JP4719272B2 - 三軸加速度計 - Google Patents
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Description
本発明のある実施形態は、温度及びパッケージに対する感受性が低い、改良されたMEMS加速度計を提供する。さらに、この改良されたMEMS加速度計は、基板の領域をできるだけ少ししか占めることがないように構成される。
本明細書における「一実施形態」、「ある実施形態」、「例示の実施形態」等の表現は、記載された実施形態が特定の機能、構造又は特徴を含んでも良いが、全ての実施形態が必ずしも特定の機能、構造、又は、特徴を含む必要はないことを意味することに留意されたい。また、このような用語は必ずしも同じ実施形態を指すものではない。さらに、ある実施形態に関連して特定の機能、構造又は特徴が説明されている場合には、明確に記載されていようがなかろうが、他の実施形態に関連してこのような機能、構造又は特徴を生じさせることは、当業者の知識の範囲内であることを意味する。
図2A、図2B及び図2Cは、ニューヨーク州イサカ所在のキオニクス・インコーポレイテッド(Kionix,Inc.)により作製されたMEMS素子の例のレイアウトである。このデバイスの製造の詳細は、米国特許第6,342,430号及び6,239,473号に記載されている。基本的な動作原理及び加速度計の設計は、米国特許第5,610,335号及び5,563,343号に記載されている。Z加速度計、即ち面外感知加速度計を構成するために使用される動作原理の変形は、米国特許第6,792,804号に記載されている。上記各特許の全てを参照により本明細書に組み込む。
図4は、通常のZ加速度計の基本要素を示している。プルーフマス40は、ねじれ湾曲部41に接続されている。ねじれ湾曲部41は、支持体44を通してプルーフマス40を基板43に接続している。プルーフマス40と対向する平行平板電極45との間にギャップ46が形成されている。このZ加速度計に、ギャップ46の矢印に平行な方向に加速度が加わると、プルーフマス40は、対向する平行平板電極45に向かって下方に撓む。プルーフマス40の曲がった状態は、曲がったプルーフマス47として透視像で示されている。曲がったプルーフマス47と対向する平行平板電極45との間に、結果として狭いギャップ48が生じる。平行平板電極45及びプルーフマス40は、基板43に対するプルーフマス40の運動を感知するために使用することができるキャパシタを形成することができる。
図10A及び図11は、本発明の実施形態による三軸加速度計の設計コンセプト例を示す。これらの設計と先に示した設計との間の1つの有意な違いは、z感知素子の半分が1つの点において有効に支持されていることである。z感知素子を1つの点において有効に支持することにより、パッケージ応力及び温度変化による出力のシフトが実質的に低減する。初期の実験により、温度感受性が約5倍低減し、パッケージ応力起因の出力シフトが約10倍低減することが示されている。性能が改善に加えて、図10A及び図11に概略的に示す設計コンセプトも、感知素子が必要とする領域を40%低減することができ、同程度の割合で製造コストを有効に低減することができている。
他にも、適当な撓みを形成するために所望の酸化物のスタックを達成する方法はある。例えば、2.2μmの酸化物成長の直後に、フィールド酸化物にパターン形成することができる。パターン形成により、酸化物の厚さに、所望の600nmステップが導入される。さらに、所望のフィールド酸化物の厚さを形成するために用いられる平坦化ステップが、2つの領域間の遷移を平滑にする。
図20は、本発明のある実施形態による微小電気機械加速度計を構成するための方法を示すフローチャート2000である。フローチャート2000は、単支持構造により基板に対して支持されるように面外センサを製造するステップ2010から開始する。例えば、ステップ2010において使用される面外センサは、図10A及び図11〜図19に関して先に説明したいずれかのセンサに類似していても良い。
本発明の種々の実施形態について説明してきたが、これらは例としてのみ与えられたのであって、限定されないことを理解されたい。添付の特許請求の範囲に規定された本発明の精神及び範囲から逸脱することなしに、形状及び詳細を種々に変更できることは、当業者により理解されるだろう。従って、本発明の範囲は上記の例となる実施形態のいずれによっても制限されるべきではなく、特許請求の範囲及びその均等物によってのみ定義されるべきである。
Claims (41)
- 基板と、
前記基板の面に平行な第1の軸に沿って加速度を測定するように構成されている第1のセンサと、
前記基板の前記面に垂直な軸に沿って加速度を測定するように構成されている第2のセンサであって、前記第2のセンサが、第1の梁と、第2の梁と、単支持構造とを備え、前記単支持構造が、前記基板に対して前記第1及び第2の梁を支持し、前記第1及び第2の梁が前記第1のセンサを囲んでいる、第2のセンサと、
を備える微小電気機械加速度計。 - 前記第1の軸に沿う前記加速度が、前記第1のセンサの電極間の差動容量に基づいて測定される、請求項1に記載の微小電気機械加速度計。
- 前記第2のセンサが、前記第1及び第2の梁間の電気結合に基づいて、前記基板の前記面に垂直な前記軸に沿って前記加速度を測定するように構成される、請求項1に記載の微小電気機械加速度計。
- 前記第1の梁が、前記第1及び第2の梁間の前記電気結合に測定可能な変化を引き起こす前記基板の前記面に垂直な前記軸に沿う前記加速度に応じて、前記第2の梁に対して移動する、請求項3に記載の微小電気機械加速度計。
- 前記第1の梁が、前記単支持構造に、前記基板の前記面に垂直な前記軸に沿う前記加速度に応じて移動可能なように柔軟に装着され、
前記第2の梁が、前記単支持構造に、動かないように堅固に装着される、請求項4に記載の微小電気機械加速度計。 - 前記第1のセンサが、前記第1の梁により支持され、前記第1の梁と一緒に移動する、請求項5に記載の微小電気機械加速度計。
- 前記第1のセンサが、前記第2の梁により支持され、前記第2の梁と一緒に移動する、請求項5に記載の微小電気機械加速度計。
- 前記第1及び第2の梁間の前記電気結合が、前記第1の梁の第1の複数の電極と前記第2の梁の第2の複数の電極との間に容量を備える、請求項4に記載の微小電気機械加速度計。
- 前記基板の前記面に垂直な前記軸に沿う前記加速度が、前記第1の複数の電極と前記第2の複数の電極との間の容量の変化により測定される、請求項8に記載の微小電気機械加速度計。
- 前記第1の梁の前記第1の複数の電極、及び、前記第2の梁の前記第2の複数の電極が、前記基板の前記面に垂直な前記軸に沿う前記加速度により線形的に変化するオーバーラップ領域を形成する、請求項9に記載の微小電気機械加速度計。
- 前記第1の梁の曲率半径が前記第2の梁の曲率半径とは異なっており、それにより前記オーバーラップ領域が形成される、請求項10に記載の微小電気機械加速度計。
- 前記第1の梁が、前記第1の梁の頂部に配置されている第1の酸化物層を含むシリコンコアを有する一組の相互接続している平面梁を備え、前記第2の梁が、前記第2の梁の頂部に配置されている第2の酸化物層を含むシリコンコアを有する一組の相互接続している平面梁を備える、請求項10に記載の微小電気機械加速度計。
- 前記第1の酸化物層の厚さが前記第2の酸化物層の厚さとは異なっている請求項12に記載の微小電気機械加速度計。
- 前記第2のセンサが、前記第1の梁の移動の範囲を制限する突起(nub)をさらに備える、請求項1に記載の微小電気機械加速度計。
- 前記単支持構造が、前記第2のセンサを前記基板上の配線に電気的に結合する配線を備える、請求項1に記載の微小電気機械加速度計。
- 前記単支持構造が、また、前記基板に対して前記第1のセンサを支持する、請求項1に記載の微小電気機械加速度計。
- 前記単支持構造が、前記第1のセンサ及び前記第2のセンサを前記基板上の配線に電気的に結合する配線を備える、請求項16に記載の微小電気機械加速度計。
- 前記基板の面に平行な第2の軸に沿って加速度を測定するように構成されている第3のセンサであって、前記第2の軸が前記第1の軸に垂直である、第3のセンサと、
前記基板の前記面に垂直な前記軸に沿って加速度を測定するように構成されている第4のセンサであって、前記第4のセンサが、第3の梁と、第4の梁と、第2の単支持構造とを備え、前記第2の単支持構造が前記基板に対して前記第3及び第4の梁を支持し、前記第3及び第4の梁が前記第3のセンサを囲んでいる、第4のセンサと、
をさらに備える請求項1に記載の微小電気機械加速度計。 - 前記第2の軸に沿う前記加速度が、前記第3のセンサの電極間の差動容量に基づいて測定される、請求項18に記載の微小電気機械加速度計。
- (i)前記第1及び第2の梁と、(ii)前記第3及び第4の梁との間の差動電気結合に基づいて、前記基板の前記面に垂直な前記軸に沿った前記加速度が測定されるように構成されている、請求項18に記載の微小電気機械加速度計。
- 前記第2の梁が前記第1の梁を囲んでおり、前記第2の梁が前記単支持構造に堅固に結合されており、それにより前記第2の梁の移動を制限する、請求項20に記載の微小電気機械加速度計。
- 前記第4の梁が前記第3の梁を囲んでおり、前記第3の梁が前記第2の単支持構造に堅固に結合されており、それにより前記第3の梁の移動を制限する、請求項21に記載の微小電気機械加速度計。
- 基板と、
本体(mass)及びフレームを備える第1のセンサであって、前記本体が第1の複数の電極を備え、前記フレームが、前記第1の複数の電極と互いに嵌合し、且つ、電気的に結合している第2の複数の電極を備え、前記本体が、前記第1及び第2の複数の電極間の前記電気結合に測定可能な変化を引き起こす前記基板の面に平行な第1の軸に沿う加速度に応じて、前記フレームに対して移動する第1のセンサと、
第1の梁と、第2の梁と、単支持構造とを備える第2のセンサであって、前記単支持構造が、前記基板に対して前記第1及び第2の梁を支持し、前記第1の梁が第3の複数の電極を備え、前記第2の梁が、前記第3の複数の電極と互いに嵌合し、且つ、電気結合している第4の複数の電極を備え、前記第1の梁が、前記第3及び第4の複数の電極間の前記電気結合に測定可能な変化を引き起こす前記基板の前記面に垂直な軸に沿う加速度に応じて、前記第2の梁に対して移動し、前記第1及び第2の梁が前記第1のセンサを囲んでいる、第2のセンサと、
を備える微小電気機械加速度計。 - 前記第1の梁の曲率半径が前記第2の梁の曲率半径とは異なっており、それにより前記第3の複数の電極が、前記第4の複数の電極からずれる、請求項23に記載の微小電気機械加速度計。
- 前記第1の梁が第1の酸化物層を備え、前記第2の梁が第2の酸化物層を備え、前記第1の酸化物層の厚さが前記第2の酸化物層の厚さと異なっている請求項23に記載の微小電気機械加速度計。
- 前記第2のセンサが、前記第1の梁の移動の範囲を制限する突起(nub)をさらに備える、請求項23に記載の微小電気機械加速度計。
- 前記単支持構造が、前記第2のセンサを前記基板上の配線に電気的に結合する配線を備える、請求項23に記載の微小電気機械加速度計。
- 前記単支持構造が、また、前記基板に対して前記第1のセンサを支持する、請求項23に記載の微小電気機械加速度計。
- 前記単支持構造が、前記第1のセンサ及び前記第2のセンサを前記基板上の配線に電気的に結合する配線を備える、請求項28に記載の微小電気機械加速度計。
- 前記第2のセンサが、前記第2の梁及び前記単支持構造の両方に結合しているコネクタをさらに備え、前記コネクタが前記第2の梁の移動を制限する、請求項28に記載の微小電気機械加速度計。
- 第2の本体及び第2のフレームを備える第3のセンサであって、前記第2の本体が第5の複数の電極を備え、前記第2のフレームが前記第5の複数の電極と互いに嵌合し、且つ、電気的に結合している第6の複数の電極を備え、前記第2の本体が、前記第5及び第6の複数の電極間の前記電気結合に測定可能な変化を引き起こす前記基板の面に平行な第2の軸に沿う加速度に応じて、前記第2のフレームに対して移動し、前記第2の軸が前記第1の軸に垂直である、第3のセンサと、
第3の梁と、第4の梁と、第2の単支持構造とを備える第4のセンサであって、前記第2の単支持構造が前記基板に対して前記第3及び第4の梁を支持し、前記第3の梁が第7の複数の電極を備え、前記第4の梁が、前記第7の複数の電極と互いに嵌合し、且つ、電気的に結合している第8の複数の電極を備え、前記第3の梁が、前記第7及び第8の複数の電極間の前記電気結合に測定可能な変化を引き起こす前記基板の前記面に垂直な前記軸に沿う加速度に応じて、前記第4の梁に対して移動し、前記第3及び第4の梁が前記第3のセンサを囲んでいる、第4のセンサと、
をさらに備える請求項23に記載の微小電気機械加速度計。 - 前記第2のセンサ及び前記第4のセンサが、(i)前記第3及び第4の複数の電極間の前記電気結合の測定可能な変化と、(ii)前記第7及び第8の複数の電極間の前記電気結合の測定可能な変化との差を測定するように構成されている、請求項31に記載の微小電気機械加速度計。
- 前記第3及び第4の複数の電極間の前記電気結合が第1の容量を備え、前記第7及び第8の複数の電極間の前記電気結合が第2の容量を備え、前記第2のセンサ及び前記第4のセンサが、前記第1の容量と前記第2の容量との差を測定するように構成されている、請求項31に記載の微小電気機械加速度計。
- 微小電気機械加速度計を構成するための方法であって、
単支持構造により基板に対して第1のセンサを支持するステップであって、前記第1のセンサが前記基板の面に垂直な軸に沿って加速度を測定するように構成され、前記第1のセンサが第1の梁及び第2の梁を備える、ステップと、
前記第1のセンサの前記第1及び第2の梁で第2のセンサを囲むステップであって、前記第2のセンサが、前記基板の前記面に平行な第1の軸に沿って加速度を測定するように構成されているステップと、
を備える方法。 - 前記第2の梁に対して前記第1の梁がずれるようにするステップを含む、請求項34に記載の方法。
- 前記単支持構造に含まれる配線により、前記第2のセンサを前記基板上の配線に電気的に結合するステップを備える、請求項34に記載の方法。
- 前記単支持構造により、前記基板に対して前記第1のセンサを支持するステップをさらに備える、請求項34に記載の方法。
- 前記単支持構造における配線により、前記第1のセンサ及び前記第2のセンサを前記基板上の配線に電気的に結合するステップをさらに備える、請求項37に記載の方法。
- 前記第2の梁及び前記単支持構造の両方にコネクタを結合し、それにより前記第2の梁の移動を制限するステップをさらに備える、請求項37に記載の方法。
- 第2の単支持構造により前記基板に対して第3のセンサを支持するステップであって、前記第3のセンサが、前記基板の前記面に垂直な前記軸に沿って加速度を測定するように構成されており、前記第3のセンサが第3の梁及び第4の梁を備える、ステップと、
前記第3のセンサの前記第3及び第4の梁により第4のセンサを囲むステップであって、前記第4のセンサが、前記基板の前記面に平行な第2の軸に沿って加速度を測定するように構成されており、前記基板の前記面に平行な前記第2の軸が、前記基板の前記面に平行な前記第1の軸に垂直である、ステップと、
をさらに備える、請求項34に記載の方法。 - (i)前記第1及び第2の梁と、(ii)前記第3及び第4の梁との間の差動電気結合に基づいて、前記基板の前記面に垂直な前記軸に沿って前記加速度を測定するステップをさらに含む、請求項40に記載の方法。
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