JP2006087184A - モータの駆動装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 パルス幅変調されたスイッチング信号によりモータの駆動電流を制御すると共に、前記スイッチング信号の切り替わりのタイミングに所定時間のデッドタイムを付加するデッドタイム発生回路を設けたモータの駆動装置において、
前記モータの駆動電流に対して位相が直交する補正電流を重畳させるデッドタイム補正手段を備える。
【選択図】 図1
Description
(1)パルス幅変調されたスイッチング信号によりモータの駆動電流を制御すると共に、前記スイッチング信号の切り替わりのタイミングに所定時間のデッドタイムを付加するデッドタイム発生回路を設けたモータの駆動装置において、
前記モータの駆動電流に対して位相が直交する補正電流を重畳させるデッドタイム補正手段を備えたことを特徴とするモータの駆動装置。
(1)常時所定値の直交電流分を補正電流としてモータの励磁電流に重畳させることにより、デッドタイムの影響による微小振幅を有効に回避することができる。
(2)重畳させる補正電流値は、デッドタイム発生回路の特性に応じて手動設定することができるので、制御を最適にするためのチューニング作業が容易である。
50 上位装置
51 積算カウンタ
52 周期検出手段
53 位置変換手段
54 速度変換手段
55 位置制御手段
56 速度制御手段
57 位相差検出手段
58 転流制御手段
59,60 乗算器
61 電流制御手段
62,63 電流検出手段
64 デッドタイム発生回路
65 3相スイッチング回路
70 X1モータ
100 デッドタイム補正手段
101 直交電流設定手段
102,103 乗算器
104,105 演算器
106,107 加算器
201,202 加算器
Claims (5)
- パルス幅変調されたスイッチング信号によりモータの駆動電流を制御すると共に、前記スイッチング信号の切り替わりのタイミングに所定時間のデッドタイムを付加するデッドタイム発生回路を設けたモータの駆動装置において、
前記モータの駆動電流に対して位相が直交する補正電流を重畳させるデッドタイム補正手段を備えたことを特徴とするモータの駆動装置。 - 前記を補正電流の値は、前記デッドタイム発生回路の特性に応じて手動設定されることを特徴とする請求項1に記載のモータの駆動装置。
- 前記モータは、3相のコイルを有し、スライダをX方向及びY方向に移動する面モータであることを特徴とする請求項1又は2に記載のモータ駆動装置。
- 前記面モータは、前記スライダをX方向及びY方向に夫々移動するX軸モータ及びY軸モータで形成され、前記スライダをX方向及びY方向に移動制御するXYステージに適用されることを特徴とする請求項3に記載のモータの駆動装置。
- 前記XYステージは、前記スライダの位置検出信号と目標位置指令との偏差を演算した速度指令に対してこれと前記スライダの速度検出信号との偏差を演算した推力指令に基づいて前記面モータへの駆動電流を制御することを特徴とする請求項4に記載のモータの駆動装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004267899A JP2006087184A (ja) | 2004-09-15 | 2004-09-15 | モータの駆動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004267899A JP2006087184A (ja) | 2004-09-15 | 2004-09-15 | モータの駆動装置 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2006087184A true JP2006087184A (ja) | 2006-03-30 |
Family
ID=36165217
Family Applications (1)
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JP2004267899A Withdrawn JP2006087184A (ja) | 2004-09-15 | 2004-09-15 | モータの駆動装置 |
Country Status (1)
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011041356A (ja) * | 2009-08-07 | 2011-02-24 | Nikon Corp | モータ駆動装置 |
JP2011135629A (ja) * | 2009-12-22 | 2011-07-07 | Hitachi Automotive Systems Ltd | モータ制御装置 |
-
2004
- 2004-09-15 JP JP2004267899A patent/JP2006087184A/ja not_active Withdrawn
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