JP4721003B2 - 半導体装置 - Google Patents
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Description
上記のひとつの半導体装置において、前記第1絶縁層の上面の高さと前記第2絶縁層の上面の高さとが同一であることが好ましい。
上記のひとつの半導体装置において、前記第1絶縁層は、複数の層から形成され、前記コンタクトホールの底面に設けられた前記第1バリア層は、前記複数の層の最上位の層に設けられており、前記コンタクトホールはプラグ導電層により前記基板と接続されていることが好ましい。
(1)本発明にかかる半導体装置は、
基板と、
前記基板の上方に設けられた第1絶縁層と、
前記第1絶縁層に設けられた溝と、
少なくとも前記溝の側面および底面に設けられたバリア層と、
前記バリア層上に設けられた第2絶縁層と、
少なくとも前記バリア層および前記第2絶縁層の上方に設けられた第1電極と、
前記第1電極の上方に設けられた強誘電体層と、
前記強誘電体層の上方に設けられた第2電極と、を含み、
前記バリア層の上面は、前記第2絶縁層の上面と比して低い位置に設けられている。
前記バリア層は、前記第1電極と前記第2電極との重複領域の外に設けられていることができる。
前記第2絶縁層の上面は、前記第1絶縁層の上面とほぼ同一の位置にあり、
前記バリア層の上面と、前記溝の側面の一部と、前記第2絶縁層の側面の一部とがなす凹部は、前記重複領域の外に設けられていることができる。
前記重複領域に設けられる前記強誘電体層は、前記バリア層の上方に形成される前記強誘電体層と比して、所望の配向性を有することができる。
前記重複領域は、前記第2絶縁層の直上に設けられていることができる。
コンタクト部をさらに含み、
前記溝は前記コンタクト部の上に設けられ、
前記バリア層は、前記溝の底面にて前記コンタクト部と接続されていることができる。
まず、本実施の形態にかかる半導体装置について、図1ないし図3を参照しつつ説明する。図1は、本発明の実施の形態の半導体装置(強誘電体メモリ装置)100を模式的に示す断面図である。図2は、図1に示される第1および第2電極32,36、ならびに第2絶縁層22の平面パターンを模式的に示す図である。より具体的には、第1電極32の外周は、第1電極32の下面(第1電極32と、第2絶縁層22およびバリア層12との接続面)の外周を示し、第2電極36の外周は、第2電極36の上面36aの外周を示し、第2絶縁層22の外周は、第2絶縁層22の上面22aの外周を示す。図3は、図1のA部を拡大して示す断面図である。
次に、図1に示す半導体装置の製造方法について、図4〜図7を参照しつつ説明する。図4〜図7はそれぞれ、図1の半導体装置100の一製造工程を模式的に示す断面図である。
次に、本実施の形態にかかる半導体装置の変形例について、図8を参照しつつ説明する。図8は、本変形例にかかる半導体装置200を模式的に示す断面図である。変形例にかかる半導体装置200では、プラグバリア層12の下にコンタクト部20が設けられ、このコンタクト部20を介して第2不純物領域19とバリア層12とが電気的に接続されている点で、図1に示す半導体装置100と異なる構成を有する。図8に示す半導体装置200において、上記の点以外の構成要素は、図1に示す半導体装置100と同様であるため、詳しい説明は省略する。
Claims (3)
- 基板と、
前記基板上に接して設けられた第1絶縁層と、
前記第1絶縁層に設けられたコンタクトホールと、
前記コンタクトホールの底面に設けられた第1バリア層と、
前記コンタクトホールの側面に所定の高さまで設けられた第2バリア層と、
前記第1バリア層上に接して設けられた第2絶縁層と、
前記第2バリア層および前記第2絶縁層上に接して設けられた第1電極と、
前記第1電極上に接して設けられた強誘電体層と、
前記強誘電体層上に接して設けられた第2電極と、を含み、
前記第1バリア層および前記第2バリア層は、同一材料からなり、かつ、一体として形成されており、
前記第1絶縁層、前記第2絶縁層及び前記第2バリア層により前記第2バリア層が底部となる凹部が形成され、
前記第1電極は、前記凹部を埋めて設けられており、
前記基板を平面視した場合において、前記強誘電体層と前記第2電極との接面が前記第2バリア層の内側にあることを特徴とする半導体装置。 - 前記第1絶縁層の上面の高さと前記第2絶縁層の上面の高さとが同一であることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記第1絶縁層は、複数の層から形成され、
前記コンタクトホールは、前記複数の層の最上位の層に設けられており、
前記コンタクトホールの底面に設けられた前記第1バリア層はプラグ導電層により前記基板と接続されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体装置。
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