JP4683232B2 - 像面計測方法、露光方法及びデバイス製造方法、並びに露光装置 - Google Patents
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Description
a.スリット板90のZ位置(光軸方向位置)毎に得た15個のX軸方向の水平スキャンによる強度信号のコントラスト値をそれぞれ算出し、それらのコントラスト値を最小自乗法により関数フィッティングしてコントラストカーブ(コントラストとフォーカス位置との関係)を得、そのコントラストカーブのピーク点に基づいて、第k番目の評価マーク(ここでは第1番目の評価マークFRM1,1)をXマークとして扱った場合のベストフォーカス位置Zkx(コントラストを最大とするフォーカス位置)を算出する。
b.同様に、スリット板90のZ位置(光軸方向位置)毎に得た15個のY軸方向の水平スキャンによる強度信号のコントラスト値をそれぞれ算出し、それらのコントラスト値を最小自乗法により関数フィッティングしてコントラストカーブを得、そのコントラストカーブのピーク点に基づいて、第k番目の評価マーク(ここでは第1番目の評価マークFRM1,1)をYマークとして扱った場合のベストフォーカス位置Zkyを算出する。
c.次に、上記のベストフォーカス位置Zkx、Zkyの平均値(Zkx+Zky)/2を、第k番目の評価マーク(ここでは第1番目の評価マークFRM1,1)が形成されたレチクルマーク板RFMの基準面上の点のベストフォーカス位置(最良結像面位置)Zbestkとする。勿論、このZbestkは、その第k番目の評価マーク(ここでは第1番目の評価マークFRM1,1)の像の最近傍の検出点における検出対象物表面のZ位置を検出する多点焦点位置検出系(60a,60b)のセンサの計測値(すなわち設定されている検出原点からのオフセット値)である。
図13には、デバイス(ICやLSI等の半導体チップ、液晶パネル、CCD、薄膜磁気ヘッド、マイクロマシン等)の製造例のフローチャートが示されている。図13に示されるように、まず、ステップ501(設計ステップ)において、デバイスの機能・性能設計(例えば、半導体デバイスの回路設計等)を行い、その機能を実現するためのパターン設計を行う。引き続き、ステップ502(マスク製作ステップ)において、設計した回路パターンを形成したマスクを製作する。一方、ステップ503(ウエハ製造ステップ)において、シリコン等の材料を用いてウエハを製造する。
Claims (30)
- 所定の走査方向に移動可能なマスクステージに搭載されたマスクのパターンの像が投影光学系によって形成される走査像面を計測する像面計測方法であって、
少なくとも1つのマークを有するマーク領域が前記走査方向に沿って複数形成されたマスクを前記マスクステージに搭載し、前記マスクステージを前記走査方向に移動させる移動工程と;
前記マスクを照明する照明光に対して前記マスクが前記走査方向に移動した位置毎に、前記照明光で照明された前記マーク領域の少なくとも1つのマークの空間像を前記投影光学系を介して形成し、該空間像を空間像計測装置を用いて計測する、空間像計測工程と;
前記移動位置毎の前記マークの空間像の計測結果に基づいて、前記走査像面を算出する算出工程と;を含む像面計測方法。 - 請求項1に記載の像面計測方法において、
前記空間像計測工程は、前記マークの前記空間像の前記投影光学系の光軸方向に関する位置情報を計測する工程と、前記マークの前記空間像の前記投影光学系の光軸に垂直な面内の方向に関する位置情報を計測する工程と、を含むことを特徴とする像面計測方法。 - 請求項1に記載の像面計測方法において、
前記マスクには、前記マーク領域が、前記パターンが形成されたパターン領域を区画する矩形枠状の遮光帯の内部及び外部の少なくとも一方に、複数設けられていることを特徴とする像面計測方法。 - 請求項3に記載の像面計測方法において、
前記マスクには、前記矩形枠状の遮光帯の前記走査方向に平行な一対の対向辺にそれぞれ沿って複数対の前記マーク領域が配置されていることを特徴とする像面計測方法。 - 請求項4に記載の像面計測方法において、
前記マスクには、前記矩形枠状の遮光帯の残りの一対の対向辺のそれぞれの近傍に、前記マーク領域が少なくとも各1つ配置されていることを特徴とする像面計測方法。 - マスクが載置されたマスクステージと物体とを同期して照明光に対して移動し、前記マスクに形成されたパターンを前記物体上に転写する露光方法であって、
請求項1〜5のいずれか一項に記載の像面計測方法により、前記マスクに形成されたパターンの像が投影光学系によって形成される走査像面を計測する工程と;
前記パターンの転写時に、前記走査像面の計測結果に基づいて、前記走査像面と前記物体の表面とを近づけるように補正する工程と;を含む露光方法。 - 請求項6に記載の露光方法において、
前記マスクには、前記マスク上の前記物体上に転写すべきパターン領域の周囲の前記パターン領域から所定距離以上離れた複数の位置に、前記マーク領域がそれぞれ設けられることを特徴とする露光方法。 - 請求項7に記載の露光方法において、
前記パターン領域は、前記走査方向にほぼ平行な一対の第1の対向辺により規定されると共に、前記マーク領域が、前記一対の第1の対向辺の近傍で、かつ前記パターン領域から所定距離以上離れた複数の位置に、それぞれ設けられることを特徴とする露光方法。 - 請求項8に記載の露光方法において、
前記パターン領域は、さらに前記走査方向にほぼ直交するする平行な一対の第2の対向辺により規定されると共に、前記マーク領域が、さらに前記第2の対向辺の近傍であって、前記パターン領域から所定距離以上離れた少なくとも1つの位置に、設けられることを特徴とする露光方法。 - 請求項7に記載の露光方法において、
前記マスク上の、前記パターン領域と前記マーク領域との間の少なくとも一部に、遮光帯が設けられていることを特徴とする露光方法。 - 請求項6に記載の露光方法において、
前記マーク領域は、前記パターン領域中の、前記走査方向に平行な、又は直交する所定の帯状領域上に形成されていることを特徴とする露光方法。 - 請求項6に記載の露光方法において、
前記パターンを転写する前記物体の前記表面の位置及び形状の少なくとも一方を、前記転写時に、又は前記転写に先立って計測する物体位置計測工程を、さらに含む露光方法。 - 請求項6に記載の露光方法において、
前記パターンの転写時に、前記走査像面の計測結果に基づいて、前記走査像面を既知の基準像面に近づけるように前記走査像面を補正する工程を、さらに含む露光方法。 - 請求項13に記載の露光方法において、
前記基準像面は、平面であることを特徴とする露光方法。 - 請求項13に記載の露光方法において、
前記基準像面は、前記マスクステージ上に存在する基準部材の基準面に形成された複数のマークの前記投影光学系による投影像の形成面であることを特徴とする露光方法。 - 請求項15に記載の露光方法において、
前記補正する工程に先立って、前記マスクステージ上の前記基準部材を照明光で照明して、前記基準部材上の複数のマークの空間像を前記投影光学系を介して形成し、該空間像を空間像計測装置を用いて計測し、該計測結果に基づいて前記基準像面を算出する工程を、更に含む露光方法。 - 請求項13〜16のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記走査像面の計測結果と前記基準像面とに基づいて、前記補正する工程の処理を行うか否かを判定する工程を更に含む露光方法。 - 請求項6〜16のいずれか一項に記載の露光方法を用いて、物体上に前記パターンを転写するリソグラフィ工程を、含むデバイス製造方法。
- 請求項17に記載の露光方法を用いて、物体上に前記パターンを転写するリソグラフィ工程を、含むデバイス製造方法。
- マスクと物体とを所定の走査方向に同期移動し、前記マスクに形成されたパターンを前記物体上に転写する露光装置であって、
少なくとも1つのマークを有するマーク領域が前記走査方向に沿って複数形成されたマスクを保持して少なくとも前記走査方向に移動可能なマスクステージと;
前記マスクステージを照明光で照明する照明系と;
前記マスクに形成されたパターンを投影する投影光学系と;
前記投影光学系により形成される投影像を計測する空間像計測装置と;
前記物体を保持して移動する物体ステージと;
前記照明系からの照明光に対して前記マスクが前記走査方向に移動した位置毎に、前記照明光で照明された前記マーク領域の少なくとも1つのマークの空間像を前記投影光学系を介して形成し、該空間像を前記空間像計測装置を用いて計測する、計測制御装置と;
前記移動位置毎の前記マークの空間像の計測結果に基づいて、前記マスクに形成されたパターンの像が前記投影光学系によって形成される走査像面を算出する算出装置と;を備える露光装置。 - 請求項20に記載の露光装置において、
前記走査像面の算出は、前記マスクに形成された前記パターンの内部あるいは外部の少なくとも一方に設けられた複数かつ離散的なマークの空間像の前記計測制御装置による計測結果を、統計処理することにより行うことを特徴とする露光装置。 - 請求項20に記載の露光装置において、
前記走査像面の前記算出結果に基づいて、前記走査像面と前記物体の表面とを近づけるように設定する物体位置設定機構を更に備える露光装置。 - 請求項20に記載の露光装置において、
前記物体の表面の位置情報又は形状情報を計測する物体位置計測機構を更に備える露光装置。 - 請求項20に記載の露光装置において、
前記計測制御装置は、前記マークの投影像の前記投影光学系の光軸方向に関する位置情報を計測する機構と、前記マークの投影像の前記光軸に垂直な面内方向に関する位置情報を計測する機構とを有すると共に、
前記算出装置は、前記移動位置毎の前記マークの投影像の前記光軸方向に関する位置情報に基づいて像面を算出する機能と、前記移動位置毎の前記マークの投影像の前記光軸に垂直な面内方向に関する位置情報に基づいてディストーション分布を算出する機能と、を有することを特徴とする露光装置。 - 請求項20に記載の露光装置において、
前記パターンの転写の際に、前記算出装置による前記走査像面の算出結果に基づいて、前記走査像面を既知の基準像面に近づけるように前記走査像面を補正する補正装置を更に備える露光装置。 - 請求項25に記載の露光装置において、
前記基準像面は、平面であることを特徴とする露光装置。 - 請求項25に記載の露光装置において、
前記基準像面は、前記マスクステージ上に存在する基準部材の基準面に形成された複数のマークの前記投影光学系による投影像の形成面であることを特徴とする露光装置。 - 請求項25〜27のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記計測制御装置は、前記補正装置による補正に先立って、前記マスクステージ上の前記基準部材を前記照明系からの前記照明光で照明して、前記複数のマークの空間像を前記投影光学系を介して形成し、該空間像を前記空間像計測装置を用いて計測し、
前記算出装置は、前記計測結果に基づいて前記基準像面を算出することを特徴とする露光装置。 - 請求項25〜27のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記算出装置による前記走査像面の算出結果と前記基準像面とに基づいて、エラー状態が発生したか否かを判定し、エラー状態が発生していた場合、そのエラー状態の発生を外部に通知するとともに、装置の運転を停止する非常時警報装置を更に備える露光装置。 - 請求項20〜27のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記空間像計測装置の少なくとも一部が設けられるとともに、前記物体ステージとは異なる、移動可能なステージを更に備える露光装置。
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