温度差が生じ、レンズ５０内部の熱の伝達によってレンズ５０に熱のムラが生じやすくなる。このため、レンズ５０と吸着パッド２４とを断熱し、吸着パッド２４からてレンズ５０への熱伝達を抑制することで、レンズ５０の熱的なムラを防止できる。

なお、本発明の弾性体の形状や材質は、前述の弾性体２５および弾性体２７の形状および材質に限らず、レンズ形状に従って変形し、レンズを密着保持可能であってレンズとの間に通気性を有する各種の形状および材質を採用できる。
また、前記実施形態では、弾性体２５が吸着パッド２４に接着されていたが、弾性体を保持具の部材に設ける手段は接着に限らない。
例えば、弾性体を吸着パッドなどの部材に被せるように配設したり、パッドに詰め込むように配設することも可能である。また、使用の都度、パッドとレンズとの間に弾性体を挟みこんでもよい。

そして、弾性体の材質についても、前述のような連続気泡構造のものに限らない。例えば、弾性体の内部に、外部空気を吸引側に通過させる細孔やスリットが形成されたものなどを例示できる。
すなわち、本発明は、主に特定の実施の形態に関して特に図示され、かつ、説明されているが、以上述べた実施の形態に対し、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができる。

次に、本発明の実施例について説明する。なお、以下の説明における数値などは、本発明を実施するにあたり、あくまで一例を示すものに過ぎない。
〔実施例１〕
前記実施形態におけるスピンコート装置１を使用して、眼鏡用レンズに反射防止膜を形成した。ここで、レンズの保持具に設けられた弾性体、そしてレンズの材質および形状等は次の通りである。

・弾性体の構成
材質：ポリエステル系ポリウレタンフォーム
材質の密度：３０ｋｇ／ｍ^３
厚さ：４ｍｍ

・眼鏡用レンズの構成
材質：プラスチック
中心厚：１．１ｍｍ
外周厚：４．５ｍｍ
直径：８０ｍｍ

なお、レンズ両面には、予めディップコートによりハードコート膜を形成し、さらにプラズマで表面改質処理を施した。
そして、図６に示すように、レンズ５０の凹面を保持し、前記実施形態と同様の手順により、凸面に対して反射防止膜のコーティングを行った。まず、真空ポンプ４０により７７ｋＰａの圧力条件でレンズ５０を吸引し、レンズ５０を吸着パッド２４に保持する。この吸引における真空度は、７０ｋＰａであり、レンズ５０と吸着パッド２４との間の弾性体２５によるリーク量は、７ｋＰａであった。
そして、保持具２０に接続されたモーター３０により、レンズ５０を低速で回転させながらレンズ５０表面にコーティング液ＬＱを吐出し、続いてモーターの回転数切り替えによってレンズ５０を高速回転させ、レンズ５０凸面に拡がったコーティング液ＬＱを振り切った。その後、乾燥、焼成することにより反射防止膜を形成した。
また、レンズ５０を裏返して凸面側を保持し、凹面側にも前述と同様の方法によって反射防止膜を形成した。さらに、レンズ５０両面に防汚膜を形成してレンズ５０の成膜を完了した。

その結果、眼鏡用レンズ５０の外観は良好であり、反射防止膜の干渉色のバラツキ（色ムラ）は生じていなかった。

〔実施例２〕
さらに、実施例２として、実施例１における真空度が、７０ｋＰａであり、レンズ５０と吸着パッド２４との間の弾性体２５によるリーク量が、７ｋＰａであったのに代えて、真空度を４０ｋＰａとし、リーク量を１ｋＰａにした例を示す。
この実施例２で使用した弾性体２５の形状および寸法などは実施例１と同様である。そして、実施例１と同様の手順により、実施例１と同様のレンズについて成膜加工を実施した。
その結果、眼鏡用レンズ５０の外観は良好であり、反射防止膜の干渉色のバラツキ（色ムラ）は生じていなかった。
〔比較例１〕
次に、実施例１と対比するための比較例１を示す。
図７に、比較例１における保持具６０の構成を示した。この保持具６０は、弾性体が吸着パッド２４に配設されていない点を除いて、実施例の保持具２０と同様の構成であり、実施例１と同様の手順により、実施例１と同様のレンズ５０について成膜加工を実施した。ここで、実施例１と同様に７７ｋＰａの圧力条件でレンズを吸引したところ、吸着パッド２４とレンズ５０との間にはリークが生じないことから、真空度は７７ｋＰａであった。
その結果、得られた眼鏡用レンズ５０において、吸着パッド２４が当接された部分には、反射防止膜の膜厚が均一でないことに起因する干渉色のバラツキ（色ムラ）が認められた。

〔比較例２〕
さらに、比較例２として、実施例１における弾性体２５（図６）に代えて、密度２００ｋｇ／ｍ^３のゴムスポンジを使用した例を示す。
この比較例２で使用したゴムスポンジの形状および寸法などは実施例１における弾性体と同様である。そして、実施例１と同様の手順により、実施例１と同様のレンズについて成膜加工を実施した。この際、実施例１と同様に７７ｋＰａの圧力条件でレンズを吸引したが、真空度は７７ｋＰａであり、ゴムスポンジが高密度であることから、このゴムスポンジを介したリークは生じず、リーク量は０ｋＰａであると認められた。
その結果、眼鏡用レンズ５０において、吸着パッド２４が当接された部分には、反射防止膜の膜厚の不均一による干渉色のバラツキ（色ムラ）が発生していた。

〔比較例３〕
続いて、比較例３として、実施例１における弾性体２５（図６）の材質を密度５ｋｇ／ｍ^３のポリウレタンフォームに変更した例を示す。
この比較例３においても、実施例１と同様の手順により、実施例１と同様のレンズについて成膜加工を実施した。この際、実施例１と同様に７７ｋＰａの圧力条件でレンズを吸引したが、真空度は７７ｋＰａであり、弾性体の密度が低いために気泡がつぶれてしまい、弾性体によるリーク量は０ｋＰａであるものと認められた。
その結果、眼鏡用レンズ５０において、吸着パッド２４が当接された部分には、反射防止膜の膜厚の不均一による干渉色のバラツキ（色ムラ）が発生していた。

ここで、比較例１〜３と実施例１とを比べると、実施例１では、弾性体２５を介した通気により、真空度が７ｋＰａ低下し（吸引時の残留圧力が７ｋＰａ上昇し）、そのリーク量の差は７ｋＰａに達する。すなわち、実施例１では、リーク量７ｋＰａに相当する通気量でレンズと吸着パッドとの間が十分に断熱された結果、吸着パッドによる保熱作用が生じず、レンズの色ムラの問題は回避されたものと判断できる。
また、実施例２の結果から、リーク量が１ｋＰａ以上であれば、弾性体２５による断熱効果を奏し、レンズの色ムラの問題が解消されることがわかった。

以上の実施例１、２および比較例１〜３について下表にまとめる。

本発明は、レンズのコーティング加工全般、例えば、反射防止膜、プライマー膜、ハードコート膜、防汚膜などのコーティングを行う際のレンズ保持具としても利用できる。

本発明の実施形態におけるスピンコート装置の概略図。前記実施形態における保持具の側断面図。前記実施形態における保持具の弾性体を示す斜視図。前記実施形態において保持されるレンズの断面図。前記実施形態における保持具に取り付け可能な他の弾性体を示す斜視図。本発明の実施例における保持具の側断面図。比較例１におけるレンズ保持具の側断面図。

符号の説明

１・・・スピンコート装置、２０・・・保持具、２４・・・吸着パッド、２５，２７・・・弾性体、４０・・・真空ポンプ、５０・・・レンズ、５１・・・被保持面、５０３・・・反射防止膜、ＣＲ・・・通気流、ＬＱ・・・コーティング液（コーティング組成物）。

Claims

レンズの被保持面に当接され、前記レンズの吸引により前記レンズを密着保持する保持具と、この保持具に保持されたレンズにコーティング組成物を吐出する吐出装置とを備えたスピンコート装置であって、
前記保持具は、回転軸と、この回転軸に設けられる吸着パッドと、この吸着パッドと前記レンズとの間に設けられる弾性体と、前記レンズを吸引する真空ポンプと、を備え、前記弾性体は、通気性を有し、複数の気泡が互いに連通する連続気泡が設けられ、前記真空ポンプのリーク量が１ｋPａ以上であることを特徴とするスピンコート装置。
請求項１に記載のスピンコート装置において、
前記弾性体は、ポリウレタンフォームである
ことを特徴とするスピンコート装置。
請求項１または請求項２に記載のスピンコート装置において、
前記弾性体の密度は、１０〜６０ｋｇ／ｍ^３である
ことを特徴とするスピンコート装置。
請求項１から請求項３のいずれかに記載のスピンコート装置を用いてレンズを製造する方法であって、
前記保持具の回転軸を回転させて、前記レンズの前記被保持面とは反対側の面に吐出された液状のコーティング組成物を塗り広げる工程を備え、前記コーティング組成物を塗り広げる工程を所定の真空条件下で行い、前記保持具で前記レンズを保持する際のリーク量が、１ｋＰａ以上であることを特徴とするレンズの製造方法。
請求項４に記載のレンズの製造方法において、
前記コーティング組成物は、反射防止膜を構成する組成物である
ことを特徴とするレンズの製造方法。