JP4734876B2 - リニアアクチュエータ - Google Patents
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Description
sin(2πfot+2πXa/P)及びsin(2πfot+2πXb/P)
で与えられる。
(1)位置検出手段を備えた一対のリニアモータのステータを所定距離を隔てて平行に配置し、前記リニアモータのスライダ間をアーム部材で結合したリニアアクチュエータにおいて、
前記一対の位置検出手段の出力の和に基づき前記スライダ間の中点位置信号を算出する中点位置検出手段と、
前記一対の位置検出手段の出力の差に基づき前記スライダ間の位置誤差信号を算出する位置誤差検出手段と、
前記中点位置信号と目標位置信号との偏差に基づく推力指令によりドライバを介して前記リニアモータのスライダを駆動する中点位置制御手段と、
前記位置誤差信号を演算した補正信号を前記推力指令に差動的に重畳させる姿勢制御手段と、
を備え、
前記一対の位置検出手段の出力は、前記スライダの位置に応じて位相が変調される正弦波の位相変調信号であり、
前記中点位置検出手段は、前記一対の位置検出手段が出力する位相変調信号を平均演算することにより前記中点位置信号を算出し、
前記位置誤差検出手段は、前記一対の位置検出手段が出力する位相変調信号の位相差を演算することにより前記位置誤差信号を算出することを特徴とするリニアアクチュエータ。
Xa=Xc+ΔX,Xb=Xc−ΔXで与えられ、
前記ドライバのスキャン周期をfo、リニアモータのスリットピッチをPとするとき、前記夫々の位置検出手段の出力信号は、
sin(2πfot+2πXa/P),sin(2πfot+2πXb/P)で与えられ、 前記中点位置信号Pfcは、これらの単純加算値、
2sin(2πfot+2πXc/P)で与えられることを特徴とする(1)に記載のリニアアクチュエータ。
Xa=Xc+ΔX,Xb=Xc−ΔXで与えられ、
前記ドライバのスキャン周期をfo、リニアモータのスリットピッチをPとするとき、前記夫々の位置検出手段の出力信号は、
sin(2πfot+2πXa/P),sin(2πfot+2πXb/P)で与えられ、 前記位置誤差信号Peは、これら出力信号の位相差、2π・2ΔX/Pで与えられることを特徴とする(1)に記載のリニアアクチュエータ。
(1)一対のリニアモータのスライダ間を結合するアーム部材の中点位置を演算で検出し、この位置を各位置制御手段によりフィードバック制御することにより、中点を高精度で位置決めすることが可能となる。
Pfa=sin(2πfot+2πXa/P) (1)
Pfb=sin(2πfot+2πXb/P) (2)
で与えられる。
Pfc=sin(2πfot+2πXa/P)+sin(2πfot+2πXb/P)
=sin(2πfot+2πXc/P+2πΔX/P)
+sin(2πfot+2πXc/P−2πΔX/P)
=2cos2πΔX/P・sin2πfot+2πXc/P) (3)
Pfc=2sin(2πfot+2πXc/P) (4)
で与えられる。演算によりこれを1/2倍した信号を中点Xcの位置信号Pfcとする。
Pfa=sin(2πfot+2πXa/P)
=sin(2πfot+2πXc/P+2πΔX/P) (5)
Pfb=sin(2πfot+2πXb/P)
=sin(2πfot+2πXc/P−2πΔX/P) (6)
(5)式及び(6)式より、両者の位相差は2π・2ΔX/Pとなり、ΔX<<Pであれば、転流制御の理論からこの位相差が位置誤差検出信号Peとなる。
4 第1位置制御ドライバ
5 第2位置制御ドライバ
6 第1リニアモータ
7 第2リニアモータ
61,71 ステータ
62,72 スライダ
8,9 位置検出手段
10 アーム部材
C 中点
100 中点位置制御手段
200 姿勢制御手段
300 中点位置検出手段
301 加算器
302 平均値演算器
400 位置誤差検出手段
401 位相差検出器
501 加算器
502 減算器
Claims (6)
- 位置検出手段を備えた一対のリニアモータのステータを所定距離を隔てて平行に配置し、前記リニアモータのスライダ間をアーム部材で結合したリニアアクチュエータにおいて、
前記一対の位置検出手段の出力の和に基づき前記スライダ間の中点位置信号を算出する中点位置検出手段と、
前記一対の位置検出手段の出力の差に基づき前記スライダ間の位置誤差信号を算出する位置誤差検出手段と、
前記中点位置信号と目標位置信号との偏差に基づく推力指令によりドライバを介して前記リニアモータのスライダを駆動する中点位置制御手段と、
前記位置誤差信号を演算した補正信号を前記推力指令に差動的に重畳させる姿勢制御手段と、
を備え、
前記一対の位置検出手段の出力は、前記スライダの位置に応じて位相が変調される正弦波の位相変調信号であり、
前記中点位置検出手段は、前記一対の位置検出手段が出力する位相変調信号を平均演算することにより前記中点位置信号を算出し、
前記位置誤差検出手段は、前記一対の位置検出手段が出力する位相変調信号の位相差を演算することにより前記位置誤差信号を算出することを特徴とするリニアアクチュエータ。 - 前記一対のリニアモータのスライダ位置Xa,Xbは、前記中点位置Xcからのずれを±ΔXとするとき、
Xa=Xc+ΔX,Xb=Xc−ΔXで与えられ、
前記ドライバのスキャン周期をfo、リニアモータのスリットピッチをPとするとき、前記夫々の位置検出手段の出力信号は、
sin(2πfot+2πXa/P),sin(2πfot+2πXb/P)で与えられ、 前記中点位置信号Pfcは、これらの単純加算値、
2sin(2πfot+2πXc/P)で与えられることを特徴とする請求項1に記載のリニアアクチュエータ。 - 前記一対のリニアモータのスライダ位置Xa,Xbは、前記中点位置Xcからのずれを±ΔXとするとき、
Xa=Xc+ΔX,Xb=Xc−ΔXで与えられ、
前記ドライバのスキャン周期をfo、リニアモータのスリットピッチをPとするとき、前記夫々の位置検出手段の出力信号は、
sin(2πfot+2πXa/P),sin(2πfot+2πXb/P)で与えられ、 前記位置誤差信号Peは、これら出力信号の位相差、2π・2ΔX/Pで与えられることを特徴とする請求項1に記載のリニアアクチュエータ。 - 前記中点位置XcからのずれΔXは、前記スリットピッチPに対し、ΔX<<Pであることを特徴とする請求項2又は3に記載のリニアアクチュエータ。
- 前記中点位置制御手段は、中点位置信号の周期信号に基づき前記中点位置の位置信号及び速度信号に変換する位置変換手段及び速度変換手段を有することを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載のリニアアクチュエータ。
- 前記姿勢制御手段は、位置誤差信号の位相差に基づき前記スライダ間の位置誤差信号及び速度信号に変換する位置変換手段及び速度変換手段を有することを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載のリニアアクチュエータ。
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JP2004281088A JP4734876B2 (ja) | 2004-09-28 | 2004-09-28 | リニアアクチュエータ |
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JP2004281088A JP4734876B2 (ja) | 2004-09-28 | 2004-09-28 | リニアアクチュエータ |
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JPH0898574A (ja) * | 1994-09-20 | 1996-04-12 | Yokogawa Electric Corp | リニアモータ・ドライブ・システム |
JPH10144603A (ja) * | 1996-11-14 | 1998-05-29 | Canon Inc | ステージ装置およびこれを用いた露光装置 |
JPH11305839A (ja) * | 1998-04-21 | 1999-11-05 | Fanuc Ltd | 複数のサーボモータの制御方法 |
JP2001022448A (ja) * | 1999-07-02 | 2001-01-26 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | ステージ位置制御方法及びステージ位置制御装置 |
JP2003263228A (ja) * | 2002-03-08 | 2003-09-19 | Yaskawa Electric Corp | 同期制御装置 |
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2004
- 2004-09-28 JP JP2004281088A patent/JP4734876B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
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