JP4701496B2 - 処理方法及びその装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板に対してアニールやCVDなどを行う処理方法またはその装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体製造装置の一つとして、例えば半導体ウエハ(以下ウエハという)をランプにより加熱して、アニールやCVD等を行う枚葉式処理装置がある。このような処理装置の一例を図9に示すと、処理容器11と、ウエハWを載置する、鉛直軸まわりに回転自在に設けられるリング状の載置台12と、この載置台12と例えば石英よりなる平板状の光透過窓13を介して対向する熱輻射ランプ14とを備え、載置台12にてウエハWの周縁部を下方側から支持し、処理容器11の一方側の側壁から所定の処理ガスを供給しながら他方の側壁側から排気して、ウエハWを所定の温度で加熱し、熱処理例えばアニールを行う構成が知られている。
【0003】
上述装置において、例えば載置台12の中空部下方側には図示しない昇降自在なリフトピンが設けられており、ウエハWの搬入出は、このリフトピンと処理容器11内へ側方側から進入する図示しない搬送アームとの間の受け渡しにより行われる。なお載置台12を回転させる構造は、実際には磁気カップリングを用いて処理容器11内の気密性を確保しているが、図では略解的に記載している。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
熱輻射ランプ14を加熱源とする利点の一つとして、ウエハを急速に昇温できることが挙げられるが、ランプの消費電力を抑えながら昇温速度を上げるには、ウエハWを熱輻射ランプ14にできるだけ近付けることが好ましい。
【0005】
また、ウエハWと熱輻射ランプ14との距離が大きくなると、ウエハWの周縁部を保持している載置台12に着目したとき、中央寄りのランプからの光線が当該載置台12の上方をかすめて外側に向かい、その外れる光線量が多くなる。そして載置台12が例えばSiC(炭化珪素)で構成されているときはSi(シリコン)からなるウエハWよりも熱容量が大きいので、このことも加わってウエハWから載置台側に熱が流れ、このため昇温速度が速いとウエハWの中央部と周縁部との間の温度差が大きくなってスリップと呼ばれる結晶欠陥が生じてしまう。このため、昇温速度をあまり上げることができず、スループット向上の妨げの一因となっており、このような点からもウエハWを熱輻射ランプ14に近付けることが好ましい。
【0006】
更にまた、熱輻射ランプ14のエネルギー損失量は、ウエハWと熱輻射ランプ14とが離れるにつれて大きくなり、加えて熱輻射ランプ14(詳しくは1個の熱輻射ランプとリフレクタ−とを組み合わせたユニット)からウエハWへ末広がりに光線が照射されるため、照射距離が長いと隣り合うランプ同士の照射領域の重なり領域が増加してしまい、温度コントロールが難しくなり、結果として面内温度について高い均一性をとることができないということもあり、この点においてもウエハWと熱輻射ランプ14とは距離が近いことが好ましい。
【0007】
しかし、前述のようにウエハWの載置領域の上方側にはウエハWの受け渡しのためのスペース即ち、昇降するリフトピンと、処理容器11内に進入する搬送アームとの間でウエハWの受け渡しを行うだけのスペースを確保しなければならないので当該スペースの縮小には限界があり、載置台12と熱輻射ランプ14との距離を接近させることは困難であった。
【0008】
本発明はこのような事情に基づいてなされたものであり、その目的は基板の処理例えば熱輻射ランプを用いて基板の加熱処理を行うにあたり、省エネルギー化を図り、面内温度について高い均一性を得ることができる技術を提供することにある。また本発明の他の目的は、紫外線ランプを用いて基板を処理するにあたり、省エネルギー化を図ることができる技術を提供することにある。更にまた他の目的は、処理容器内で基板の載置台を昇降させるにあたって好適な構造の装置を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る処理方法は、処理容器内に設けられた載置台に基板を載置し、この基板を熱輻射ランプにより上方側から加熱する処理方法において、
前記基板を側方から処理容器内に搬入し、前記載置台に載置する工程と、
前記基板が処理位置に位置するように、前記載置台を上昇させる上昇工程と、 前記基板が前記処理位置にあるときに、処理容器内に処理ガスを供給すると共に前記熱輻射ランプにより前記基板の加熱を行う処理工程と、
この処理工程の終了後、前記載置台を下降させる下降工程と、
その後、基板を処理容器から搬出する工程と、を含み、
前記上昇工程及び下降工程は、磁石と磁石または磁性体との間の磁力の強さの調節を利用して行うことを特徴とする。
【0010】
このような方法によれば、基板の処理を行うにあたり処理時にのみ基板と熱輻射ランプとを接近させるため、基板の搬送領域を確保したまま、エネルギー効率を高めることが可能となる。この方法は、熱輻射ランプの代わりに紫外線照射ランプを用いて処理を行う場合にも適用でき、同様の効果が得られる。本発明において、載置台は例えば基板の周縁部を保持するものであり、処理工程は例えば基板が鉛直軸の周りに回転しながら行われる。
【0011】
この方法を実施するための具体的構成として次の装置も本発明である。即ち本発明の装置は、側方に基板の搬送口が形成された気密な処理容器と、
この処理容器内に設けられ、外部の搬送手段との間で基板の受け渡しが行なわれる共に当該基板の周縁部を保持する載置台と、
前記処理容器内に処理ガスの供給を行うガス供給部と、
前記載置台に設けられた第1の磁石部と、
前記処理容器内に設けられ、前記第1の磁石部との間で磁力が作用される第2の磁石部と、
前記第1の磁石部及び第2の磁石部の間に作用する磁力の大きさを調整して、載置台を、前記搬送手段との間で基板の受け渡しを行うときの載置位置と、この載置位置よりも上方側であって基板を処理するときの処理位置と、の間で昇降させる制御部と、を備え、
前記第1の磁石部及び第2の磁石部の少なくとも一方は電磁石により構成されていることを特徴とする。
【0012】
本発明では、例えば載置台を前記処理容器内で昇降自在に支持し、基板を鉛直軸周りに回転させることができるように、当該載置台と共に回転する回転基体と、この回転基体を回転させる回転機構と、を備え、前記第2の磁石部は前記回転基体に設けられた構成とすることができる。載置台は回転基体に対して昇降できるようにガイドされていることが好ましい。前記第1、第2の磁石部は、電磁石、永久磁石あるいは磁性体を指すものであり、例えば第1の磁石部及び第2の磁石部の一方は電磁石により構成され、他方は永久磁石または磁性体により構成される。あるいは例えば第1の磁石部は永久磁石または磁性体により構成され、第2の磁石部は電磁石により構成される。
【0013】
前記回転基体は例えば導電性の軸受けにより処理容器に回転自在に支持され、この場合外部から電磁石へ給電するための給電路は前記軸受けを利用することができる。更に回転基体は、例えば載置台が上昇したときに当該載置台を処理位置の高さに規制する規制部を備えていることが好ましい。回転機構の具体例としては、処理容器の外に設けられると共に回転基体と磁気カップリングで結合されている外輪部と、この外輪部を回転駆動する駆動部と、を備えた構成を挙げることができる。
【0014】
【発明の実施の形態】
図1は本発明に係る熱処理装置の実施の形態を示す縦断面図である。2は被処理体の処理空間を区画形成する処理容器であり、例えばアルミニウム(A5052)からなる、内側面の横断面形状が円形な扁平な処理容器本体20と、この処理容器本体20の上面開口部を気密に塞ぐように設けられた後述の光透過窓80とから構成されている。処理容器2の底部の周縁側はリング状の溝部21として形成されており、この溝部21の中にはリング状に形成された回転基体である内輪部31が設けられている。この内輪部31は前記溝部21の内壁に、僅かな隙間を介して上下に並んで設けられる導電性例えば金属製の軸受け32,33を介して垂直軸回りに回転自在に保持されており、その上部側は不透明石英(SiO2)により構成され、また上端が後述の載置台4を支持できるように水平方向外側に屈曲して屈曲部位30として構成されている。
【0015】
ここで内輪部31の上側周辺について図1を部分的に拡大した図2を参照しながら説明を行う。図中4は例えば炭化珪素(SiC)よりなるリング状の載置台であり、基板であるウエハWの周縁部を保持すると共に内輪部31により下端側を支持されるように設けられている。この載置台4の下端には、前記内輪部31を上下に貫通する孔部31aを介してガイド軸41が接続され、更にこのガイド軸41の下端には第1の磁石部をなす永久磁石42が設けられている。即ち載置台4、ガイド軸41及び永久磁石42は一体的に構成されており、図2中実線で示すように載置台4と内輪部31とが接し、載置台4にウエハWの載置が行われる載置位置から、図2中に点線で示すように永久磁石42の上端が内輪部31の屈曲部位30に当接し、これに伴い載置台4が後述する光透過窓80近傍まで上昇する処理位置まで、前記孔部31aを介して昇降できるようになっている。この例では前記屈曲部位30は、永久磁石42の上限位置を規制部をなしている。
【0016】
載置台4は、永久磁石42の鉛直下方側に設けられる第2の磁石部である電磁石43の磁力の強さを調節することで、具体的には例えば当該電磁石43が前記永久磁石42に対して及ぼす反発力の有無を切り替えることで昇降する構成とされており、この電磁石43は永久磁石42の移動領域の下端(図2の実線に示す位置)と僅かに離間するように、内輪部31の垂直面により一端側を支持されて設けられている。この電磁石43の通電時における磁力の強さは、少なくとも永久磁石42を、当該永久磁石42の上端が内輪部31に当接するまで押し上げることができる程度に設定される。
【0017】
また、電磁石43には直流電源部44の一端が既述の軸受け32を介し、同じく他端が軸受け33を介して夫々電力供給線45を介して夫々接続されており、この電力供給線45には電磁石43の磁力の強さを調節する、この例では電磁石43をオン、オフするためのスイッチ部46が介設されている。
【0018】
一方、前記永久磁石42の外側面には反射板51が設けられる一方、処理容器本体20の内壁面に発光部および受光部からなる光センサ52が埋設されている。図2に示すように光センサ52は、載置台4を前記処理位置まで上昇させたとき、当該反射板51から光が戻ってくるか否かを調べることにより載置台4が所定の位置にあるか否かを監視するためのものである。
【0019】
ところで載置台4には、当該載置台4に保持されるウエハWを水平に昇降させるため、上述したガイド軸41及び永久磁石42が例えば図3の横断面図に示すように内輪部31を周方向に三等分した位置に配置されており、これに合わせて内輪部31には3箇所の孔部31aが設けられ、また図3では省略するが上から見たときに永久磁石42と重なる位置に同じく3個の電磁石43が設けられる。
【0020】
また前記光センサ52からの信号は制御部53へと送信されるように構成されている。制御部53には、前記光センサ52にて例えば反射光が検知できないものと判断したときに、例えばオペレータに対してアラームを発して処理の中断を促すための警報出力手段54が接続されている。また制御部53は前記スイッチ部46と接続されており、例えば制御部53からスイッチ部46へ電力供給ONまたはOFFの命令を送信し、電磁石43への電力供給の有無を切り替えることができるように構成されている。
【0021】
ここで図1に戻り、処理容器本体20の下部側の構成について説明を行う。前記溝部21を形成するハウジング22は一部が下方側に伸びており、当該ハウジング22の外側には外輪部61が例えば上下2段に設けられた軸受け62を介して垂直軸回りに回転自在に保持されている。
【0022】
前記内輪部31の下端部及び外輪部61には夫々磁極部63及び64が設けられ、これら磁極部63,64は互いに前記ハウジング22の隔壁23の内側及び外側に配置されて磁気カップリングを構成している。前記外輪部61の外周面にはギヤ部65が形成されており、このギヤ部65は例えばモータ及びギアからなる駆動部66と係合し、駆動部66を駆動することで外輪部61が回転するようになっている。詳しくは作用の項で述べるが、駆動部66の駆動力は前記磁気カップリング、内輪部31、載置台4を介してウエハWを回転させるものであり、このウエハWの回転にかかわる部位全てが特許請求の範囲でいうところの回転機構に相当する。
【0023】
また処理容器の前記溝部21を形成するハウジング23の外部寄りの部位にはパージガス例えば窒素(N2)ガスの供給路24が形成されており、軸受け31の上方への前記ガス供給が可能となっている。また溝部21の内側部分には、パージガスの排気路25が例えば周方向に複数形成されている。パージガスは図示しないガス供給管から前記供給路24を介して前記溝部21内に入り込み、軸受け31,32内を通って排気路25を介して図示しない排気管から排気される。
【0024】
前記処理容器本体20の側壁には、図示しない搬送手段が側方側から侵入し、前記載置台4にウエハWの受け渡しを行うことができるように搬送口26が形成されており、ゲートバルブ27により開閉するように構成されている。また、この処理容器本体20の側壁には、載置台4が前述した処理位置にあるときにウエハW表面近傍に図示しないガス供給源から処理ガスを供給するため、当該処理位置より僅かに高い位置に例えば横長のスリット状のガス供給部であるガス供給路28が設けられており、このガス供給路28と対向する位置には処理ガスを排気するための図示しない排気路が形成されている。
【0025】
前記ウエハWの下方側の処理容器2の底部を構成するボトムプレ−ト29には、前記載置台4と前記搬送口26から進入する図示しない搬送手段との間でウエハWの受け渡しを行うための、突没自在のリフトピン71が設けられている。リフトピン71は例えば3本設けられ、一端に昇降部72が接続する支持部材73により下端を支持された構成となっている。
【0026】
次に前記処理容器2の上部側について説明すると、天井部には前記載置台4に載置されたウエハW表面と対向するように、加熱ユニット8が設けられており、この加熱ユニット8とウエハWとに挟まれる空間に板状体である光透過窓80が設けられている。
【0027】
加熱ユニット8は例えばウエハWよりも大きく構成されており、ウエハWに光を照射して加熱するための加熱手段である熱輻射ランプ81と、この熱輻射ランプ81におけるウエハWと反対側の面を囲むように設けられ、断面が円形をなす反射板82とを備えている。図中83は熱輻射ランプ81の電力供給系を収納した筐体である。
【0028】
前記熱輻射ランプ81としては、例えばハロゲンランプが用いられ、この熱輻射ランプ81は中心の位置が同じであり、大きさの異なる複数の略環状の発光領域を形成するように、つまりこの例ではウエハWの中心点に相当する点を中心とし、互いに半径の異なる複数の同心円を描くように配列されている。
【0029】
前記光透過窓80は例えば石英により形成されており、上面側は前面がフラット(平坦面)であるが、下面側の周縁部には全周に亘って処理空間(光透過窓80及びウエハWにより挟まれる空間)側に突出する凸レンズ部80aが形成されている。この凸レンズ部80aは、載置台4の上方部位から照射される光を光学的に屈折させ、例えばウエハWの外側に向かう光線を内側へと寄せるためのものであり、例えば載置台4の略真上に位置するように設けられる。
【0030】
次に上述実施の形態の作用について説明する。先ずウエハWの処理容器2内への搬入から熱処理開始に至るまでについて図4,5及び6を参照しながら説明するが、ここでは図を略解的に示しており、光透過窓80の凸レンズ部80aは省略している。最初にゲートバルブ27を開き、搬送口26を介して処理容器2内へ処理対象であるウエハWを保持する搬送アームA1が進入し、載置台4におけるウエハWの保持位置の上方にて停止する。次に図4に示すようにリフトピン71が点線位置から実線位置まで上昇してウエハWが搬送アームA1からリフトピン71へと受け渡される。ウエハWの受け渡しについて詳述すると、搬送アームA1には例えばリフトピン71が下方側から上昇してきたときに、リフトピン71がウエハWを突き上げることができるように図示しないスリットが形成されており、このリフトピン71は前記スリットを介して搬送アームA1の上方まで突出し、ウエハWを受け取る。
【0031】
こうして搬送アームA1からウエハWが離れると、図5に示すように搬送アームA1が後退し、しかる後にリフトピン71を下降することでウエハWは図5中に点線で示す位置から実線で示す位置まで下降して載置台4の図示しない保持部位に嵌まって周縁部を保持されることとなる。このときの載置台4の位置が前述した載置位置であり、このとき載置台4の裏面と内輪部31の上端面とは接した状態にある。
【0032】
そして処理開始に先立ち、ゲートバルブ27を閉じて光透過窓80と処理容器本体20とで構成される処理空間を気密にし、駆動部66を駆動して外輪部61を回転させる。このとき外輪部61の磁極部64と内輪部31の磁極部63との間に磁力が働いているので、磁極部63が磁極部64に吸引されて内輪部31も回転し、ウエハWは鉛直軸周りに回転を始める。一方、加熱ユニット8(具体的には各熱輻射ランプ81)には図示しない電力供給源より電力の供給が開始されてウエハWに向けて光が照射され、ガス供給路28からは処理ガスである不活性ガス例えばN2ガスを供給し、こうしてウエハWの熱処理が開始される。
【0033】
加熱開始に伴い、制御部53はスイッチ部46へ例えばON指令を送信することで電磁石43に通電し、この電磁石43が永久磁石42と反発することで載置台4が上方へ押し上げられる。この載置台4は、永久磁石42の上端が内輪部31の屈曲部位30と当接する位置まで押し上げられると、それ以上は上昇できず、電磁石43の磁力の強さを維持し続けることで当該高さ(処理位置)に固定される(図6)。載置台4の上昇は、上述した内輪部31の回転と合わせて行われる。具体的には、例えばウエハWが90rpmで回転させながら載置台4を処理位置まで上昇させると共に、例えば150℃/分の昇温速度で1000℃まで昇温させ、所定時間この温度を維持してアニール処理を行う。
【0034】
そして制御部53は、すべての個所において反射光が検知されたものと判断した場合にはウエハWは水平であるものとしてアニール処理を継続し、1ヶ所でも反射板51からの反射光が検知できなかったと判断したときには、電磁石43または電力供給系統にトラブルが発生したとして、警報出力手段54よりアラームの出力を行って例えばオペレータに対して処理の中止を促すか、或いは強制的にアニール処理を中止する制御を行う。
【0035】
そして所定時間経過後、各熱輻射ランプ81への電力供給を停止してウエハWを降温させ、駆動部66を停止してウエハWの回転を停止する。処理後のウエハWは図4から図6に示したものと逆の順路で搬送アームA1に受け渡され、処理容器2から搬出される。
【0036】
上述実施の形態によれば、枚葉式の処理装置において載置台4を昇降自在に構成したため、ウエハWの搬送スペースを確保しつつ、例えばアニール処理時だけウエハWと熱輻射ランプ81とを接近させる運用が可能となる。そしてアニール処理時にウエハWと熱輻射ランプ81とを接近させることで、従来装置よりも少ないパワーで同等の処理を行うことが可能となると共に、昇温時におけるウエハW表面と載置台4との昇温速度の差が小さくできるため、「発明が解決しようとする課題」で述べたようなスリップの発生を軽減することができる。
【0037】
また、処理時におけるウエハWと熱輻射ランプ81との距離が接近することで、熱輻射ランプ81から照射される光線の広がりが小さくなるため、各照射領域の重なりが小さくなり、ウエハ温度の制御性がよくなり、結果としてウエハ温度の面内均一性が高くなる。更に回転基体に対する載置台4の昇降を磁力を利用して行っているため、昇降させるための構造が簡単になり、載置台4を回転させながら昇降させる処理装置について好適な構造である。
【0038】
これまで説明してきた実施の形態では、基板処理の例としてアニール処理を例に説明したが、本実施の形態はCVD処理などにも適用できるし、また紫外線ランプを用いたウエハW表面の膜質改善処理を行う装置に適用することもできる。紫外線ランプを用いた処理には例えば図7に示すような構成のものが用いられ、処理容器9内は光透過窓91により上部室9aと下部室9bとに仕切られており、上部室には紫外線ランプ92が設けられ、下部室9bの光透過窓91近傍位置には下方側に向けて多数のスリットが形成された処理ガス供給手段93が設けられている。また下部室9bには図示しないガイド軸に沿って上下に移動できるように構成される永久磁石94を備える載置台95が設けられており、上述実施の形態と同様に下部側の電磁石96からの磁力により昇降する。また97は加熱手段であり、98はゲートバルブである。
【0039】
この実施の形態は、載置台95を上昇させ、ウエハWに対して処理ガス例えばオゾンガスを供給すると共に紫外線ランプ92から紫外線エネルギーの照射を行い、こうしてオゾンが活性化して生成された酸素ラジカルによりウエハW表面の膜質を改善するものであり、ウエハWと紫外線ランプ92とを接近させて処理を行うことができるため、上述実施の形態と同様に省エネルギー化を図ることができる。
【0040】
これまで説明してきた実施の形態において、載置台の昇降に用いた第1及び第2の磁石部の構成は例えば電磁石が永久磁石の上側にあって、永久磁石を吸引して引き上げる構成としてもよく、具体例としては図1に示した実施の形態において、電磁石43を永久磁石42の上方例えば屈曲部位30の裏面に設け、永久磁石42を上方側へ吸引する構成を挙げることができる。また図8に示すように永久磁石に上側に付勢力の働くバネS1を組み合わせ、電磁石をオフにしたとき載置台が上昇するようにしてもよい。更にまた、第1及び第2の磁石部の構成を共に電磁石、或いは一方を磁性体としてもよく、これらいずれの場合においても上述実施の形態と同様の効果を得ることができる。
【0041】
なお磁石を用いて載置台を昇降させる構造は、載置台を回転させるタイプの装置に好適であるが載置台を回転させない装置に適用してもよく、その場合、処理容器の中の底部に第1の磁石に相当する例えば電磁石を設けることにより、底壁を貫通する昇降軸が不要になるので、気密性を確保するためのベローズなどが不要になり、構造が簡単になる。
【0042】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、基板の処理例えば熱処理において装置が要するスペースを拡大することなしに省エネルギー化を図り、かつ面内温度について高い均一性を得ることができるようになる。また紫外線ランプを用いて基板を処理するにあたり、省エネルギー化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る処理装置の実施の形態を表す縦断面図である。
【図2】前記実施の形態の要部及び制御系について示す説明図である。
【図3】前記実施の形態の要部を示す横断面図である。
【図4】前記処理装置の作用を示す説明図である。
【図5】前記処理装置の作用を示す説明図である。
【図6】前記処理装置の作用を示す説明図である。
【図7】本実施の形態に係る処理装置の他の実施の形態を示す概略断面図である。
【図8】本実施の形態に係る処理装置の更に他の実施の形態を示す概略断面図である。
【図9】従来発明に係る枚葉式の処理装置を示す概略断面図である。
【符号の説明】
W ウエハ
2 処理容器
20 処理容器本体
21 溝部
31 内輪部
32,33 軸受け
4 載置台
42 永久磁石
43 電磁石
51 反射板
52 光センサ
61 外輪部
62 軸受け
71 リフトピン
8 加熱ユニット
81 熱輻射ランプ
Claims (12)
- 処理容器内に設けられた載置台に基板を載置し、この基板を熱輻射ランプにより上方側から加熱する処理方法において、
前記基板を側方から処理容器内に搬入し、前記載置台に載置する工程と、
前記基板が処理位置に位置するように、前記載置台を上昇させる上昇工程と、 前記基板が前記処理位置にあるときに、処理容器内に処理ガスを供給すると共に前記熱輻射ランプにより前記基板の加熱を行う処理工程と、
この処理工程の終了後、前記載置台を下降させる下降工程と、
その後、基板を処理容器から搬出する工程と、を含み、
前記上昇工程及び下降工程は、磁石と磁石または磁性体との間の磁力の強さの調節を利用して行うことを特徴とする処理方法。 - 処理容器内に設けられた載置台に基板を載置し、この基板に対し紫外線照射ランプにより上方側から紫外線の照射を行う処理方法において、 前記基板を側方から処理容器内に搬入し、前記載置台に載置する工程と、
前記基板が処理位置に位置するように、前記載置台を上昇させる上昇工程と、 前記基板が前記処理位置にあるときに、処理容器内に処理ガスを供給すると共に紫外線の照射を行って基板を処理する処理工程と、
この処理工程終了後、前記載置台を下降させる下降工程と、
その後、基板を処理容器から搬出する工程と、を含み、
前記上昇工程及び下降工程は、磁石と磁石または磁性体との間の磁力の強さの調節を利用して行うことを特徴とする処理方法。 - 載置台は基板の周縁部を保持することを特徴とする請求項1または2記載の処理方法。
- 処理工程は、基板が鉛直軸の周りに回転しながら行われることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の処理方法。
- 側方に基板の搬送口が形成された気密な処理容器と、
この処理容器内に設けられ、外部の搬送手段との間で基板の受け渡しが行なわれると共に当該基板の周縁部を保持する載置台と、
前記処理容器内に処理ガスの供給を行うガス供給部と、
前記載置台に設けられた第1の磁石部と、
前記処理容器内に設けられ、前記第1の磁石部との間で磁力が作用される第2の磁石部と、
前記第1の磁石部及び第2の磁石部の間に作用する磁力の大きさを調整して、載置台を、前記搬送手段との間で基板の受け渡しを行うときの載置位置と、この載置位置よりも上方側であって基板を処理するときの処理位置と、の間で昇降させる制御部と、を備え、
前記第1の磁石部及び第2の磁石部の少なくとも一方は電磁石により構成されていることを特徴とする処理装置。 - 載置台を前記処理容器内で昇降自在に支持し、基板を鉛直軸周りに回転させることができるように、当該載置台と共に回転する回転基体と、この回転基体を回転させる回転機構と、を備え、前記第2の磁石部は前記回転基体に設けられたことを特徴とする請求項5記載の処理装置。
- 載置台は回転基体に対して昇降できるようにガイドされていることを特徴とする請求項6記載の処理装置。
- 第1の磁石部及び第2の磁石部の一方は電磁石により構成され、他方は永久磁石または磁性体により構成されていることを特徴とする請求項5、6または7記載の処理装置。
- 第1の磁石部は永久磁石または磁性体により構成され、第2の磁石部は電磁石により構成されていることを特徴とする請求項8記載の処理装置。
- 回転基体は、導電性の軸受けにより処理容器に回転自在に支持され、外部から電磁石へ給電するための給電路は前記軸受けを利用していることを特徴とする請求項6ないし9のいずれかに記載の処理装置。
- 回転基体は、載置台が上昇したときに当該載置台を処理位置の高さに規制する規制部を備えていることを特徴とする請求項6ないし10のいずれかに記載の処理装置。
- 回転機構は、処理容器の外に設けられると共に回転基体と磁気カップリングで結合されている外輪部と、この外輪部を回転駆動する駆動部と、を備えたことを特徴とする請求項6ないし11のいずれかに記載の処理装置。
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