JP4719631B2 - 自動金属皮膜形成装置及びウェーハへの金属皮膜の形成方法 - Google Patents
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これによれば、図6に示すように、搬送ロボット2を囲み、かつ把持アーム8の最大伸長時に把持アームの先端部の把持部が到達可能な範囲内にロードステージ3、向き合わせステージ4、めっきステージ6、回収ステージ34、及び洗浄ステージ7を備えることにより、従来、ウェーハWを数枚〜数十枚程度の小ロットで処理する場合のめっき関連の一連の処理を、作業者がウェーハに手を触れることなく行なえるようにしている。
しかしながら、このような従来のポンプでは、金めっき液を送液する場合、ポンプのすべり軸受で発生した摩擦で、めっき液より析出した金属が徐々に軸とすべり軸受の間に成長して摩擦が増大し流量が不安定になり最終的には軸とすべり軸受を固着しポンプを停止させる。このため、従来のポンプでは、短時間のうちに定期的に分解し内部を洗浄する必要があり、洗浄時は装置を停止するため稼働率低下につながり、また洗浄時に高価な金めっき液を無駄にしてしまうため、メンテナンスコストが高いという問題があった。
また、本発明の第3の発明によれば、第1の発明において、前記可動手段が、スカラロボットによって制御され、ウェーハを回転させる把持アームであることを特徴とする自動金属皮膜形成装置が提供される。
また、本発明の第4の発明によれば、第1の発明において、前記噴射ノズルが、めっき処理カップ部の側面方向の中央部分に1個配置されていることを特徴とする自動金属皮膜形成装置が提供される。
また、本発明の第5の発明によれば、第1の発明において、前記噴射ノズルが、めっき処理カップ部の側面方向に略等間隔で2個以上配置されていることを特徴とする自動金属皮膜形成装置が提供される。
また、本発明の第6の発明によれば、第1の発明において、めっき処理カップ部の上蓋には、さらに、カソード電極洗浄用ノズルが設けられることを特徴とする自動金属皮膜形成装置が提供される。
さらに、本発明の第7の発明によれば、第1の発明において、第1のポンプ及び/又は第2のポンプの軸受が、無接触型軸受であることを特徴とする自動金属皮膜形成装置が提供される。
また、本発明の第10の発明によれば、第8の発明において、洗浄用媒体が水であるときは、水の噴射時間が、30秒以下であることを特徴とするウェーハへの金属皮膜の形成方法が提供される。
また、本発明の第11の発明によれば、第10の発明において、水の噴射量が、10〜350ml/sであることを特徴とするウェーハへの金属皮膜の形成方法が提供される。
また、本発明の第12の発明によれば、第8の発明において、洗浄用媒体が不活性ガスであるときは、不活性ガスの噴射時間が、30秒以下であることを特徴とするウェーハへの金属皮膜の形成方法が提供される。
また、本発明の第13の発明によれば、第12の発明において、不活性ガスの噴射量が、10〜500ml/sであることを特徴とするウェーハへの金属皮膜の形成方法が提供される。
さらに、本発明の第14の発明によれば、第8の発明において、さらに、カソード電極洗浄用ノズルから洗浄用媒体を噴射して、カソード電極を洗浄することを特徴とするウェーハへの金属皮膜の形成方法が提供される。
さらに、本発明の装置には、無接触軸受、例えば磁気浮上型のポンプを備えているので、軸受で金が析出することがなくなり、ポンプの故障や洗浄がなくなり安定的かつ稼働率低下することなくめっき処理を継続することができる。
本発明の自動金属皮膜形成装置は、めっき処理前または処理済みのウェーハを受け入れるローダー・アンローダー部と、ウェーハの向きを揃えるウェーハアライナー部と、ウェーハを把持し各部へ搬送するスカラロボットと、ウェーハに金属皮膜を形成するためのカップを有しカソード電極が存在するめっき処理カップ部と、ウェーハに形成された金属皮膜を洗浄し乾燥するリンサードライヤー部と、めっき液をめっき処理カップ部へ供給する第1のポンプ及び循環する第2のポンプとを具備し、これら一連の動作をスカラロボットがウェーハを把持し各部へ搬送しながら処理を行う自動金属皮膜形成装置であって、前記めっき処理カップ部には、めっき処理終了後に、めっき液面から持ち上げられ、可動手段によってカップの上で傾斜させられたウェーハに向かって、洗浄用媒体を噴射して、ウェーハに付着している液をカップ内に戻すための噴射ノズルが設けられていることを特徴とする。本発明において洗浄用媒体としては、純水等の水系媒体や窒素等の不活性ガスを主成分とする気体が挙げられる。
噴射は、めっきが終了し、ロボットのアームで上方に持ち上げられたウェーハに対して、ウェーハがカップの上に位置した状態で行われる。本発明においては、傾斜させられたウェーハの端部から流れ落ちる液が実質的全てカップ内に戻るような位置とすることが望ましい。
本発明のウェーハへの金属皮膜の形成方法は、上記の自動金属皮膜形成装置を用いるウェーハへの金属皮膜の形成方法であって、カソード電極が存在するめっき処理カップ部でウェーハに金属皮膜を形成した後に、処理済みのウェーハをめっき液面から持ち上げ、スカラロボットによって制御されかつウェーハを水平方向に対して傾斜させるための可動手段によって、カップの上でウェーハを傾斜させ、引き続き、カップ側面方向に設けられた少なくとも1個の洗浄用噴射ノズルから、ウェーハのめっき液付着面に向かって洗浄用媒体を噴射してウェーハに付着している液をカップ内に戻すとともに、ウェーハからの液だれを抑制することを特徴とする。
(1)まず、ローダー(ロードステージ)に、めっき処理されるウェーハがカセットに納めて供給される。スカラロボットは、ウェーハキャリア内のマッピングを行う。ロードステージにカセットが供給されると、コンピュータ制御に基づいて、ロボットが把持アームでウェーハを吸着・把持してカセットから取り出す。
次いで、ロボットは、ウェーハを搬送してウェーハアライナー部のオリフラ合わせ器、ノッチ合わせ器にかける。次に、ロボットは、必要によりウェーハを前処理部へ搬送し、めっき処理前のウェーハに親水化処理もしくは酸化皮膜除去を行う。ここでは、めっき前にウェーハを液体、好ましくは純水に浸漬し、この状態で減圧脱気することもできる。本発明においてはフェイスダウンにて水を吹き付ける方式でウェーハを処理することが好ましい。これにより孔及び溝の中の空気が水で置換され気泡によるめっき欠陥を防ぐことが可能となる。
めっき液は、すべり軸受の無い無接触型軸受、例えば、磁力で浮上する磁気浮上型ポンプで送液される。すべり軸受がないため、従来のように軸受部分に金が析出して故障もしくは洗浄することがない。処理終了後はエアーシリンダーを上昇させ、ウェーハ押さえ部を持ち上げる。押さえ部外周に板ばねが取付けられているので、この時にウェーハをスムーズに離すことができる。
不活性ガスの噴射量は、10〜500ml/sとする。10ml/s以上であれば、十分にウェーハに付着した液をカップ内に戻すことができ、搬送時にウェーハからの液ダレも防ぐことができる。500ml/sよりも多いと、動作時間面とコスト面で好ましくない。不活性ガス量は、ウェーハ一枚当たり、例えば100〜2500mlと極めて少量でよい。この噴射操作により、液持ち出しを最小限に抑えることができ、別途回収ユニットを設ける必要性もなくなる。
カップ型めっき装置のめっき槽を図2のように改良し、直径200mmのシリコンウェーハをノンシアンAuめっき液(弱アルカリ〜アルカリ)でめっきした。めっき液温は、65℃とした。めっき後に、図3のように、ウェーハを水平方向に対して15度傾斜させ、噴射ノズルから、純水を5秒、不活性ガス(窒素)を10秒噴射させた。水量は25ml/s、窒素量は50ml/sとした。終了後にウェーハを取り出したが、めっき面は十分乾燥しており、全く液ダレが起こらなかった。
めっき後に、ウェーハを水平方向に対して5度傾斜させ、噴射ノズルから、純水を10秒、不活性ガスを20秒噴射させた以外は実施例1と同様にして処理した。終了後にウェーハを取り出したが、めっき面は十分乾燥しており、全く液ダレが起らなかった。
めっき後に、ウェーハをカップから持ち上げ、純水、不活性ガスを噴射させることなく、回収ステージに移した。回収ステージの洗浄槽で、ウェーハに下から純水を30秒間吹き付けて洗浄した。ウェーハをカップから持ち上げ、回収ステージに移す際に、ウェーハから液ダレがあり、めっき液のロスが生じた。
2 スカラロボット
3 ローダー・アンローダー部
4 ウェーハアライナー部
5 前処理部
6 めっき処理カップ槽
7 リンサードライヤー部
8 把持アーム
9 ポンプ
10 カップ本体
11 純水及び/又は不活性ガスの噴射ノズル
14 カソード電極
16 カソード電極洗浄用ノズル
20 ハンド
22 シャッター
23 ウェーハ押さえ
24 ウェーハリング
25 アノード電極
26 カップカバー
27 中蓋
30 整流板
31 噴流スリーブ
32 ポンプ
33 フィルター
34 回収ステージ
W ウェーハ
Claims (14)
- めっき処理前または処理済みのウェーハを受け入れるローダー・アンローダー部と、ウェーハの向きを揃えるウェーハアライナー部と、ウェーハを把持し各部へ搬送するスカラロボットと、ウェーハに金属皮膜を形成するためのカップを有しカソード電極が存在するめっき処理カップ部と、ウェーハに形成された金属皮膜を洗浄し乾燥するリンサードライヤー部と、めっき液をめっき処理カップ部へ供給する第1のポンプ及び循環する第2のポンプとを具備し、これら一連の動作をスカラロボットがウェーハを把持し各部へ搬送しながら処理を行う自動金属皮膜形成装置であって、
前記めっき処理カップ部には、めっき処理終了後に、めっき液面から持ち上げられ、可動手段によってカップの上で傾斜させられたウェーハに向かって、洗浄用媒体を噴射して、ウェーハに付着している液をカップ内に戻すための噴射ノズルが設けられていることを特徴とする自動金属皮膜形成装置。 - さらに、ウェーハをめっき処理前に予め親水化処理もしくは酸化皮膜剥離する前処理部を具備することを特徴とする請求項1に記載の自動金属皮膜形成装置。
- 前記可動手段が、スカラロボットによって制御され、ウェーハを回転させる把持アームであることを特徴とする請求項1に記載の自動金属皮膜形成装置。
- 前記噴射ノズルが、めっき処理カップ部の側面方向の中央部分に1個配置されていることを特徴とする請求項1に記載の自動金属皮膜形成装置。
- 前記噴射ノズルが、めっき処理カップ部の側面方向に略等間隔で2個以上配置されていることを特徴とする請求項1に記載の自動金属皮膜形成装置。
- めっき処理カップ部の上蓋には、さらに、カソード電極洗浄用ノズルが備えられていることを特徴とする請求項1に記載の自動金属皮膜形成装置。
- 第1及び/又は第2のポンプの軸受が、無接触型軸受であることを特徴とする請求項1に記載の自動金属皮膜形成装置。
- 請求項1〜7のいずれかに記載の自動金属皮膜形成装置を用いるウェーハへの金属皮膜の形成方法であって、
カソード電極が存在するめっき処理カップ部でウェーハに金属皮膜を形成した後に、処理済みのウェーハをめっき液面から持ち上げ、スカラロボットによって制御されかつウェーハを水平方向に対して傾斜させるための可動手段によって、カップの上でウェーハを傾斜させ、引き続き、カップ側面方向に設けられた少なくとも1個の洗浄用噴射ノズルから、ウェーハのめっき液付着面に向かって洗浄用媒体を噴射してウェーハに付着している液をカップ内に戻すとともに、ウェーハからの液だれを抑制することを特徴とするウェーハへの金属皮膜の形成方法。 - ウェーハの傾斜角度が、水平方向に対して5〜85度であることを特徴とする請求項8に記載のウェーハへの金属皮膜の形成方法。
- 洗浄用媒体が水であるときは、水の噴射時間が、30秒以下であることを特徴とする請求項8に記載のウェーハへの金属皮膜の形成方法。
- 水の噴射量が、10〜350ml/sであることを特徴とする請求項10に記載のウェーハへの金属皮膜の形成方法。
- 洗浄用媒体が不活性ガスであるときは、不活性ガスの噴射時間が、30秒以下であることを特徴とする請求項8に記載のウェーハへの金属皮膜の形成方法。
- 不活性ガスの噴射量が、10〜500ml/sであることを特徴とする請求項12に記載のウェーハへの金属皮膜の形成方法。
- さらに、カソード電極洗浄用ノズルから洗浄用媒体を噴射して、カソード電極を洗浄することを特徴とする請求項8に記載のウェーハへの金属皮膜の形成方法。
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