JP4693175B2

JP4693175B2 - 加圧式処理液供給装置

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Publication number: JP4693175B2
Application number: JP2006176438A
Authority: JP
Inventors: 敬弘大久保; 義雄木村; 純也南田; 智伸古庄
Original assignee: Tokyo Electron Ltd
Current assignee: Tokyo Electron Ltd
Priority date: 2006-06-27
Filing date: 2006-06-27
Publication date: 2011-06-01
Anticipated expiration: 2026-06-27
Also published as: JP2008006325A

Description

この発明は、例えば半導体ウエハやＬＣＤガラス基板等の被処理基板にレジスト液や現像液等の処理液を加圧供給する加圧式処理液供給装置に関するものである。

一般に、半導体デバイスの製造においては、半導体ウエハやＬＣＤガラス基板等（以下にウエハ等という）の上にＩＴＯ（Indium Tin Oxide）の薄膜や電極パターンを形成するために、フォトリソグラフィ技術が利用されている。このフォトリソグラフィ技術においては、ウエハ等にフォトレジストを塗布し、これにより形成されたレジスト膜を所定の回路パターンに応じて露光し、この露光パターンを現像処理することによりレジスト膜に回路パターンが形成されている。

このようなフォトリソグラフィ工程において、レジスト液や現像液等の処理液をウエハ等に供給する装置として、処理液を貯留する容器を加圧して容器内の処理液を処理部側へ供給する加圧式処理液供給装置が使用されている（例えば、特許文献１参照）。

この種の加圧式処理液供給装置においては、処理液を貯留した容器に圧送用加圧ガス例えば窒素（Ｎ２）ガス等の不活性ガスを供給することで、容器内に挿入された処理液供給チューブから容器内の処理液を圧送している。したがって、容器の蓋の密閉性が悪いと、加圧ガスが漏れ、特に、処理液中の揮発成分が外部に流出することがある。このように、処理液中の揮発成分が外部に漏れると、更に新たに加圧ガスが容器内に供給されるため、処理液の濃度（粘度）が変化するという問題があった。

ところで、容器の口部に蓋が確実に密閉されているかは、作業者の勘に頼っているため、蓋の密閉性が不安定になる他に締め過ぎ等の問題もある。このような問題を解決する手段として、容器の口部を閉塞する蓋と、この蓋を口部に関して回転させるためのハンドルとの間に、締め過ぎ（オーバーライド連結）を防止する機能を有するトルク伝達リングを備えたキャップが知られている（例えば、特許文献２参照）。
特開平９−７９３６号公報特表平９−５０３７３１号公報（特許請求の範囲、図１，図２）

しかしながら、特表平９−５０３７３１号公報に記載の技術においては、ハンドルに設けられた駆動ピンと、トルク伝達リングに設けられた被動ラグとの係合及び係合解除等によって蓋の締め過ぎを防止することはできるが、蓋の密閉性や蓋の閉鎖状態の検知等に関しては言及されていない。

この発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、処理液を貯留するボトルへの蓋体の締め過ぎを防止すると共に、蓋体の閉鎖を検知して蓋体の密閉性を確実にする加圧式処理液供給装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決するために、この発明の第１の加圧式処理液供給装置は、圧送用ガス供給源から供給される圧送ガスによって、処理液が貯留されたボトルを加圧し、ボトル内の処理液を処理液供給管を介して処理部側に圧送する加圧式処理液供給装置を前提とし、上記ボトル内に挿入される処理液供給管の連通路と圧送ガスの導入路とを有し、ボトルの口部にシール部材を介して閉鎖される蓋体と、上記ボトルの口部に設けられたねじ部にねじ結合する環状の取付部材と、上記取付部材の上部に連結され、上記蓋体の外周に設けられた溝内に回転自在に嵌合される内向きフランジ部を有する蓋体押圧部材と、上記蓋体押圧部材にスリップ可能に係合され、上記取付部材との間に介在される弾発部材の互いに離反する方向の弾発力が付勢される筒状の操作部材と、上記蓋体押圧部材と共に回転可能に形成されると共に、上記操作部材の垂直方向の対向部位に介在され、上記弾発部材の弾発力により操作部材に係合し、弾発力に抗して係合が解除可能な環状のトルク伝達部材と、上記蓋体又は上記操作部材及びトルク伝達部材のいずれかに設けられ、蓋体が上記ボトルの口部を閉鎖した際の蓋体の閉塞状態の圧力を検知する圧力検知手段と、を具備することを特徴とする（請求項１）。

この発明において、上記蓋体押圧部材とトルク伝達部材とを一体に形成し、トルク伝達部材の下面に設けられた係合突起と、上記操作部材に設けられた係合溝とを係合及び係合解除可能に形成してもよい（請求項２）。

このように構成することにより、ボトルの口部に蓋体を当接した状態で、操作部材を回転して取付部材を口部に設けられたねじ部にねじ込むと、操作部材と共に蓋体押圧部材がボトル側に移動して蓋体をボトルの口部に押圧（密閉）することができる。この際、蓋体押圧部材は、蓋体の外周に設けられた溝内に回転自在に嵌合される内向きフランジ部を有するので、蓋体は水平状態を維持しつつ垂直方向に移動するので、ボトルの口部を確実に密閉することができる。蓋体が密閉された後、更に、操作部材をねじ込むと、弾発部材の弾発力が低下して、トルク伝達部材と操作部材との係合が解除される。これにより、蓋体の締め過ぎを防止することができる。また、圧力検知手段によって蓋体がボトルの口部を閉鎖した際の蓋体の閉塞状態の圧力を検知することにより、締め付けを確認することができる。

また、この発明の第２の加圧式処理液供給装置は、圧送用ガス供給源から供給される圧送ガスによって、処理液が貯留されたボトルを加圧し、ボトル内の処理液を処理液供給管を介して処理部側に圧送する加圧式処理液供給装置を前提とし、上記ボトル内に挿入される処理液供給管の連通路と圧送ガスの導入路とを有し、ボトルの口部にシール部材を介して閉鎖される蓋体と、上記ボトルの口部に設けられたねじ部にねじ結合する環状の取付部材と、上記取付部材の上部に連結され、上記蓋体の外周に設けられた溝内に回転自在に嵌合される内向きフランジ部を有する蓋体押圧部材と、上記蓋体押圧部材にスリップ可能に係合され、上記取付部材との間に介在される弾発部材の互いに離反する方向の弾発力が付勢される筒状の操作部材と、上記蓋体押圧部材と共に回転可能に形成されると共に、取付部材と操作部材の垂直方向の対向部位に介在され、上記弾発部材の弾発力により取付部材に係合し、弾発力に抗して係合が解除可能な環状のトルク伝達部材と、上記蓋体又は上記操作部材及びトルク伝達部材のいずれかに設けられ、蓋体が上記ボトルの口部を閉鎖した際の蓋体の閉塞状態の圧力を検知する圧力検知手段と、を具備することを特徴とする（請求項３）。

この発明において、上記トルク伝達部材を、上記取付部材の上面側に配設すると共に、トルク伝達部材の下面に設けられた係合突起と、取付部材の上面に設けられた係合溝とを係合及び係合解除可能に形成してもよい（請求項４）。

このように構成することにより、請求項１記載の発明と同様に、ボトルの口部を確実に密閉することができる。蓋体が密閉された後、更に、操作部材をねじ込むと、弾発部材の弾発力が低下して、トルク伝達部材と取付部材との係合が解除されるので、蓋体の締め過ぎを防止することができる。また、圧力検知手段によって蓋体がボトルの口部を閉鎖した際の蓋体の閉塞状態の圧力を検知することにより、締め付けを確認することができる。

また、この発明において、上記圧力検知手段は、上記蓋体に設けられたボトル内部に連通する貫通路に接続する管路に介設される圧力センサと、該圧力センサによって検知された検知圧力と上記圧送ガス供給源から上記ボトル内に供給される加圧圧力とを比較する制御手段にて形成してもよく（請求項５）、あるいは、上記蓋体におけるシール部材の背部接触位置に配設される接触式圧力センサと、該接触式圧力センサを制御する制御手段にて形成してもよい（請求項６）。この場合、上記圧力検知手段からの検知信号を受け、その検知信号に基づいて蓋体の閉鎖状態を知らせるアラーム手段を更に具備する方がよい（請求項７）。

上記のように、圧力検知手段を蓋体に設けられたボトル内部に連通する貫通路に接続する管路に介設される圧力センサと、該圧力センサによって検知された検知圧力と上記圧送ガス供給源から上記ボトル内に供給される加圧圧力とを比較する制御手段にて形成した場合には、ボトル内部の圧力と、ボトル内への加圧圧力とを比較し、圧力差があると加圧ガスの漏れを検知することができる（請求項５）。また、圧力検知手段を蓋体におけるシール部材の背部接触位置に配設される接触式圧力センサと、該接触式圧力センサを制御する制御手段にて形成した場合は、シール部材がボトルの口部に密着された状態を検知することができる（請求項６）。更に、圧力検知手段からの検知信号を受け、その検知信号に基づいて蓋体の閉鎖状態を知らせるアラーム手段を設けることにより、加圧ガスの漏れがある場合や蓋体の密閉が確実に行われたか知らせることができる（請求項７）。

また、上記圧力検知手段は、上記操作部材の側部に設けられる目視用の開口窓と、上記蓋体押圧部材の外側面に設けられ、上記開口窓を介して外部から目視可能な目印と、を具備し、上記操作部材の回転に伴って、この操作部材又は取付部材と上記トルク伝達部材との係合が解除され、上記蓋体押圧部材との間でスリップして回転した際に、上記目印の変化を目視により確認可能に形成してもよい（請求項８）。

このように構成することにより、蓋体がボトルの口部に密閉された後、操作部材を回転し続けると、弾発部材の弾発力が低下して、トルク伝達部材と取付部材又は操作部材との係合が解除されて、操作部材が蓋体押圧部材との間でスリップして回転し、開口窓を介して外部から目視可能な目印が変化する。これにより、蓋体の密閉状態を検知することができる。

この発明によれば、蓋体押圧部材は、蓋体の外周に設けられた溝内に回転自在に嵌合される内向きフランジ部を有するので、操作部材の回転操作による垂直移動に伴って、蓋体は水平状態を維持したまま垂直方向に移動するので、ボトルの口部を確実に密閉することができる。したがって、密閉性の向上を図ることができる。また、蓋体が密閉された後、更に、操作部材をねじ込むと、弾発部材の弾発力が低下して、トルク伝達部材と取付部材又は操作部材との係合が解除されるので、蓋体の締め過ぎを防止することができる。また、圧力検知手段によって蓋体がボトルの口部を閉鎖した際の圧力を検知することにより、締め付けを確認することができる。

以下に、この発明の最良の実施形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。ここでは、この発明に係る加圧式処理液供給装置を半導体ウエハのレジスト液塗布・現像処理システムに適用した場合について説明する。

上記レジスト液塗布・現像処理システムは、図１ないし図３に示すように、被処理基板である半導体ウエハＷ（以下にウエハＷという）をウエハカセット１０１で複数枚例えば２５枚単位で外部からシステムに搬入又はシステムから搬出したり、ウエハカセット１０１に対してウエハＷを搬出・搬入したりするための搬入部及び搬出部として機能するカセットステーション１１０と、塗布現像工程の中で１枚ずつウエハＷに所定の処理を施す枚葉式の各種処理ユニットを所定位置に多段配置してなる処理装置本体を具備する処理ステーション１２０と、この処理ステーション１２０と隣接して設けられる露光装置（図示せず）との間でウエハＷを受け渡すためのインター・フェース部１３０とで主要部が構成されている。

上記カセットステーション１１０は、図１に示すように、カセット載置台１０２上の突起１０３の位置に複数個例えば４個までのウエハカセット１０１がそれぞれのウエハ出入口を処理ステーション１２０側に向けて水平のＸ方向に沿って一列に載置され、カセット配列方向（Ｘ方向）及びウエハカセット１０１内に垂直方向に沿って収容されたウエハＷのウエハ配列方向（Ｚ方向）に移動可能なウエハ搬送用ピンセット１０４が各ウエハカセット１０１に選択的に搬送するように構成されている。また、ウエハ搬送用ピンセット１０４は、θ方向に回転可能に構成されており、後述する処理ステーション１２０側の第３の組Ｇ３の多段ユニット部に属するアライメントユニット（ＡＬＩＭ）及びエクステンションユニット（ＥＸＴ）にも搬送できるようになっている。

上記処理ステーション１２０は、図１に示すように、中心部に、搬送手段である垂直搬送型の主ウエハ搬送機構１２１が設けられ、この主ウエハ搬送機構１２１を収容する室１２２の周りに全ての処理ユニットが１組又は複数の組に渡って多段に配置されている。この例では、５組Ｇ１，Ｇ２，Ｇ３，Ｇ４及びＧ５の多段配置構成であり、第１及び第２の組Ｇ１，Ｇ２の多段ユニットはシステム正面側に並列され、第３の組Ｇ３の多段ユニットはカセットステーション１１０に隣接して配置され、第４の組Ｇ４の多段ユニットはインター・フェース部１３０に隣接して配置され、第５の組Ｇ５の多段ユニットは背部側に配置されている。

この場合、図２に示すように、第１の組Ｇ１では、容器としての処理カップ１２３内でウエハＷと現像液供給手段（図示せず）とを対峙させてレジストパターンを現像する現像ユニット（ＤＥＶ）と、ウエハＷをスピンチャック（図示せず）に載置して所定の処理を行うレジスト塗布ユニット（ＣＯＴ）とが垂直方向の下から順に２段に重ねられている。第２の組Ｇ２も同様に、２台のレジスト塗布ユニット（ＣＯＴ）及び現像ユニット（ＤＥＶ）が垂直方向の下から順に２段に重ねられている。このようにレジスト塗布ユニット（ＣＯＴ）を下段側に配置した理由は、レジスト液の排液が機構的にもメンテナンスの上でも面倒であるためである。しかし、必要に応じてレジスト塗布ユニット（ＣＯＴ）を上段に配置することも可能である。

図３に示すように、第３の組Ｇ３では、ウエハＷをウエハ載置台１２４（図１参照）に載置して所定の処理を行うオーブン型の処理ユニット例えばウエハＷを冷却するクーリングユニット（ＣＯＬ）、ウエハＷに疎水化処理を行うアドヒージョンユニット（ＡＤ）、ウエハＷの位置合わせを行うアライメントユニット（ＡＬＩＭ）、ウエハＷの搬入出を行うエクステンションユニット（ＥＸＴ）、ウエハＷをベークする４つのホットプレートユニット（ＨＰ）が垂直方向の下から順に例えば８段に重ねられている。第４の組Ｇ４も同様に、オーブン型処理ユニット例えばクーリングユニット（ＣＯＬ）、エクステンション・クーリングユニット（ＥＸＴＣＯＬ）、エクステンションユニット（ＥＸＴ）、クーリングユニット（ＣＯＬ）、急冷機能を有する２つのチリングホットプレートユニット（ＣＨＰ）及び２つのホットプレートユニット（ＨＰ）が垂直方向の下から順に例えば８段に重ねられている。

上記のように処理温度の低いクーリングユニット（ＣＯＬ）、エクステンション・クーリングユニット（ＥＸＴＣＯＬ）を下段に配置し、処理温度の高いホットプレートユニット（ＨＰ）、チリングホットプレートユニット（ＣＨＰ）及びアドヒージョンユニット（ＡＤ）を上段に配置することで、ユニット間の熱的な相互干渉を少なくすることができる。勿論、ランダムな多段配置とすることも可能である。

なお、図１に示すように、処理ステーション１２０において、第１及び第２の組Ｇ１，Ｇ２の多段ユニット（スピナ型処理ユニット）に隣接する第３及び第４の組Ｇ３，Ｇ４の多段ユニット（オーブン型処理ユニット）の側壁の中には、それぞれダクト１２５，１２６が垂直方向に縦断して設けられている。これらのダクト１２５，１２６には、ダウンフローの清浄空気又は特別に温度調整された空気が流されるようになっている。このダクト構造によって、第３及び第４の組Ｇ３，Ｇ４のオーブン型処理ユニットで発生した熱は遮断され、第１及び第２の組Ｇ１，Ｇ２のスピナ型処理ユニットへは及ばないようになっている。

また、この処理システムでは、主ウエハ搬送機構１２１の背部側にも図１に点線で示すように第５の組Ｇ５の多段ユニットが配置できるようになっている。この第５の組Ｇ５の多段ユニットは、案内レール１２７に沿って主ウエハ搬送機構１２１から見て側方へ移動できるようになっている。したがって、第５の組Ｇ５の多段ユニットを設けた場合でも、ユニットをスライドすることにより空間部が確保されるので、主ウエハ搬送機構１２１に対して背後からメンテナンス作業を容易に行うことができる。

上記インター・フェース部１３０は、奥行き方向では処理ステーション１２０と同じ寸法を有するが、幅方向では小さなサイズに作られている。このインター・フェース部１３０の正面部には可搬性のピックアップカセット１３１と定置型のバッファカセット１３２が２段に配置され、背面部には、ウエハＷの周辺部の露光及び識別マーク領域の露光を行う露光手段である周辺露光装置１３３が配設され、中央部には、搬送手段であるウエハの搬送アーム１３４が配設されている。この搬送アーム１３４は、Ｘ，Ｚ方向に移動して両カセット１３１，１３２及び周辺露光装置１３３に搬送するように構成されている。また、搬送アーム１３４は、θ方向に回転可能に構成され、処理ステーション１２０側の第４の組Ｇ４の多段ユニットに属するエクステンションユニット（ＥＸＴ）及び隣接する露光装置側のウエハ受渡し台（図示せず）にも搬送できるように構成されている。

上記のように構成される処理システムは、クリーンルーム１４０内に設置されるが、更にシステム内でも効率的な垂直層流方式によって各部の清浄度を高めている。

次に、上記レジスト液塗布・現像処理システムの動作について説明する。

まず、カセットステーション１１０において、ウエハ搬送用ピンセット１０４がカセット載置台１０２上の未処理のウエハＷを収容しているカセット１０１にアクセスして、そのカセット１０１から１枚のウエハＷを取り出す。ウエハ搬送用ピンセット１０４は、カセット１０１よりウエハＷを取り出すと、処理ステーション１２０側の第３の組Ｇ３の多段ユニット内に配置されているアライメントユニット（ＡＬＩＭ）まで移動し、ユニット（ＡＬＩＭ）内のウエハ載置台１２４上にウエハＷを載せる。ウエハＷは、ウエハ載置台１２４上でオリフラ合せ及びセンタリングを受ける。その後、主ウエハ搬送機構１２１がアライメントユニット（ＡＬＩＭ）に反対側からアクセスし、ウエハ載置台１２４からウエハＷを受け取る。

処理ステーション１２０において、主ウエハ搬送機構１２１はウエハＷを最初に第３の組Ｇ３の多段ユニットに属するアドヒージョンユニット（ＡＤ）に搬入する。このアドヒージョンユニット（ＡＤ）内でウエハＷは疎水化処理を受ける。疎水化処理が終了すると、主ウエハ搬送機構１２１は、ウエハＷをアドヒージョンユニット（ＡＤ）から搬出して、次に第３の組Ｇ３又は第４の組Ｇ４の多段ユニットに属するクーリングユニット（ＣＯＬ）へ搬入する。このクーリングユニット（ＣＯＬ）内でウエハＷはレジスト塗布処理前の設定温度例えば２３℃まで冷却される。冷却処理が終了すると、主ウエハ搬送機構１２１は、ウエハＷをクーリングユニット（ＣＯＬ）から搬出し、次に第１の組Ｇ１又は第２の組Ｇ２の多段ユニットに属するレジスト塗布ユニット（ＣＯＴ）へ搬入する。このレジスト塗布ユニット（ＣＯＴ）内でウエハＷはスピンコート法によりウエハ表面に一様な膜厚でレジストを塗布する。

レジスト塗布処理が終了すると、主ウエハ搬送機構１２１は、ウエハＷをレジスト塗布ユニット（ＣＯＴ）から搬出し、次にホットプレートユニット（ＨＰ）内へ搬入する。ホットプレートユニット（ＨＰ）内でウエハＷは載置台上に載置され、所定温度例えば１００℃で所定時間プリベーク処理される。これによって、ウエハＷ上の塗布膜から残存溶剤を蒸発除去することができる。プリベークが終了すると、主ウエハ搬送機構１２１は、ウエハＷをホットプレートユニット（ＨＰ）から搬出し、次に第４の組Ｇ４の多段ユニットに属するエクステンション・クーリングユニット（ＥＸＴＣＯＬ）へ搬送する。このユニット（ＥＸＴＣＯＬ）内でウエハＷは次工程すなわち周辺露光装置１３３における周辺露光処理に適した温度例えば２４℃まで冷却される。この冷却後、主ウエハ搬送機構１２１は、ウエハＷを直ぐ上のエクステンションユニット（ＥＸＴ）へ搬送し、このユニット（ＥＸＴ）内の載置台（図示せず）の上にウエハＷを載置する。このエクステンションユニット（ＥＸＴ）の載置台上にウエハＷが載置されると、インター・フェース部１３０の搬送アーム１３４が反対側からアクセスして、ウエハＷを受け取る。そして、搬送アーム１３４はウエハＷをインター・フェース部１３０内の周辺露光装置１３３へ搬入する。

露光装置で全面露光が済んで、ウエハＷが露光装置側のウエハ受取り台に戻されると、インター・フェース部１３０の搬送アーム１３４はそのウエハ受取り台へアクセスしてウエハＷを受け取り、受け取ったウエハＷを処理ステーション１２０側の第４の組Ｇ４の多段ユニットに属するエクステンションユニット（ＥＸＴ）へ搬入し、ウエハ受取り台上に載置する。この場合にも、ウエハＷは、処理ステーション１２０側へ渡される前にインター・フェース部１３０内のバッファカセット１３２に一時的に収納されることもある。

ウエハ受取り台上に載置されたウエハＷは、主ウエハ搬送機構１２１により、チリングホットプレートユニット（ＣＨＰ）に搬送され、フリンジの発生を防止するため、あるいは化学増幅型レジスト（ＣＡＲ）における酸触媒反応を誘起するためポストエクスポージャーベーク処理が施される。

その後、ウエハＷは、第１の組Ｇ１又は第２の組Ｇ２の多段ユニットに属する現像ユニット（ＤＥＶ）に搬入される。この現像ユニット（ＤＥＶ）内では、ウエハＷ表面のレジストに現像液が満遍なく供給されて現像処理が施される。この現像処理によって、ウエハＷ表面に形成されたレジスト膜が所定の回路パターンに現像されると共に、ウエハＷの周辺部の余剰レジスト膜が除去され、更に、ウエハＷ表面に形成された（施された）アライメントマークＭの領域に付着したレジスト膜が除去される。このようにして、現像が終了すると、ウエハＷ表面にリンス液がかけられて現像液が洗い落とされる。

現像工程が終了すると、主ウエハ搬送機構１２１は、ウエハＷを現像ユニット（ＤＥＶ）から搬出して、次に第３の組Ｇ３又は第４の組Ｇ４の多段ユニットに属するホットプレートユニット（ＨＰ）へ搬入する。このユニット（ＨＰ）内でウエハＷは例えば１００℃で所定時間ポストベーク処理される。これによって、現像で膨潤したレジストが硬化し、耐薬品性が向上する。

ポストベークが終了すると、主ウエハ搬送機構１２１は、ウエハＷをホットプレートユニット（ＨＰ）から搬出し、次にいずれかのクーリングユニット（ＣＯＬ）へ搬入する。ここでウエハＷが常温に戻った後、主ウエハ搬送機構１２１は、次にウエハＷを第３の組Ｇ３に属するエクステンションユニット（ＥＸＴ）へ移送する。このエクステンションユニット（ＥＸＴ）の載置台（図示せず）上にウエハＷが載置されると、カセットステーション１１０側のウエハ搬送用ピンセット１０４が反対側からアクセスして、ウエハＷを受け取る。そして、ウエハ搬送用ピンセット１０４は、受け取ったウエハＷをカセット載置台１０２上の処理済みウエハ収容用のカセット１０１の所定のウエハ収容溝に入れて処理が完了する。

次に、図１で示したレジスト塗布ユニットの構成について説明する。この場合、処理装置のジスト塗布・現像処理システムにおいては、同種の２つのレジスト塗布ユニットを備えている。すなわち、第１の組Ｇ１に属するスピナ型の第１の処理ユニット１４１（第１の塗布ユニット１４１）と、第２の組Ｇ２に属するスピナ型の第２の処理ユニット１４２（第２の塗布ユニット１４２）である。第１及び第２の塗布ユニット１４１，１４２は、それぞれ処理室１４３の主ウエハ搬送機構１２１側にシャッター１４４により開閉される搬出入口１４５を有している。

次に、第１及び第２の塗布ユニット１４１，１４２の具体的構成について、図４を参照して説明する。この第１及び第２の塗布ユニット１４１，１４２のケーシング１４８内には、ウエハＷを回転自在に保持する保持手段としてのスピンチャック１４９と、このスピンチャック１４９及びウエハＷの外周とそれら下方を包囲する処理カップ１２３と、ウエハＷの表面に処理液として、塗布液例えばレジスト液や、溶剤を供給する集合ノズル８０が備えられている。

スピンチャック１４９は、ケーシング１４８の下方に配置されたスピンモータ１５１により回転する回転軸１５２の上部に装着されるチャックプレート１４９ａと、このチャックプレート１４９ａの周縁部に垂設された保持部材（図示せず）とから構成されており、保持部材は、ウエハＷをチャックプレート１４９ａから浮かせた状態でウエハＷの周縁部を保持するように構成されている。

また、処理カップ１２３内の雰囲気は、処理カップ１２３の底部から、外部に設置されている真空ポンプなどの排気手段によって排気される。更に、ウエハＷが回転する際に飛び散った処理液は、スピンチャック１４９の外方から、処理カップ１２３の底部に設けられたドレイン１２８を通じて排出される。処理カップ１２３は上下移動可能であると共に、必要に応じてメンテナンスのため着脱できるように構成されている。

集合ノズル８０は、回動軸１５３を中心として旋回する移動部材としての回動アーム１５４の先端に設けられている。集合ノズル８０には、後述する第２の処理液供給管である塗布液供給管１に接続され塗布液（レジスト液）を吐出する処理液供給ノズルである塗布液供給ノズル８１と、溶剤供給管８３に接続され溶剤を吐出する溶剤供給ノズル８２が設けられおり、これらのノズル８１，８２はウエハＷの半径方向内側に相前後して並置され、集合ノズル８０の下面にいずれも開口している。すなわち、この塗布液供給ノズル８１と溶剤供給ノズル８２は、ウエハＷの半径方向内側に塗布液供給ノズル８１が位置し、またウエハＷの半径方向外側に溶剤供給ノズル８２が位置するように、互いに所定間隔だけ離して並置されている。そして、塗布液供給ノズル８１からは塗布液供給管１により供給された塗布液が、また溶剤供給ノズル８２からは溶剤供給管８３により供給された溶剤がそれぞれ独立に吐出されるように構成されている。

塗布液供給ノズル８１は、塗布液供給管１を介して塗布液であるレジスト液を貯留する後述するボトル２に接続されている。また、溶剤供給ノズル８２は、溶剤供給管８３を介して溶剤供給源８４に接続されている。なお、塗布液供給管１及び溶剤供給管８３にはそれぞれ開閉弁Ｖ1，Ｖ2が介設されている。

また、図４に示すように、回動アーム１５４は、処理カップ１２３の外側に鉛直に設けられた回動軸１５３の上部に水平姿勢で固定されおり、回動軸１５３の回転機構１５９（ノズル移動機構１５９）によって、水平面内で回動するように構成されている。回動アーム１５４は、ウエハＷの上方において、ウエハＷの中心部付近に移動した状態と、処理カップ１２３よりも外側の待機位置（ホームポジション）に移動した状態との間を移動する。回動アーム１５４を、これらの間で移動させることにより、ウエハＷ上に塗布膜を形成する処理を行う。

次に、この発明に係る加圧式処理液供給装置（以下に、処理液供給装置という）について、図５及び図６を参照して説明する。

図５は、この発明に係る処理液供給装置の第１実施形態の主要部を示す概略断面図（ａ）及び（ａ）のＩ−Ｉ線に沿う拡大断面図（ｂ）であり、図６は、第１実施形態の主要部の分解斜視図である。

上記処理液供給装置は、図４ないし図６に示すように、圧送用ガス供給源である窒素（Ｎ２）ガス供給源３から開閉弁Ｖ３が介設されたガス供給管４を介して供給される圧送ガスによって、処理液例えばレジスト液が貯留されたボトル２を加圧し、ボトル２内のレジスト液を、塗布液供給管１を介して処理部側の塗布液供給ノズル８１に圧送するように構成されている。

また、処理液供給装置は、ボトル２の口部２ａにシール部材１１を介して閉鎖される蓋体１０と、ボトル２の口部２ａに設けられたねじ部２ｂにねじ結合する環状の取付部材２０と、取付部材２０の上部に連結され、蓋体１０に回転自在に嵌合される蓋体押圧部材３０と、蓋体押圧部材３０にスリップ可能に係合され、取付部材２０との間に介在される弾発部材である圧縮ばね部材４０の互いに離反する方向の弾発力が付勢される筒状の操作部材５０と、蓋体押圧部材３０と共に回転可能に形成されると共に、操作部材５０の垂直方向の対向部位に介在され、圧縮ばね部材４０の弾発力により操作部材５０に係合し、弾発力に抗して係合が解除可能な環状のトルク伝達部材６０と、蓋体１０に設けられ、蓋体１０がボトル２の口部２ａを閉鎖した際の圧力を検知する圧力検知手段と、で主に構成されている。

蓋体１０は、ボトル２内に挿入される塗布液供給管１の連通路１２と圧送ガスの導入路１３とを互いに平行に有し、上端面の外周には段付き溝１４が周設されている。また、蓋体１０の下面には、ボトル２の口部２ａに密接されるシール部材１１が装着されている。更に、蓋体１０には圧力検知用の検知孔１５が連通路１２及び導入路１３と平行に設けられている。検知孔１５には圧力センサ７０が接続されている。また、圧力センサ７０は、制御手段例えば中央演算処理装置７５（以下に、ＣＰＵ７５という）に電気的に接続されており、圧力センサ７０からの検知信号がＣＰＵ７５に伝達されると、ＣＰＵ７５は、ボトル２内の検知圧力と加圧圧力とを比較し、例えば、圧力差がある場合に加圧ガスのリーク（漏れ）であると認識したとき、その情報をアラーム手段７６に伝達して、蓋体１０が密閉されていないことを外部に知らせることができるようになっている。また、ボトル２内に圧送ガスを封入した時の一定時間内の圧力差が許容値を越えた時にアラーム手段７６によって知らせるようにしてもよい。また、加圧ガスのリーク（漏れ）に代えて圧力差がない場合の正常な密閉状態をアラーム手段７６によって知らせるようにしてもよい。

取付部材２０は、ボトル２の口部２ａに設けられたねじ部２ｂにねじ結合する雌ねじ部２ｂを有すると共に、同心円上の複数箇所例えば６箇所に、取付部材２０と蓋体押圧部材３０とを連結する連結ボルト２５の貫通孔２１が設けられ、かつ、貫通孔２１より外周側の同心円上の複数箇所例えば５箇所に、圧縮ばね部材４０の取付孔２２が設けられている。この場合、取付孔２２の内周面にねじ部が刻設されており、このねじ部にねじ結合する調整ねじ部材２３によって圧縮ばね部材４０の弾発力が調整可能に構成されている。

蓋体押圧部材３０は、筒状基部３１と、この筒状基部３１の上端部内周側に突出する内向きフランジ部３２とからなり、筒状基部３１における同心円上の複数箇所例えば６箇所に、上記連結ボルト２５の貫通孔３３が設けられている。この蓋体押圧部材３０の内向きフランジ部３２内に、蓋体１０の段付き溝１４が回転自在に嵌合されると共に、内向きフランジ部３２の下面３２ａが、段付き溝１４の上面１４ａに当接して、蓋体１０を下方側に押圧し得るように構成されている。

トルク伝達部材６０は、蓋体押圧部材３０の筒状基部３１の上端部の外周側に一体に形成されており、このトルク伝達部材６０の下面には、同心円上に適宜間隔をおいて半円弧状の係合突起６１が突設されている。

また、操作部材５０は、筒状本体５０ａの上端部の内周側に段部５１が設けられている。この段部５１の水平面における同心円上には、トルク伝達部材６０の係合突起６１と係合し得るように、適宜間隔をおいて上方に向かって開口する半円弧状の係合溝５２が設けられている。

上記のように構成される蓋体１０，取付部材２０，蓋体押圧部材３０及び操作部材５０は、それぞれ耐水性，耐薬品性に富む合成樹脂、例えばＰＰＥ（ポリフェニレンエーテル）等にて形成されている。これら、蓋体１０，取付部材２０，蓋体押圧部材３０及び操作部材５０を組み付けるには、例えば、蓋体押圧部材３０の内向きフランジ部３２の内側に蓋体１０の段付き溝１４を嵌挿して段付き溝１４の水平面１４ａに下向きフランジ部３２の下面を当接させる。また、蓋体押圧部材３０を操作部材５０内に挿入して、蓋体押圧部材３０に一体に形成されたトルク伝達部材６０の係合突起６１と操作部材５０の段部５１に設けられた係合溝５２とを係合させる。このようにして、蓋体１０と蓋体押圧部材３０及び操作部材５０を組み付けた後、蓋体押圧部材３０に設けられた貫通孔３３と取付部材２０に設けられた貫通孔２１とを合致させ、蓋体押圧部材３０側から連結ボルト２５を貫通孔３３，２１に貫通し、連結ボルト２５の突出部にナット２６を締結して組み付ける。この際、取付部材２０に設けられた取付孔２２を介して圧縮ばね部材４０を操作部材５０の下面に配置される円板状受座５３の下面に当接すると共に、取付孔２２に調整ねじ部材２３をねじ結合する。これによって、操作部材５０に、取付部材２０に対して離反する方向、つまりトルク伝達部材６０の係合突起６１と操作部材５０の係合溝５２が係合する方向の圧縮ばね部材４０の弾発力を付勢する。このとき、調整ねじ部材２３の調整によって圧縮ばね部材４０の弾発力を調整することができる。

上記のようにして組み付けられた後、蓋体１０の連通路１２に、塗布液供給管１が貫挿され、この塗布液供給管１と連通路１２の開口端との間が溶接によって取り付けられる。また、蓋体１０に設けられた導入路１３にガス供給管４が接続されると共に、溶接によって取り付けられる。なお、塗布液供給管１とガス供給管４を、組み付け前の蓋体１０に取り付けてもよい。

上記のようにして組み付けられた蓋体１０，取付部材２０，蓋体押圧部材３０及び操作部材５０をボトル２の口部２ａに取り付けるには、まず、ボトル２の口部２ａに蓋体１０を当接した状態で、操作部材５０を回転して取付部材２０を口部２ａに設けられたねじ部２ｂにねじ込む。すると、操作部材５０と共に蓋体押圧部材３０がボトル側に移動して蓋体１０の下面に装着されたシール部材１１がボトル２の口部２ａに押圧（密閉）される。この際、蓋体押圧部材３０は、蓋体１０の外周に設けられた段付き溝１４内に回転自在に嵌合される内向きフランジ部３２を有するので、蓋体１０は水平状態を維持しつつ垂直方向にのみ移動し、塗布液供給管１とガス供給管４は捻れる心配がなく、ボトル２の口部２ａを確実に密閉することができる。蓋体１０が密閉された後、更に、操作部材５０をねじ込むと、圧縮ばね部材４０の弾発力が低下して、トルク伝達部材６０の係合突起６１と操作部材５０の係合溝５２との係合が解除される。これにより、蓋体１０の締め過ぎを防止することができる。

また、蓋体１０に設けられた圧力検知用の検知孔１５に接続する圧力センサ７０によってボトル２内の圧力を検知し、その検知信号をＣＰＵ７５に伝達し、ＣＰＵ７５は、ボトル２内の検知圧力と加圧圧力とを比較し、例えば、圧力差がある場合に加圧ガスのリーク（漏れ）であると認識したとき、その情報をアラーム手段７６に伝達して、蓋体１０が密閉されていないことを外部に知らせる。あるいは、ボトル２内の検知圧力と加圧圧力との圧力差がない場合の密閉状態をアラーム手段７６によって外部に知らせる。

上記実施形態では、圧力検知手段がボトル２内の圧力を検知する圧力センサ７０である場合について説明したが、圧力センサ７０に代えて蓋体１０の閉鎖部の圧力を検知する圧力センサ７０Ａを用いてもよい。すなわち、図７に示すように、蓋体１０の閉鎖部であるシール部材１１の背部接触位置に接触式の圧力センサ７０Ａを配設し、この圧力センサ７０ＡをＣＰＵ７５に電気的に接続してもよい。

このように、蓋体１０の閉鎖部であるシール部材１１の背部接触位置に接触式の圧力センサ７０Ａを配設することにより、蓋体１０の閉鎖状態の圧力を直接検知することができ、その検知情報をアラーム手段７６によって外部に知らせることができる。

なお、図７において、その他の部分は図５に示す第１実施形態と同じであるので、同位置部分には同一符号を付して説明は省略する。

また、圧力検知手段を圧力センサ７０，７０Ａに代えて目視によって検知できる構造にしてもよい。すなわち、図８に示すように、圧力検知手段７０Ｂを、操作部材５０の側部に設けられる目視用の開口窓７１と、蓋体押圧部材３０の外側面に設けられ、開口窓７１を介して外部から目視可能な目印７２とで構成してもよい。このように構成される圧力検知手段７０Ｂにおいては、操作部材５０の係合溝５２とトルク伝達部材６０の係合突起６１が係合している状態では、開口窓７１を介して外部から目印７２を目視可能にしておき（図８（ａ）参照）、操作部材５０の回転に伴って、この操作部材５０の係合溝５２とトルク伝達部材６０の係合突起６１との係合が解除され、蓋体押圧部材３０との間でスリップして回転した際に、目印７２の変化を目視により確認することによって蓋体１０の密閉状態すなわち締め過ぎ防止を検知することができる（図８（ｂ）参照）。

次に、この発明に係る処理液供給装置の第２実施形態について、図９を参照して説明する。

第２実施形態の処理液供給装置は、図９に示すように、ボトル２の口部２ａにシール部材１１を介して閉鎖される蓋体１０と、ボトル２の口部２ａに設けられたねじ部２ｂにねじ結合する環状の取付部材２０Ａと、取付部材２０Ａの上部に連結され、蓋体１０に回転自在に嵌合される蓋体押圧部材３０と、蓋体押圧部材３０にスリップ可能に係合され、取付部材２０Ａとの間に介在される弾発部材である圧縮ばね部材４０Ａの互いに離反する方向の弾発力が付勢される筒状の操作部材５０Ａと、蓋体押圧部材３０と共に回転可能に形成されると共に、取付部材２０Ａと操作部材５０Ａの垂直方向の対向部位に介在され、弾発部材である圧縮ばね部材４０Ａの弾発力により取付部材２０Ａに係合し、弾発力に抗して係合が解除可能な環状のトルク伝達部材６０Ａと、蓋体１０に設けられ、蓋体１０がボトル２の口部２ａを閉鎖した際の圧力を検知する圧力検知手段７０と、で主に構成されている。

第２実施形態の処理液供給装置においては、第１実施形態と以下の点で異なる構造を有する。すなわち、トルク伝達部材６０Ａは、蓋体押圧部材３０と別体に形成されており、蓋体押圧部材３０の下面に配設されると共に、連結ボルト２５に係合する、外周側に開口する係合凹溝６３が設けられて蓋体押圧部材３０と連結されている。また、トルク伝達部材６０の下面に設けられた係合突起６１Ａと取付部材２０の上面に設けられた係合溝２４Ａとが係合及び係合が解除可能に形成されている（図９（ｂ）参照）。この場合、係合突起６１Ａは、操作部材５０Ａの回転方向側すなわち図９（ｂ）における左側の端部が下端（係合突起６１Ａの先端）に向かって狭小テーパ面６２が設けられ、係合溝２４Ａの両端は拡開テーパ面２４が形成されている。また、圧縮ばね部材４０Ａは、操作部材５０の筒状基部を貫通する取付孔５４に設けられたねじ部にねじ結合する調整ねじ部材２３によって取付孔５４の下方側に突出して、トルク伝達部材６０Ａの上面に当接している。また、操作部材５０の下部に垂下するスカート部５５がトルク伝達部材６０Ａ及び取付部材２０Ａの外周部を覆う構造となっている。更に、蓋体１０，取付部材２０Ａ，蓋体押圧部材３０，トルク伝達部材６０Ａ及び操作部材５０Ａを組み付ける際、蓋体押圧部材３０の上面と操作部材５０Ａの上端部に設けられた段部５１にドーナツ状の押え部材７７を配置して、上部から連結ボルト２５を押え部材７７に設けられた貫通孔７８，蓋体押圧部材３０に設けられた貫通孔３３，トルク伝達部材６０に設けられた係合凹溝６３及び取付部材２０Ａに設けられた貫通孔２１を貫通して、突出部にナット２６を締結する構造が第１実施形態と相違している。

なお、第２実施形態において、その他の部分は第１実施形態と同じであるので、同一部分には同一符号を付して説明は省略する。

上記のように構成される第２実施形態の蓋体１０，取付部材２０Ａ，蓋体押圧部材３０，トルク伝達部材６０Ａ及び操作部材５０Ａを組み付けるには、例えば、蓋体押圧部材３０の内向きフランジ部３２の内側に蓋体１０の段付き溝１４を嵌挿して段付き溝１４の水平面１４ａに下向きフランジ部３２の下面を当接させる。また、蓋体押圧部材３０とトルク伝達部材６０Ａを操作部材５０Ａ内に挿入する。この際、操作部材５０に設けられた取付孔５４にねじ結合する調整ねじ部材２３の調整によって圧縮ばね部材４０Ａをトルク伝達部材６０の上面に当接する。次に、取付部材２０Ａをトルク伝達部材６０の下面側に当接して、トルク伝達部材６０Ａの下面に設けられた係合突起６１Ａと取付部材２０Ａの上面に設けられた係合溝２４Ａとを係合させる。

このようにして、蓋体１０，取付部材２０Ａ，蓋体押圧部材３０，トルク伝達部材６０Ａ及び操作部材５０Ａを組み付けた後、蓋体押圧部材３０の貫通孔３３とトルク伝達部材６０の係合凹溝６３と取付部材２０Ａに設けられた貫通孔２１とを合致させ、蓋体押圧部材３０の上面と操作部材５０Ａの段部５１に押え部材７７を配置し、そして、連結ボルト２５を貫通孔７８，３３，２１に貫通し、連結ボルト２５の突出部にナット２６をねじ結合して組み付ける。この際、圧縮ばね部材４０Ａをトルク伝達部材６０Ａの上面に当接すると共に、取付孔５４に調整ねじ部材２３をねじ結合する。これによって、操作部材５０に、取付部材２０に対して離反する方向、つまりトルク伝達部材６０Ａの係合突起６１Ａと取付部材２０Ａの係合溝２４Ａが係合する方向の圧縮ばね部材４０Ａの弾発力を付勢する。このとき、調整ねじ部材２３の調整によって圧縮ばね部材４０Ａの弾発力を調整することができる。

上記のようにして組み付けられた後、又は組み付け前に、蓋体１０の連通路１２に、塗布液供給管１が貫挿され、この塗布液供給管１と連通路１２の開口端との間が溶接によって取り付けられる。また、蓋体１０に設けられた導入路１３にガス供給管４が接続されると共に、溶接によって取り付けられる。

上記のようにして組み付けられた蓋体１０，取付部材２０Ａ，蓋体押圧部材３０，トルク伝達部材６０Ａ及び操作部材５０Ａをボトル２の口部２ａに取り付けるには、まず、ボトル２の口部２ａに蓋体１０を当接した状態で、操作部材５０Ａを回転して取付部材２０Ａを口部２ａに設けられたねじ部２ｂにねじ込む。すると、操作部材５０Ａと共に蓋体押圧部材３０がボトル側に移動して蓋体１０の下面に装着されたシール部材１１がボトル２の口部２ａに押圧（密閉）される。この際、蓋体押圧部材３０は、蓋体１０の外周に設けられた段付き溝１４内に回転自在に嵌合される内向きフランジ部３２を有するので、蓋体１０は水平状態を維持しつつ垂直方向にのみ移動し、塗布液供給管１とガス供給管４は捻れる心配がなく、ボトル２の口部２ａを確実に密閉することができる。蓋体１０が密閉された後、更に、操作部材５０Ａをねじ込むと、圧縮ばね部材４０Ａの弾発力が低下して、トルク伝達部材６０Ａの係合突起６１Ａと取付部材２０Ａの係合溝２４Ａとの係合が解除される。これにより、蓋体１０の締め過ぎを防止することができる。

また、第１実施形態と同様に、蓋体１０に設けられた圧力検知用の検知孔１５に接続する圧力センサ７０によってボトル２内の圧力を検知し、その検知信号をＣＰＵ７５に伝達し、ＣＰＵ７５は、ボトル２内の検知圧力と加圧圧力とを比較し、例えば、圧力差がある場合に加圧ガスのリーク（漏れ）であると認識したとき、その情報をアラーム手段７６に伝達して、蓋体１０が密閉されていないことを外部に知らせる。あるいは、ボトル２内の検知圧力と加圧圧力との圧力差がない場合の密閉状態をアラーム手段７６によって外部に知らせる。

なお、第２実施形態においても、第１実施形態と同様に、圧力検知手段を圧力センサ７０に代えて接触式の圧力センサ７０Ａあるいは目視可能な圧力検知手段７０Ｂとしてもよい。

なお、上記実施形態では、この発明に係る処理液供給装置をレジスト塗布処理装置に適用した場合について説明したが、レジスト以外の処理液例えば現像液等の供給装置や洗浄処理の供給装置にも適用できることは勿論である。

この発明に係る処理液供給装置を適用したレジスト液塗布・現像処理システムの一例を示す概略平面図である。上記レジスト液塗布・現像処理システムの概略正面図である。上記レジスト液塗布・現像処理システムの概略背面図である。上記レジスト液塗布・現像処理システムにおける塗布ユニットを示す概略断面図である。この発明に係る処理液供給装置の第１実施形態を示す概略断面図（ａ）及び（ａ）のＩ−Ｉ線に沿う拡大断面図（ｂ）である。上記処理液供給装置の主要部の分解斜視図である。この発明における圧力検知手段の別の形態を示す概略断面図である。この発明における圧力検知手段の更に別の形態の圧力検知の変化状態を示す概略側面図である。この発明に係る処理液供給装置の第２実施形態を示す概略断面図（ａ）及び（ａ）のII−II線に沿う拡大断面図（ｂ）である。

符号の説明

１塗布液供給管（処理液供給管）
２ボトル
２ａ口部
２ｂねじ部
４ガス供給管
１０蓋体
１１シール部材
１２連通路
１３導入路
１４段付き溝
１５検知孔
２０，２０Ａ取付部材
２２取付孔
２３調整ねじ部材
２４Ａ係合溝
２５連結ボルト
２６ナット
３０蓋体押圧部材
３２内向きフランジ部
４０，４０Ａ圧縮ばね部材（弾発部材）
５０，５０Ａ操作部材
５２係合溝
５４取付孔
６０，６０Ａトルク伝達部材
６１，６１Ａ係合突起
６３係合凹溝
７０，７０Ａ圧力センサ（圧力検知手段）
７０Ｂ圧力検知手段
７１開口窓
７２目印
７５ＣＰＵ（制御手段）
７６アラーム手段

Claims

圧送用ガス供給源から供給される圧送ガスによって、処理液が貯留されたボトルを加圧し、ボトル内の処理液を処理液供給管を介して処理部側に圧送する加圧式処理液供給装置において、
上記ボトル内に挿入される処理液供給管の連通路と圧送ガスの導入路とを有し、ボトルの口部にシール部材を介して閉鎖される蓋体と、
上記ボトルの口部に設けられたねじ部にねじ結合する環状の取付部材と、
上記取付部材の上部に連結され、上記蓋体の外周に設けられた溝内に回転自在に嵌合される内向きフランジ部を有する蓋体押圧部材と、
上記蓋体押圧部材にスリップ可能に係合され、上記取付部材との間に介在される弾発部材の互いに離反する方向の弾発力が付勢される筒状の操作部材と、
上記蓋体押圧部材と共に回転可能に形成されると共に、上記操作部材の垂直方向の対向部位に介在され、上記弾発部材の弾発力により操作部材に係合し、弾発力に抗して係合が解除可能な環状のトルク伝達部材と、
上記蓋体又は上記操作部材及びトルク伝達部材のいずれかに設けられ、蓋体が上記ボトルの口部を閉鎖した際の蓋体の閉塞状態の圧力を検知する圧力検知手段と、
を具備することを特徴とする加圧式処理液供給装置。
請求項１記載の加圧式処理液供給装置において、
上記蓋体押圧部材とトルク伝達部材とを一体に形成し、トルク伝達部材の下面に設けられた係合突起と、上記操作部材に設けられた係合溝とを係合及び係合解除可能に形成してなる、ことを特徴とする加圧式処理液供給装置。
圧送用ガス供給源から供給される圧送ガスによって、処理液が貯留されたボトルを加圧し、ボトル内の処理液を処理液供給管を介して処理部側に圧送する加圧式処理液供給装置において、
上記ボトル内に挿入される処理液供給管の連通路と圧送ガスの導入路とを有し、ボトルの口部にシール部材を介して閉鎖される蓋体と、
上記ボトルの口部に設けられたねじ部にねじ結合する環状の取付部材と、
上記取付部材の上部に連結され、上記蓋体の外周に設けられた溝内に回転自在に嵌合される内向きフランジ部を有する蓋体押圧部材と、
上記蓋体押圧部材にスリップ可能に係合され、上記取付部材との間に介在される弾発部材の互いに離反する方向の弾発力が付勢される筒状の操作部材と、
上記蓋体押圧部材と共に回転可能に形成されると共に、取付部材と操作部材の垂直方向の対向部位に介在され、上記弾発部材の弾発力により取付部材に係合し、弾発力に抗して係合が解除可能な環状のトルク伝達部材と、
上記蓋体又は上記操作部材及びトルク伝達部材のいずれかに設けられ、蓋体が上記ボトルの口部を閉鎖した際の蓋体の閉塞状態の圧力を検知する圧力検知手段と、
を具備することを特徴とする加圧式処理液供給装置。
請求項３記載の加圧式処理液供給装置において、
上記トルク伝達部材を、上記取付部材の上面側に配設すると共に、トルク伝達部材の下面に設けられた係合突起と、取付部材の上面に設けられた係合溝とを係合及び係合解除可能に形成してなる、ことを特徴とする加圧式処理液供給装置。
請求項１又は３記載の加圧式処理液供給装置において、
上記圧力検知手段は、上記蓋体に設けられたボトル内部に連通する貫通路に接続する管路に介設される圧力センサと、該圧力センサによって検知された検知圧力と上記圧送ガス供給源から上記ボトル内に供給される加圧圧力とを比較する制御手段と、を具備する、ことを特徴とする加圧式処理液供給装置。
請求項１又は３記載の加圧式処理液供給装置において、
上記圧力検知手段は、上記蓋体におけるシール部材の背部接触位置に配設される接触式圧力センサと、該接触式圧力センサを制御する制御手段と、を具備する、ことを特徴とする加圧式処理液供給装置。
請求項１ないし６のいずれかに記載の加圧式処理液供給装置において、
上記圧力検知手段の制御手段からの検知信号を受け、その検知信号に基づいて蓋体の閉鎖状態を知らせるアラーム手段を更に具備する、ことを特徴とする加圧式処理液供給装置。
請求項１又は３記載の加圧式処理液供給装置において、
上記圧力検知手段は、上記操作部材の側部に設けられる目視用の開口窓と、上記蓋体押圧部材の外側面に設けられ、上記開口窓を介して外部から目視可能な目印と、を具備し、上記操作部材の回転に伴って、この操作部材又は取付部材と上記トルク伝達部材との係合が解除され、上記蓋体押圧部材との間でスリップして回転した際に、上記目印の変化を目視により確認可能に形成してなる、ことを特徴とする加圧式処理液供給装置。