JP4691846B2 - Mos基準電圧回路およびその製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、ディプレション型MOSFETとエンハンスメント型MOSFETで構成されるMOS基準電圧回路およびその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
基準電圧回路はIC内で全ての制御の基準として使われ、温度や電源電圧の変動にも影響されず、常に、一定の電圧を発生することが要求される回路である。
図5は、MOS基準電圧回路の路構成を示す。この回路はデプレション型MOSFET51とエンハンスメント型MOSFET52で構成され、それぞれが所定のチャネル長Ld、Le、チャネル幅Wd、Weを有している。Vccは電源高電位端子、Vref はMOS基準電圧回路の出力電圧端子、GNDはグランド端子である。
【0003】
また、出力電圧、消費電流は(2)、(3)式で表される。
【0004】
【数2】
Vref =Vthe −Vthd 〔〔(kd (Wd/Ld)〕/〔(ke (We/Le)〕〕1/2 ・・・・・(2)
Icc=(kd /2)(Wd/Ld)(Vthd )2 ・・・・(3)
但し、Vthd はデプレッション型MOSFET51のゲートしきい値電圧(V)、Vthe はエンハンスメント型MOSFET52のゲートしきい値電圧(V)、kd はデプレッション型MOSFET51のコンダクタンス(A/V)、ke はエンハンスメント型MOSFET52のコンダクタンス(A/V)である。
【0005】
式(2)において、温度による形状の変化がないとすると、温度特性をもつパラメータはしきい値電圧Vthd 、Vthe とコンダクタンスkd 、ke である。
ここで(2)式において、
【0006】
【数3】
VD =Vthd 〔(Kd/Ke)〕1/2
K=〔(Wd/Ld)/(We/Le)〕1/2
と定義すると、
【0007】
【数4】
Vref =Vthe −VD K・・・・(4)
と表される。
エンハンスMOSとデプレッションMOSの各しきい値電圧Vthe とVthd の温度特性は負で、ほぼ線形に減少する特性を持っている。さらにMOSのコンダクタンスの比の温度依存性はデプレッションMOSのしきい値温度依存性に比べ一桁程度小さいことが予想されるので、(4)式のもほぼ線形であると考えられる。
【0008】
したがって、(4)式において、Vthe =a1 T+b1 、VD =a2 T+b2 と近似して(4)式に代入すると
【0009】
【数5】
Vref =(a1 −Ka2 )T+(b1 −Kb2 )・・・・(5)
となる。ここでTは温度である。
基準電圧回路の温度特性は(5)式を温度Tで微分することによって求められる。
【0010】
【数6】
(dVref /dT)=a1 −Ka2 ・・・・(6)
従来は上式より、基準電圧出力Vref の温度変化による変動を無くすには第一項と第二項の温度特性が同じになるようにサイズ比K、すなわちエンハンスMOSとデプレッションMOSのサイズを決定してきた。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら(6)式は、エンハンス型MOSFET、デプレッション型MOSFETの各しきい値電圧の曲線性とコンダクタンスの温度依存性を無視し、各しきい値電圧の温度依存性は一次式で近似し、コンダクタンスの温度依存性はないものとして、理想化したものであるのであり、実際は温度が変化すると、設計値より基準電圧の温度ドリフト(電圧変動)が大きくなるという問題点があった。このような基準電圧の温度特性の悪化は、検出電圧の仕様が厳しいリチウムイオン二次電池充電保護用IC(集積回路)等で特に問題となっている。
【0012】
この発明の目的は、前記の課題を解決して、基準電圧の温度ドリフト(温度による電圧変動)が小さいMOS基準電圧回路とその製造方法を提供することにある。
【0013】
【課題を解決するための手段】
前記の目的を達成するために、ディプレション型MOSFETとエンハンスメント型MOSFETとが直列接続され、前記ディプレション型MOSFETが高電位端子に、前記エンハンスメント型MOSFETが低電位側端子にそれぞれ接続され、両MOSFETの接続点と両MOSFETのゲートとが出力端子に接続されたMOS基準電圧回路の製造方法において、
ディプレション型MOSFETのチャネル領域を形成するために打ち込むイオンドーズ量Xd〔×10 12 cm -2 〕が、次式(1)を満足するものとする。
【0014】
【数7】
0.9×〔〔Tm+(1.75Ld+230)〕/(0.3Ld+149)〕≦Xd≦1.1×〔〔Tm+(1.75Ld+230)〕/(0.3Ld+149)〕・・・・(1)
但し、Tm=(T 1 +T 2 )/2、Tmは中間温度(℃)、T 1 はMOS基準電圧回路の許容温度範囲の最低値(℃)、T 2 はMOS基準電圧回路の許容温度範囲の最高値(℃)、Ldは前記のディプレション型MOSFETのチャネル長(μm)である。この許容温度範囲とは、MOS基準電圧回路が使用できる温度範囲で、仕様書などに記載される温度範囲(仕様温度範囲)を指す。
【0015】
また、上記の製造方法によって製造されたMOS基準電圧回路が、ディプレション型MOSFETのチャネル領域の表面濃度を、1×10 16 cm -3 以上で、1×10 17 cm -3 以下の範囲であるものとする。
〔作用〕
本発明ではデプレッションMOS基準電圧回路の温度ドリフトがある許容温度範囲(仕様温度範囲)内で最適となるように、デプレッションMOSのチャネル領域を形成するためのイオン打ち込み量(以下Dep Dose量Xdという)とデプレッションMOSのチャネル長Ldの関係を明かにした。具体的には以下に示す。
【0016】
基準電圧回路のパラメータとしてはサイズに関してはWd、Ld、We、Leの四種類がある。サイズ比Kのみを考えた場合は、ある値を得る為にはどのパラメータを変更しても同じであるが、基準電圧回路を設計する上で重要である消費電流の見地から見ると(3)式から分かるようにWd、Ldが影響してくる。
また樹脂によるモールドという観点から見ると、基準電圧回路は回路のサイズが小さいと、モールド時の出力電圧の変動が大きく、さらに温度特性が悪いことが経験的に分かっている。 従って、Wd、Ldは大きくする必要があるが、Wdをあまり大きくすると、消費電流を小さく抑える必要がある時はLdも共に大きくする必要があり、面積が非常に大きくなる。よって、サイズ比Kを変化させる時はLdを変化させて設計すると都合が良い。
【0017】
また、消費電流を決定する他の要素としてのkd とVthd は、デプレッションMOSのDep Dose量を制御することによって調整が可能である。
以上のような理由から、温度ドリフトの良い基準電圧回路のサイズ設計を行ううえで、数あるパラメータの中で、デプレッションMOSのLdとDep Dose量を変化させて設計することが最良であると考えられる。
【0018】
よって、デプレッションMOS基準電圧回路の中のデプレッションMOSのチャネル長Ldと、そのDep Dose量を変化させた回路を試作した。
始めにデプレッションMOS基準電圧回路において、デプレッションMOSのチャネル長Ldを幾つか変化させたTEG(Test Element Group)を試作した。
【0019】
We=10μm、Le=160μm、Wd=12μmであり、Ld=240μmから10、20μm変化させたLd=240、250、260μmの三種類のTEGを作成した。さらにこのデプレッションMOSのDep Dose量を、各Ldに対して2.8〜3.2×1012cm-2と0.1×1012cm-2刻みで変化させた。
【0020】
この試作したTEGを各条件において、温度−10〜70℃の範囲で変化させたときの温度ドリフトを測定した。温度ドリフトの測定結果の代表例を図5に示す。
図6は、Ld=240μm、Dep Dose量=3.1×1012cm-2における、サンプルの測定波形である。図6から明かな様に、温度ドリフトは二次曲線で良く近似できることがわかる。これは(6)式から分かるように、温度係数が正にも負にもなる事と一致する。
【0021】
図6の、デプレッションMOS基準電圧回路の温度特性は上に凸の二次曲線、すなわち、
【0022】
【数8】
y=a(x−b)2 +c・・・・(7)
の形式で表される。ここで、yはMOS基準電圧回路の出力電圧、xは温度、aは係数、bは、基準電圧がピーク値を示す温度である。
【0023】
上記の様に測定波形全てに二次曲線の近似を用いると、各測定波形に対しての二次曲線の二次係数aと頂点の温度(上に凸の頂点b)が得られる。
図7は、ピーク値の温度bとDep Dose量Xdの関係を、チャネル長Ldをパラメータとして示した図である。図7は、Ld=240、250、260μmで、Dep Dose量Xd=2.8〜3.2×1012cm-2の5点の組み合わた試料で実験したデータと、この実験データから得られた近似式(直線)である。
【0024】
この図より、出力電圧のピークを示す温度(ピーク値の温度b)はデプレッション型MOSFETのドーズ量(Dep Dose量Xd)の増加に伴い、高温側にシフトしていることが分かる。
また、チャネル長Ldを大きくするにつれて、同じドーズ量(Dep Dose量Xd)でもピーク値の温度bは低温側にシフトしていることが分かる。
【0025】
したがって、この二つのパラメータを変化させることによって、温度ドリフトによる出力電圧のピーク値を示す温度(ピーク値の温度b(℃))を設定することが可能であることがわかる。
ここで、これらのLd=240、250、260μmにおけるピーク温度bとDep Dose量Xd(×1012cm-2)の関係を図6から数式化すると
【0026】
【数9】
Xd=〔b+(1.75Ld+230)〕/〔(0.3Ld+149)〕・・・・・(8)
という関係が得られる。
【0027】
基準電圧の許容できる変動(温度ドリフト)は、MOS基準電圧回路の出力電圧が1Vの場合には、10mVであり、これはDep Dose量Xdのバラツキに換算すると±10%に相当することが実験的に分かっている。
ある許容温度範囲(仕様温度範囲)T1≦T≦T2(℃)において、基準電圧回路の温度特性が最も良くなるのは、ピーク値の温度bが温度範囲の中間Tm〔Tm=(T1+T2)/2〕(℃)と一致した時である。
【0028】
従って、基準電圧の変動を10mV以内に抑制するためのDep Dose量Xd(×1012cm-2)の範囲は次式の様になる。
【0029】
【数10】
0.9×〔〔Tm+(1.75Ld+230)〕/(0.3Ld+149)〕≦Xd≦1.1×〔〔Tm+(1.75Ld+230)〕/(0.3Ld+149)〕・・・・・(1)
【0030】
【発明の実施の形態】
図1は、この発明の第1実施例のMOS基準電圧回路を形成した半導体集積回路装置であり、同図(a)は要部断面図、同図(b)は同図(a)のデプレション型MOSFETのチャネル形成箇所の斜視図である。
p基板1の表面層にpウエル領域2を形成し、pウエル領域2の表面層にデプレション型nチャネルMOSFET21とエンハンスメント型nチャネルMOSFET22とp+ 領域12をそれぞれ離して形成する。デプレション型nチャネルMOSFET21は、n+ ドレイン領域3とn+ ソース領域4と、pチャネル領域5(このpチャネル領域5は、pベース領域の役目をする)の表面層に形成されたn層6(ROMインプラ層とも言われる層で、この層が実際のn型のチャネル領域となる)と、n層6上に形成されるゲート電極7で構成される。このn層6は、V族の元素をイオン注入で打ち込み、所定の熱処理を行うことで形成される。また、エンハンスメント型nチャネルMOSFET22は、n+ ドレイン領域8と、n+ ソース領域9と、pチャネル領域10と、ゲート電極11で構成される。ゲート電極7とn+ ソース領域4とn+ ドレイン領域8とゲート電極11が接続し、出力端子Vref と接続する。電源高電位端子Vccはn+ ドレイン領域3と接続し、グランド端子GNDはp+ 領域12と接続する。この等価回路は図4と同じである。図中のLdはチャネル長、Wdはチャネル幅である。
【0031】
前記のデプレション型nチャネルMOSFET21のチャネル(電子の通路となる)であるn層6(ROMインプラ層とも言われる)の表面濃度を1×1016cm-3〜1×1017cm-3とすることで、MOS基準電圧回路の出力電圧の変動(温度ドリフト)を、−10℃から70℃の許容温度範囲(仕様温度範囲)で、10mV以下に抑制することができる。この表面濃度の範囲を超えると、ピーク温度(基準電圧がピークとなる温度)が−10℃から70℃の許容温度範囲(仕様温度範囲)外になり、出力電圧の変動は10mVより大きくなる。
【0032】
図2は、この発明の第2実施例の,MOS基準電圧回路の製造方法であり、同図(a)から同図(c)は工程順に示した要部工程断面図である。
同図(a)において、p基板1の表面層に、pウエル領域2と選択酸化膜13とpチャネル領域5、10を形成する。このpチャネル領域5、10は、ドーズ量1.2×1012cm-2のボロンを打ち込み同時に形成される。しかし、pチャネル領域10のみを形成して、デプレション型nチャネルMOSFET21のpベース領域の働きをするpチャネル領域5は必ずしも形成しなくても構わない。また、pウエル領域2の表面濃度は1015cm-3のオーダである。
【0033】
同図(b)において、レジスト14をマスクにpチャネル領域5(この領域は前記のデプレション型nチャネルMOSFET21のpベース領域の働きをする)の表面層に所定のドーズ量(Dep Dose量)のn型不純物15をイオン注入16で導入する。
同図(c)において、打ち込んだn型不純物15を熱処理し、n型のチャネル領域となるn層6を形成する。前記のpチャネル領域5、10の表面濃度は5×1016cm-3であり、pチャネル領域5、10の表面濃度を差し引いたn層6の表面濃度が1×1016cm-3から1×1017cm-3の範囲に入るように、また、次式に示すXdの不等式が満足されるような所定のドーズ量を設定する。また、pチャネル領域5が無い場合には、pウエル領域2の表面濃度(1015cm-3のオーダ)を差し引いたn層6の表面濃度が1×1016cm-3から1×1017cm-3の範囲に入るように、また、次式に示すXdの不等式が満足されるような所定のドース量を設定する。その後に、図示しないゲート酸化膜上にゲート電極7、11を形成し、このゲート電極7、11と選択酸化膜13をマスクにn型不純物をイオン注入し、熱処理してn+ ドレイン領域3、8、n+ ソース領域4、9を形成する。その後、p+ 領域12を形成する。つぎに、Vcc、Vref、GNDの各端子を図のように接続して、デプレッション型MOSFET21とエンハンスメント型MOSFET22で構成されるMOS基準電圧回路が完成する。
【0034】
前記のデプレション型nチャネルMOSFET21のチャネルであるn層6を形成するときのイオン注入時の不純物ドーズ量(Dep Dose量Xd〔×1012cm-2〕)を、次式で決めることにより、T1≦T≦T2の許容温度範囲(仕様温度範囲)において、MOS基準電圧回路の出力電圧の変動を所定の小さな値(例えば、T1=−10℃、T2=70℃の場合は、10mV)以下に抑制することができる。
【0035】
【数11】
0.9×〔〔Tm+(1.75Ld+230)〕/(0.3Ld+149)〕≦Xd≦1.1×〔〔Tm+(1.75Ld+230)〕/(0.3Ld+149)〕・・・・(1)
但し、Ldはチャネル長(μm)、Tmは中間温度(℃)で(T1+T2)/2である。このXdの範囲は、当然、n層6がp型に反転しない範囲で決める。
【0036】
例えば、許容温度範囲(仕様温度範囲)が−10℃≦T≦70℃とすると、Tm=30℃となる。従って(8)式より、各Ldに対し丁度Tm=30℃を取り得るDep Dose量Xdを計算すると、Ld=240μmの時はDep Dose量Xd=3.07×1012cm-2、Ld=250μmの時はDep Dose量Xd=3.11×1012cm-2、Ld=260μmの時はDep Dose量Xd=3.15×1012cm-2となり、そのときの基準電圧の出力電圧の変動を表1に示す。
【0037】
【表1】
Tm=30℃になるように、Ldに対する最適なDep Dose量Xdとすることで、基準電圧回路の出力電圧が1Vの場合に、−10℃〜70℃の温度範囲で電圧変動は2mV程度に抑制することができる。また、この最適なDep Dose量Xdに対して±10%以内にn層6のドース量を定めることで、MOS基準電圧回路の出力電圧(1Vの場合)の変動を10mV以下に抑制することができる。
【0038】
図3は、Ld=240μm、Dep Dose量Xd=3.07×1012cm-2とした場合のMOS基準電圧回路の出力電圧と温度の関係を示す図である。
出力電圧の変動(温度ドリフト)が、−10℃〜70℃の許容温度範囲(仕様温度範囲)で、2mV以内に抑制されている。
図4は、Ld=240μmで、Dep Dose量Xdを変化させた場合の基準電圧の変動を示す図である。許容温度範囲は−10℃≦T≦70℃である。この許容温度範囲では、Tm=30℃に対応するDep Dose量Xd=3.07×1012cm-2であり、このDep Dose量Xdに対する±10%以内(2.76×1012cm-2と3.38×1012cm-2の範囲)で、電圧変動は10mV以内となっている。
【0039】
【発明の効果】
この発明によれば、デプレション型MOSFETのチャネルの表面濃度を1×1016cm-3〜1×1017cm-3とすることで、−10℃≦T≦70℃の許容温度範囲(仕様温度範囲)内で、基準電圧の変動を10mV以内に抑えことができる。
【0040】
また、不純物ドーズ量(Dep Dose量Xd〔×1012cm-2〕)を次式で決めることにより、T1≦T≦T2の所定の許容温度範囲(仕様温度範囲)において、MOS基準電圧回路の出力電圧の変動を小さく抑制することができる。この許容温度範囲(仕様温度範囲9が−10℃≦T≦70℃では、基準電圧の変動を10mV以内に抑えることができる。
【0041】
【数12】
0.9×〔〔Tm+(1.75Ld+230)〕/(0.3Ld+149)〕≦Xd≦1.1×〔〔Tm+(1.75Ld+230)〕/(0.3Ld+149)〕・・・・(1)
但し、Ldはチャネル長(μm)、Tmは中間温度(℃)で(T1+T2)/2である。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の第1実施例のMOS基準電圧回路を形成した半導体集積回路装置であり、(a)は要部断面図、(b)は(a)のデプレション型MOSFETのチャネル形成箇所の斜視図
【図2】この発明の第2実施例の,MOS基準電圧回路の製造方法であり、(a)から(c)は工程順に示した要部工程断面図
【図3】Ld=240μm、Dep Dose量Xd=3.07×1012cm-2とした場合の基準電圧回路の出力電圧と温度の関係を示す図
【図4】Ld=240μmで、Dep Dose量Xdを変化させた場合の基準電圧の変動を示す図
【図5】MOS基準電圧回路図
【図6】出力電圧と温度の関係を示す図
【図7】ピーク値の温度bとDep Dose量Xdの関係を示す図
【符号の説明】
1 p基板
2 pウエル領域
3 n+ ドレイン領域(デプレション型MOSFET)
4 n+ ソース領域(デプレション型MOSFET)
5 pチャネル領域(デプレション型MOSFET)
6 n層(デプレション型MOSFET)
7 ゲート電極(デプレション型MOSFET)
8 n+ ドレイン領域(エンハンスメント型MOSFET)
9 n+ ソース領域(エンハンスメント型MOSFET)
10 pチャネル領域(エンハンスメント型MOSFET)
11 ゲート電極(エンハンスメント型MOSFET)
12 p+ 領域
21 デプレション型MOSFET
22 エンハンスメント型MOSFET
Vcc 電源高電位端子
Vref 出力端子
GND グランド端子
Ld チャネル長(デプレション型MOSFET)
Wd チャネル幅(デプレション型MOSFET)
Claims (2)
- ディプレション型MOSFETとエンハンスメント型MOSFETとが直列接続され、前記ディプレション型MOSFETが高電位端子に、前記エンハンスメント型MOSFETが低電位側端子にそれぞれ接続され、両MOSFETの接続点と両MOSFETのゲートとが出力端子に接続されたMOS基準電圧回路の製造方法において、
ディプレション型MOSFETのチャネル領域を形成するために打ち込むイオンドーズ量Xd〔×1012cm-2〕が、次式(1)を満足することを特徴とするMOS基準電圧回路の製造方法。
【数1】
0.9×〔〔Tm+(1.75Ld+230)〕/(0.3Ld+149)〕≦Xd≦1.1×〔〔Tm+(1.75Ld+230)〕/(0.3Ld+149)〕・・・・(1)
(但し、Tm=(T1 +T2 )/2、Tmは中間温度(℃)、T1 はMOS基準電圧回路の許容温度範囲の最低値(℃)、T2 はMOS基準電圧回路の許容温度範囲の最高値(℃)、Ldは前記のディプレション型MOSFETのチャネル長(μm)である。) - ディプレション型MOSFETのチャネル領域の表面濃度が、1×10 16 cm -3 以上で、1×10 17 cm -3 以下の範囲であることを特徴とする請求項1に記載のMOS基準電圧回路の製造方法により製造されたMOS基準電圧回路。
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